JP6405735B2 - 絶対変位センサ - Google Patents
絶対変位センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6405735B2 JP6405735B2 JP2014123844A JP2014123844A JP6405735B2 JP 6405735 B2 JP6405735 B2 JP 6405735B2 JP 2014123844 A JP2014123844 A JP 2014123844A JP 2014123844 A JP2014123844 A JP 2014123844A JP 6405735 B2 JP6405735 B2 JP 6405735B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- relative
- displacement
- frequency
- absolute displacement
- mass body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims description 153
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 46
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 27
- 238000013016 damping Methods 0.000 claims description 14
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims description 12
- 101100510617 Caenorhabditis elegans sel-8 gene Proteins 0.000 claims description 6
- 230000004044 response Effects 0.000 description 20
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 8
- 230000004069 differentiation Effects 0.000 description 7
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 6
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 5
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 4
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 208000019901 Anxiety disease Diseases 0.000 description 1
- 241000239290 Araneae Species 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000036506 anxiety Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000368 destabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000012850 discrimination method Methods 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000011895 specific detection Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
Description
2 質量体
3 ばね
4 センサハウジング
5 検出手段
6 入力端
7 出力端
8 ローパスフィルタ
9 フィードバック制御手段
10 位相遅れ補償手段
Claims (4)
- 質量体と、この質量体をばねを介して弾性的に一の方向に変位自在に支持する被検出体と、質量体に対する被検出体の一の方向の変位における相対速度を検出する検出手段と、検出手段から出力された相対速度を積分して得られた相対変位をポジティブに、当該相対速度及び当該相対速度を一次微分して得られた相対加速度の夫々をネガティブに夫々フィードバックさせて、被検出体の一の方向の絶対変位に起因する質量体の一の方向の絶対変位を抑制制御するフィードバック制御手段と、このフィードバック制御手段からの積分して得られた相対変位にフィードバック制御手段の固有振動数以下の振動数領域で3次の位相遅れ補償を施す位相遅れ補償手段とを具備しており、位相遅れ補償手段からの位相遅れ補償を施された相対変位を被検出体の一の方向の絶対変位として出力するようになっており、位相遅れ補償手段は、sを微分演算子として式[(s 2 +2ζ 2 ω 2 s+ω 2 2 )/(s 2 +2ζ 1 ω 1 s+ω 1 2 )]・[{s+(1/T)}/[s+{1/(α・T)}]で表される伝達関数G lag3 (s)を有しており、ここで、固有角振動数ω 2 及び減衰比ζ 2 は、フィードバック制御手段の固有角振動数ω n 及び減衰比ζと同じ値であり、固有振動数ω n /2πを所望の固有振動数に低下させると共に低下させた固有振動数での位相進みを45度以下に抑えるように、T及びαが決定されている絶対変位センサ。
- 位相遅れ補償手段は、2次と1次との位相遅れ補償回路を組み合わせてなる請求項1に記載の絶対変位センサ。
- 位相遅れ補償手段は、フィードバック制御手段からの積分して得られた相対変位において、0.1Hzの振動数で、45度以内の位相進みとなるようになっている請求項1又は2に記載の絶対変位センサ。
- フィードバック制御手段は、ポジティブにフィードバックされた相対変位、ネガティブにフィードバックされた相対速度及び当該相対速度を一次微分して得られると共にネガティブにフィードバックされた相対加速度に基づいて、質量体を被検出体に付加される変位の方向に関して変位させるアクチュエータを具備している請求項1から3のいずれか一項に記載の絶対変位センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014123844A JP6405735B2 (ja) | 2014-06-16 | 2014-06-16 | 絶対変位センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014123844A JP6405735B2 (ja) | 2014-06-16 | 2014-06-16 | 絶対変位センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016003934A JP2016003934A (ja) | 2016-01-12 |
JP6405735B2 true JP6405735B2 (ja) | 2018-10-17 |
Family
ID=55223304
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014123844A Active JP6405735B2 (ja) | 2014-06-16 | 2014-06-16 | 絶対変位センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6405735B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112698384B (zh) * | 2021-01-26 | 2023-08-01 | 哈尔滨工程大学 | 一种基于双闭环反馈的低频大动态光纤地震计装置 |
CN117353703A (zh) * | 2023-10-12 | 2024-01-05 | 哈尔滨工业大学 | 一种用于超低频隔振器的磁电式速度传感器低频带扩展电路 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11254023A (ja) * | 1998-03-11 | 1999-09-21 | Kawasaki Steel Corp | 磁性金属帯の振動方法及び付着物除去方法並びにそれらの装置 |
JP4109812B2 (ja) * | 2000-01-12 | 2008-07-02 | 株式会社日立グローバルストレージテクノロジーズ | 位置決め制御装置 |
JP2008190943A (ja) * | 2007-02-02 | 2008-08-21 | Kazuto Sedo | 絶対変位・速度計測用センサ |
JP4973373B2 (ja) * | 2007-08-06 | 2012-07-11 | 一登 背戸 | 絶対変位検出方法及びその方法を用いた絶対変位センサ |
JP5322710B2 (ja) * | 2009-03-06 | 2013-10-23 | 特許機器株式会社 | サーボ型振動センサ及び振動制御装置 |
-
2014
- 2014-06-16 JP JP2014123844A patent/JP6405735B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016003934A (ja) | 2016-01-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4973373B2 (ja) | 絶対変位検出方法及びその方法を用いた絶対変位センサ | |
US10516957B2 (en) | High displacement acoustic transducer systems | |
US20130104656A1 (en) | Electronic damper circuit for mems sensors and resonators | |
CN104179868B (zh) | 主被动一体式电磁隔振装置 | |
JP5322710B2 (ja) | サーボ型振動センサ及び振動制御装置 | |
JP2009515107A (ja) | 振動分離システム及び方法 | |
JP6405735B2 (ja) | 絶対変位センサ | |
JP5599521B2 (ja) | 調和振動によって励起された振動子をリセットするための制御ユニットおよび装置、ならびにヨーレートセンサ | |
JP6451095B2 (ja) | 絶対変位センサ | |
Beijen et al. | Two-sensor control in active vibration isolation using hard mounts | |
Hanieh et al. | Multi-axis vibration isolation using different active techniques of frequency reduction | |
JP6451094B2 (ja) | 絶対変位センサ | |
JP5591199B2 (ja) | 振動絶縁装置 | |
JP2004251317A (ja) | 除振装置 | |
JP2008190943A (ja) | 絶対変位・速度計測用センサ | |
JP7288831B2 (ja) | センサシステム、および該センサシステムを備える除振装置 | |
JP7288841B2 (ja) | センサシステム、および該センサシステムを備える除振装置 | |
Shahadat et al. | Improvement of vibration isolation characteristics by Kalman-filter estimated acceleration feedback | |
JPS58221038A (ja) | 防振装置 | |
Liu et al. | An active vibration isolation system using adaptive proportional control method | |
Mikhailov et al. | Active vibration-suppression platforms based on magnetorheological elastomers. | |
JPH0658013A (ja) | 制振装置 | |
JP2015059584A (ja) | 能動型振動絶縁装置 | |
Gaoyin et al. | Soft initial-rotation and H∞ robust constant rotational speed control for rotational MEMS gyro | |
Bester et al. | Line-of-sight stabilization of an optical instrument using gained magnetostrictive actuators |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170524 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180206 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180220 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180420 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180821 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180903 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6405735 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |