JP6383546B2 - 複数の多機能センサデバイスにおけるオフセットのばらつきを低減するためのシステムおよび方法 - Google Patents
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Description
Claims (20)
- 多機能センシングデバイスであって、該多機能センシングデバイスは、
微小電気機械(MEMS)ジャイロスコープであって、該MEMSジャイロスコープは第1のクロック信号を生成するように構成されている、MEMSジャイロスコープと、
リセット機構であって、該リセット機構は前記第1のクロック信号のエッジに応答してリセット信号を生成するように構成されている、リセット機構と、
第2のセンサであって、該第2のセンサは少なくとも1つの第2のクロック信号を含み、該第2のセンサは前記リセット信号を受信して、該リセット信号に応答して前記第2のクロック信号と前記第1のクロック信号との間の相対周期位相整合を設定するように構成されている、第2のセンサとを備える、多機能センシングデバイス。 - 前記MEMSジャイロスコープはマスタクロック信号をさらに生成し、前記第2のセンサは、前記マスタクロック信号と前記第2のクロック信号が同期するように前記マスタクロック信号を使用して前記第2のクロック信号を生成する、請求項1に記載の多機能センシングデバイス。
- 前記リセット信号は前記MEMSジャイロスコープにさらに結合され、前記リセット信号は、前記MEMSジャイロスコープ内の前記第1のクロック信号のレートよりも低いレートで動作する回路をリセットするために使用される、請求項1に記載の多機能センシングデバイス。
- 前記第2のセンサは、慣性センサおよび圧力センサ、磁気センサ、電磁放射センサ、光センサ、温度センサ、湿度センサ、応力センサ、歪みセンサ、ならびに化学的検出センサから成る群から選択されるセンサを備える、請求項1に記載の多機能センシングデバイス。
- 前記多機能センシングデバイスは、第3のクロック信号を含む第3のセンサを含み、該第3のセンサは、前記リセット信号を受信し、該リセット信号に応答して前記第3のクロック信号と前記第1のクロック信号との間の相対周期位相整合を設定するように構成されている、請求項1に記載の多機能センシングデバイス。
- 前記リセット機構はリセット要求信号を受信するように構成されており、前記リセット機構は、前記リセット要求信号に続いて前記第1のクロック信号の前記エッジが受信されるのに応答して前記リセット信号を生成することによって、前記第1のクロック信号の前記エッジに応答して前記リセット信号を生成するように構成されている、請求項1に記載の多機能センシングデバイス。
- 前記第1のクロック信号は前記MEMSジャイロスコープの機械的振動に位相ロックされている、請求項1に記載の多機能センシングデバイス。
- 前記第1のクロック信号は前記MEMSジャイロスコープの機械的振動に位相ロックされているクロックの分数調波である、請求項1に記載の多機能センシングデバイス。
- 前記第2のセンサはMEMSセンサであり、前記MEMSジャイロスコープおよび前記第2のセンサは同じ基板上に形成されている、請求項1に記載の多機能センシングデバイス。
- センシングデバイスであって、
微小電気機械(MEMS)ジャイロスコープであって、該MEMSジャイロスコープは該MEMSジャイロスコープ内の機械的振動または該機械的振動の分数調波に位相ロックされている第1のクロック信号を生成するように構成されている、MEMSジャイロスコープと、
リセット機構であって、該リセット機構は、前記第1のクロック信号およびリセット要求信号を受信するように構成されており、該リセット機構は、前記リセット要求信号の受信、および、該リセット要求信号の受信に続く前記第1のクロック信号のエッジに応答してリセット信号を生成するように構成されている、リセット機構と、
第2のMEMSセンサであって、該第2のMEMSセンサは第2のクロック信号を含み、該第2のMEMSセンサは、MEMS慣性センサおよびMEMS圧力センサから成る群から選択され、該第2のMEMSセンサは、前記リセット信号を受信し、該リセット信号に応答して前記第2のクロック信号と前記第1のクロック信号との間の相対周期位相整合を設定するように構成されている、第2のMEMSセンサと、
第3のMEMSセンサであって、該第3のMEMSセンサは第3のクロック信号を含み、該第3のMEMSセンサは、MEMS慣性センサおよびMEMS圧力センサから成る群から選択され、該第3のMEMSセンサは、前記リセット信号を受信し、該リセット信号に応答して前記第3のクロック信号と前記第1のクロック信号との間の相対周期位相整合を設定するように構成されている、第3のMEMSセンサとを備える、センシングデバイス。 - 前記リセット信号は前記MEMSジャイロスコープにさらに結合され、前記リセット信号は、前記MEMSジャイロスコープ内の前記第1のクロック信号のレートよりも低いレートで動作する回路をリセットするために使用される、請求項10に記載のセンシングデバイス。
- 多機能センシングデバイスを動作させる方法であって、該多機能センシングデバイスは、微小電気機械(MEMS)ジャイロスコープおよび第2のセンサを含み、該方法は、
前記MEMSジャイロスコープ内の第1のクロック信号を生成するステップと、
前記第1のクロック信号と前記第2のセンサ内の第2のクロック信号との間の相対周期位相整合を設定するステップとを備える、方法。 - 前記第2のセンサは、慣性センサおよび圧力センサ、磁気センサ、電磁放射センサ、光センサ、温度センサ、湿度センサ、応力センサ、歪みセンサ、ならびに化学的検出センサから成る群から選択されるセンサを備える、請求項12に記載の方法。
- 前記多機能センシングデバイスは第3のセンサをさらに含み、前記方法は、前記第1のクロック信号と前記第3のセンサ内の第3のクロック信号との間の相対周期位相整合を設定するステップをさらに備える、請求項12に記載の方法。
- 前記MEMSジャイロスコープ内の前記第1のクロック信号のレートよりも低いレートで動作する回路をリセットするステップをさらに備える、請求項12に記載の方法。
- 前記第1のクロック信号と前記第2のセンサ内の前記第2のクロック信号との間の相対周期位相整合を設定するステップは、前記第1のクロック信号およびリセット要求信号を受信するステップと、前記リセット要求信号に続いて前記第1のクロック信号のエッジが受信されるのに応答してリセット信号を生成するステップを備える、請求項12に記載の方法。
- 前記第1のクロック信号は前記MEMSジャイロスコープの機械的振動に位相ロックされている、請求項12に記載の方法。
- 前記第1のクロック信号は前記MEMSジャイロスコープの機械的振動に位相ロックされているクロックの分数調波である、請求項12に記載の方法。
- 前記第1のクロック信号と前記第2のセンサ内の前記第2のクロック信号との間の相対周期位相整合を設定するステップは、マスタクロック信号を受信し、前記マスタクロック信号を使用して、前記マスタクロックと前記第2のクロック信号が同期するように前記第2のクロック信号を生成するステップを備える、請求項12に記載の方法。
- 前記第2のセンサはMEMSセンサであり、前記MEMSジャイロスコープおよび前記第2のセンサは同じ基板上に形成されている、請求項12に記載の方法。
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