JP6309407B2 - Application device, application device, and application method - Google Patents
Application device, application device, and application method Download PDFInfo
- Publication number
- JP6309407B2 JP6309407B2 JP2014189106A JP2014189106A JP6309407B2 JP 6309407 B2 JP6309407 B2 JP 6309407B2 JP 2014189106 A JP2014189106 A JP 2014189106A JP 2014189106 A JP2014189106 A JP 2014189106A JP 6309407 B2 JP6309407 B2 JP 6309407B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- manifold
- coating liquid
- discharge
- supply port
- applicator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 227
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 220
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 148
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 27
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 239000008258 liquid foam Substances 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
Description
本発明は、吐出スリットから塗布液を吐出して、被塗布部材上に塗布膜を形成するための塗布器、この塗布器を用いて、被塗布部材上に塗布膜を形成する塗布装置、及びこの塗布器を用いて、被塗布部材上に塗布膜を形成する塗布方法に関する。 The present invention relates to a coating device for discharging a coating liquid from a discharge slit to form a coating film on a member to be coated, a coating apparatus for forming a coating film on a member to be coated using this coating device, and The present invention relates to a coating method for forming a coating film on a member to be coated using this coating device.
ガラス基板やフィルム等の被塗布部材上に、塗布液を塗布して、塗布膜を形成する装置として、塗布液を吐出する吐出スリットを有している塗布器を備えた塗布装置が知られている。塗布器は、塗布液が供給される供給口と、供給口に繋がり塗布液を幅方向に拡幅するマニホールドと、塗布液が吐出される吐出スリットとを有している。供給口からマニホールドに流入した塗布液は、マニホールドの幅方向に拡幅され、マニホールド内で一旦溜められた状態になってから、吐出スリットを通過して、被塗布部材に吐出される。これにより、塗布液は、吐出スリットの全幅に亘って一様に吐出されるため、均一な膜厚の塗布膜を形成することができる。 2. Description of the Related Art As a device for applying a coating liquid onto a coated member such as a glass substrate or a film to form a coating film, a coating device having a coating device having a discharge slit for discharging the coating liquid is known. Yes. The applicator includes a supply port to which the coating liquid is supplied, a manifold that is connected to the supply port and widens the coating liquid in the width direction, and a discharge slit from which the coating liquid is discharged. The coating liquid that has flowed into the manifold from the supply port is widened in the width direction of the manifold, and once accumulated in the manifold, passes through the discharge slit and is discharged onto the member to be coated. Thereby, since the coating liquid is uniformly ejected over the entire width of the ejection slit, a coating film having a uniform film thickness can be formed.
通常、供給口は、マニホールドの中央部に設けられているため、供給口からマニホールドに流入した塗布液は、マニホールドの幅方向に完全には拡幅されず、吐出スリットの中央部は端部に比べ吐出量が増えて、その結果、幅方向の中央部の膜厚が厚くなった塗布膜が形成されてしまうという問題がある。 Normally, the supply port is provided at the center of the manifold, so the coating liquid that flows into the manifold from the supply port is not completely expanded in the width direction of the manifold, and the center of the discharge slit is compared to the end. There is a problem that the discharge amount increases, and as a result, a coating film having a thick central portion in the width direction is formed.
この問題を解決するために、塗布器に、上下２段のマニホールドを設け、これらマニホールドの間を連結スリットによって繋げた塗布器が提案されている（特許文献１等）。この塗布器によれば、上段のマニホールドで幅方向に拡幅された塗布液が、さらに、下段のマニホールドで、幅方向に拡幅されることにより、吐出スリットから吐出される塗布液が、吐出スリットの全幅に亘って、より均一化される。これにより、幅方向の膜厚が均一な塗布膜を形成することができる。 In order to solve this problem, an applicator in which upper and lower manifolds are provided in an applicator and the manifolds are connected by a connecting slit has been proposed (Patent Document 1, etc.). According to this applicator, the coating liquid expanded in the width direction by the upper manifold is further expanded in the width direction by the lower manifold, so that the coating liquid discharged from the discharge slit becomes the More uniform over the entire width. As a result, a coating film having a uniform thickness in the width direction can be formed.
ところで、塗布器に塗布液を充填する際、塗布器内のマニホールドに気泡（エア）が残留することがある。また、塗布中においても、塗布液に溶存していた気泡が塗布器内で発泡したり、あるいは、塗布液を塗布器へ供給するためのバルブの開閉時に気泡が混入したり、吐出スリットの先端から気泡を吸い込んだりすることがある。 By the way, when the applicator is filled with the application liquid, bubbles (air) may remain in the manifold in the applicator. In addition, even during application, bubbles dissolved in the coating liquid foam in the applicator, or bubbles are mixed when the valve for supplying the coating liquid to the applicator is opened or closed, or the tip of the discharge slit May inhale air bubbles.
このように、塗布器内に気泡が存在すると、塗布開始時に、塗布圧力の伝搬に遅れが生じることによって、塗布開始部分の膜厚が薄くなったり、あるいは、気泡が被塗布部材に吐出されることによって、塗布膜にピンホール状の塗布欠陥が発生したり、吐出スリットに混入した気泡が塗布液の流れを分断し、塗布膜に縦スジ等の塗布欠陥が発生したりするという問題が生じる。 As described above, when bubbles are present in the applicator, the coating pressure is delayed at the start of application, so that the thickness of the coating start portion becomes thin or the bubbles are discharged to the member to be applied. As a result, a pinhole-like coating defect occurs in the coating film, or bubbles mixed in the discharge slit divide the flow of the coating liquid, resulting in a coating defect such as vertical stripes in the coating film. .
このような問題を解決するために、マニホールドに気泡を排出するための排出口を設け、塗布器内のマニホールドに溜まった気泡を定期的に外部に排出することが行われている（特許文献２等）。 In order to solve such a problem, a discharge port for discharging bubbles is provided in the manifold, and bubbles accumulated in the manifold in the applicator are periodically discharged to the outside (Patent Document 2). etc).
塗布器内のマニホールドに溜まった気泡は、次のような機構によって、排出口から外部に排出されると考えられる。 It is considered that the bubbles accumulated in the manifold in the applicator are discharged to the outside from the discharge port by the following mechanism.
マニホールドの中央部に設けられた供給口から、マニホールド内に塗布液が供給されると、塗布液は、マニホールド内を幅方向に沿って流れる。このとき、マニホールドに溜まった気泡は、塗布液の流れによって、マニホールドの幅方向両端部に設けられた排出口まで押し出される。これにより、マニホールドに溜まった気泡は、排出口から外部に排出されることになる。 When the coating liquid is supplied into the manifold from the supply port provided in the center of the manifold, the coating liquid flows along the width direction in the manifold. At this time, the bubbles accumulated in the manifold are pushed out to the discharge ports provided at both ends in the width direction of the manifold by the flow of the coating liquid. Thereby, the air bubbles accumulated in the manifold are discharged to the outside from the discharge port.
幅方向の膜厚が均一な塗布膜を形成するために、マニホールドを上下２段の構成にした塗布器において、塗布液の供給口は、上段のマニホールドに設けられている。そのため、塗布液の塗布器への供給は、上段のマニホールドに設けられた供給口から行われる。 In order to form a coating film having a uniform thickness in the width direction, a coating liquid supply port is provided in the upper manifold in a coating device in which the manifold is configured in two upper and lower stages. Therefore, the supply of the coating liquid to the applicator is performed from a supply port provided in the upper manifold.
上段のマニホールドに供給された塗布液が、マニホールド内を幅方向に沿って流れることによって、マニホールドに溜まった気泡は、幅方向両端部に設けられた排出口まで押し出され、排出口を通じて外部に排出される。 When the coating liquid supplied to the upper manifold flows in the manifold along the width direction, the air bubbles accumulated in the manifold are pushed out to the discharge ports provided at both ends of the width direction and discharged to the outside through the discharge ports. Is done.
下段のマニホールドには、上段のマニホールドから連結スリットを通じて塗布液が流れ込み、下段のマニホールドに溜まった気泡は、この流れ込んだ塗布液によって押し出されて、外部に排出される。 The coating liquid flows into the lower manifold from the upper manifold through the connection slit, and bubbles accumulated in the lower manifold are pushed out by the flowing coating liquid and discharged to the outside.
しかしながら、下段のマニホールドに流れ込む塗布液は、連結スリットの全幅から供給されるため、マニホールドの幅方向に沿った流れが弱くなる。そのため、下段のマニホールドに溜まった気泡の排出に時間がかかり、その結果、塗布器全体の気泡の排出時間が長くなってしまうという問題がある。 However, since the coating liquid flowing into the lower manifold is supplied from the entire width of the connecting slit, the flow along the width direction of the manifold is weakened. Therefore, it takes time to discharge the bubbles accumulated in the lower manifold, and as a result, there is a problem that the discharge time of the bubbles in the entire applicator becomes long.
本発明は、上記課題に鑑みなされたもので、その主な目的は、複数のマニホールドを備えた塗布器であっても、塗布器内に溜まった気泡を迅速に外部に排出することができる塗布器を提供することにある。 SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and its main purpose is application that can quickly discharge bubbles accumulated in the applicator even to an applicator having a plurality of manifolds. Is to provide a vessel.
本発明に係る塗布器は、塗布液が供給される第１の供給口と、第１の供給口に繋がる第１のマニホールドと、塗布液が吐出される吐出スリットと、吐出スリットに繋がる第２のマニホールドと、第１のマニホールドと第２のマニホールドとを連結する連結絞り流路とを備え、第１のマニホールドには、第１のマニホールド内に溜まった気泡を外部に排出する第１の排出口が繋がれており、第２のマニホールドには、塗布液が供給される第２の供給口、及び第２のマニホールド内に溜まった気泡を外部に排出する第２の排出口が繋がれていることを特徴とする。 The applicator according to the present invention includes a first supply port to which a coating liquid is supplied, a first manifold connected to the first supply port, a discharge slit for discharging the coating liquid, and a second connected to the discharge slit. And a constricted flow path for connecting the first manifold and the second manifold. The first manifold has a first exhaust for discharging air bubbles accumulated in the first manifold to the outside. The outlet is connected, and the second manifold is connected to the second supply port for supplying the coating liquid and the second discharge port for discharging the air bubbles accumulated in the second manifold to the outside. It is characterized by being.
本発明に係る塗布装置は、被塗布部材を保持する保持手段と、この被塗布部材に対して塗布液を吐出する上記塗布器と、塗布液を溜める液溜め部と、この液溜め部の塗布液を塗布器に送る送液手段と、被塗布部材と塗布器との内の少なくとも一方を他方に対して相対移動させる駆動手段と、を備えていることを特徴とする。 The coating apparatus according to the present invention includes a holding unit that holds a member to be coated, the applicator that discharges the coating liquid to the member to be coated, a liquid reservoir that stores the coating liquid, and a coating of the liquid reservoir. A liquid feeding means for sending the liquid to the applicator and a driving means for moving at least one of the member to be coated and the applicator relative to the other are provided.
本発明に係る塗布方法は、上記の塗布器から塗布液を吐出して、被塗布部材上に塗布膜を形成する塗布方法であって、塗布器内に設けられた全てのマニホールド内に溜まった気泡を外部に排出する工程（ａ）と、工程（ａ）の後、塗布器の吐出スリットから塗布液を吐出して、被塗布部材上に塗布膜を形成する工程（ｂ）とを含み、工程（ａ）において、第１のマニホールド内に溜まった気泡は、第１の供給口から第１の排出口に向かって流れる塗布液によって、第１の排出口から外部に排出され、第２のマニホールド内に溜まった気泡は、第２の供給口から第２の排出口に向かって流れる塗布液によって、第２の排出口から外部に排出され、工程（ｂ）において、第２のマニホールドに設けられた第２の供給口からの塗布液の供給は、停止されることを特徴とする。 The coating method according to the present invention is a coating method in which a coating liquid is discharged from the above-described coating device to form a coating film on a member to be coated, and is accumulated in all the manifolds provided in the coating device. A step (a) of discharging bubbles to the outside, and a step (b) of forming a coating film on a member to be coated by discharging a coating liquid from a discharge slit of the applicator after the step (a), In the step (a), the bubbles accumulated in the first manifold are discharged from the first discharge port to the outside by the coating liquid flowing from the first supply port toward the first discharge port. Bubbles accumulated in the manifold are discharged from the second discharge port to the outside by the coating liquid flowing from the second supply port toward the second discharge port, and are provided in the second manifold in the step (b). The supply of coating liquid from the second supply port is stopped Characterized in that it is.
本発明によれば、複数のマニホールドを有する塗布器であっても、塗布器内の各々のマニホールドに溜まった気泡を確実かつ迅速に外部に排出することができ、これにより均一かつ塗布欠陥のない塗布膜を形成する塗布器を提供することができる。 According to the present invention, even in an applicator having a plurality of manifolds, bubbles accumulated in each manifold in the applicator can be reliably and quickly discharged to the outside, and thereby uniform and free of coating defects. An applicator for forming a coating film can be provided.
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではない。また、本発明の効果を奏する範囲を逸脱しない範囲で、適宜変更は可能である。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In addition, this invention is not limited to the following embodiment. Moreover, it can change suitably in the range which does not deviate from the range which has the effect of this invention.
図１（ａ）、（ｂ）は、本発明の一実施形態における塗布器の構成を模式的に示した図で、図１（ａ）は横断面図で、図１（ｂ）は縦断面図である。 1 (a) and 1 (b) are diagrams schematically showing a configuration of an applicator according to an embodiment of the present invention, FIG. 1 (a) is a transverse sectional view, and FIG. 1 (b) is a longitudinal sectional view. FIG.
図１（ａ）、（ｂ）に示すように、本実施形態における塗布器１０は、塗布液が供給される第１の供給口３１と、塗布液が吐出される吐出スリット２２とを備えている。本実施形態における塗布器１０は、上下２段のマニホールドを備え、第１のマニホールド（以下、「上段のマニホールド」という）１１は、貫通孔３６を介して、第１の供給口３１に繋がっている。また、第２のマニホールド（以下、「下段のマニホールド」という）１２は、吐出スリット２２に繋がり、上段のマニホールド１１と下段のマニホールド１２とは、連結絞り流路２１によって連結されている。 As shown in FIGS. 1A and 1B, the applicator 10 in the present embodiment includes a first supply port 31 through which a coating liquid is supplied and a discharge slit 22 through which the coating liquid is discharged. Yes. The applicator 10 according to the present embodiment includes upper and lower two-stage manifolds, and the first manifold (hereinafter referred to as “upper manifold”) 11 is connected to the first supply port 31 via the through hole 36. Yes. The second manifold (hereinafter referred to as “lower manifold”) 12 is connected to the discharge slit 22, and the upper manifold 11 and the lower manifold 12 are connected by a connecting throttle channel 21.
上段のマニホールド１１には、貫通孔４５を介して、上段のマニホールド１１内に溜まった気泡を外部に排出する第１の排出口４１が繋がれている。また、下段のマニホールド１２には、貫通孔３７を介して、塗布液が供給される第２の供給口３２が繋がれているとともに、貫通孔４６を介して、下段のマニホールド１２内に溜まった気泡を外部に排出する第２の排出口４２が繋がれている。ここで、第１の供給口３１及び第２の供給口３２は、それぞれ、上段のマニホールド１１及び下段のマニホールド１２の幅方向中央部に設けられている。また、第１の排出口４１及び第２の排出口４２は、それぞれ、上段のマニホールド１１及び下段のマニホールド１２の幅方向両端部に設けられている。 The upper manifold 11 is connected through a through hole 45 to a first discharge port 41 that discharges bubbles accumulated in the upper manifold 11 to the outside. Further, the lower manifold 12 is connected to the second supply port 32 through which the coating liquid is supplied through the through hole 37, and is accumulated in the lower manifold 12 through the through hole 46. The 2nd discharge port 42 which discharges | emits a bubble outside is connected. Here, the first supply port 31 and the second supply port 32 are provided in the center in the width direction of the upper manifold 11 and the lower manifold 12, respectively. The first discharge port 41 and the second discharge port 42 are provided at both ends in the width direction of the upper manifold 11 and the lower manifold 12, respectively.
第１の供給口３１及び第２の供給口３２は、塗布液を送るポンプ（不図示）に繋がる配管３５に繋がれており、その途中に、塗布液供給制御手段３８として、それぞれ、第１の供給バルブ３３及び第２の供給バルブ３４が設けられている。そして、この第１の供給バルブ３３及び第２の供給バルブ３４を開くことによって、それぞれ、第１の供給口３１及び第２の供給口３２を通じて、上段のマニホールド１１及び下段のマニホールド１２に、塗布液が供給される。 The first supply port 31 and the second supply port 32 are connected to a pipe 35 connected to a pump (not shown) for feeding the coating liquid. Supply valve 33 and second supply valve 34 are provided. Then, by opening the first supply valve 33 and the second supply valve 34, the coating is applied to the upper manifold 11 and the lower manifold 12 through the first supply port 31 and the second supply port 32, respectively. Liquid is supplied.
また、第１の排出口４１及び第２の排出口４２は、それぞれ、配管４７、４８に繋がれており、それらの途中に、気泡排出制御手段４９として、第１の排出バルブ４３及び第２の排出バルブ４４が設けられている。そして、この第１の排出バルブ４３及び第２の排出バルブ４４を開くことによって、上段のマニホールド１１及び下段のマニホールド１２内に溜まった気泡を、外部に排出することができる。 Moreover, the 1st discharge port 41 and the 2nd discharge port 42 are connected with the piping 47 and 48, respectively, and the 1st discharge valve 43 and the 2nd as the bubble discharge | emission control means 49 in the middle of them. A discharge valve 44 is provided. Then, by opening the first discharge valve 43 and the second discharge valve 44, the air bubbles accumulated in the upper manifold 11 and the lower manifold 12 can be discharged to the outside.
図１（ｂ）に示すように、上段のマニホールド１１内に溜まった気泡５０は、第１の供給口３１から第１の排出口４１に向かって流れる塗布液によって、上段のマニホールド１１の幅方向両端部まで押し出され、第１の排出口４１から排出される塗布液とともに、外部に排出されるよう、塗布液供給制御手段３８及び気泡排出制御手段４９により制御される。 As shown in FIG. 1B, the bubbles 50 accumulated in the upper manifold 11 are caused to flow in the width direction of the upper manifold 11 by the coating liquid flowing from the first supply port 31 toward the first discharge port 41. It is controlled by the coating liquid supply control means 38 and the bubble discharge control means 49 so as to be discharged to the outside together with the coating liquid pushed out to both ends and discharged from the first discharge port 41.
同様に、下段のマニホールド１２内に溜まった気泡５０は、第２の供給口３２から第２の排出口４２に向かって流れる塗布液によって、下段のマニホールド１２の幅方向両端部まで押し出され、第２の排出口４２から排出される塗布液とともに、外部に排出されるよう、塗布液供給制御手段３８及び気泡排出制御手段４９により制御される。 Similarly, the bubbles 50 accumulated in the lower manifold 12 are pushed out to both ends in the width direction of the lower manifold 12 by the coating liquid flowing from the second supply port 32 toward the second discharge port 42, and The coating liquid supply control means 38 and the bubble discharge control means 49 are controlled so as to be discharged together with the coating liquid discharged from the second discharge port 42.
このように、下段のマニホールド１２に、塗布液が供給される第２の供給口３２を設けることによって、下段のマニホールド１２に溜まった気泡を、幅方向両端部まで押し出すような塗布液の流れを発生させることができる。これにより、下段のマニホールド１２に溜まった気泡を確実かつ迅速に排出することができる。その結果、塗布器１０全体の気泡の排出に必要な時間を短くすることができる。 In this way, by providing the second supply port 32 through which the coating liquid is supplied to the lower manifold 12, a flow of the coating liquid that pushes out bubbles accumulated in the lower manifold 12 to both ends in the width direction. Can be generated. Thereby, the air bubbles accumulated in the lower manifold 12 can be surely and quickly discharged. As a result, it is possible to shorten the time required for discharging the air bubbles from the entire applicator 10.
図２（ａ）〜（ｄ）は、本実施形態の塗布器１０において、塗布液を初期充填する際の、気泡を排出する機構の一例を示した縦断面図である。 FIGS. 2A to 2D are longitudinal sectional views showing an example of a mechanism for discharging bubbles when the coating solution 10 of the present embodiment is initially filled with a coating solution.
図２（ａ）は、塗布器１０に塗布液を充填する前の空の状態を示している。第１の供給口３１に繋がる第１の供給バルブ３３を開けて、第１の供給口３１から上段のマニホールド１１に塗布液を供給すると、塗布液は、図２（ｂ）の矢印に示すように、第１の供給口３１から第１の排出口４１に向かって流れ、さらに上段のマニホールド１１で拡幅された塗布液は、連結絞り流路２１、下段のマニホールド１２、吐出スリット２２の順に通過して塗布器から吐出される。このとき、上段のマニホールド１１及び下段のマニホールド１２では、気泡５０が浮力によって各々のマニホールドの上部に残留する。 FIG. 2A shows an empty state before the applicator 10 is filled with the coating liquid. When the first supply valve 33 connected to the first supply port 31 is opened and the coating solution is supplied from the first supply port 31 to the upper manifold 11, the coating solution is as shown by the arrow in FIG. In addition, the coating liquid flowing from the first supply port 31 toward the first discharge port 41 and further widened by the upper manifold 11 passes through the connection throttle channel 21, the lower manifold 12, and the discharge slit 22 in this order. And discharged from the applicator. At this time, in the upper manifold 11 and the lower manifold 12, the bubbles 50 remain on the upper portions of the respective manifolds due to buoyancy.
次に、図２（ｃ）に示すように、第１の供給口３１から塗布液を供給しながら、第１の排出口４１に繋がる第１の排出バルブ４３を開くことによって、第１の供給口３１から第１の排出口４１に向かう塗布液の流れが発生する。この流れにより、
上段のマニホールド１１内の気泡５０は、上段のマニホールド１１の幅方向両端部まで押し出され、第１の排出口４１から排出される塗布液とともに、外部に排出される。
Next, as shown in FIG. 2C, the first supply valve 31 is opened by opening the first discharge valve 43 connected to the first discharge port 41 while supplying the coating liquid from the first supply port 31. A flow of coating liquid from the port 31 toward the first discharge port 41 is generated. This flow
The bubbles 50 in the upper manifold 11 are pushed out to both ends in the width direction of the upper manifold 11 and are discharged together with the coating liquid discharged from the first discharge port 41.
次に、図２（ｄ）に示すように、第２の供給口３２から塗布液を供給しながら、第２の排出口４２に繋がる第２の排出バルブ４４を開くことによって、第２の供給口３２から第２の排出口４２に向かう塗布液の流れが発生する。この流れにより、下段のマニホールド１２内の気泡５０は、下段のマニホールド１２の幅方向両端部まで押し出され、第２の排出口４２から排出される塗布液とともに、外部に排出される。 Next, as shown in FIG. 2D, the second supply valve is opened by opening the second discharge valve 44 connected to the second discharge port 42 while supplying the coating liquid from the second supply port 32. A flow of coating liquid from the port 32 toward the second discharge port 42 is generated. By this flow, the bubbles 50 in the lower manifold 12 are pushed out to both ends in the width direction of the lower manifold 12 and are discharged to the outside together with the coating liquid discharged from the second discharge port 42.
なお、ポンプより一定の流速で塗布液が供給される場合、上段のマニホールド１１及び下段のマニホールド１２に同時に塗布液を供給すると、供給された塗布液は２つのマニホールド１１、１２に分散される。そのため、各々のマニホールド１１、１２の横断面を幅方向に通過する塗布液の流速は、上段のマニホールド１１又は下段のマニホールド１２のどちらか一方のみに塗布液を供給した場合に比べ、低下する。これにより、塗布液の流れによる押し出し効果を受けにくい小さな気泡は、排出に時間がかかる恐れがある。 When the coating liquid is supplied from the pump at a constant flow rate, when the coating liquid is simultaneously supplied to the upper manifold 11 and the lower manifold 12, the supplied coating liquid is dispersed in the two manifolds 11 and 12. Therefore, the flow rate of the coating liquid passing through the cross section of each of the manifolds 11 and 12 in the width direction is lower than when the coating liquid is supplied to only one of the upper manifold 11 and the lower manifold 12. As a result, small bubbles that are difficult to receive the extrusion effect due to the flow of the coating liquid may take time to be discharged.
そのため、上段のマニホールド１１内に溜まった気泡が、第１の排出口４１から外部に排出される間、第２の供給口３２は、第２の供給バルブ３４を閉じて、塗布液の供給が停止されるように制御され、かつ、第２の排出口４２は、第２の排出バルブ４４を閉じて、気泡の排出が停止されるように制御されることが好ましい。同様に、下段のマニホールド１２内に溜まった気泡が、第２の排出口４２から外部に排出される間、第１の供給口４１は、第１の供給バルブ３３を閉じて、塗布液の供給が停止されるように制御され、かつ、第１の排出口４１は、第１の排出バルブ４３を閉じて、気泡の排出が停止されるように制御されることが好ましい。これにより、各々のマニホールドの横断面を幅方向に通過する塗布液の流速を高くすることができ、確実かつ迅速な気泡排出が可能となる。 For this reason, while the air bubbles accumulated in the upper manifold 11 are discharged to the outside from the first discharge port 41, the second supply port 32 closes the second supply valve 34 so that the coating liquid is supplied. It is preferably controlled so as to be stopped, and the second discharge port 42 is controlled so as to stop the discharge of bubbles by closing the second discharge valve 44. Similarly, while the bubbles accumulated in the lower manifold 12 are discharged to the outside from the second discharge port 42, the first supply port 41 closes the first supply valve 33 to supply the coating liquid. The first discharge port 41 is preferably controlled to close the first discharge valve 43 and stop the discharge of bubbles. As a result, the flow rate of the coating liquid passing through the cross section of each manifold in the width direction can be increased, and bubble discharge can be performed reliably and rapidly.
本実施形態において、上段のマニホールド１１及び下段のマニホールド１２の大きさは、特に制限されず、塗布液の拡幅条件等によって、適宜、その大きさを決めればよく、大きさが、互いに異なっていてもよい。また、第１の供給口３１から供給される塗布液の流速、供給時間などの供給条件、及び、第２の供給口３２から供給される塗布液の供給量、流速、供給時間などの供給条件も、特に制限されず、例えば、上段のマニホールド１１及び下段のマニホールド１２の容量、断面形状、気泡の混入量などに応じて、ポンプの流速及び供給時間を適宜決めればよい。 In the present embodiment, the sizes of the upper manifold 11 and the lower manifold 12 are not particularly limited, and the sizes may be determined as appropriate according to the widening conditions of the coating solution, and the sizes are different from each other. Also good. The supply conditions such as the flow rate and supply time of the coating liquid supplied from the first supply port 31 and the supply conditions such as the supply amount, flow rate and supply time of the coating liquid supplied from the second supply port 32 are also shown. However, the flow rate and supply time of the pump may be appropriately determined according to, for example, the capacity of the upper manifold 11 and the lower manifold 12, the cross-sectional shape, the amount of air bubbles mixed in, and the like.
本実施形態において、下段のマニホールド１２に繋がる第２の供給口３２は、下段のマニホールド１２内に溜まった気泡を外部に排出する際に、この気泡を幅方向両端部まで押し出すような塗布液の流れを発生させるために設けたものである。これにより、下段のマニホールド１２内に溜まった気泡を、確実かつ迅速に外部に排出させることができる。すわなち、下段のマニホールド１２に繋がる第２の供給口３２は、下段のマニホールド１２内に溜まった気泡を外部に排出する際に機能するものである。 In the present embodiment, the second supply port 32 connected to the lower manifold 12 allows the application liquid to push out the bubbles to both ends in the width direction when the bubbles accumulated in the lower manifold 12 are discharged to the outside. It is provided to generate a flow. Thereby, the air bubbles accumulated in the lower manifold 12 can be reliably and rapidly discharged to the outside. In other words, the second supply port 32 connected to the lower manifold 12 functions when the bubbles accumulated in the lower manifold 12 are discharged to the outside.
一方、上段のマニホールド１１に繋がる第１の供給口３１は、上段のマニホールド１１内に溜まった気泡の排出が完了した後、吐出スリット２２から塗布液を吐出させて、被塗布部材上に塗布膜を形成する際にも、塗布液の供給箇所として使用される。 On the other hand, the first supply port 31 connected to the upper manifold 11 allows the coating liquid to be ejected from the ejection slit 22 after the discharge of the bubbles accumulated in the upper manifold 11 is completed, and the coating film is formed on the coated member. Is also used as a coating liquid supply location.
図３は、被塗布部材上に塗布膜を形成する際に、第１の供給口３１に加えて、第２の供給口３２からも塗布液の供給を行った場合の状態を示した図である。 FIG. 3 is a diagram showing a state in which the coating liquid is supplied from the second supply port 32 in addition to the first supply port 31 when the coating film is formed on the member to be coated. is there.
図３に示すように、第１の供給口３１から供給された塗布液は、上段のマニホールド１１で拡幅され、さらに連結絞り流路２１を通じて、下段のマニホールド１２で再び拡幅されることで、吐出スリット２２から全幅に渡って均一な吐出分布で吐出される。一方、第２の供給口３２から供給された塗布液は、上段のマニホールド１１で拡幅されず、下段のマニホールド１２のみで拡幅されるため、上記２段階の拡幅効果を得られず、吐出スリット２２の中央部では吐出量が増加し、吐出スリット２２の両端部では吐出量が低下する。最終的に、吐出スリット２２から吐出される塗布液の吐出分布は、第１の供給口３１に由来する吐出分布と、第２の供給口３２に由来する吐出分布の足し合わせとなることから、吐出スリット２２の中央部では、吐出スリット２２の両端部に比べ、塗布液の吐出量が増加する。これにより、形成される塗布膜は中央部の膜厚が厚くなり、塗布膜の均一性が低下する。 As shown in FIG. 3, the coating liquid supplied from the first supply port 31 is expanded by the upper manifold 11, and further expanded by the lower manifold 12 through the connection throttle channel 21, thereby discharging the coating liquid. The ink is discharged from the slit 22 with a uniform discharge distribution over the entire width. On the other hand, since the coating liquid supplied from the second supply port 32 is not widened by the upper manifold 11 and is widened only by the lower manifold 12, the above two-stage widening effect cannot be obtained, and the discharge slit 22. The discharge amount increases at the central portion of the nozzle, and the discharge amount decreases at both ends of the discharge slit 22. Finally, the discharge distribution of the coating liquid discharged from the discharge slit 22 is the sum of the discharge distribution derived from the first supply port 31 and the discharge distribution derived from the second supply port 32. In the central portion of the discharge slit 22, the discharge amount of the coating liquid is increased as compared with both end portions of the discharge slit 22. Thereby, the coating film to be formed has a thick film at the center, and the uniformity of the coating film is lowered.
したがって、均一な塗布膜を形成するために、下段のマニホールド１２に繋がる第２の供給口３２は、被塗布部材上に塗布膜を形成する間、塗布液の供給を停止するよう制御されていることが好ましい。 Therefore, in order to form a uniform coating film, the second supply port 32 connected to the lower manifold 12 is controlled to stop supplying the coating liquid while the coating film is formed on the member to be coated. It is preferable.
図４（ａ）、（ｂ）は、本発明の他の実施形態における被塗布部材上に塗布膜を形成する塗布方法を示した縦断面図で、図４（ａ）は、塗布器内に溜まった気泡を外部に排出する工程を示した図、図４（ｂ）は、吐出スリット２２から塗布液を吐出して、被塗布部材上に塗布膜を形成する工程を示した図である。 4 (a) and 4 (b) are longitudinal sectional views showing a coating method for forming a coating film on a member to be coated according to another embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 4B is a diagram showing a process of discharging the accumulated bubbles to the outside, and FIG. 4B is a diagram showing a process of ejecting the coating liquid from the ejection slit 22 to form a coating film on the member to be coated.
図４（ａ）に示すように、塗布器内に溜まった気泡を外部に排出する工程では、第１の供給口３１及び第２の供給口３２に、それぞれ繋がる第１の供給バルブ３３及び第２の供給バルブ３４を開き、第１の供給口３１及び第２の供給口３２から、それぞれ、上段のマニホールド１１及び下段のマニホールド１２に塗布液が供給されるよう、塗布液供給制御手段３８により制御される。上段のマニホールド１１内に溜まった気泡５０は、第１の排出バルブ４３を開いて、第１の供給口３１から第１の排出口４１に向かって流れる塗布液によって、第１の排出口４１から外部に排出される。また、下段のマニホールド１２内に溜まった気泡は、第２の排出バルブ４４を開いて、第２の供給口３２から第２の排出口４２に向かって流れる塗布液によって、第２の排出口４２から外部に排出される。なお、上述したように、マニホールドの横断面を幅方向に通過する塗布液の流速を高くして、確実かつ迅速な気泡排出を可能とするため、上段のマニホールド１１内の気泡を外部に排出する間は、第２の供給口３２は、第２の供給バルブ３４を閉じて、塗布液の供給が停止されるように制御され、かつ、第２の排出口４２は、第２の排出バルブ４４を閉じて、気泡の排出が停止されるように制御されることが好ましい。同様に、下段のマニホールド１２内の気泡を外部に排出する間は、第１の供給口３１は、第１の供給バルブ３３を閉じて、塗布液の供給が停止されるように制御され、かつ、第１の排出口４１は、第１の排出バルブ４３を閉じて、気泡の排出が停止されるように制御されることが好ましい。 As shown in FIG. 4 (a), in the step of discharging the bubbles accumulated in the applicator to the outside, the first supply valve 33 and the second supply port 32 connected to the first supply port 31 and the second supply port 32, respectively. 2 is opened by the coating liquid supply control means 38 so that the coating liquid is supplied from the first supply port 31 and the second supply port 32 to the upper manifold 11 and the lower manifold 12, respectively. Be controlled. The bubbles 50 accumulated in the upper manifold 11 are opened from the first discharge port 41 by the coating liquid that opens the first discharge valve 43 and flows from the first supply port 31 toward the first discharge port 41. It is discharged outside. Further, the bubbles accumulated in the lower manifold 12 open the second discharge valve 44 and the second discharge port 42 by the coating liquid flowing from the second supply port 32 toward the second discharge port 42. Is discharged to the outside. As described above, the bubbles in the upper manifold 11 are discharged to the outside in order to increase the flow rate of the coating liquid passing through the cross section of the manifold in the width direction and enable reliable and quick bubble discharge. In the meantime, the second supply port 32 is controlled to close the second supply valve 34 and the supply of the coating liquid is stopped, and the second discharge port 42 is controlled to the second discharge valve 44. It is preferable to control so that the discharge of bubbles is stopped by closing. Similarly, while the bubbles in the lower manifold 12 are discharged to the outside, the first supply port 31 is controlled so that the supply of the coating liquid is stopped by closing the first supply valve 33, and The first discharge port 41 is preferably controlled so that the discharge of bubbles is stopped by closing the first discharge valve 43.
塗布器内の気泡を外部に排出した後、塗布液の供給を停止し、塗布器を被塗布部材（不図示）上に移動させてから、図４（ｂ）に示すように、吐出スリット２２から塗布液を吐出して、被塗布部材上に塗布膜を形成する。このとき、第２の供給口３２は、それに繋がる第２の供給バルブ３４を閉じることによって、塗布液の供給が停止するよう、塗布液供給制御手段３８により制御される。一方、第１の供給口３１からは、塗布液が供給され、上段のマニホールド１１と下段のマニホールド１２で幅方向に拡幅された塗布液が、吐出スリット２２から吐出されることによって、被塗布部材上に均一な塗布膜が形成される。 After the bubbles in the applicator are discharged to the outside, the supply of the coating liquid is stopped, the applicator is moved onto the member to be applied (not shown), and then, as shown in FIG. Then, the coating liquid is discharged to form a coating film on the member to be coated. At this time, the second supply port 32 is controlled by the coating liquid supply control means 38 so as to stop the supply of the coating liquid by closing the second supply valve 34 connected thereto. On the other hand, the coating liquid is supplied from the first supply port 31, and the coating liquid widened in the width direction by the upper manifold 11 and the lower manifold 12 is discharged from the discharge slit 22, whereby the member to be coated A uniform coating film is formed thereon.
図５（ａ）、（ｂ）は、本発明の他の実施形態における被塗布部材上に塗布膜を形成する塗布装置の構成の一例を示した図で、図５（ａ）は、塗布装置における塗布器の部分を拡大して示した縦断面図で、図５（ｂ）は、塗布装置の斜視図である。 FIGS. 5A and 5B are views showing an example of the configuration of a coating apparatus for forming a coating film on a member to be coated according to another embodiment of the present invention. FIG. FIG. 5 (b) is a perspective view of the coating device.
図５（ｂ）に示すように、本実施形態における塗布装置１は、ガラス基板等の枚葉基材である被塗布部材Ｗを保持する保持手段であるステージ２と、このステージ２上の被塗布部材Ｗに対して塗布液を吐出する塗布器１０と、塗布液を溜める液溜め部であるタンク６と、タンク６内の塗布液を塗布器１０に送る送液手段であるポンプ５と、塗布器１０を、ステージ２に対してＸ方向に相対移動させる駆動手段である駆動手段３とを備えている。タンク６内の塗布液は、ポンプ５により配管４を通じて、塗布器１０に供給される。 As shown in FIG. 5B, the coating apparatus 1 in this embodiment includes a stage 2 that is a holding unit that holds a member to be coated W that is a single-wafer base material such as a glass substrate, and a member to be coated on the stage 2. An applicator 10 that discharges the coating liquid to W, a tank 6 that is a liquid reservoir for storing the coating liquid, a pump 5 that is a liquid feeding means for feeding the coating liquid in the tank 6 to the applicator 10, and an applicator 10 is provided with a driving means 3 which is a driving means for moving relative to the stage 2 in the X direction. The coating liquid in the tank 6 is supplied to the applicator 10 through the pipe 4 by the pump 5.
塗布器１０は、図５（ａ）に示すように、塗布液が供給される第１の供給口３１と、第１の供給口３１に繋がる上段のマニホールド１１と、塗布液が吐出される吐出スリット２２と、吐出スリット２２に繋がる下段のマニホールド１２と、上段のマニホールド１１と下段のマニホールド１２とを連結する連結絞り流路２１とを備えている。上段のマニホールド１１には、上段のマニホールド１１内に溜まった気泡を外部に排出する第１の排出口４１が繋がれている。また、下段のマニホールド１２には、塗布液が供給される第２の供給口３２、及び下段のマニホールド１２内に溜まった気泡を外部に排出する第２の排出口４２が繋がれている。 As shown in FIG. 5A, the applicator 10 includes a first supply port 31 to which a coating liquid is supplied, an upper manifold 11 connected to the first supply port 31, and a discharge from which the coating liquid is discharged. A slit 22, a lower manifold 12 connected to the discharge slit 22, and a connecting throttle channel 21 that connects the upper manifold 11 and the lower manifold 12 are provided. The upper manifold 11 is connected to a first discharge port 41 that discharges bubbles accumulated in the upper manifold 11 to the outside. The lower manifold 12 is connected to a second supply port 32 through which a coating solution is supplied and a second discharge port 42 that discharges bubbles accumulated in the lower manifold 12 to the outside.
被塗布部材Ｗ上に塗布膜を形成する前に、第１の供給口３１及び第２の供給口３２から、それぞれ、上段のマニホールド１１及び下段のマニホールド１２内に、塗布液を供給しながら、上段のマニホールド１１及び下段のマニホールド１２内に溜まった気泡を、第１の排出口４１及び第２の排出口４２から外部に排出する。 Before forming the coating film on the member W to be coated, while supplying the coating liquid from the first supply port 31 and the second supply port 32 into the upper manifold 11 and the lower manifold 12, respectively, Bubbles accumulated in the upper manifold 11 and the lower manifold 12 are discharged to the outside from the first discharge port 41 and the second discharge port 42.
塗布器１０内の気泡を外部に排出した後、被塗布部材Ｗ上に塗布膜を形成する工程を開始する。図５（ａ）に示すように、吐出スリット２２の吐出口と被塗布部材Ｗとの間を、一定の間隔に保ち、塗布器１０を、Ｘ方向に移動させながら、吐出スリット２２から塗布液を吐出することによって、被塗布部材Ｗ上に塗布膜Ｍが形成される。 After discharging the bubbles in the applicator 10 to the outside, a process of forming a coating film on the member to be coated W is started. As shown in FIG. 5A, the coating liquid is discharged from the discharge slit 22 while moving the applicator 10 in the X direction while keeping a constant distance between the discharge port of the discharge slit 22 and the member W to be applied. The coating film M is formed on the member W to be coated.
このとき、上述したように、均一な塗布膜を形成するため、下段のマニホールド１２に繋がる第２の供給口３２は、被塗布部材Ｗ上に塗布膜Ｍを形成する間、塗布液の供給を停止するよう制御されていることが好ましい。 At this time, as described above, in order to form a uniform coating film, the second supply port 32 connected to the lower manifold 12 supplies the coating liquid while the coating film M is formed on the member W to be coated. It is preferably controlled to stop.
なお、塗布器１０内の気泡を排出する動作を挟まずに、複数の被塗布部材Ｗ上に塗布膜Ｍを連続して形成する場合、第２の供給口３２は長時間塗布液の供給が停止されるため、第２の供給口３２及びそれに繋がる貫通孔３７に充填されている塗布液は、次の気泡排出動作が行われるまでの間、長時間滞留する。これにより、塗布液の成分が時間経過により変質したり、塗布液に含まれる成分が固形化したりする恐れがある。このように劣化した塗布液が、次の気泡排出動作の際に第２の供給口３２から塗布器１０の内部に供給されると、塗布膜Ｍの成分が変質したり、固形化した成分が吐出スリット２２の一部を塞ぐことにより、塗布膜Ｍに縦スジ等の塗布欠陥を発生させたりするため、塗布膜Ｍの品質が悪化する恐れがある。 Note that when the coating film M is continuously formed on the plurality of members to be coated W without interposing the operation of discharging the bubbles in the applicator 10, the second supply port 32 can supply the coating liquid for a long time. Since it is stopped, the coating liquid filled in the second supply port 32 and the through hole 37 connected thereto stays for a long time until the next bubble discharging operation is performed. As a result, the components of the coating solution may change in quality over time, or the components contained in the coating solution may solidify. When the coating liquid thus deteriorated is supplied to the inside of the applicator 10 from the second supply port 32 during the next bubble discharging operation, the component of the coating film M is altered or the solidified component is changed. Since a coating defect such as a vertical stripe is generated in the coating film M by closing a part of the discharge slit 22, the quality of the coating film M may be deteriorated.
そのため、塗布膜Ｍを形成する前に、吐出スリット２２から塗布液を少量吐出して、塗布器１０の先端を初期化する工程があることが知られているが、この初期化工程において、塗布器１０への塗布液の供給を第２の供給口３２から実施するのが好ましい。これにより、第２の供給口３２及び貫通孔３７に充填されている塗布液が長時間滞留することがなく、塗布液の成分の変質や固形化を防ぎ、塗布膜Ｍの品質を維持することができる。 Therefore, it is known that there is a step of initializing the tip of the applicator 10 by discharging a small amount of the coating liquid from the discharge slit 22 before the coating film M is formed. It is preferable to supply the coating liquid to the container 10 from the second supply port 32. Thereby, the coating liquid filled in the second supply port 32 and the through-hole 37 does not stay for a long time, and the quality and quality of the coating film M can be maintained while preventing deterioration and solidification of the components of the coating liquid. Can do.
なお、貫通孔３７や第２の供給口３２に充填されている塗布液が長時間滞留しなければよく、初期化工程における塗布液の供給は、第１の供給口３１及び第２の供給口３２から同時に実施してもよい。 The coating liquid filled in the through hole 37 and the second supply port 32 does not have to stay for a long time, and the supply of the coating liquid in the initialization process is performed by the first supply port 31 and the second supply port. 32 may be performed simultaneously.
本実施形態によれば、２段のマニホールド１１、１２を備えた塗布器１０において、塗布器１０の下段のマニホールド１２に、塗布液を供給する第２の供給口３２を設けることにより、塗布器１０内に溜まった気泡を、確実かつ迅速に外部に排出することができる。これにより、均一かつ塗布欠陥のない塗布膜を形成する塗布器を提供することができる。 According to the present embodiment, in the applicator 10 including the two-stage manifolds 11 and 12, the applicator is provided by providing the second supply port 32 for supplying the coating liquid to the lower manifold 12 of the applicator 10. The bubbles accumulated in 10 can be discharged to the outside reliably and quickly. Thereby, the applicator which forms the coating film uniform and without a coating defect can be provided.
以上、本発明を好適な実施形態により説明してきたが、こうした記述は限定事項ではなく、もちろん、種々の改変が可能である。 As mentioned above, although this invention was demonstrated by suitable embodiment, such description is not a limitation matter and of course various modifications are possible.
例えば、上記実施形態では、２段のマニホールド１１、１２を備えた塗布器について説明したが、これに限定されず、下段のマニホールド１２が、互いに連結絞り流路で連結された複数のマニホールドを備えた塗布器にも適用することができる。この場合、第２の排出口４２は、下段のマニホールド１２を構成する複数のマニホールドのすべてに設けられている必要があるが、第２の供給口３２は、必ずしも、すべてのマニホールドに設ける必要はなく、これら複数のマニホールドのうち、少なくも１つ以上のマニホールドに設けられていればよい。これにより、第２の供給口３２を設けない場合に比べて、塗布器全体の気泡の排出にかかる時間を短くすることができる。 For example, in the above-described embodiment, the applicator including the two-stage manifolds 11 and 12 has been described. It can also be applied to other applicators. In this case, the second discharge ports 42 need to be provided in all of the plurality of manifolds constituting the lower manifold 12, but the second supply ports 32 need not necessarily be provided in all the manifolds. However, it is only necessary that at least one manifold among these manifolds be provided. Thereby, compared with the case where the 2nd supply port 32 is not provided, the time concerning discharge | emission of the bubble of the whole applicator can be shortened.
また、これら複数のマニホールドに第２の供給口３２を設ける場合、気泡の排出が遅いマニホールドに、第２の供給口３２を優先的に設けるのが好ましい。 Moreover, when providing the 2nd supply port 32 in these several manifolds, it is preferable to provide the 2nd supply port 32 preferentially in the manifold where discharge | emission of a bubble is slow.
図６は、本発明の他の実施形態における塗布器の構成を模式的に示した図である。 FIG. 6 is a diagram schematically showing a configuration of an applicator according to another embodiment of the present invention.
本実施形態における塗布器は、下段２のマニホールド１２が、２段のマニホールド１２ａ、１２ｂ（以下、上側のマニホールド１２ａ、下側のマニホールド１２ｂという）を備え、上段のマニホールド１１とともに、３段のマニホールドで構成されている。上段のマニホールド１１と上側のマニホールド１２ａとは、連結絞り流路２１ａによって連結され、上側のマニホールド１２ａと下側のマニホールド１２ｂとは、連結絞り流路２１ｂによって連結され、下側のマニホールド１２ｂは吐出スリット２２に繋がっている。 In the applicator according to this embodiment, the lower-stage manifold 12 includes two-stage manifolds 12a and 12b (hereinafter, referred to as an upper manifold 12a and a lower manifold 12b). It consists of The upper manifold 11 and the upper manifold 12a are connected by a connecting throttle channel 21a, the upper manifold 12a and the lower manifold 12b are connected by a connecting throttle channel 21b, and the lower manifold 12b is discharged. It is connected to the slit 22.
上段のマニホールド１１には、塗布液が供給される第１の供給口３１、及び、上段のマニホールド１１内に溜まった気泡５０を外部に排出する第１の排出口４１が繋がれている。また、上側のマニホールド１２ａには、塗布液が供給される第２の供給口３２、及び上側のマニホールド１２ａ内に溜まった気泡５０を外部に排出する第２の排出口４２ａが繋がれている。 Connected to the upper manifold 11 are a first supply port 31 through which a coating solution is supplied and a first discharge port 41 that discharges bubbles 50 accumulated in the upper manifold 11 to the outside. The upper manifold 12a is connected to a second supply port 32 through which a coating solution is supplied and a second discharge port 42a that discharges bubbles 50 accumulated in the upper manifold 12a to the outside.
一方、下側のマニホールド１２ｂには、塗布液が供給される第２の供給口が繋がれていない。その代わり、下側のマニホールド１２ｂは、その上面側に、中央部に向かうに従って高くなる傾斜面６０を有しており、傾斜面６０の上端に、下側のマニホールド１２ｂ内に溜まった気泡５０を外部に排出する第２の排出口４２ｂが設けられている。 On the other hand, the second supply port to which the coating liquid is supplied is not connected to the lower manifold 12b. Instead, the lower manifold 12b has an inclined surface 60 that becomes higher toward the center portion on the upper surface side, and bubbles 50 accumulated in the lower manifold 12b are formed at the upper end of the inclined surface 60. A second discharge port 42b for discharging to the outside is provided.
すなわち、本実施形態においては、下段のマニホールド１２のうち、気泡の排出が遅い上側のマニホールド１２ａに、第２の供給口３２を優先的に設けている。 In other words, in the present embodiment, the second supply port 32 is preferentially provided in the upper manifold 12a of the lower manifold 12 where bubbles are discharged slowly.
このような構成により、上段のマニホールド１１及び、第２のマニホールド１２のうち、上側のマニホールド１２ａ内に溜まった気泡５０は、第１の供給口３１及び第２の供給口３２から供給される塗布液の流れによって、第１の排出口４１及び第２の排出口４２ａまで押し出されるため、第１のマニホールド１１及び上側のマニホールド１２ａ内に溜まった気泡５０を、迅速に外部に排出することができる。 With such a configuration, the air bubbles 50 accumulated in the upper manifold 12a of the upper manifold 11 and the second manifold 12 are applied from the first supply port 31 and the second supply port 32. Since the liquid is pushed out to the first discharge port 41 and the second discharge port 42a, the bubbles 50 accumulated in the first manifold 11 and the upper manifold 12a can be quickly discharged to the outside. .
一方、第２のマニホールド１２のうち、下側のマニホールド１２ｂ内に溜まった気泡５０は、浮力により、傾斜面６０に沿って、傾斜面６０の上端に設けられた第２の排出口４２ｂに集まり、集まった気泡を、第２の排出口４２ｂから外部に排出することによって、下側のマニホールド１２ｂ内に溜まった気泡５０を、迅速に外部に排出することができる。 On the other hand, the bubbles 50 accumulated in the lower manifold 12b of the second manifold 12 gather along the inclined surface 60 at the second discharge port 42b provided at the upper end of the inclined surface 60 due to buoyancy. By discharging the collected bubbles to the outside from the second discharge port 42b, the bubbles 50 accumulated in the lower manifold 12b can be quickly discharged to the outside.
これにより、下段のマニホールド１２を複数のマニホールドで構成した塗布器において、塗布器全体の気泡の排出時間を短くすることができるとともに、第２の排出口４２を、複数のマニホールドのすべてに設ける必要がないため、塗布器の構成を簡略化することができる。 Thereby, in the applicator in which the lower manifold 12 is composed of a plurality of manifolds, it is possible to shorten the discharge time of bubbles in the entire applicator and to provide the second discharge ports 42 in all of the plurality of manifolds. Therefore, the configuration of the applicator can be simplified.
なお、本実施形態において、第２の排出口４２ｂを、下側のマニホールド１２ｂの中央部に設けたが、これに限定されず、傾斜面６０の上端であれば、どこに設けてもよい。 In the present embodiment, the second discharge port 42b is provided in the central portion of the lower manifold 12b. However, the present invention is not limited to this, and the second discharge port 42b may be provided anywhere as long as it is the upper end of the inclined surface 60.
また、下段のマニホールド１２が複数のマニホールドを備えた塗布器に、第２の供給口３２を設けた場合、吐出スリット２２から塗布液を吐出して、被塗布部材上に塗布膜を形成する間、第２の供給口３２からの塗布液の供給を停止することが好ましい。 When the lower manifold 12 is provided with a second supply port 32 in an applicator provided with a plurality of manifolds, the coating liquid is discharged from the discharge slit 22 to form a coating film on the member to be coated. It is preferable to stop the supply of the coating liquid from the second supply port 32.
また、上記実施形態では、上段のマニホールド１１と下段のマニホールド１２とを繋ぐ連結絞り流路２１が、スリット状の流路である場合を説明したが、これに限定されず、塗布器１０の幅方向に長く、かつ、その直交方向に狭く絞られた流路であればよい。例えば、図７（ａ）、（ｂ）に示すように、テーパ状に狭く絞られた流路、あるいは、段階的に狭く絞られた流路でもよい。 Moreover, although the said embodiment demonstrated the case where the connection throttle flow path 21 which connects the upper manifold 11 and the lower manifold 12 was a slit-shaped flow path, it is not limited to this, The width | variety of the applicator 10 is demonstrated. Any channel that is long in the direction and narrowed in the orthogonal direction may be used. For example, as shown in FIGS. 7A and 7B, a flow path narrowed in a tapered shape or a flow path narrowed in steps may be used.
また、上記実施形態では、塗布器１０が空の状態から、塗布器１０内に塗布液を初期充填する際の、塗布器１０内に溜まった気泡を外部に排出する機構を説明したが、これに限定されず、塗布膜の形成を開始した後でも、定期的に、塗布器１０内に溜まった気泡を外部に排出してもよい。 In the above embodiment, the mechanism for discharging the air bubbles accumulated in the applicator 10 when the applicator 10 is initially filled from the empty state has been described. However, the air bubbles accumulated in the applicator 10 may be periodically discharged to the outside even after the formation of the coating film is started.
また、上記実施形態では、第２の供給口３２を下段のマニホールド１２の幅方向中央部に設け、第２の排出口４２を下段のマニホールド１２の幅方向両端部に設けたが、これに限定されず、塗布液の流れによって気泡が第２の排出口４２に向かって押し出されるように、第２の供給口３２と第２の排出口４２の配置を決めればよい。例えば第２の供給口３２を下段のマニホールド１２の幅方向の一端に設け、第２の排出口４２を下段のマニホールド１２の幅方向の他端に設けてもよい。 In the above embodiment, the second supply port 32 is provided at the center in the width direction of the lower manifold 12, and the second discharge ports 42 are provided at both ends in the width direction of the lower manifold 12. However, the present invention is not limited to this. Instead, the arrangement of the second supply port 32 and the second discharge port 42 may be determined so that bubbles are pushed out toward the second discharge port 42 by the flow of the coating liquid. For example, the second supply port 32 may be provided at one end in the width direction of the lower manifold 12, and the second discharge port 42 may be provided at the other end in the width direction of the lower manifold 12.
また、上記実施形態では、本発明の塗布器を有する塗布装置が、ガラス基板等の枚葉基材に塗布液を塗布する塗布装置である場合について説明したが、これに限定されず、本発明の塗布器を有する塗布装置が、フィルム等の連続基材に塗布液を塗布する塗布装置であってもよい。 Moreover, although the said embodiment demonstrated the case where the coating device which has a coating device of this invention is a coating device which apply | coats a coating liquid to sheet | seat base materials, such as a glass substrate, it is not limited to this, Coating of this invention The coating apparatus which has a container may be a coating apparatus which apply | coats a coating liquid to continuous base materials, such as a film.
１ 塗布装置
２ ステージ
３ 駆動装置
４ 配管
５ ポンプ
６ タンク
１０ 塗布器
１１ 上段のマニホールド（第１のマニホールド）
１２ 下段のマニホールド（第２のマニホールド）
２１ 連結絞り流路
２２ 吐出スリット
３１ 第１の供給口
３２ 第２の供給口
３３ 第１の供給バルブ
３４ 第２の供給バルブ
３５ 配管
３６、３７ 貫通孔
３８ 塗布液供給制御手段
４１ 第１の排出口
４２ 第２の排出口
４３ 第１の排出バルブ
４４ 第２の排出バルブ
４５、４６ 貫通孔
４７、４８ 配管
４９ 気泡排出制御手段
５０ 気泡
６０ 傾斜面
1 Coating device
2 stage 3 drive unit
4 Piping 5 Pump
6 tanks
10 Applicator
11 Upper manifold (first manifold)
12 Lower manifold (second manifold)
21 Connected throttle channel
22 Discharge slit
31 First supply port
32 Second supply port
33 First supply valve
34 Second supply valve
35 Piping
36, 37 Through hole
38 Coating liquid supply control means 41 First discharge port
42 Second outlet
43 First discharge valve
44 Second discharge valve
45, 46 Through hole
47, 48 Piping 49 Bubble discharge control means 50 Bubble
60 inclined surface
Claims (9)
前記第１の供給口に繋がる第１のマニホールドと、
前記塗布液が吐出される吐出スリットと、
前記吐出スリットに繋がる第２のマニホールドと、
前記第１のマニホールドと前記第２のマニホールドとを連結する連結絞り流路と、
を備えた塗布器であって、
前記第１のマニホールドには、該第１のマニホールド内に溜まった気泡を外部に排出する第１の排出口が繋がれており、
前記第２のマニホールドには、前記塗布液が供給される第２の供給口、及び前記第２のマニホールド内に溜まった気泡を外部に排出する第２の排出口が繋がれていることを特徴とする塗布器。 A first supply port to which the coating liquid is supplied;
A first manifold connected to the first supply port;
A discharge slit through which the coating liquid is discharged;
A second manifold connected to the discharge slit;
A connecting throttle channel connecting the first manifold and the second manifold;
An applicator comprising:
The first manifold is connected to a first discharge port for discharging bubbles accumulated in the first manifold to the outside.
The second manifold is connected to a second supply port to which the coating liquid is supplied and a second discharge port for discharging bubbles accumulated in the second manifold to the outside. Applicator.
前記第２のマニホールド内に溜まった気泡は、前記第２の供給口から前記第２の排出口に向かって流れる塗布液によって、前記第２の排出口から外部に排出されることを特徴とする請求項１に記載の塗布器。 Bubbles accumulated in the first manifold are discharged from the first discharge port to the outside by the coating liquid flowing from the first supply port toward the first discharge port,
The bubbles accumulated in the second manifold are discharged to the outside from the second discharge port by the coating liquid flowing from the second supply port toward the second discharge port. The applicator according to claim 1.
前記第２のマニホールド内に溜まった気泡が、前記第２の排出口から外部に排出される間、前記第１の供給口は、塗布液の供給が停止され、かつ、前記第１の排出口は、気泡の排出が停止されることを特徴とする請求項１又は２に記載の塗布器。 While the air bubbles accumulated in the first manifold are discharged from the first discharge port to the outside, the second supply port stops supplying the coating liquid, and the second discharge port Will stop the discharge of bubbles,
While the bubbles accumulated in the second manifold are discharged to the outside from the second discharge port, the supply of the coating liquid is stopped at the first supply port, and the first discharge port The applicator according to claim 1 or 2, wherein the discharge of bubbles is stopped.
前記第２の排出口は、前記複数のマニホールドにそれぞれ設けられており、
前記第２の供給口は前記複数のマニホールドのうち、少なくとも１つ以上のマニホールドに設けられていることを特徴とする請求項１に記載の塗布器。 The second manifold is composed of a plurality of manifolds that are connected to each other along the discharge direction of the coating liquid by the connection throttle channel,
The second outlet is provided in each of the plurality of manifolds;
The applicator according to claim 1, wherein the second supply port is provided in at least one of the plurality of manifolds.
前記第２の排出口は、前記２段のマニホールドにそれぞれ設けられており、
前記第２の供給口は、前記２段のマニホールドのうち、上側のマニホールドにのみ設けられており、
前記２段のマニホールドのうち、下側のマニホールドの上端が、前記第２の排出口に向かって高くなるように傾斜していることを特徴とする請求項１に記載の塗布器。 The second manifold is composed of two-stage manifolds that are connected to each other along the discharge direction of the coating liquid by the connection throttle channel,
The second discharge ports are respectively provided in the two-stage manifolds,
The second supply port is provided only in the upper manifold of the two-stage manifolds,
2. The applicator according to claim 1, wherein, of the two-stage manifolds, an upper end of a lower manifold is inclined so as to become higher toward the second discharge port.
前記塗布器が、請求項１〜６のいずれか一項に記載の塗布器であることを特徴とする塗布装置。 A holding means for holding the member to be coated, an applicator for discharging the coating liquid to the member to be coated, a liquid reservoir for storing the coating liquid, and a liquid feed for sending the coating liquid in the liquid reservoir to the applicator Means, and drive means for moving at least one of the coated member on the holding means and the applicator relative to the other, and
The said applicator is an applicator as described in any one of Claims 1-6, The coating device characterized by the above-mentioned.
前記塗布器内に設けられた全てのマニホールド内に溜まった気泡を外部に排出する工程（ａ）と、
前記工程（ａ）の後に、塗布液を前記塗布器の吐出スリットから吐出して、前記被塗布部材上に塗布膜を形成する工程（ｂ）と、
を含み、
前記工程（ａ）において、
第１のマニホールド内に溜まった気泡は、第１の供給口から第１の排出口に向かって流れる塗布液によって、前記第１の排出口から外部に排出され、
第２のマニホールド内に溜まった気泡は、第２の供給口から第２の排出口に向かって流れる塗布液によって、前記第２の排出口から外部に排出され、
前記工程（ｂ）において、
前記第２のマニホールドに設けられた第２の供給口からの塗布液の供給が停止されることを特徴とする塗布方法。 A coating method for discharging a coating liquid from the applicator according to claim 1 to form a coating film on a member to be coated,
A step (a) of discharging bubbles accumulated in all the manifolds provided in the applicator;
After the step (a), a step of discharging a coating liquid from a discharge slit of the applicator to form a coating film on the member to be coated;
Including
In the step (a),
Bubbles accumulated in the first manifold are discharged from the first discharge port to the outside by the coating liquid flowing from the first supply port toward the first discharge port,
Bubbles accumulated in the second manifold are discharged from the second discharge port to the outside by the coating liquid flowing from the second supply port toward the second discharge port,
In the step (b),
An application method, wherein supply of an application liquid from a second supply port provided in the second manifold is stopped.
前記第２の排出口は前記複数のマニホールドにそれぞれ設けられており、
前記第２の供給口は前記複数のマニホールドのうち、少なくとも１つ以上のマニホールドに設けられており、
前記第２の供給口が設けられた前記マニホールド内に溜まった気泡は、第２の供給口から第２の排出口に向かって流れる塗布液によって、前記第２の排出口から外部に排出されることを特徴とする請求項８に記載の塗布方法。 The second manifold is composed of a plurality of manifolds that are connected to each other along the discharge direction of the coating liquid by connecting throttle channels.
The second outlets are respectively provided in the plurality of manifolds;
The second supply port is provided in at least one of the plurality of manifolds,
Bubbles accumulated in the manifold provided with the second supply port are discharged from the second discharge port to the outside by the coating liquid flowing from the second supply port toward the second discharge port. The coating method according to claim 8.
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014189106A JP6309407B2 (en) | 2014-09-17 | 2014-09-17 | Application device, application device, and application method |
| TW104124134A TWI664025B (en) | 2014-09-17 | 2015-07-24 | Applicator, coating device and coating method |
| KR1020150115218A KR20160033026A (en) | 2014-09-17 | 2015-08-17 | Coating machine, coating device, and coating method |
| CN201510593961.2A CN105413957B (en) | 2014-09-17 | 2015-09-17 | Spreader, apparatus for coating and coating method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014189106A JP6309407B2 (en) | 2014-09-17 | 2014-09-17 | Application device, application device, and application method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2016059862A JP2016059862A (en) | 2016-04-25 |
| JP6309407B2 true JP6309407B2 (en) | 2018-04-11 |
Family
ID=55492753
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2014189106A Active JP6309407B2 (en) | 2014-09-17 | 2014-09-17 | Application device, application device, and application method |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6309407B2 (en) |
| KR (1) | KR20160033026A (en) |
| CN (1) | CN105413957B (en) |
| TW (1) | TWI664025B (en) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102046758B1 (en) * | 2017-03-14 | 2019-12-02 | 닛산 지도우샤 가부시키가이샤 | Die head device, coating method and laminate forming device |
| KR102386531B1 (en) * | 2017-09-14 | 2022-04-15 | 엘지전자 주식회사 | Slurry Coating Apparatus |
| JP6847560B1 (en) * | 2019-12-20 | 2021-03-24 | 中外炉工業株式会社 | Coating device and coating method |
| JP7084433B2 (en) * | 2020-01-14 | 2022-06-14 | 日東電工株式会社 | Coating machine, film manufacturing system, and film manufacturing method |
| CN115106247B (en) * | 2021-03-23 | 2024-01-30 | 株式会社泰珂洛 | Coating device |
Family Cites Families (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0169677U (en) * | 1987-10-29 | 1989-05-09 | ||
| JPH06190845A (en) * | 1992-12-28 | 1994-07-12 | Hitachi Chem Co Ltd | Method and device for producing sheet |
| JP2000176351A (en) * | 1998-12-15 | 2000-06-27 | Konica Corp | Device and method for coating |
| JP2003154302A (en) * | 2001-11-21 | 2003-05-27 | Dainippon Printing Co Ltd | Coating device |
| US7083826B2 (en) * | 2003-05-16 | 2006-08-01 | 3M Innovative Properties Company | Coating die and method for use |
| US7082262B2 (en) * | 2004-04-22 | 2006-07-25 | Nordson Corporation | Integral manifold for liquid material dispensing systems |
| US20060175432A1 (en) * | 2005-01-21 | 2006-08-10 | Reuben Brock | Apparatus and method for applying controlled patterns of liquid |
| JP4752275B2 (en) * | 2005-01-27 | 2011-08-17 | 凸版印刷株式会社 | Coating device |
| JP4835003B2 (en) * | 2005-02-07 | 2011-12-14 | 凸版印刷株式会社 | Slit nozzle, bubble discharge method of slit nozzle, and coating apparatus |
| TWI561312B (en) * | 2006-03-31 | 2016-12-11 | Toray Industries | Coating method, coating device and manufacturing method and manufacturing device for components of a display |
| JP2008114137A (en) * | 2006-11-02 | 2008-05-22 | Toray Ind Inc | Coater, coating apparatus and method, and apparatus and method of manufacturing member for display |
| JP4717782B2 (en) * | 2006-11-13 | 2011-07-06 | 大日本スクリーン製造株式会社 | Substrate processing equipment |
| JP2008253966A (en) * | 2007-04-09 | 2008-10-23 | Toyota Motor Corp | Die for paste application |
| JP5499503B2 (en) * | 2008-09-25 | 2014-05-21 | 凸版印刷株式会社 | Coating apparatus and coating method |
| JP4865893B2 (en) * | 2009-09-28 | 2012-02-01 | パナソニック株式会社 | Die head and liquid applicator |
| JP5258812B2 (en) * | 2010-02-17 | 2013-08-07 | 東京エレクトロン株式会社 | Slit nozzle cleaning device and coating device |
| KR101107651B1 (en) * | 2011-07-27 | 2012-01-20 | 성안기계 (주) | Slot die of improved coating uniformity |
| JP2013176736A (en) * | 2012-02-29 | 2013-09-09 | Toyota Motor Corp | Coating apparatus |
| JP5494788B2 (en) * | 2012-12-06 | 2014-05-21 | 大日本印刷株式会社 | Die head and die coater provided with the same |
| JP6068271B2 (en) * | 2013-06-10 | 2017-01-25 | 東レ株式会社 | Coating device and coating device |
-
2014
- 2014-09-17 JP JP2014189106A patent/JP6309407B2/en active Active
-
2015
- 2015-07-24 TW TW104124134A patent/TWI664025B/en active
- 2015-08-17 KR KR1020150115218A patent/KR20160033026A/en unknown
- 2015-09-17 CN CN201510593961.2A patent/CN105413957B/en active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN105413957A (en) | 2016-03-23 |
| KR20160033026A (en) | 2016-03-25 |
| TWI664025B (en) | 2019-07-01 |
| CN105413957B (en) | 2019-06-21 |
| JP2016059862A (en) | 2016-04-25 |
| TW201611907A (en) | 2016-04-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6309407B2 (en) | Application device, application device, and application method | |
| CN107107618B (en) | Ink gun and ink-jet recording apparatus | |
| JP6490409B2 (en) | Coating apparatus, coating method, and manufacturing method of display member | |
| TWI594799B (en) | Applicator, and coating device | |
| JP2006334483A (en) | Coating apparatus | |
| JP2016182576A (en) | Slit nozzle, coating method, and coating applicator | |
| TW201302495A (en) | Method and apparatus for delivering ink material from a discharge nozzle | |
| JP6367074B2 (en) | Die bleeding method | |
| TW201940244A (en) | Applicator and method for discharging air in applicator | |
| JP2000218209A (en) | Method and device for performing curtain coating | |
| JP2007029835A (en) | Coating method and coating device, and manufacturing method of member for display | |
| JP6873586B1 (en) | Coating device | |
| JP2016159213A (en) | Liquid filling apparatus, liquid filling method and coating applicator | |
| JP5499503B2 (en) | Coating apparatus and coating method | |
| JP2013099738A (en) | Curtain coater | |
| JP2009028676A (en) | Ink filling apparatus | |
| JPH09155270A (en) | Coating liquid supplying mechanism for coating applicator | |
| JP2015167933A (en) | Coating method and coating device | |
| JP6960111B2 (en) | Coating equipment | |
| JP5136042B2 (en) | Liquid material discharging method and apparatus | |
| JP2007301535A (en) | Adhesive material applicator | |
| WO2020075421A1 (en) | Degassing device and coating device | |
| JP5490763B2 (en) | Coating device | |
| US11440330B2 (en) | Liquid delivery in an inkjet type dispenser | |
| WO2013140620A1 (en) | Curtain coater |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170622 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180220 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180306 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180314 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6309407 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |