JP6321582B2 - タッチセンサ一体型表示装置及びその製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 84
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 184
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 183
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 168
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 145
- 230000009467 reduction Effects 0.000 claims description 114
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 107
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 43
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 39
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims description 38
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 31
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 24
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 20
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 15
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 14
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 7
- 230000004224 protection Effects 0.000 claims description 2
- 238000002161 passivation Methods 0.000 claims 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 64
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 39
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 39
- 101100060179 Drosophila melanogaster Clk gene Proteins 0.000 description 38
- 101150038023 PEX1 gene Proteins 0.000 description 38
- 101150014555 pas-1 gene Proteins 0.000 description 38
- 101100016388 Arabidopsis thaliana PAS2 gene Proteins 0.000 description 29
- 101100297150 Komagataella pastoris PEX3 gene Proteins 0.000 description 29
- 101100315760 Saccharomyces cerevisiae (strain ATCC 204508 / S288c) PEX4 gene Proteins 0.000 description 29
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 23
- 102100036464 Activated RNA polymerase II transcriptional coactivator p15 Human genes 0.000 description 22
- 101000713904 Homo sapiens Activated RNA polymerase II transcriptional coactivator p15 Proteins 0.000 description 22
- 229910004444 SUB1 Inorganic materials 0.000 description 22
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 17
- RRIGVQQUVAETIG-UHFFFAOYSA-N 1,2,3,4,6,7,8,9-octahydro-[1,2,4,5]tetrazino[1,2-a][1,2,4,5]tetrazine Chemical compound C1NNCN2CNNCN21 RRIGVQQUVAETIG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 12
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 12
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 12
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 11
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 7
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910016027 MoTi Inorganic materials 0.000 description 6
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 6
- 230000011664 signaling Effects 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 5
- 102100034542 Acyl-CoA (8-3)-desaturase Human genes 0.000 description 4
- 101000848239 Homo sapiens Acyl-CoA (8-3)-desaturase Proteins 0.000 description 4
- 229910004438 SUB2 Inorganic materials 0.000 description 4
- 101100311330 Schizosaccharomyces pombe (strain 972 / ATCC 24843) uap56 gene Proteins 0.000 description 4
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 4
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 4
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 101150018444 sub2 gene Proteins 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 210000002858 crystal cell Anatomy 0.000 description 2
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 2
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 2
- 101100224481 Dictyostelium discoideum pole gene Proteins 0.000 description 1
- 101150046160 POL1 gene Proteins 0.000 description 1
- 101150110488 POL2 gene Proteins 0.000 description 1
- 101100117436 Thermus aquaticus polA gene Proteins 0.000 description 1
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 1
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
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- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
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- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
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- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
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- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
- G06F3/0445—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means using two or more layers of sensing electrodes, e.g. using two layers of electrodes separated by a dielectric layer
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- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
- G06F3/0446—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means using a grid-like structure of electrodes in at least two directions, e.g. using row and column electrodes
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- H01B13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing conductors or cables
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- H01B5/00—Non-insulated conductors or conductive bodies characterised by their form
- H01B5/14—Non-insulated conductors or conductive bodies characterised by their form comprising conductive layers or films on insulating-supports
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
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- G02F1/1343—Electrodes
- G02F1/134309—Electrodes characterised by their geometrical arrangement
- G02F1/134372—Electrodes characterised by their geometrical arrangement for fringe field switching [FFS] where the common electrode is not patterned
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
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- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
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- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
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- G02F1/13629—Multilayer wirings
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- G06F2203/041—Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
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Claims (13)
- 複数のゲートラインと、
複数のデータラインと、
前記複数のゲートラインとデータラインとの交差により画定される領域内にそれぞれ形成される複数のピクセル電極と、
前記ゲートラインを隔てて互いに隣接するピクセル電極の間に前記ゲートラインに並んで形成され、タッチ駆動電極及びタッチセンシング電極のうちの一つとして機能する複数の第1電極と、
前記複数の第1電極の各々の上に形成され第1電極抵抗低減配線と、
前記ピクセル電極と少なくとも一部分が重なるように形成され、前記データラインに並んで形成される複数の第2電極とを備え、
前記複数の第1電極が前記タッチ駆動電極として機能するならば前記複数の第2電極は前記タッチセンシング電極として機能し、前記複数の第1電極が前記タッチセンシング電極として機能するならば前記複数の第2電極は前記タッチ駆動電極として機能し、
前記複数の第2電極は表示動作のための共通電極として機能することを特徴とするタッチセンサ一体型水平電界モード液晶表示装置。 - 基板上に並んで形成される複数のゲートラインと、
前記ゲートラインを覆うように形成されるゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上に前記ゲートラインと交差するように形成される複数のデータラインと、
前記ゲートラインと前記データラインとの交差により画定される複数のピクセル領域内にそれぞれ形成される複数の薄膜トランジスタと、
前記複数の薄膜トランジスタの形成された前記ゲート絶縁膜を覆うように形成される第1保護膜と、
前記第1保護膜上において前記データラインに並んで形成され、前記ゲートラインを隔てた少なくとも2個のピクセル領域に形成され、タッチ駆動電極及びタッチセンシング電極のうちの一つとして機能する複数の第1電極と、
前記複数の第1電極と前記複数の第1電極の各々の上に形成された第1電極抵抗低減配線とを覆うように形成される第2保護膜と、
前記第2保護膜上において前記複数のピクセル領域内にそれぞれ形成され、前記第1電極と少なくとも一部分が重なるように形成される複数のピクセル電極と、
前記ゲートラインを隔てて互いに隣接するピクセル電極の間において、前記第2保護膜上に形成され、前記ゲートラインに並んで形成される複数の第2電極とを備え、前記複数の第1電極が前記タッチ駆動電極として機能するならば前記複数の第2電極は前記タッチセンシング電極として機能し、前記複数の第1電極が前記タッチセンシング電極として機能するならば前記複数の第2電極は前記タッチ駆動電極として機能し、
前記複数の第1電極は表示動作をするための共通電極として機能することを特徴とするタッチセンサ一体型水平電界モード液晶表示装置。 - 基板上に並んで形成される複数のゲートラインと、
前記ゲートラインを覆うように形成されるゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上に前記ゲートラインと交差するように形成される複数のデータラインと、
前記ゲートラインと前記データラインとの交差により画定される複数のピクセル領域内にそれぞれ形成される複数の薄膜トランジスタと、
前記複数の薄膜トランジスタの形成された前記ゲート絶縁膜を覆うように形成される第1保護膜と、
前記第1保護膜上において前記複数のピクセル領域内にそれぞれ形成される複数のピクセル電極と、
前記第1保護膜上に形成され、前記ゲートラインを隔てて互いに隣接するピクセル電極の間に前記ゲートラインに並んで形成され、タッチ駆動電極及びタッチセンシング電極のうちの一つとして機能する複数の第1電極と、
前記複数の第1電極を覆うように形成される第2保護膜と、
前記第2保護膜上において前記ピクセル電極と少なくとも一部分が重なるように形成され、前記データラインに並んで形成され、前記ゲートラインを隔てた少なくとも2個のピクセル領域に形成される複数の第2電極と、を備え、
前記複数の第1電極が前記タッチ駆動電極として機能するならば前記複数の第2電極は前記タッチセンシング電極として機能し、前記複数の第1電極が前記タッチセンシング電極として機能するならば前記複数の第2電極は前記タッチ駆動電極として機能し、
前記複数の第2電極は表示動作のための共通電極として機能することを特徴とするタッチセンサ一体型水平電界モード液晶表示装置。 - 前記複数の第1電極は、タッチセンシング電極で、前記複数の第2電極は、共通電極とタッチ駆動電極の機能を兼ねることを特徴とする請求項1又は3に記載のタッチセンサ一体型水平電界モード液晶表示装置。
- 前記複数の第1電極は、タッチ駆動電極で、前記複数の第2電極は、共通電極とタッチセンシング電極の機能を兼ねることを特徴とする請求項1又は3に記載のタッチセンサ一体型水平電界モード液晶表示装置。
- 前記複数の第1電極は、タッチ駆動電極と共通電極の機能を兼ねており、前記複数の第2電極は、タッチセンシング電極であることを特徴とする請求項2に記載のタッチセンサ一体型水平電界モード液晶表示装置。
- 前記複数の第1電極は、タッチセンシング電極と 共通電極の機能を兼ねており、前記複数の第2電極は、タッチ駆動電極であることを特徴とする請求項2に記載のタッチセンサ一体型水平電界モード液晶表示装置。
- 前記複数の第1電極の各々に前記第1電極と重なるように形成され、前記第1電極の抵抗を低減させる少なくとも一つの第1電極抵抗低減配線をさらに備えることを特徴とする請求項1又は3に記載のタッチセンサ一体型水平電界モード液晶表示装置。
- 前記複数の第2電極の各々に前記第2電極と重なるように形成され、前記第2電極の抵抗を低減させる少なくとも一つの第2電極抵抗低減配線をさらに備えることを特徴とする請求項2に記載のタッチセンサ一体型水平電界モード液晶表示装置。
- 基板上に第1導電層を蒸着させ、第1マスク工程を利用して複数のゲートライン及びゲート電極を形成するステップと、
前記ゲートライン及びゲート電極の形成された基板上にゲート絶縁層と半導体層とを順次的に形成した後、第2マスク工程を利用して前記半導体層をパターニングすることによって、前記ゲート電極と対応する領域に半導体パターンを形成するステップと、
前記半導体パターンの形成されたゲート絶縁膜上に第2導電層を蒸着させ、第3マスク工程を利用して前記第2導電層をパターニングすることによって、互いに平行な複数のデータライン、前記データラインの各々から延びるソース電極、及び前記ソース電極と対向するドレイン電極を有する第1導電性パターン群を形成するステップと、
前記第1導電性パターン群の形成された前記ゲート絶縁膜の上に第1保護膜と第3導電層とを順次的に蒸着させ、第4マスク工程を利用して前記第3導電層をパターニングすることによって複数の第1電極を形成するステップと、
前記複数の第1電極の形成された前記第1保護膜上に第4導電層を蒸着させ、第5マスク工程を利用して第4導電層をパターニングすることによって、前記複数の第1電極と接触する少なくとも一つの第1電極抵抗低減配線を形成するステップと、
前記複数の第1電極と前記複数の第1電極抵抗低減配線の形成された第1保護膜上に第2保護膜を形成した後、第6マスク工程を利用して前記第1及び第2保護膜をエッチングすることによって、前記ドレイン電極の一部を露出させるコンタクト孔を形成するステップと、
前記コンタクト孔の形成された前記第2保護膜上に第5導電層を蒸着し、第7マスク工程を利用して前記第5導電層をエッチングすることによって、前記ゲートラインに並んで少なくとも一つの第2電極抵抗低減配線を形成するステップと、
前記少なくとも一つの第2電極抵抗低減配線の形成された第2保護膜上に第6導電層を蒸着させ、第8マスク工程を利用して前記第6導電層をパターニングすることによって、複数のピクセル電極と複数の第2電極を形成するステップとを含み、
前記複数の第1電極はタッチ駆動電極及びタッチセンシング電極のうちの一つとして機能し、
前記複数の第1電極は前記データラインに平行に配置され、
前記複数の第1電極が前記タッチ駆動電極として機能するならば前記複数の第2電極は前記タッチセンシング電極として機能し、前記複数の第1電極が前記タッチセンシング電極として機能するならば前記複数の第2電極は前記タッチ駆動電極として機能し、
前記第1電極は表示動作ための共通電極として機能することを特徴とするタッチセンサ一体型水平電界モード液晶表示装置の製造方法。 - 前記複数の第1電極は、前記データラインに並んで形成され、前記ゲートラインを隔てて前記ゲートラインとデータラインとの交差により画定されるピクセル領域のうち、少なくとも2個のピクセル領域に形成され、
前記複数の第1電極抵抗低減配線は、前記複数の第1電極の各々に重なるように形成され、前記第1電極の抵抗を低減させ、
前記複数のピクセル電極は、前記ピクセル領域内に形成され、
前記複数の第2電極は、前記ゲートラインを隔てて互いに隣接するピクセル電極の間において、前記第2保護膜上に形成され、前記ゲートラインに並んで形成され、
前記少なくとも一つの第2電極抵抗低減配線は、前記複数の第2電極の各々に形成され、前記第2電極の抵抗を低減させることを特徴とする請求項10に記載のタッチセンサ一体型表示装置の製造方法。 - 基板上に第1導電層を蒸着させ、第1マスク工程を利用して複数のゲートライン及びゲート電極を形成するステップと、
前記ゲートライン及びゲート電極の形成された基板上にゲート絶縁層と半導体層とを形成した後、第2マスク工程を利用して前記半導体層をパターニングすることによって、前記ゲート電極と対応する領域に半導体パターンを形成するステップと、
前記半導体パターンが形成されたゲート絶縁膜上に第2導電層を蒸着させ、第3マスク工程を利用して前記第2導電層をパターニングすることによって、互いに平行な複数のデータライン、前記データラインの各々から延びるソース電極、及び前記ソース電極と対向するドレイン電極を含む第1導電性パターン群を形成するステップと、
前記第1導電性パターン群の形成された前記ゲート絶縁膜の上に第1保護膜を形成した後、第4マスク工程を利用して前記第1保護膜をエッチングすることによって、前記ドレイン電極の一部を各々露出させるコンタクト孔を形成するステップと、
前記コンタクト孔の形成された第1保護膜上に第3導電層を蒸着させ、第5マスク工程を利用して前記第3導電層をパターニングすることによって、複数の第1電極と前記コンタクト孔を介して前記ドレイン電極と各々接触する複数のピクセル電極を形成するステップと、
前記複数の第1電極と複数のピクセル電極の形成された前記第1保護膜上に第4導電層を蒸着させ、第6マスク工程を利用して第4導電層をパターニングすることによって、前記複数の第1電極の各々に重なるように形成され、前記第1電極の抵抗を低減させる少なくとも一つの第1電極抵抗低減配線を形成するステップと、
前記複数の第1電極と前記複数の第1電極抵抗低減配線の形成された第1保護膜上に第2保護膜と第5導電層とを順次的に蒸着し、第7マスク工程を利用して前記第5導電層をパターニングすることによって、前記データラインに並んで少なくとも一つの第2電極抵抗低減配線を形成するステップと、
前記少なくとも一つの第2電極抵抗低減配線の形成された第2保護膜上に第6導電層を蒸着させ、第8マスク工程を利用して前記第6導電層をエッチングすることによって、複数の第2電極を形成するステップと
を含み、
前記複数の第1電極はタッチ駆動電極及びタッチセンシング電極のうちの一つとして機能し、
前記複数の第2の電極は前記データラインに平行に配置され、前記複数の第2の電極の各々は、データラインの一つにおいて前記ピクセル電極と重複するように形成され、
前記複数の第1電極が前記タッチ駆動電極として機能するならば前記複数の第2電極は前記タッチセンシング電極として機能し、前記複数の第1電極が前記タッチセンシング電極として機能するならば前記複数の第2電極は前記タッチ駆動電極として機能し、
前記第2電極は表示動作の共通電極として機能することを特徴とするタッチセンサ一体型水平電界モード液晶表示装置の製造方法。 - 前記複数のピクセル電極は、前記複数のゲートラインとデータラインとの交差により画定される領域内に形成され、
前記複数の第1電極は、前記ゲートラインを隔てて互いに隣接するピクセル電極の間において前記ゲートラインに並んで形成され、
前記少なくとも一つの第1電極抵抗低減配線は、前記複数の第1電極の各々に前記第1電極と重なるように形成され、前記第1電極の抵抗を低減させ、
前記複数の第2電極は、前記ピクセル電極と少なくとも一部分が重なるように形成され、前記データラインに並んで形成され、前記ゲートラインを隔てた少なくとも2個のピクセル領域に形成され、
前記少なくとも一つの第2電極抵抗低減配線は、前記複数の第2電極の各々に 形成され、前記第2電極の抵抗を低減させることを特徴とする請求項12に記載のタッチセンサ一体型表示装置の製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2012-0143228 | 2012-12-11 | ||
KR1020120143228A KR101318448B1 (ko) | 2012-12-11 | 2012-12-11 | 터치센서 일체형 표시장치 및 그 제조방법 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013179651A Division JP5848295B2 (ja) | 2012-12-11 | 2013-08-30 | タッチセンサ一体型表示装置及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015172788A JP2015172788A (ja) | 2015-10-01 |
JP6321582B2 true JP6321582B2 (ja) | 2018-05-09 |
Family
ID=49084807
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013179651A Active JP5848295B2 (ja) | 2012-12-11 | 2013-08-30 | タッチセンサ一体型表示装置及びその製造方法 |
JP2015128659A Active JP6321582B2 (ja) | 2012-12-11 | 2015-06-26 | タッチセンサ一体型表示装置及びその製造方法 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013179651A Active JP5848295B2 (ja) | 2012-12-11 | 2013-08-30 | タッチセンサ一体型表示装置及びその製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9535523B2 (ja) |
EP (1) | EP2743752B1 (ja) |
JP (2) | JP5848295B2 (ja) |
KR (1) | KR101318448B1 (ja) |
CN (1) | CN103870056B (ja) |
Families Citing this family (53)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102033614B1 (ko) * | 2012-12-13 | 2019-10-17 | 엘지디스플레이 주식회사 | 터치센서 일체형 표시장치 |
CN103280448B (zh) * | 2013-04-27 | 2016-01-06 | 北京京东方光电科技有限公司 | 一种阵列基板及其制作方法、显示装置 |
CN103941496B (zh) | 2013-05-13 | 2017-06-06 | 上海天马微电子有限公司 | 一种阵列基板、触控液晶显示面板及其制造方法 |
KR102112089B1 (ko) | 2013-10-16 | 2020-06-04 | 엘지디스플레이 주식회사 | 표시장치와 그 구동 방법 |
KR102112090B1 (ko) * | 2013-10-23 | 2020-05-18 | 엘지디스플레이 주식회사 | 터치 센서 일체형 표시장치 |
KR102082265B1 (ko) | 2013-11-28 | 2020-02-27 | 엘지디스플레이 주식회사 | 터치센서 일체형 표시장치 |
KR102174817B1 (ko) * | 2013-12-02 | 2020-11-05 | 엘지디스플레이 주식회사 | 터치센서 일체형 표시장치 |
KR102170521B1 (ko) * | 2013-12-02 | 2020-10-27 | 엘지디스플레이 주식회사 | 터치센서 일체형 표시장치 |
US9501184B2 (en) * | 2013-12-20 | 2016-11-22 | Synaptics Incorporated | Transcapacitive sensor having gate lines used for both display updating and capacitive sensing |
KR102124970B1 (ko) * | 2013-12-26 | 2020-06-19 | 엘지디스플레이 주식회사 | 터치센서 일체형 표시장치 |
KR102177716B1 (ko) * | 2013-12-30 | 2020-11-11 | 엘지디스플레이 주식회사 | 터치 센서 일체형 표시장치 |
KR102189620B1 (ko) * | 2013-12-30 | 2020-12-11 | 엘지디스플레이 주식회사 | 터치센서 일체형 표시장치 |
JP2015206829A (ja) * | 2014-04-17 | 2015-11-19 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置 |
US9958720B2 (en) | 2014-04-17 | 2018-05-01 | Japan Display Inc. | Display device |
JP6400935B2 (ja) * | 2014-04-17 | 2018-10-03 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置 |
CN104020891A (zh) * | 2014-05-30 | 2014-09-03 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种内嵌式触摸屏及显示装置 |
CN104020907B (zh) | 2014-05-30 | 2017-02-15 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种内嵌式触摸屏及显示装置 |
KR102169034B1 (ko) * | 2014-07-25 | 2020-10-23 | 엘지디스플레이 주식회사 | 표시장치 및 그 제조방법 |
JP2016038539A (ja) * | 2014-08-11 | 2016-03-22 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 液晶表示装置 |
KR101719397B1 (ko) * | 2014-08-14 | 2017-03-24 | 엘지디스플레이 주식회사 | 터치센서 내장형 액정 표시장치 |
KR102176926B1 (ko) * | 2014-08-27 | 2020-11-11 | 엘지디스플레이 주식회사 | 디스플레이 장치 및 그 제조방법 |
KR102241442B1 (ko) * | 2014-09-05 | 2021-04-16 | 엘지디스플레이 주식회사 | 박막트랜지스터 기판 및 그 제조 방법 |
JP2016075721A (ja) * | 2014-10-02 | 2016-05-12 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 液晶表示装置 |
KR101678590B1 (ko) | 2014-12-26 | 2016-11-23 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시패널 및 이를 이용한 액정표시장치 |
KR102320514B1 (ko) * | 2014-12-30 | 2021-11-02 | 엘지디스플레이 주식회사 | 터치 방식 액정표시장치 |
KR101757675B1 (ko) * | 2014-12-31 | 2017-07-17 | 엘지디스플레이 주식회사 | 인셀 터치 액정 디스플레이 장치와 이의 제조방법 |
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CN110083262B (zh) | 2015-01-30 | 2022-07-26 | 乐金显示有限公司 | 触摸显示设备 |
KR102272900B1 (ko) * | 2015-01-30 | 2021-07-05 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시패널, 그 제조 방법 및 이를 포함하는 표시장치 |
JP7201777B2 (ja) * | 2015-05-15 | 2023-01-10 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 液晶表示装置 |
JP6980730B2 (ja) * | 2015-05-15 | 2021-12-15 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 液晶表示装置 |
JP6591194B2 (ja) * | 2015-05-15 | 2019-10-16 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 液晶表示装置 |
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JP6611523B2 (ja) * | 2015-08-31 | 2019-11-27 | エルジー ディスプレイ カンパニー リミテッド | センサ入出力数低減回路およびセンサ入出力数低減回路を備えた表示装置 |
CN106569627B (zh) | 2015-10-13 | 2020-05-19 | 乐金显示有限公司 | 触摸敏感显示装置及其操作方法、驱动电路和控制电路 |
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KR102485387B1 (ko) | 2016-01-20 | 2023-01-06 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 |
CN105652496B (zh) * | 2016-01-25 | 2018-03-09 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种阵列基板及触摸屏 |
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KR101992915B1 (ko) | 2016-09-30 | 2019-06-25 | 엘지디스플레이 주식회사 | 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 |
CN106896609B (zh) * | 2017-04-28 | 2019-11-19 | 厦门天马微电子有限公司 | 一种阵列基板及包括其的显示装置 |
TWI623792B (zh) | 2017-08-07 | 2018-05-11 | 友達光電股份有限公司 | 顯示面板 |
GB2567421B (en) * | 2017-10-03 | 2022-09-28 | Flexenable Ltd | Photo-active devices |
JP6783830B2 (ja) * | 2018-08-27 | 2020-11-11 | ミネベアミツミ株式会社 | 滑りセンサ |
JP7112928B2 (ja) * | 2018-09-28 | 2022-08-04 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置 |
KR20210076232A (ko) * | 2019-12-13 | 2021-06-24 | 삼성디스플레이 주식회사 | 터치 센서, 표시 장치, 및 터치 센서의 구동 방법 |
JP2020079949A (ja) * | 2020-02-05 | 2020-05-28 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100881357B1 (ko) * | 1999-09-07 | 2009-02-02 | 가부시키가이샤 히타치세이사쿠쇼 | 액정표시장치 |
KR101107681B1 (ko) * | 2004-12-29 | 2012-01-25 | 엘지디스플레이 주식회사 | 횡전계방식 액정표시소자 및 그 제조방법 |
KR101382557B1 (ko) | 2007-06-28 | 2014-04-08 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 |
JP5348521B2 (ja) * | 2008-06-27 | 2013-11-20 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 液晶表示パネル |
JP5542427B2 (ja) * | 2009-12-25 | 2014-07-09 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 液晶表示装置 |
KR101290709B1 (ko) * | 2009-12-28 | 2013-07-29 | 엘지디스플레이 주식회사 | 터치센서 인셀 타입 액정표시장치용 어레이 기판 및 이의 제조방법 |
JP5889301B2 (ja) * | 2010-07-28 | 2016-03-22 | サーク・コーポレーション | 相互キャパシタンス方式タッチパッドにおける軸のスワップを通じたノイズ感受性の減少 |
KR101753802B1 (ko) * | 2010-09-20 | 2017-07-04 | 엘지디스플레이 주식회사 | 터치 스크린이 내장된 액정 표시장치와 이의 제조방법 |
KR101457743B1 (ko) * | 2011-02-25 | 2014-11-04 | 엘지디스플레이 주식회사 | 터치 센서 일체형 표시장치 |
US20130342801A1 (en) * | 2011-03-03 | 2013-12-26 | Sharp Kabushiki Kaisha | Liquid crystal display device |
KR101819677B1 (ko) | 2011-04-01 | 2018-01-17 | 엘지디스플레이 주식회사 | 터치 센서 일체형 표시장치 |
KR101805923B1 (ko) | 2011-08-04 | 2017-12-08 | 엘지디스플레이 주식회사 | 터치센서 일체형 표시장치 |
-
2012
- 2012-12-11 KR KR1020120143228A patent/KR101318448B1/ko active IP Right Grant
-
2013
- 2013-08-29 EP EP13182182.9A patent/EP2743752B1/en active Active
- 2013-08-30 JP JP2013179651A patent/JP5848295B2/ja active Active
- 2013-09-13 US US14/026,031 patent/US9535523B2/en active Active
- 2013-09-25 CN CN201310477712.8A patent/CN103870056B/zh active Active
-
2015
- 2015-06-26 JP JP2015128659A patent/JP6321582B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103870056A (zh) | 2014-06-18 |
EP2743752B1 (en) | 2017-05-17 |
JP2015172788A (ja) | 2015-10-01 |
US20140160066A1 (en) | 2014-06-12 |
KR101318448B1 (ko) | 2013-10-16 |
US9535523B2 (en) | 2017-01-03 |
EP2743752A1 (en) | 2014-06-18 |
JP5848295B2 (ja) | 2016-01-27 |
JP2014115613A (ja) | 2014-06-26 |
CN103870056B (zh) | 2017-05-03 |
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KR20160035195A (ko) | 터치센서 일체형 표시장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160817 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170712 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170725 |
|
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |