JP6345056B2 - Blade jig - Google Patents
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Description
本発明は、切削ブレードをスピンドルに装着するためのブレード用治具に関する。 The present invention relates to a blade jig for mounting a cutting blade on a spindle.
ダイシング装置等の切削装置は、一般に、半導体ウェーハ等の被加工物を保持するチャックテーブルと、切削用の切削ブレードが装着された切削ユニットとを備えており、高速回転する切削ブレードを被加工物に切り込ませながら双方を相対移動させることによって、被加工物を切削加工する。 A cutting device such as a dicing machine generally includes a chuck table for holding a workpiece such as a semiconductor wafer and a cutting unit on which a cutting blade for cutting is mounted. The workpiece is cut by moving both of them relative to each other while being cut.
切削装置は、スピンドルの先端に固定されたブレードマウントに薄い切刃を有する切削ブレードを装着して、半導体ウェーハ等の被加工物を切削加工する。ところが、このような切削ブレードは、消耗又は破損により、或いは被加工物の種類や切削加工の内容等に応じて適宜交換する必要がある。 A cutting apparatus attaches a cutting blade having a thin cutting edge to a blade mount fixed to the tip of a spindle, and cuts a workpiece such as a semiconductor wafer. However, such a cutting blade needs to be appropriately replaced depending on wear or breakage, or according to the type of workpiece or the content of cutting.
現在、ダイシング装置で最も広く使用されている切削ブレードはハブブレードと呼ばれ、円形ハブを有する円形基台の外周にニッケル母材中にダイアモンド砥粒が分散された切刃を電着して構成されている。 Currently, the most widely used cutting blades in dicing machines are called hub blades, which are formed by electrodepositing a cutting blade with diamond abrasive grains dispersed in a nickel base material on the outer periphery of a circular base with a circular hub. Has been.
ハブブレードは、２０〜３０μｍ程度の厚さしかない非常にもろい切削ブレードを直接手で持つと、簡単に切削ブレードが破損してしまう恐れがあるため、持ち手となる円形ハブを有する基台の外周に切刃を電着して構成したものである。 If the hub blade has a very fragile cutting blade having a thickness of about 20 to 30 μm directly by hand, the cutting blade may be easily damaged. A cutting blade is electrodeposited on the outer periphery.
ところが、この持ち手となる基台自体も、指が掛かる円形ハブの部分が狭かったり、切刃と近い位置に指を置く必要があったりするため、誤って指で切刃を破損したり或いは誤って切刃で指を切ったりする危険性がある。また、円形ハブのエッジ部分がシャープな形状であるため、指で円形ハブを強くつかむと指を切ってしまう危険性もある。 However, the base itself, which is the handle, also has a narrow circular hub on which the fingers hang, and it is necessary to place the fingers close to the cutting blades. There is a risk of accidentally cutting fingers with the cutting blade. In addition, since the edge portion of the circular hub has a sharp shape, there is a risk that the finger may be cut if the circular hub is strongly held with a finger.
このような状況に鑑みて、いくつかのブレード交換治具が提案されている。例えば、特許第５０１４８９２号公報には、切削ブレードの円形基台を容易に把持することのできるブレード交換治具が開示されている。これにより、薄くて鋭利な円形基台を作業者が確実に且つ容易に把持することが可能となり、交換作業を効率的に実施できるようになった。 In view of such a situation, several blade replacement jigs have been proposed. For example, Japanese Patent No. 5014892 discloses a blade replacement jig that can easily grip a circular base of a cutting blade. As a result, the operator can securely and easily grasp the thin and sharp circular base, and the replacement work can be performed efficiently.
しかし、ブレード交換治具を使用しても、切削ブレードを装着するブレードマウントのボス部に対し切削ブレードの円形基台を垂直に維持しながら装着するのは困難であり、従来のブレード交換治具ではこの課題は解決されていなかった。 However, even when using a blade replacement jig, it is difficult to mount the cutting blade while keeping the circular base of the cutting blade perpendicular to the boss of the blade mount on which the cutting blade is mounted. So this problem was not solved.
切削ブレードをブレードマウントのボス部に斜めに装着してしまうと、所謂噛んだ状態となってしまい、所定の位置まで切削ブレードを挿入できなかったり、ボス部に傷が付き噛んだ状態が発生し易くなってしまうという課題があった。 If the cutting blade is mounted obliquely on the boss part of the blade mount, it will be in a so-called biting state, and the cutting blade cannot be inserted to a predetermined position, or the boss part will be scratched and bite. There was a problem that it would be easy.
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、切削ブレードを保持してブレードマウントに対して垂直な状態を維持しつつ装着することが可能なブレード用治具を提供することである。 The present invention has been made in view of these points, and an object of the present invention is to provide a blade treatment that can be mounted while holding a cutting blade and maintaining a state perpendicular to the blade mount. Is to provide the ingredients.
本発明によると、スピンドルの先端に固定されボス部を有するブレードマウントに、該ボス部が挿入される装着穴と前面と背面とを有する環状の円形基台と、該円形基台の周縁から外周へ突出した環状の切刃とを備えた切削ブレードを装着するためのブレード用治具であって、前端に開口部を有する有底筒体と、後端側に円筒部を有し、先端側に該切削ブレードの該ボス部と同径のロッド部を有し、該有底筒体の該開口部を介して該後端側が該有底筒体内に挿入されたロッド部材と、該有底筒体と該ロッド部材の該ロッド部との間に介装され、該ロッド部材を該有底筒体から突出する方向に付勢する付勢手段と、該切削ブレードの装着作業時に、該切削ブレードの該円形基台の該前面に対面して形成された流体噴出口と、該切削ブレードの該円形基台との間で所定の隙間を形成する突き当て部とを有し、該有底筒体の該開口部を囲繞するように該有底筒体に固定されたフランジ部と、該流体噴出口に接続された流体供給路を開閉する開閉手段と、を具備したことを特徴とするブレード用治具が提供される。 According to the present invention, a blade mount fixed to the tip of a spindle and having a boss portion, an annular circular base having a mounting hole into which the boss is inserted, a front surface and a back surface, and an outer periphery from the periphery of the circular base A blade jig for mounting a cutting blade having an annular cutting blade projecting toward the bottom, having a bottomed cylindrical body having an opening at the front end and a cylindrical portion at the rear end, A rod member having the same diameter as the boss portion of the cutting blade, and a rear end of the rod member inserted into the bottomed cylindrical body through the opening of the bottomed cylindrical body, and the bottomed An urging means interposed between the cylindrical body and the rod portion of the rod member, and urging the rod member in a direction protruding from the bottomed cylindrical body; A fluid jet formed facing the front surface of the circular base of the blade, and the cutting blade A flange portion fixed to the bottomed cylindrical body so as to surround the opening of the bottomed cylindrical body, and an abutting portion that forms a predetermined gap with the base. Opening and closing means for opening and closing a fluid supply path connected to the jet outlet is provided.
好ましくは、該突き当て部は、該ロッド部材が該切削ブレードの該装着穴に挿入される位置に該切削ブレードを位置づけ、該フランジ部で該切削ブレードを保持する際は、該ロッド部材の先端を退避させつつ該突き当て部に該切削ブレードが突き当たる位置に位置合わせした後、該流体噴出口から該切削ブレードに向けて流体を噴出させて該フランジ部で該切削ブレードを吸引し、吸引した該切削ブレードの該嵌合穴を介して該ロッド部材を突出させる。 Preferably, the abutting portion positions the cutting blade at a position where the rod member is inserted into the mounting hole of the cutting blade, and holds the cutting blade at the flange portion when the tip of the rod member is held. , The fluid is ejected from the fluid ejection port toward the cutting blade, and the cutting blade is sucked and sucked by the flange portion. The rod member is protruded through the fitting hole of the cutting blade.
本発明のブレード用治具によると、流体噴出口から流体を噴出するだけで容易に切削ブレードを保持することができ、ロッド部を切削ブレードの嵌合穴に挿入してブレードマウントのボス部に連結した状態でロッド部を通して切削ブレードを移動させることで、容易に切削ブレードをブレードマウントへ垂直な状態を維持しつつ装着することが可能となる。 According to the blade jig of the present invention, the cutting blade can be easily held by simply ejecting fluid from the fluid ejection port, and the rod portion is inserted into the fitting hole of the cutting blade to form the boss portion of the blade mount. By moving the cutting blade through the rod portion in the connected state, it becomes possible to easily mount the cutting blade to the blade mount while maintaining the vertical state.
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、切削ユニット２の分解斜視図が示されている。切削ユニット２は、スピンドルハウジング４中に回転可能に収容され、図示しないモータにより回転駆動されるスピンドル６を含んでいる。スピンドル６の先端部にはねじ穴８が形成されている。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Referring to FIG. 1, an exploded perspective view of the cutting unit 2 is shown. The cutting unit 2 includes a spindle 6 that is rotatably accommodated in a spindle housing 4 and is rotationally driven by a motor (not shown). A screw hole 8 is formed at the tip of the spindle 6.
１０はブレードマウントであり、ボス部１２とボス部１２と一体的に形成されたフランジ部１４を有している。ボス部１２の先端部には雄ねじ１６が形成されている。ブレードマウント１０は更に挿入穴１７を有している。 A blade mount 10 has a boss portion 12 and a flange portion 14 formed integrally with the boss portion 12. A male screw 16 is formed at the tip of the boss portion 12. The blade mount 10 further has an insertion hole 17.
ねじ１８をブレードマウント１０の挿入穴１７を介してスピンドル６の先端に形成されたねじ穴８に螺合して締め付けることにより、ブレードマウント１０はスピンドル６の先端部に固定される。 The blade mount 10 is fixed to the tip of the spindle 6 by screwing the screw 18 into the screw hole 8 formed at the tip of the spindle 6 through the insertion hole 17 of the blade mount 10 and tightening.
２０はハブブレード（切削ブレード）であり、ハブブレード２０は、一側面に円形ハブ２４を有する円形基台２２の他側面側外周にニッケル母材中にダイアモンド砥粒が分散されて電着された切刃（電着砥石）２６を有している。 Reference numeral 20 denotes a hub blade (cutting blade). The hub blade 20 is electrodeposited by dispersing diamond abrasive grains in a nickel base material on the outer periphery of the other side of the circular base 22 having a circular hub 24 on one side. A cutting edge (electrodeposition grindstone) 26 is provided.
円形基台２２はブレードマウント１０のボス部１２が嵌合する嵌合穴２８を有している。ハブブレード２０は円形ハブ２４の表面である前面２４ａと前面２４ａの反対側の背面を有している。 The circular base 22 has a fitting hole 28 into which the boss 12 of the blade mount 10 is fitted. The hub blade 20 has a front surface 24a which is a surface of the circular hub 24 and a back surface opposite to the front surface 24a.
ハブブレード２０の装着穴２８をスピンドル６の先端部に固定されたブレードマウント１０のボス部１２に嵌合し、押さえナット３０をボス部１２の雄ねじ１６に螺合して締め付けることにより、ハブブレード２０はブレードマウント１０のフランジ部１４と前フランジとして作用する押さえナット３０により挟持されて、スピンドル６の先端部に取り付けられる。 By fitting the mounting hole 28 of the hub blade 20 into the boss portion 12 of the blade mount 10 fixed to the tip portion of the spindle 6 and screwing the presser nut 30 into the male screw 16 of the boss portion 12 and tightening, the hub blade Reference numeral 20 denotes a flange portion 14 of the blade mount 10 and a holding nut 30 that acts as a front flange, and is attached to the tip portion of the spindle 6.
図２を参照すると、作業テーブル６０上に載置されたハブブレード２０を吸引保持している状態の本発明実施形態に係るブレード用治具３２の縦断面図が示されている。ブレード用治具３２は、前端に開口部３４ａを有する有底筒体３４と、開口部３４ａを通して有底筒体３４中に挿入された、後端側に一体的に連結された円筒部３８を有するロッド部材３６とを含んでいる。 Referring to FIG. 2, there is shown a longitudinal sectional view of the blade jig 32 according to the embodiment of the present invention in a state where the hub blade 20 placed on the work table 60 is sucked and held. The blade jig 32 includes a bottomed cylinder 34 having an opening 34a at the front end, and a cylindrical part 38 that is inserted into the bottomed cylinder 34 through the opening 34a and is integrally connected to the rear end side. And a rod member 36 having the same.
ロッド部材３６の先端側の小径部３６ａはブレードマウント１０のボス部１２と同一直径に形成されている。ロッド部材３６は円筒部３８と連結される側に大径部３６ｂを有しており、小径部３６ａと大径部３６ｂは拡径部３６ｃにより連結されている。 The small diameter portion 36 a on the distal end side of the rod member 36 is formed to have the same diameter as the boss portion 12 of the blade mount 10. The rod member 36 has a large diameter portion 36b on the side connected to the cylindrical portion 38, and the small diameter portion 36a and the large diameter portion 36b are connected by an enlarged diameter portion 36c.
有底筒体３４とロッド部材３６の大径部３６ｂとの間にはコイルばね４０が介装されており、このコイルばね４０によりロッド部材３６は有底筒体３４から突出する方向に付勢されている。ロッド部材３６の小径部３６ａの先端（図２で下端）にはマグネット３９が配設されている。 A coil spring 40 is interposed between the bottomed cylindrical body 34 and the large-diameter portion 36 b of the rod member 36, and the rod member 36 is biased by the coil spring 40 in a direction protruding from the bottomed cylindrical body 34. Has been. A magnet 39 is disposed at the tip (lower end in FIG. 2) of the small diameter portion 36a of the rod member 36.
有底筒体３４には、有底筒体３４の開口部３４ａを囲繞するようにねじ４４によりフランジ部４２が取り付けられている。フランジ部４２は、作業テーブル６０上に載置されたハブブレード２０の前面２４ａに対面した流体噴出口４８を有している。 A flange portion 42 is attached to the bottomed cylindrical body 34 with screws 44 so as to surround the opening 34 a of the bottomed cylindrical body 34. The flange portion 42 has a fluid ejection port 48 that faces the front surface 24 a of the hub blade 20 placed on the work table 60.
流体噴出口４８は、フランジ部４２に形成された流体供給路４６、有底筒体３４に形成された流体供給路５０及び流体供給路５０に接続されたチューブ等の流体供給路５２を介して圧縮エア源５４に接続されている。流体供給路５２には、流体供給路５２を開閉する電磁弁等の開閉手段５６が介装されている。 The fluid ejection port 48 is connected to a fluid supply path 46 formed in the flange portion 42, a fluid supply path 50 formed in the bottomed cylindrical body 34, and a fluid supply path 52 such as a tube connected to the fluid supply path 50. Connected to a compressed air source 54. The fluid supply path 52 is provided with opening / closing means 56 such as an electromagnetic valve for opening and closing the fluid supply path 52.
フランジ部４０の前面（図２で下面）にはハブブレード２０の円形ハブ２４を収容可能な大きさの円形凹部５７が形成されている。円形凹部５７の外周の一部にはハブブレード２０の円形ハブ２４との間で僅かな隙間を形成する突き当て部５８が形成されている。 A circular recess 57 having a size capable of accommodating the circular hub 24 of the hub blade 20 is formed on the front surface (lower surface in FIG. 2) of the flange portion 40. An abutting portion 58 that forms a slight gap with the circular hub 24 of the hub blade 20 is formed on a part of the outer periphery of the circular concave portion 57.
以下、このように構成されたブレード用治具３２を使用してのハブブレード２０のブレードマウント１０への装着作業について説明する。まず、図２に示すように、ハブブレード２０を切刃２６側を下にして作業テーブル６０上に載置する。 Hereinafter, a mounting operation of the hub blade 20 on the blade mount 10 using the blade jig 32 configured as described above will be described. First, as shown in FIG. 2, the hub blade 20 is placed on the work table 60 with the cutting edge 26 side down.
次いで、ブレード用治具３２の小径部３６ａをハブブレード２０の嵌合穴２８中に挿入して、ブレード用治具３２を作業テーブル６０上に載置する。この時、ハブブレード２０の円形ハブ２４がフランジ部４２の突き当て部５８に当接するようにブレード用治具３２を作業テーブル６０上に載置すると、ハブブレード２０の円形ハブ２４とフランジ部４２の円形凹部５７の底面との間に僅かな隙間が形成される。この時、ロッド部材３６が矢印Ａ方向に移動して有底筒体３４内に挿入されるのを許容するようにコイルばね４０の付勢力が設定されている。 Next, the small-diameter portion 36 a of the blade jig 32 is inserted into the fitting hole 28 of the hub blade 20, and the blade jig 32 is placed on the work table 60. At this time, when the blade jig 32 is placed on the work table 60 so that the circular hub 24 of the hub blade 20 contacts the abutting portion 58 of the flange portion 42, the circular hub 24 and the flange portion 42 of the hub blade 20. A slight gap is formed between the bottom of the circular recess 57. At this time, the biasing force of the coil spring 40 is set so as to allow the rod member 36 to move in the arrow A direction and be inserted into the bottomed cylindrical body 34.
開閉手段５６を開けて流体供給路５２を圧縮エア源５４に接続すると、フランジ部４２の流体噴出口４８は圧縮エア源５４に接続され、フランジ部４２の流体噴出口４８から圧縮エアが噴出される。 When the opening / closing means 56 is opened and the fluid supply path 52 is connected to the compressed air source 54, the fluid outlet 48 of the flange portion 42 is connected to the compressed air source 54, and compressed air is ejected from the fluid outlet 48 of the flange portion 42. The
この圧縮エアがハブブレード２０の前面２４ａとフランジ部４２に形成された凹部５７の底面との間の僅かな隙間を通過することにより、ベルヌーイ効果によりハブブレード２０はブレード用治具３２のフランジ部４２に吸引保持される。 The compressed air passes through a slight gap between the front surface 24a of the hub blade 20 and the bottom surface of the concave portion 57 formed in the flange portion 42, so that the hub blade 20 is caused to have a flange portion of the blade jig 32 by the Bernoulli effect. 42 is sucked and held.
フランジ部４２でハブブレード２０を吸引保持した状態で、図３（Ａ）に示すように、ロッド部材３６の小径部３６ａの先端をブレードマウント１０のボス部１２の先端に当接させる。 In a state where the hub blade 20 is sucked and held by the flange portion 42, the tip of the small diameter portion 36 a of the rod member 36 is brought into contact with the tip of the boss portion 12 of the blade mount 10 as shown in FIG.
ブレードマウント１０のボス部１２の先端には傾斜面１９を有る凹部が形成されており、ロッド部材３６の小径部３６ａの先端には少なくとも一対の位置決め突起４１が形成されているため、位置決め突起４１が傾斜面１９に当接するようにロッド部材３６の小径部３６ａを位置づけると、ロッド部材３６の小径部３６ａはブレードマウント１０のボス部１２に対して位置決めされたことになり、マグネット３９がブレードマウント１０のボス部１２に磁気的に吸着されて、ロッド部材３６の小径部３６ａはブレードマウント１０のボス部１２に対して連結される。 A concave portion having an inclined surface 19 is formed at the tip of the boss portion 12 of the blade mount 10, and at least a pair of positioning projections 41 are formed at the tip of the small diameter portion 36 a of the rod member 36. When the small-diameter portion 36a of the rod member 36 is positioned so as to contact the inclined surface 19, the small-diameter portion 36a of the rod member 36 is positioned with respect to the boss portion 12 of the blade mount 10, and the magnet 39 is mounted on the blade mount. The small diameter portion 36a of the rod member 36 is coupled to the boss portion 12 of the blade mount 10 by being magnetically attracted to the boss portion 12 of the ten.
この状態で、図３（Ｂ）に示すように、開閉手段５６を閉じて流体噴出口４８からの圧縮エアの噴出を停止すると、コイルばね４０が伸長してフランジ部４２の突き当て部５８とハブブレード２０の前面２４ａとの間に距離Ｓ１が空くようにハブブレード２０とフランジ部４２とが離間する。この距離Ｓ１はフランジ部４２の流体噴出口４８から圧縮エアを噴出した際にベルヌーイ効果が発生しない十分大きな距離である。 In this state, as shown in FIG. 3B, when the opening / closing means 56 is closed and the ejection of the compressed air from the fluid ejection port 48 is stopped, the coil spring 40 extends and the abutting portion 58 of the flange portion 42 and The hub blade 20 and the flange portion 42 are separated from each other so that a distance S1 is provided between the front surface 24a of the hub blade 20. This distance S1 is a sufficiently large distance at which the Bernoulli effect does not occur when compressed air is ejected from the fluid ejection port 48 of the flange portion 42.
次いで、図４（Ａ）に示すように、流体噴出口４８から圧縮エア５５を噴出しながらハブブレード２０を圧縮エア５５の圧力で押しつつ有底筒体３４を矢印Ｙ１方向に移動して、ロッド部材３６をコイルばね４０の付勢力に抗して退避位置に押し込み、ハブブレード２０の装着穴２８をブレーマウント１０のボス部１２に嵌合する。 Next, as shown in FIG. 4 (A), the bottomed cylinder 34 is moved in the direction of the arrow Y1 while pushing the hub blade 20 with the pressure of the compressed air 55 while ejecting the compressed air 55 from the fluid outlet 48. The rod member 36 is pushed into the retracted position against the urging force of the coil spring 40, and the mounting hole 28 of the hub blade 20 is fitted to the boss portion 12 of the brace mount 10.
流体噴出口４８から圧縮エア５５を更に噴出して、図４（Ｂ）に示すように、ハブブレード２０をブレードマウント１０のボス部１２に対して滑らせて押し込みフランジ部１４に当接させる。 The compressed air 55 is further ejected from the fluid ejection port 48, and the hub blade 20 is slid with respect to the boss portion 12 of the blade mount 10 and brought into contact with the pushing flange portion 14 as shown in FIG.
尚、図４（Ａ）に示す状態で流体噴出口４８からの圧縮エア５５の噴射を停止し、ブレード用治具３２をＹ１方向に移動してフランジ部４６でハブブレード２０をいっぱいに押し込むようにしても良い。 In the state shown in FIG. 4A, the injection of the compressed air 55 from the fluid outlet 48 is stopped, the blade jig 32 is moved in the Y1 direction, and the hub blade 20 is pushed in the flange portion 46 to the full extent. Anyway.
図４（Ｂ）に示す状態から流体噴出口４８からの圧縮エア５５の噴出を停止し、ブレード用治具３２をブレードマウント１０から引き離した後、押さえナット３０をボス部１２の雄ねじ１６に螺合して締め付けることにより、ハブブレード２０はブレードマウント１０のフランジ部１４と前フランジとして作用する押さえナット３０により挟持されて、スピンドル６の先端部に取り付けられる。 4B is stopped, the jet of the compressed air 55 from the fluid outlet 48 is stopped, the blade jig 32 is pulled away from the blade mount 10, and then the presser nut 30 is screwed onto the male screw 16 of the boss portion 12. By tightening together, the hub blade 20 is sandwiched between the flange portion 14 of the blade mount 10 and the holding nut 30 acting as a front flange, and attached to the tip end portion of the spindle 6.
上述した実施形態のブレード用治具３２は、流体噴出口４８から圧縮エアを噴出するだけで容易に切削ブレード２０を吸引保持することができ、切削ブレードの嵌合穴にロッド部材３６の小径部３６ａを挿入し、ブレードマウントのボス部に連結したロッド部材３６の小径部３６ａを通して切削ブレード２０を移動させることで、切削ブレード２０を垂直な状態を維持しつつ容易にブレードマウント１０のボス部１２に装着することが可能となる。 The blade jig 32 of the embodiment described above can easily hold the cutting blade 20 by simply ejecting compressed air from the fluid ejection port 48, and the small diameter portion of the rod member 36 can be fitted into the fitting hole of the cutting blade. 36a is inserted and the cutting blade 20 is moved through the small diameter portion 36a of the rod member 36 connected to the boss portion of the blade mount, so that the boss portion 12 of the blade mount 10 can be easily maintained while maintaining the cutting blade 20 in a vertical state. It becomes possible to attach to.
６ スピンドル
１０ ブレードマウント
１２ ボス部
１４ フランジ部
２０ ハブブレード（切削ブレード）
２２ 円形基台
２４ 円形ハブ
２４ａ 前面
２６ 切刃
２８ 装着穴
３０ 押さえナット
３２ ブレード用治具
３４ 有底筒体
３６ ロッド部材
３６ａ 小径部
３６ｂ 大径部
３６ｃ 拡径部
３８ 円筒部
４０ コイルばね
４２ フランジ部
４６，５０，５２ 流体供給路
４８ 流体噴出口
５４ 圧縮エア源
５６ 開閉手段
５７ 円形凹部
５８ 突き当て部
６０ 作業テーブル
6 Spindle 10 Blade mount 12 Boss portion 14 Flange portion 20 Hub blade (cutting blade)
22 circular base 24 circular hub 24a front face 26 cutting blade 28 mounting hole 30 holding nut 32 blade jig 34 bottomed cylinder 36 rod member 36a small diameter part 36b large diameter part 36c large diameter part 38 cylindrical part 40 coil spring 42 flange Portions 46, 50, 52 Fluid supply passage 48 Fluid outlet 54 Compressed air source 56 Opening / closing means 57 Circular recess 58 Abutting portion 60 Work table
Claims (2)
前端に開口部を有する有底筒体と、
後端側に円筒部を有し、先端側に該切削ブレードの該ボス部と同径のロッド部を有し、該有底筒体の該開口部を介して該後端側が該有底筒体内に挿入されたロッド部材と、
該有底筒体と該ロッド部材の該ロッド部との間に介装され、該ロッド部材を該有底筒体から突出する方向に付勢する付勢手段と、
該切削ブレードの装着作業時に、該切削ブレードの該円形基台の該前面に対面して形成された流体噴出口と、該切削ブレードの該円形基台との間で所定の隙間を形成する突き当て部とを有し、該有底筒体の該開口部を囲繞するように該有底筒体に固定されたフランジ部と、
該流体噴出口に接続された流体供給路を開閉する開閉手段と、
を具備したことを特徴とするブレード用治具。 A blade mount fixed to the tip of the spindle and having a boss part, an annular circular base having a mounting hole into which the boss part is inserted, a front surface and a back surface, and an annular base projecting from the periphery of the circular base to the outer periphery A blade jig for mounting a cutting blade with a cutting blade,
A bottomed cylinder having an opening at the front end;
It has a cylindrical part on the rear end side, a rod part having the same diameter as the boss part of the cutting blade on the front end side, and the rear end side is the bottomed cylinder through the opening of the bottomed cylindrical body. A rod member inserted into the body,
A biasing means interposed between the bottomed cylindrical body and the rod portion of the rod member, and biasing the rod member in a direction protruding from the bottomed cylindrical body;
During the mounting operation of the cutting blade, a protrusion that forms a predetermined gap between the fluid ejection port formed facing the front surface of the circular base of the cutting blade and the circular base of the cutting blade. A flange portion fixed to the bottomed cylinder so as to surround the opening of the bottomed cylinder,
Opening and closing means for opening and closing a fluid supply path connected to the fluid ejection port;
A blade jig characterized by comprising:
該フランジ部で該切削ブレードを保持する際は、該ロッド部材の先端を退避させつつ該突き当て部に該切削ブレードが突き当たる位置に位置合わせした後、該流体噴出口から該切削ブレードに向けて流体を噴出させて該フランジ部で該切削ブレードを吸引し、吸引した該切削ブレードの該装着穴を介して該ロッド部材を突出させることを特徴とする請求項１記載のブレード用治具。 The abutting portion positions the cutting blade at a position where the rod member is inserted into the mounting hole of the cutting blade,
When the cutting blade is held by the flange portion, the tip of the rod member is retracted and aligned with the position where the cutting blade abuts against the abutting portion, and then the fluid ejection port faces the cutting blade. The blade jig according to claim 1, wherein the cutting blade is sucked by the flange portion by ejecting a fluid, and the rod member is protruded through the mounting hole of the sucked cutting blade.
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| JP2014190363A JP6345056B2 (en) | 2014-09-18 | 2014-09-18 | Blade jig |
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