JP6290837B2 - Fluorescent display tube manufacturing method, fluorescent display tube - Google Patents

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Description

本発明は、アノード電極と蛍光体とを有するアノードと、蛍光体を発光させるための電子を放出するフィラメントとを有する蛍光表示管とその製造方法とに関する。   The present invention relates to a fluorescent display tube having an anode having an anode electrode and a phosphor, and a filament that emits electrons for causing the phosphor to emit light, and a method for manufacturing the same.
特開平11−339699号公報JP 11-339699 A 特開2009−272260号公報JP 2009-272260 A
各種情報を表示するための表示装置として、蛍光表示管(VFD:Vacuum Fluorescent Display)を用いた表示装置が知られている。蛍光表示管は、真空容器内に少なくともフィラメント(直熱形カソード)とアノードとが配置され、フィラメントに直流や交流或いはパルス電圧を印加して加熱させることで熱電子を放出させ、熱電子をアノードに形成された蛍光体に衝突発光させることで所望のパターンが表示される。   As a display device for displaying various information, a display device using a fluorescent display tube (VFD: Vacuum Fluorescent Display) is known. A fluorescent display tube has at least a filament (directly heated cathode) and an anode disposed in a vacuum vessel, and heats electrons by emitting direct current, alternating current, or pulse voltage to heat the filaments. A desired pattern is displayed by causing the phosphor formed in the above to emit light by collision.
蛍光表示管を備えた表示装置としては、例えば車両用のヘッドアップディスプレイ(以下「HUD」と表記)として用いられるものもあるが、HUDの場合、蛍光表示管の発光面(表示面)に表示されるパターンをユーザが直接目視するのではなく該発光面から発せられたパターンをフロントガラスやコンバイナー等の対象物に拡大投影して目視させるため、ユーザが実際に目視する表示パターンの見栄えを考慮すると、アノード(蛍光体)の配置間隔(アノード間のギャップ)をできるだけ狭めることが要求される。   As a display device including a fluorescent display tube, for example, there is a display device used as a head-up display (hereinafter referred to as “HUD”) for a vehicle. The pattern emitted from the light-emitting surface is enlarged and projected on an object such as a windshield or a combiner, and the appearance of the display pattern actually viewed by the user is taken into consideration. Then, it is required to reduce the arrangement interval (gap between the anodes) of the anode (phosphor) as much as possible.
しかしながら、アノード間のギャップを狭めると、アノードにおける蛍光体外縁部の輝度が低下するいわゆる「字欠け」が発生し易くなる。これは、アノード間(アノード電極間)を仕切るように配置された絶縁体の電位がグランド電位とされるため、いわゆる電子ケラレによりフィラメントから蛍光体外縁部に届く電子量が蛍光体中央部と比較して少なくなるためである。   However, when the gap between the anodes is narrowed, so-called “letter missing” that lowers the luminance of the outer peripheral edge of the phosphor in the anode tends to occur. This is because the electric potential of the insulator arranged so as to partition between the anodes (between the anode electrodes) is the ground potential, so the amount of electrons reaching from the filament to the outer edge of the phosphor by so-called electronic vignetting is compared with the central portion of the phosphor. This is because it decreases.
字欠けの抑制を図る上では、アノード間に平面グリッドとしての電極(周囲電極)を設けて、該周囲電極を駆動することで蛍光体周囲の電界をコントロールすることが有効である。例えば、上記特許文献1には、平面グリッドを設けた蛍光表示管が開示されている。   In order to suppress chipping, it is effective to provide an electrode (peripheral electrode) as a planar grid between the anodes and drive the peripheral electrode to control the electric field around the phosphor. For example, Patent Document 1 discloses a fluorescent display tube provided with a planar grid.
なお、関連する従来技術については、上記特許文献1と共に、上記特許文献2を挙げることができる。特許文献2には、アノード配線をフォトリソ(フォトリソグラフィ)法で形成する技術が開示されている。   In addition, about the related prior art, the said patent document 2 can be mentioned with the said patent document 1. FIG. Patent Document 2 discloses a technique for forming an anode wiring by a photolithography method.
ここで、蛍光表示管は、ガラス基板に対し配線層や絶縁層、電極層、及び蛍光体を所定にパターニングして積層形成していくことで製造可能である。この際、電極層や絶縁層の積層形成には、印刷形成(例えばパターン印刷)が採用されることが製造コストの削減の観点から望ましい。   Here, the fluorescent display tube can be manufactured by laminating and forming a wiring layer, an insulating layer, an electrode layer, and a phosphor on a glass substrate in a predetermined pattern. At this time, it is desirable from the viewpoint of reducing the manufacturing cost that printing formation (for example, pattern printing) is adopted for the lamination formation of the electrode layer and the insulating layer.
しかしながら、印刷形成によると、例えばスパッタ法や真空蒸着法等といった薄膜形成によるパターニングを行う場合との比較で、アノード間のギャップを狭く形成するのが困難である。特に、字欠け抑制のためアノード間に上述した周囲電極を形成しようとすると、アノード間のギャップは大きくならざるを得ず、表示パターンの精細感という観点で表示品質の悪化を招いてしまう。   However, according to the print formation, it is difficult to form a narrow gap between the anodes as compared with the case where patterning is performed by thin film formation such as sputtering or vacuum deposition. In particular, when the above-described peripheral electrode is formed between the anodes in order to suppress chipping, the gap between the anodes must be increased, and the display quality is deteriorated from the viewpoint of the fineness of the display pattern.
そこで、本発明は上記した問題点を克服し、字欠けの抑制とアノード間の狭ギャップ化の双方の面で表示品質の向上を図った蛍光表示管をより低コストに実現することを目的とする。   Therefore, the present invention has an object to overcome the above-mentioned problems and to realize a fluorescent display tube that improves display quality in terms of both suppression of missing characters and a narrow gap between anodes at a lower cost. To do.
本発明に係る蛍光表示管の製造方法は、アノード電極と蛍光体とを有するアノードと、前記蛍光体を発光させるための電子を放出するフィラメントとを有する蛍光表示管の製造方法であって、ZnO、ITO、又はSnO2の何れかの粉末による導電性材料と感光剤とを含有する印刷ペーストを塗布して形成された導電感光層に対する露光パターニングを行って、前記アノード電極と前記アノード電極の周囲電極とを形成する電極形成工程を有するものである。 A method of manufacturing a fluorescent display tube according to the present invention is a method of manufacturing a fluorescent display tube having an anode having an anode electrode and a phosphor, and a filament that emits electrons for causing the phosphor to emit light. The conductive photosensitive layer formed by applying a printing paste containing a conductive material and a photosensitive agent made of powder of any one of ITO, ITO, or SnO 2 is subjected to exposure patterning, and the periphery of the anode electrode and the anode electrode And an electrode forming step of forming an electrode.
上記のように導電感光層に対する露光パターニングよってアノード電極とその周囲電極とを形成することで、周囲電極を設けて字欠けの抑制を図った蛍光表示管として、電極となるべき層の積層を印刷により行っても、アノード間のギャップを微細化することが可能とされる。さらに、ZnO、ITO、SnO2は露光に用いる紫外線に対する透過率が比較的高く、露光による硬化作用を阻害し難いため、この点もアノード間のギャップの微細化に寄与する。 As described above, the anode electrode and its surrounding electrode are formed by exposure patterning on the conductive photosensitive layer, and as a fluorescent display tube with the surrounding electrode provided to suppress missing characters, the layer to be the electrode is printed. The gap between the anodes can be miniaturized even if this is performed. Furthermore, since ZnO, ITO, and SnO 2 have a relatively high transmittance with respect to ultraviolet rays used for exposure and it is difficult to inhibit the curing action by exposure, this point also contributes to the miniaturization of the gap between the anodes.
上記した本発明に係る蛍光表示管の製造方法においては、前記印刷ペーストにおける前記導電性材料の含有率が40wt%〜60wt%とされることが望ましい。   In the above-described method for manufacturing a fluorescent display tube according to the present invention, it is desirable that the content of the conductive material in the printing paste is 40 wt% to 60 wt%.
導電性材料の含有率を適切に設定することにより、電極となるべき膜を成膜精度を確保しつつ形成することが可能となる。   By appropriately setting the content ratio of the conductive material, it is possible to form a film to be an electrode while ensuring film formation accuracy.
上記した本発明に係る蛍光表示管の製造方法においては、前記導電性材料の粉末平均粒径が1μm〜10μmとされることが望ましい。   In the above-described method for manufacturing a fluorescent display tube according to the present invention, it is desirable that the conductive material has a powder average particle diameter of 1 μm to 10 μm.
導電性材料の粉末粒径を適切に設定することにより、良好な印刷性とパターニング性との両立を図ることが可能となる。   By appropriately setting the powder particle size of the conductive material, it is possible to achieve both good printability and patternability.
上記した本発明に係る蛍光表示管の製造方法においては、前記感光剤は感光性樹脂を5wt%〜10wt%含有することが望ましい。   In the above-described method for manufacturing a fluorescent display tube according to the present invention, the photosensitive agent preferably contains 5 wt% to 10 wt% of a photosensitive resin.
感光剤における感光性樹脂の含有率を適切に設定することにより、良好な印刷性とパターニング性との両立を図ることが可能となる。   By appropriately setting the content of the photosensitive resin in the photosensitive agent, it is possible to achieve both good printability and patternability.
上記した本発明に係る蛍光表示管の製造方法においては、前記導電感光層を膜厚5μm〜15μmにより形成することが望ましい。   In the above-described method for manufacturing a fluorescent display tube according to the present invention, it is desirable to form the conductive photosensitive layer with a film thickness of 5 μm to 15 μm.
導電感光層の膜厚を適切に設定することにより、電極としての良好な特性の確保と良好なパターンニング性との両立を図ることが可能となる。   By appropriately setting the film thickness of the conductive photosensitive layer, it is possible to ensure both good characteristics as an electrode and good patterning properties.
本発明によれば、字欠けの抑制とアノード間の狭ギャップ化の双方の面で表示品質の向上を図った蛍光表示管をより低コストに実現することができる。   According to the present invention, it is possible to realize a fluorescent display tube that is improved in display quality in terms of both suppression of chipping and a narrow gap between anodes at a lower cost.
実施の形態としての蛍光表示管の概略断面構造図である。It is a schematic sectional structure figure of the fluorescent display tube as an embodiment. 実施の形態としての蛍光表示管が有する表示部の概略平面図である。It is a schematic plan view of the display part which the fluorescent display tube as an embodiment has. 字欠けの発生要因についての説明図である。It is explanatory drawing about the cause of character missing. 周囲電極による字欠け抑制効果についての説明図である。It is explanatory drawing about the character chip | tip suppression effect by a surrounding electrode. 実施の形態としての蛍光表示管の製造方法についての説明図である。It is explanatory drawing about the manufacturing method of the fluorescent display tube as embodiment. 同じく、実施の形態としての蛍光表示管の製造方法についての説明図である。Similarly, it is explanatory drawing about the manufacturing method of the fluorescent display tube as an embodiment. 組成例1による印刷ペーストを用いた電極のパターンニングを行った結果を示した図である。It is the figure which showed the result of having patterned the electrode using the printing paste by the composition example 1. FIG. 組成例2による印刷ペーストを用いた電極のパターンニングを行った結果を示した図である。It is the figure which showed the result of having patterned the electrode using the printing paste by the composition example 2. FIG. 組成例3による印刷ペーストを用いた電極のパターンニングを行った結果を示した図である。It is the figure which showed the result of having patterned the electrode using the printing paste by the composition example 3. FIG. 実施の形態としての蛍光表示管を備えた表示装置の回路構成を示したブロック図である。It is the block diagram which showed the circuit structure of the display apparatus provided with the fluorescent display tube as embodiment.
以下、本発明に係る実施の形態について説明する。
なお、説明は以下の順序で行う。

<1.蛍光表示管の構造>
<2.製造方法>
<3.表示装置の構成>
<4.実施の形態のまとめ>
<5.変形例>
Embodiments according to the present invention will be described below.
The description will be given in the following order.

<1. Structure of fluorescent display tube>
<2. Manufacturing method>
<3. Configuration of display device>
<4. Summary of Embodiment>
<5. Modification>
<1.蛍光表示管の構造>

図1及び図2は、本発明に係る実施の形態としての蛍光表示管1の構造についての説明図であり、図1は蛍光表示管1の概略断面構造を示し、図2は蛍光表示管1に形成されたアノード3の配置パターンを例示する図として、蛍光表示管1が有する表示部1aの概略平面図を示している。なお、図1では、主として表示部1aにおける概略断面構造を示している。
<1. Structure of fluorescent display tube>

1 and 2 are explanatory views of the structure of a fluorescent display tube 1 as an embodiment according to the present invention. FIG. 1 shows a schematic cross-sectional structure of the fluorescent display tube 1, and FIG. As a diagram illustrating the arrangement pattern of the anodes 3 formed in FIG. 1, a schematic plan view of the display unit 1a of the fluorescent display tube 1 is shown. FIG. 1 mainly shows a schematic cross-sectional structure in the display unit 1a.
蛍光表示管1は、いわゆるセグメント表示タイプの蛍光表示管とされ、実現したい表示パターン(図中では数字や矢印等の図形)に応じた形状、個数によるアノード3が配置されている。例えば、図2中に例示された数字部分については、いわゆる7セグメント表示により任意の数値を切り替え表示可能とするべく、桁ごとに7つのアノード3が配置されている。
本実施の形態では、蛍光表示管1として、車両用のヘッドアップディスプレイ(以下「HUD」)装置に適用される蛍光表示管を例示する。
The fluorescent display tube 1 is a so-called segment display type fluorescent display tube, and anodes 3 having shapes and numbers corresponding to display patterns (graphic figures such as numbers and arrows in the figure) to be realized are arranged. For example, in the numerical part illustrated in FIG. 2, seven anodes 3 are arranged for each digit so that an arbitrary numerical value can be switched and displayed by so-called seven-segment display.
In the present embodiment, the fluorescent display tube 1 is exemplified by a fluorescent display tube applied to a vehicle head-up display (hereinafter “HUD”) device.
蛍光表示管1においては、アノード3を発光させるために必要な配線や電極等を含む構造体がガラス容器2内に真空封止されている(図1参照)。
蛍光表示管1において、ガラス容器2の底部を構成するガラス基板2a上には、アノード3に対する駆動電圧を供給するためのアノード配線5がアノード3ごとに形成されている。各アノード3は、フォトリソ電極32aと、フォトリソ電極32a上に形成された蛍光体31と、フォトリソ電極32aに接合された貫通電極32bとを有している。
ここで、各アノード3において、貫通電極32bとフォトリソ電極32aとで形成される電極をアノード電極32と表記する。
In the fluorescent display tube 1, a structure including wiring, electrodes and the like necessary for causing the anode 3 to emit light is vacuum-sealed in the glass container 2 (see FIG. 1).
In the fluorescent display tube 1, an anode wiring 5 for supplying a driving voltage to the anode 3 is formed for each anode 3 on a glass substrate 2 a constituting the bottom of the glass container 2. Each anode 3 includes a photolithography electrode 32a, a phosphor 31 formed on the photolithography electrode 32a, and a through electrode 32b joined to the photolithography electrode 32a.
Here, in each anode 3, an electrode formed by the through electrode 32 b and the photolithography electrode 32 a is referred to as an anode electrode 32.
各アノード配線5には、対応するアノード3における貫通電極32bが接合され、これによりアノード配線5を介してフォトリソ電極32aに駆動電圧を印加可能とされている。すなわち、アノード電極32上に形成された蛍光体31を発光可能とされている。   Each anode wiring 5 is joined to a through electrode 32 b in the corresponding anode 3, so that a driving voltage can be applied to the photolithography electrode 32 a via the anode wiring 5. That is, the phosphor 31 formed on the anode electrode 32 can emit light.
また、蛍光表示管1には、第一絶縁層8と第二絶縁層9とによる絶縁層が形成されている。第一絶縁層8は、一部がガラス基板2aに接するように形成され、第二絶縁層9は一部が第一絶縁層8に接するように形成されている。これら第一絶縁層8と第二絶縁層9とによる絶縁層は、アノード3ごとのアノード配線5及びアノード電極32同士が電気的に絶縁されるように形成されている。   In addition, the fluorescent display tube 1 is formed with an insulating layer including a first insulating layer 8 and a second insulating layer 9. The first insulating layer 8 is formed so that a part thereof is in contact with the glass substrate 2 a, and the second insulating layer 9 is formed so that a part thereof is in contact with the first insulating layer 8. The insulating layers of the first insulating layer 8 and the second insulating layer 9 are formed so that the anode wiring 5 and the anode electrode 32 for each anode 3 are electrically insulated from each other.
また、蛍光表示管1には、アノード3の周囲を囲う周囲電極6と、周囲電極6に印加すべき電圧を供給するための周囲電極配線7とが形成されている。周囲電極配線7はガラス基板2a上に形成され、周囲電極6は、フォトリソ電極6aと、フォトリソ電極6aと周囲電極配線7との間を接合する貫通電極6bとを有している。
周囲電極6及び周囲電極配線7は、アノード配線5及びアノード電極32との間で第一絶縁層8及び第二絶縁層9による電気的絶縁関係が得られるように形成されている。
なお、図1では周囲電極6と周囲電極配線7との間を接合する貫通電極6bが一つのみ示されているが、貫通電極6bは複数カ所に設けられてもよい。
Further, the fluorescent display tube 1 is formed with a peripheral electrode 6 surrounding the anode 3 and a peripheral electrode wiring 7 for supplying a voltage to be applied to the peripheral electrode 6. The peripheral electrode wiring 7 is formed on the glass substrate 2 a, and the peripheral electrode 6 has a photolithography electrode 6 a and a through electrode 6 b that joins between the photolithography electrode 6 a and the peripheral electrode wiring 7.
The peripheral electrode 6 and the peripheral electrode wiring 7 are formed such that an electrical insulation relationship between the first insulating layer 8 and the second insulating layer 9 is obtained between the anode wiring 5 and the anode electrode 32.
In FIG. 1, only one through electrode 6b is shown that joins between the peripheral electrode 6 and the peripheral electrode wiring 7, but the through electrode 6b may be provided at a plurality of locations.
なお、図1及び図2において、表示部1aは、上記により説明したガラス基板2a、アノード3(アノード電極32を含む)、アノード配線5、周囲電極6、周囲電極配線7、第一絶縁層8、及び第二絶縁層9を含む部分を指す。   1 and 2, the display unit 1a includes the glass substrate 2a, the anode 3 (including the anode electrode 32), the anode wiring 5, the peripheral electrode 6, the peripheral electrode wiring 7, and the first insulating layer 8 described above. And a portion including the second insulating layer 9.
本実施の形態の蛍光表示管1は、上記のように設けられた周囲電極6に電圧印加されることで、字欠けの抑制が図られる。
この点について、図3及び図4を参照して説明する。
図3Aは、従来の蛍光表示管における表示部の概略断面構造図であり、図3Bはフィラメント4とアノード3との間の電位分布(図中一点鎖線)及び電子軌道(図中太矢印)の模式図である。
In the fluorescent display tube 1 of the present embodiment, the lack of characters can be suppressed by applying a voltage to the peripheral electrode 6 provided as described above.
This point will be described with reference to FIGS.
FIG. 3A is a schematic cross-sectional structure diagram of a display portion in a conventional fluorescent display tube, and FIG. 3B is a diagram of potential distribution (dashed line in the figure) and electron orbit (thick arrow in the figure) between the filament 4 and the anode 3. It is a schematic diagram.
図3Aに示すように、従来の表示部においては、各アノード3が有するアノード電極32’は、貫通電極32b’と例えばパターン印刷により形成された印刷電極32a’とを有しており、印刷電極32a’は第二絶縁層9上に形成され、貫通電極32b’は周囲を第二絶縁層9に覆われつつ印刷電極32a’とアノード電極5との間を接合している。そして、印刷電極32a’上には蛍光体31が形成されている。
このような従来の構造によると、各アノード3の周囲に第二絶縁層9が形成されているため、アノード配線5を介してアノード3に電圧印加しても、図3Bに示すようにフィラメント4からの電子が蛍光体31の外縁部(図中の破線部)に届き難くなる。これは、蛍光体31周囲の第二絶縁層9の電位がグランド電位とされるため、いわゆる電子ケラレによりフィラメント4から蛍光体31の外縁部に届く電子量が蛍光体31の中央部と比較して少なくなるためである。
この結果、蛍光体31の外縁部における発光光量、すなわち表示セグメントの外縁部の発光光量が不足するいわゆる「字欠け」が生じてしまう。
As shown in FIG. 3A, in the conventional display unit, the anode electrode 32 ′ included in each anode 3 includes a through electrode 32b ′ and a printed electrode 32a ′ formed by pattern printing, for example. 32 a ′ is formed on the second insulating layer 9, and the through electrode 32 b ′ joins between the printed electrode 32 a ′ and the anode electrode 5 while being covered with the second insulating layer 9. A phosphor 31 is formed on the print electrode 32a ′.
According to such a conventional structure, since the second insulating layer 9 is formed around each anode 3, even if a voltage is applied to the anode 3 through the anode wiring 5, the filament 4 as shown in FIG. 3B. It becomes difficult for the electrons from the light to reach the outer edge portion (broken line portion in the figure) of the phosphor 31. This is because the potential of the second insulating layer 9 around the phosphor 31 is the ground potential, so that the amount of electrons reaching the outer edge of the phosphor 31 from the filament 4 by so-called electronic vignetting is compared with the central portion of the phosphor 31. This is because it decreases.
As a result, a so-called “letter loss” occurs in which the amount of emitted light at the outer edge of the phosphor 31, that is, the amount of emitted light at the outer edge of the display segment is insufficient.
これに対し、周囲電極6を設けた実施の形態の蛍光表示管1によれば、図4に示すように蛍光体31の周辺部における電位を従来よりも高めることができ、蛍光体31の外縁部に届く電子量を従来よりも増大させることが可能となる。
従って、「字欠け」の抑制が図られる。
On the other hand, according to the fluorescent display tube 1 of the embodiment provided with the peripheral electrode 6, as shown in FIG. It is possible to increase the amount of electrons that reach the part more than before.
Therefore, suppression of “letter missing” is achieved.
<2.製造方法>

ここで、前述もしたように特にHUDに適用される蛍光表示管1については、アノード3の配置間隔(アノード3間のギャップ)はできるだけ狭めることが要請される。
微細パターンの形成には、例えばスパッタ法や真空蒸着法等といった薄膜形成によるパターニングを行うことが有効であるが、製造のコストの増加を助長するため望ましくない。
<2. Manufacturing method>

Here, as described above, especially for the fluorescent display tube 1 applied to the HUD, it is required that the arrangement interval of the anodes 3 (gap between the anodes 3) be as narrow as possible.
For forming a fine pattern, it is effective to perform patterning by thin film formation such as sputtering or vacuum deposition, but this is not desirable because it promotes an increase in manufacturing cost.
そこで、本実施の形態では蛍光表示管1における電極層や絶縁層の積層形成に印刷形成を適用可能とし、製造コストの削減を図る。   Therefore, in the present embodiment, it is possible to apply the printing formation to the lamination formation of the electrode layer and the insulating layer in the fluorescent display tube 1, thereby reducing the manufacturing cost.
図5及び図6を参照し、実施の形態としての蛍光表示管1の製造方法について説明する。
実施の形態の製造方法では、先ず、図5Aに示す配線形成工程を行う。配線形成工程では、ガラス基板2a上にアノード3ごとのアノード配線5、及び周囲電極6用の周囲電極配線7を形成する。本例では、アノード配線5、周囲電極配線7の材料としてアルミを用いており、これらの形成(パターニング)は例えばスパッタ法やフォトリソグラフィ法により行う。
With reference to FIG.5 and FIG.6, the manufacturing method of the fluorescent display tube 1 as embodiment is demonstrated.
In the manufacturing method of the embodiment, first, the wiring forming step shown in FIG. 5A is performed. In the wiring formation step, the anode wiring 5 for each anode 3 and the peripheral electrode wiring 7 for the peripheral electrode 6 are formed on the glass substrate 2a. In this example, aluminum is used as the material of the anode wiring 5 and the peripheral electrode wiring 7, and the formation (patterning) of these is performed by, for example, sputtering or photolithography.
次いで、図5Bに示す第一絶縁層形成工程を行う。第一絶縁層形成工程では、アノード3における貫通電極32b、及び周囲電極6における貫通電極6bが形成されるべき位置を避けて、ガラス基板2a上への第一絶縁層8の形成を行う。第一絶縁層形成工程は、パターン印刷により行われる。本例では、第一絶縁層8の材料としてガラスを用いており、第一絶縁層形成工程では、ガラスペーストをパターン印刷した後、焼成により硬化させる。   Next, a first insulating layer forming step shown in FIG. 5B is performed. In the first insulating layer forming step, the first insulating layer 8 is formed on the glass substrate 2a while avoiding positions where the through electrode 32b in the anode 3 and the through electrode 6b in the surrounding electrode 6 are to be formed. The first insulating layer forming step is performed by pattern printing. In this example, glass is used as the material of the first insulating layer 8, and in the first insulating layer forming step, the glass paste is pattern-printed and then cured by baking.
次いで、図5Cに示す貫通電極形成工程により、アノード配線5上に貫通電極32b、周囲電極配線7上に貫通電極6bをそれぞれ形成する。貫通電極32b、6bの材料には例えば銀が用いられ、貫通電極形成工程では銀ペーストをパターン印刷することで貫通電極32b、6bを形成する。   Next, the through electrode 32 b is formed on the anode wiring 5 and the through electrode 6 b is formed on the peripheral electrode wiring 7 by the through electrode forming process shown in FIG. 5C. For example, silver is used as the material of the through electrodes 32b and 6b. In the through electrode forming step, the through electrodes 32b and 6b are formed by pattern printing of a silver paste.
さらに、図5Dに示す第二絶縁層形成工程により、第二絶縁層9を貫通電極32b、6bに接しないように形成する。第二絶縁層形成工程では、ペースト状とされた第2絶縁層9の形成材料をパターン印刷する。本例の場合、第二絶縁層9としては第一絶縁層8と同様にガラスが用いられ、第二絶縁層形成工程ではガラスペーストをパターン印刷した後、焼成により硬化させる。   Further, the second insulating layer 9 is formed not to contact the through electrodes 32b and 6b by the second insulating layer forming step shown in FIG. 5D. In the second insulating layer forming step, the paste forming material for forming the second insulating layer 9 is pattern printed. In the case of this example, glass is used as the second insulating layer 9 similarly to the first insulating layer 8, and in the second insulating layer forming step, a glass paste is pattern-printed and then cured by baking.
次いで、図6A及び図6Bに示すフォトリソ電極形成工程を行う。
フォトリソ電極形成工程では、上記した第二絶縁層形成工程までの工程により作成された構造体上に対し、先ずは図6Aに示すように導電性ペーストppを例えばスクリーン印刷により一面に(ベタ塗り状に)塗布する。導電性ペーストppは、導電性材料と感光剤とを含有する印刷用のペーストであり、本例では、導電性材料にZnO(酸化亜鉛)粉末が採用され、感光剤に紫外線硬化樹脂の一種であるPVA−SBQ(PVA:ポリビニルアルコール、SBQ:スチリルビリジニウム塩付加)が採用され、これらが溶剤により所要の粘度(印刷に適した粘度)に調整されてペースト状に形成されている。
Next, a photolithography electrode forming step shown in FIGS. 6A and 6B is performed.
In the photolithography electrode forming process, first, as shown in FIG. 6A, the conductive paste pp is applied to the entire surface formed by the processes up to the second insulating layer forming process, for example, by screen printing (solid coating). To apply). The conductive paste pp is a printing paste containing a conductive material and a photosensitive agent. In this example, ZnO (zinc oxide) powder is adopted as the conductive material, and the photosensitive agent is a kind of ultraviolet curable resin. A certain PVA-SBQ (PVA: polyvinyl alcohol, SBQ: styryl biridinium salt addition) is employed, and these are adjusted to a required viscosity (viscosity suitable for printing) with a solvent to form a paste.
そして、フォトリソ電極形成工程では、上記のように塗布された導電性ペーストppの溶剤を乾燥させた上で、アノード電極32となるべきフォトリソ電極32aと周囲電極6となるべきフォトリソ電極6aとを分離形成するためのフォトリソグラフィ法によるパターニングを行う。具体的には、乾燥後の導電性ペーストppに対するパターン露光、及び現像を行う。本例では、紫外線硬化樹脂を採用していることから、露光としてはフォトリソ電極32aとなるべき部分、及びフォトリソ電極6aとなるべき部分のみを対象として行う(換言すればフォトリソ電極32aとフォトリソ電極6aの境界部分は露光対象としない)。なお、現像としては例えば水現像を行う。
このような露光・現像が行われることで、図6Bに示すようにフォトリソ電極32aとフォトリソ電極6aとの間を仕切るギャップGが形成される。すなわち、フォトリソ電極32a、フォトリソ電極6aとしてそれぞれ独立した電極が形成されるものである。
In the photolithography electrode forming step, after the solvent of the conductive paste pp applied as described above is dried, the photolithography electrode 32a to be the anode electrode 32 and the photolithography electrode 6a to be the surrounding electrode 6 are separated. Patterning is performed by a photolithography method for formation. Specifically, pattern exposure and development are performed on the conductive paste pp after drying. In this example, since an ultraviolet curable resin is used, the exposure is performed only on the portion to be the photolithography electrode 32a and the portion to be the photolithography electrode 6a (in other words, the photolithography electrode 32a and the photolithography electrode 6a). ) Is not subject to exposure). As development, for example, water development is performed.
By performing such exposure and development, as shown in FIG. 6B, a gap G is formed that partitions the photolithography electrode 32a and the photolithography electrode 6a. That is, independent electrodes are formed as the photolithography electrode 32a and the photolithography electrode 6a.
上記のように各電極を形成した後、図6Cに示す蛍光体形成工程により各フォトリソ電極32a上に蛍光体31を形成する。例えば蛍光体31は、パターン印刷により形成する。
これにより、蛍光表示管1における表示部1aが形成される。
After forming each electrode as described above, the phosphor 31 is formed on each photolithography electrode 32a by the phosphor forming step shown in FIG. 6C. For example, the phosphor 31 is formed by pattern printing.
Thereby, the display part 1a in the fluorescent display tube 1 is formed.
上記のように本実施の形態では、導電性材料と感光剤とを含有する印刷ペースト(導電性ペーストpp)を塗布して導電感光層を形成し、該導電感光層に対する露光パターニングを行ってアノード電極32と周囲電極6とを形成している。
これにより、アノード3の周囲電極6を設けた蛍光表示管1の製造にあたり、比較的安価な印刷形成を採用しつつ、アノード電極32と周囲電極6との間のギャップGや周囲電極6の幅を微細化することが可能となる。つまりは、周囲電極6を設けた蛍光表示管1の製造にあたり、印刷形成の採用による低コスト化を図りつつ、アノード3間の狭ギャップ化を図ることが可能となる。
なお、本例の場合、アノード3間のギャップの最小値は、30μm〜40μm程度としている。
As described above, in this embodiment, the conductive photosensitive layer is formed by applying the printing paste (conductive paste pp) containing the conductive material and the photosensitive agent, and the conductive photosensitive layer is subjected to exposure patterning to form the anode. The electrode 32 and the surrounding electrode 6 are formed.
Thereby, in manufacturing the fluorescent display tube 1 provided with the peripheral electrode 6 of the anode 3, the gap G between the anode electrode 32 and the peripheral electrode 6 and the width of the peripheral electrode 6 are adopted while adopting relatively inexpensive printing. Can be miniaturized. In other words, in manufacturing the fluorescent display tube 1 provided with the surrounding electrode 6, it is possible to reduce the gap between the anodes 3 while reducing the cost by adopting printing.
In the case of this example, the minimum value of the gap between the anodes 3 is about 30 μm to 40 μm.
ここで、本例では、導電性ペーストppの導電性材料にZnOを用いているが、この点もアノード3間の狭ギャップ化に寄与している。ZnOは、紫外線に対する透過率が比較的高く、露光による硬化作用を阻害し難いため、パターニングの精度向上が図られる。パターニング精度の向上が図られることで、アノード電極32と周囲電極6との間のギャップGや周囲電極6の幅を微細化することが可能となり、アノード3間のギャップをより狭くすることが可能となる。
なお、紫外線に対する透過率が比較的高く、導電性ペーストppに好適な材料としては、他にITO(酸化インジウム・スズ)、SnO2(酸化スズ)等も挙げることができる。
Here, in this example, ZnO is used as the conductive material of the conductive paste pp, but this point also contributes to narrowing the gap between the anodes 3. ZnO has a relatively high transmittance with respect to ultraviolet rays, and it is difficult to inhibit the curing action by exposure, so that the patterning accuracy can be improved. By improving the patterning accuracy, the gap G between the anode electrode 32 and the surrounding electrode 6 and the width of the surrounding electrode 6 can be reduced, and the gap between the anodes 3 can be made narrower. It becomes.
In addition, ITO (indium tin oxide), SnO 2 (tin oxide), and the like can also be cited as materials suitable for the conductive paste pp because of its relatively high transmittance for ultraviolet rays.
ここで、導電性ペーストppに用いる導電性材料の好適な条件としては、電圧印加しても発光しない、蛍光表示管1内の真空特性に悪影響与えない、イオン拡散により蛍光体31に悪影響を及ぼさない(具体的には蛍光体31の輝度低下を招かない)こと等が挙げられる。これらの条件を満足する導電性材料の例としては、上記のZnO、ITO、SnO2の他に例えばアルミ等を挙げることができる。 Here, suitable conditions for the conductive material used for the conductive paste pp include that it does not emit light even when a voltage is applied, does not adversely affect the vacuum characteristics in the fluorescent display tube 1, and does not adversely affect the phosphor 31 due to ion diffusion. (Specifically, the luminance of the phosphor 31 is not reduced). Examples of the conductive material satisfying these conditions include aluminum and the like in addition to the above ZnO, ITO and SnO 2 .
また、導電性ペーストppについては、導電性材料の含有量(含有率)を考慮すべきである。導電性材料の含有率が少なすぎると、電極としての特性を満足できなくなる。逆に多すぎれば印刷ペーストとしての粘度特性を満足できず、成膜精度(例えば膜圧の均一性等)の低下を招いてしまう。
これらの観点から実験を行った結果、導電性ペーストppにおける導電性材料(本例ではZnO粉末)の含有率については、40wt%(重量%)〜60wt%とされることが好ましいと判明した。より好ましくは、50wt%である。
For the conductive paste pp, the content (content rate) of the conductive material should be taken into consideration. If the content of the conductive material is too small, the characteristics as an electrode cannot be satisfied. On the other hand, if the amount is too large, the viscosity characteristics as a printing paste cannot be satisfied, resulting in a decrease in film forming accuracy (for example, uniformity of film pressure).
As a result of experiments from these viewpoints, it has been found that the content of the conductive material (ZnO powder in this example) in the conductive paste pp is preferably 40 wt% (wt%) to 60 wt%. More preferably, it is 50 wt%.
また、導電性材料の粉末粒径としても、導電性ペーストppの特性を左右する要素となる。粉末粒径が大きすぎると、印刷に適したペースト粘度を確保することが困難となって印刷性の悪化を招き、小さすぎると下地との密着性が悪化してパターンニング性の悪化を招く。なお、下地との密着性の悪化は、粒径が小さいと導電性材料の比表面積が増え、感光剤の量に対して下地側と固着する面積が過大となってしまうことが要因であると推測される。
上記の観点より実験を行った結果、導電性材料の粉末平均粒径については1μm〜10μmとされることが好ましく、より好ましくは2μmである。
Also, the powder particle size of the conductive material is an element that affects the characteristics of the conductive paste pp. If the powder particle size is too large, it will be difficult to ensure a paste viscosity suitable for printing, resulting in deterioration of printability, and if it is too small, adhesion with the substrate will be deteriorated and patterning properties will be deteriorated. Note that the deterioration of the adhesion to the base is due to the fact that the specific surface area of the conductive material increases when the particle size is small, and the area that adheres to the base side becomes excessive with respect to the amount of the photosensitive agent. Guessed.
As a result of experiments from the above viewpoint, the average particle diameter of the conductive material is preferably 1 μm to 10 μm, more preferably 2 μm.
さらに、導電性ペーストppに用いる感光剤については、感光性樹脂(本例ではPVA−SBQ)の含有量がパターニング精度を左右する要素となる。
感光剤における感光性樹脂の量が少なすぎると、露光による硬化作用を十分に得ることができずパターンニング性の悪化を招き、多すぎると感光剤自体が不安定となってゲル化してしまい、印刷に適した導電性ペーストppの粘度を維持することが困難となってしまう。
これらの観点から実験を行った結果、感光剤における感光性樹脂の含有量(含有率)については5wt%〜10wt%とされることが好ましく、より好ましくは7wt%である。
Further, for the photosensitive agent used for the conductive paste pp, the content of the photosensitive resin (PVA-SBQ in this example) is an element that affects the patterning accuracy.
If the amount of the photosensitive resin in the photosensitive agent is too small, the curing effect by exposure cannot be sufficiently obtained, resulting in deterioration of patterning properties, and if too large, the photosensitive agent itself becomes unstable and gels, It becomes difficult to maintain the viscosity of the conductive paste pp suitable for printing.
As a result of experiments from these viewpoints, the content (content ratio) of the photosensitive resin in the photosensitive agent is preferably 5 wt% to 10 wt%, and more preferably 7 wt%.
また、導電性ペーストppを塗布して形成する導電感光層の膜厚についても考慮されるべきである。導電感光層の膜厚は、厚すぎるとフォトリソによるパターンニング性の悪化を招き、薄すぎると電気的な抵抗値が高くなって電極としての特性悪化を招いてしまう。
これらの観点より実験を行った結果、導電感光層の厚さについては5μm〜15μmとすることが好ましく、より好ましくは10μmである。
Also, the thickness of the conductive photosensitive layer formed by applying the conductive paste pp should be considered. If the thickness of the conductive photosensitive layer is too thick, the patterning property is deteriorated by photolithography, and if it is too thin, the electrical resistance value is increased and the characteristics as an electrode are deteriorated.
As a result of experiments conducted from these viewpoints, the thickness of the conductive photosensitive layer is preferably 5 μm to 15 μm, more preferably 10 μm.
本発明者らは、導電性ペーストppについて、下記の[組成例1]〜[組成例3]による印刷ペーストを用いてパターニング精度の実験を行った。

[組成例1]
・導電性材料A=(ZnO粉末、平均粒径=2μm)…50wt%
・感光剤A=(PVA−SBQ:7wt%、糖類:8wt%、プロピレングリコール:85wt%)…30wt%
・溶剤=プロピレングリコール…20wt%

[組成例2]
・導電性材料B=(ZnO粉末、平均粒径=0.1μm)…40wt%
・感光剤A=(PVA−SBQ:7wt%、糖類:8wt%、プロピレングリコール:85wt%)…30wt%
・溶剤=プロピレングリコール…30wt%

[組成例3]
・導電性材料B=(ZnO粉末、平均粒径=0.1μm)…40wt%
・感光剤B=(PVA−SBQ:4wt%、モノマー:4wt%、プロピレングリコール:92wt%)…30wt%
・溶剤=プロピレングリコール…30wt%

なお、実験において、組成例1と組成例2、3との間で溶剤の割合を異ならせているのは、導電性材料の粉末粒径が異なることに伴いペースト粘度に差が生じてしまうことの防止を図ったものである。
The present inventors conducted an experiment on the patterning accuracy of the conductive paste pp using printing pastes according to the following [Composition Example 1] to [Composition Example 3].

[Composition Example 1]
Conductive material A = (ZnO powder, average particle size = 2 μm) ... 50 wt%
Photosensitizer A = (PVA-SBQ: 7 wt%, saccharide: 8 wt%, propylene glycol: 85 wt%) ... 30 wt%
・ Solvent = Propylene glycol ... 20wt%

[Composition Example 2]
Conductive material B = (ZnO powder, average particle size = 0.1 μm) ... 40 wt%
Photosensitizer A = (PVA-SBQ: 7 wt%, saccharide: 8 wt%, propylene glycol: 85 wt%) ... 30 wt%
・ Solvent = Propylene glycol ... 30wt%

[Composition Example 3]
Conductive material B = (ZnO powder, average particle size = 0.1 μm) ... 40 wt%
Photosensitizer B = (PVA-SBQ: 4 wt%, monomer: 4 wt%, propylene glycol: 92 wt%) ... 30 wt%
・ Solvent = Propylene glycol ... 30wt%

In the experiment, the ratio of the solvent is different between Composition Example 1 and Composition Examples 2, 3 because the difference in paste viscosity is caused by the difference in the powder particle size of the conductive material. This is intended to prevent this.
図7、図8、図9は、それぞれ上記の組成例1、組成例2、組成例3による導電性ペーストppを用いた電極のパターンニングを行った結果を示している。なお、各B図は対応するA図における中央部の拡大図である。
これら図7〜図9に示す結果より、平均粒径=2μmとされた組成例1の導電性ペーストppを用いた場合(図7)は、平均粒径=0.1μmとされた組成例2、3の導電性ペーストppを用いた場合(図8、図9)よりもパターンニング精度の向上が確認できる。これは、上述した平均粒径の好ましい数値についての裏付けとなる。
7, 8, and 9 show the results of electrode patterning using the conductive paste pp according to Composition Example 1, Composition Example 2, and Composition Example 3, respectively. In addition, each B figure is an enlarged view of the center part in corresponding A figure.
From the results shown in FIGS. 7 to 9, when the conductive paste pp of Composition Example 1 having an average particle diameter = 2 μm was used (FIG. 7), Composition Example 2 having an average particle diameter = 0.1 μm. The improvement in patterning accuracy can be confirmed as compared with the case where the conductive paste pp. 3 is used (FIGS. 8 and 9). This supports the preferable numerical value of the average particle diameter described above.
また、感光剤については、感光性樹脂の含有量が4wt%とされた組成例3の導電性ペーストppを用いた場合(図9)よりも、同含有量が7wt%とされた組成例1、2の導電性ペーストppを用いた場合(図7、図8)の方がパターンニング精度の向上が確認できる。この点は、上述した感光剤における感光性樹脂の含有量についての好ましい条件(5wt%〜10wt%)に関する裏付けとなる。   Further, with respect to the photosensitive agent, composition example 1 in which the content was 7 wt% compared to the case where the conductive paste pp of composition example 3 in which the content of the photosensitive resin was 4 wt% was used (FIG. 9). When the conductive paste pp 2 is used (FIGS. 7 and 8), it can be confirmed that the patterning accuracy is improved. This point supports the preferable condition (5 wt% to 10 wt%) regarding the content of the photosensitive resin in the above-described photosensitive agent.
なお、感光剤A、Bの差異点としては感光性樹脂の含有率以外にも糖類/モノマーの差異もある。これら糖類/モノマーの差異がパターンニング精度に全く影響を及ぼさないとは断言できないが、感光剤A、Bでパターンニング精度の差が生じる要因としては、感光性樹脂の含有率の差が支配的なものである。
In addition, as a difference between photosensitive agents A and B, there is a difference in sugar / monomer in addition to the content of the photosensitive resin. Although it cannot be stated that these sugar / monomer differences do not affect the patterning accuracy at all, the difference in patterning accuracy between the photosensitive agents A and B is dominated by the difference in the content of the photosensitive resin. It is a thing.
<3.表示装置の構成>

図10は、蛍光表示管1を備えた表示装置10の回路構成を示したブロック図である。
図10において、表示装置10は、蛍光表示管1と共にCPU(Central Processing Unit)11、及び電源回路12を備えている。
<3. Configuration of display device>

FIG. 10 is a block diagram illustrating a circuit configuration of the display device 10 including the fluorescent display tube 1.
In FIG. 10, the display device 10 includes a CPU (Central Processing Unit) 11 and a power supply circuit 12 together with the fluorescent display tube 1.
CPU11は、外部(本例では車両側)から入力されたデータやコマンドに基づき、表示部1aにおける何れのアノード3を点灯(発光)させるかに係るデータ(表示データ)を生成し、該表示データに基づくアノード3の点灯動作を実現させるために蛍光表示管1に与えるべき各種の信号を生成する。具体的には、データ信号SI、クロックCLK、ラッチ信号LATを生成する。
またCPU11は、外部からの指示に応じて、ディミング制御のためのブランク信号BKを生成する。ブランク信号BKは、例えば1周期が5msec程度とされたPWM(Pulse Width Modulation)信号とされ、具体的には、アノード3の消灯期間を制御するための信号とされる。例えば、Hレベル(オン)がアノード10の消灯を、Lレベル(オフ)がアノード10の点灯を表す。CPU11は、外部から指示されたディミングの割合(%)に応じてブランク信号BKのオンデューティ、すなわちアノード3の消灯期間のデューティ(割合)を調整する。具体的には、ディミングの割合を大きくする(アノード3の輝度をより小さくする)ときはブランク信号BKのオンデューティを大きくし、ディミングの割合を小さくする(アノード3の輝度をより大きくする)ときはブランク信号BKのオンデューティを小さくする。
The CPU 11 generates data (display data) relating to which of the anodes 3 in the display unit 1a is lit (emitted) based on data or commands input from the outside (vehicle side in this example), and the display data In order to realize the lighting operation of the anode 3 based on the above, various signals to be given to the fluorescent display tube 1 are generated. Specifically, the data signal SI, the clock CLK, and the latch signal LAT are generated.
Further, the CPU 11 generates a blank signal BK for dimming control in response to an instruction from the outside. The blank signal BK is, for example, a PWM (Pulse Width Modulation) signal whose period is about 5 msec, and specifically, a signal for controlling the extinguishing period of the anode 3. For example, the H level (on) indicates that the anode 10 is turned off, and the L level (off) indicates that the anode 10 is turned on. The CPU 11 adjusts the on-duty of the blank signal BK, that is, the duty (ratio) of the turn-off period of the anode 3 according to the dimming ratio (%) instructed from the outside. Specifically, when increasing the dimming ratio (decreasing the luminance of the anode 3), increasing the on-duty of the blank signal BK and decreasing the dimming ratio (decreasing the luminance of the anode 3). Decreases the on-duty of the blank signal BK.
上記のブランク信号BK、及びデータ信号SI、クロックCLK、ラッチ信号LATは、蛍光表示管1における端子部1bに供給される。
また、本例の場合、ブランク信号BKは電源回路12に対しても供給される。
The blank signal BK, the data signal SI, the clock CLK, and the latch signal LAT are supplied to the terminal portion 1b in the fluorescent display tube 1.
In the case of this example, the blank signal BK is also supplied to the power supply circuit 12.
蛍光表示管1は、上述した表示部1a及びフィラメント4と共に、端子部1b及びドライバ1cを備えている。また、蛍光表示管1は、ドライバ1cの動作電圧を入力するためのドライバ電圧端子TVd、フィラメント4の駆動電圧(以下「フィラメント電圧Ef」と表記)を入力するための第一フィラメント端子TF1と第二フィラメント端子TF2、及び表示部1aにおける周囲電極6に印加すべき周囲電極電圧を入力するための周囲電極用端子TVsを備えている。   The fluorescent display tube 1 includes a terminal portion 1b and a driver 1c together with the display portion 1a and the filament 4 described above. The fluorescent display tube 1 includes a driver voltage terminal TVd for inputting an operating voltage of the driver 1c, a first filament terminal TF1 for inputting a driving voltage of the filament 4 (hereinafter referred to as “filament voltage Ef”), and a first filament terminal TF1. A peripheral electrode terminal TVs for inputting a peripheral electrode voltage to be applied to the peripheral electrode 6 in the display unit 1a and the two-filament terminal TF2 is provided.
ドライバ1cは、CPU11により生成されたデータ信号SI、クロックCLK、ラッチ信号LAT、及びブランク信号BKを端子部1bを介して入力する共に、図中に配線Ha1、Ha2、…、Hanとして示した、表示部1aにおける複数のアノード配線5(n個のアノード配線5)のうちそれぞれ対応する一つに対して接続された各配線Haを介して、それぞれのアノード3(本例ではセグメント)に個別に駆動電圧を印加可能とされている。
ドライバ1cは、クロックCLK及びラッチ信号LATに従ってシリアルデータによるデータ信号SIの取り込み及びシリアル/パラレル変換を行う。このようなシリアル/パラレル変換により得られた各アノード3ごとのデータ(点灯/消灯を表す2値データ)に基づき、配線Ha1〜Hanを介した各アノード3への電圧印加のオン/オフ制御を行う。
これにより、CPU11が生成した表示データに基づくパターンにより表示部1aにおけるアノード3が点灯する。
The driver 1c inputs the data signal SI, the clock CLK, the latch signal LAT, and the blank signal BK generated by the CPU 11 through the terminal portion 1b, and is shown as wirings Ha1, Ha2,. Each of the anodes 3 (segments in this example) is individually connected to each of the plurality of anode wirings 5 (n number of anode wirings 5) in the display unit 1a via each wiring Ha connected to the corresponding one. A drive voltage can be applied.
The driver 1c takes in the data signal SI by serial data and performs serial / parallel conversion in accordance with the clock CLK and the latch signal LAT. On / off control of voltage application to each anode 3 via the wirings Ha1 to Han is performed based on the data for each anode 3 (binary data indicating lighting / extinction) obtained by such serial / parallel conversion. Do.
Thereby, the anode 3 in the display unit 1a is turned on by a pattern based on the display data generated by the CPU 11.
また、ドライバ1cは、ブランク信号BKに基づき配線Ha1〜Hanを介した各アノード3への電圧印加のオン/オフ制御を行う。具体的には、ブランク信号BKの反転信号に従って各アノード3への電圧印加のオン/オフ制御を行う。
これにより、上述したディミングとしての輝度調整が実現される。
Further, the driver 1c performs on / off control of voltage application to each anode 3 via the wirings Ha1 to Han based on the blank signal BK. Specifically, on / off control of voltage application to each anode 3 is performed according to the inverted signal of the blank signal BK.
Thereby, the brightness adjustment as the dimming described above is realized.
なお、本例において、アノード3の駆動電圧(アノード電圧)は例えば5.0Vの直流電圧とされる。   In this example, the drive voltage (anode voltage) of the anode 3 is a DC voltage of 5.0 V, for example.
表示部1aは、先の図1に示した周囲電極配線7に対して、入力端子TVsが接続されている。これにより周囲電極6に対する周囲電極電圧の印加が可能とされている。   In the display unit 1a, an input terminal TVs is connected to the peripheral electrode wiring 7 shown in FIG. As a result, it is possible to apply a peripheral electrode voltage to the peripheral electrode 6.
フィラメント4は、アノード3ごとに形成された蛍光体31を発光させるための電子を放出するために設けられ、電源回路12が生成・出力する交番駆動信号(後述する第一信号sF1、第二信号sF2)に基づき、フィラメント電圧Efとしての交流電圧が印加されて駆動される。
図のようにフィラメント4は、一端が第一フィラメント端子TF1に、他端が第二フィラメント端子TF2にそれぞれ接続されている。
本例の場合、フィラメント電圧Efは実効値=1V程度の交流電圧とされ、グランド(0V)レベルに対する平均電圧値が例えば−35V程度とされている。
The filament 4 is provided to emit electrons for causing the phosphor 31 formed for each anode 3 to emit light. The filament 4 generates and outputs an alternating drive signal (first signal sF1, second signal described later). Based on sF2), an alternating voltage as a filament voltage Ef is applied and driven.
As shown, the filament 4 has one end connected to the first filament terminal TF1 and the other end connected to the second filament terminal TF2.
In the case of this example, the filament voltage Ef is an alternating voltage with an effective value = 1V, and the average voltage value with respect to the ground (0V) level is, for example, about −35V.
電源回路12は、例えば車載バッテリーを供給源とする電源電圧Vinを入力するための電源入力端子tVinと、蛍光表示管1におけるドライバ電圧端子TVd、周囲電極端子TVs、第一フィラメント端子TF1、第二フィラメント端子TF2と接続されるドライバ電圧端子tVd、周囲電極端子tVs、第一フィラメント端子tF1、第二フィラメント端子tF2と、ブランク信号BKが入力されるブランク信号入力端子tBKとを備える共に、ドライバ電圧生成回路12a、周囲電極電圧生成回路12b、及びフィラメント電圧生成回路12cを備えている。   The power supply circuit 12 includes, for example, a power supply input terminal tVin for inputting a power supply voltage Vin using a vehicle-mounted battery as a supply source, a driver voltage terminal TVd, a peripheral electrode terminal TVs, a first filament terminal TF1, a second in the fluorescent display tube 1. The driver voltage generation unit includes a driver voltage terminal tVd connected to the filament terminal TF2, a peripheral electrode terminal tVs, a first filament terminal tF1, a second filament terminal tF2, and a blank signal input terminal tBK to which a blank signal BK is input. A circuit 12a, a surrounding electrode voltage generation circuit 12b, and a filament voltage generation circuit 12c are provided.
ドライバ電圧生成回路12aは、電源電圧Vinに基づきドライバ1cの動作電圧を生成し、ドライバ電圧端子tVdを介して出力する。
また、フィラメント電圧生成回路12cは、電源電圧Vinに基づきフィラメント4を駆動するための第一信号sF1、第二信号sF2を生成し、第一フィラメント端子tF1、第二フィラメント端子tF2を介してそれぞれ出力する。第一信号sF1は所定周期でオン/オフを繰り返すパルス信号とされ、第二信号sF2は第一信号sF2の反転信号とされる。なお、本例における第一信号sF1、第二信号sF2のピーク電圧値(オン期間の電圧値)は1V程度とされる。
The driver voltage generation circuit 12a generates an operating voltage of the driver 1c based on the power supply voltage Vin, and outputs it through the driver voltage terminal tVd.
The filament voltage generation circuit 12c generates a first signal sF1 and a second signal sF2 for driving the filament 4 based on the power supply voltage Vin, and outputs them through the first filament terminal tF1 and the second filament terminal tF2, respectively. To do. The first signal sF1 is a pulse signal that repeats on / off in a predetermined cycle, and the second signal sF2 is an inverted signal of the first signal sF2. Note that the peak voltage values (voltage values during the ON period) of the first signal sF1 and the second signal sF2 in this example are about 1V.
周囲電極電圧生成回路12bは、電源電圧Vinに基づき周囲電極配線7を駆動するための周囲電極電圧を生成し、周囲電極端子tVsを介して出力する。
この際、周囲電極電圧生成回路12bは、周囲電極電圧をブランク信号BKに同期してオン/オフする。具体的に本例では、ブランク信号BKの反転信号に同期して周囲電極電圧をオン/オフする。
これにより、ディミングに伴うアノード3のオン期間のみに対応して周囲電極6に対する電圧印加が行われるため、字欠けの防止を図る上での電力消費を最小限に抑えることが可能となり、消費電力の削減が図られる。
なお、周囲電極電圧をブランク信号BKに同期してオン/オフすることは必須ではない。
The peripheral electrode voltage generation circuit 12b generates a peripheral electrode voltage for driving the peripheral electrode wiring 7 based on the power supply voltage Vin, and outputs it through the peripheral electrode terminal tVs.
At this time, the peripheral electrode voltage generation circuit 12b turns on / off the peripheral electrode voltage in synchronization with the blank signal BK. Specifically, in this example, the surrounding electrode voltage is turned on / off in synchronization with the inverted signal of the blank signal BK.
As a result, voltage application to the surrounding electrode 6 is performed only corresponding to the ON period of the anode 3 due to dimming, so that it is possible to minimize the power consumption in preventing the missing characters, and the power consumption Reduction.
It is not essential to turn on / off the surrounding electrode voltage in synchronization with the blank signal BK.
<4.実施の形態のまとめ>

以上のように実施の形態としての蛍光表示管の製造方法は、アノード電極(同32)と蛍光体(同31)とを有するアノード(同3)と、蛍光体を発光させるための電子を放出するフィラメント(同4)とを有する蛍光表示管の製造方法であって、ZnO、ITO、又はSnO2の何れかの粉末による導電性材料と感光剤とを含有する印刷ペースト(導電性ペーストpp)を塗布して形成された導電感光層に対する露光パターニングを行って、アノード電極とアノード電極の周囲電極(同6)とを形成する電極形成工程を有するものである。
<4. Summary of Embodiment>

As described above, the method of manufacturing a fluorescent display tube according to the embodiment releases the anode (3) having the anode electrode (32) and the phosphor (31) and the electrons for causing the phosphor to emit light. And a printing paste (conductive paste pp) containing a conductive material and a photosensitizer made of any powder of ZnO, ITO, or SnO 2. The conductive photosensitive layer formed by applying the exposure patterning is subjected to exposure patterning to form an anode electrode and an anode electrode surrounding electrode (sixth).
上記のように導電感光層に対する露光パターニングよってアノード電極とその周囲電極とを形成することで、周囲電極を設けて字欠けの抑制を図った蛍光表示管として、電極となるべき層の積層を印刷により行っても、アノード間のギャップを微細化することが可能とされる。さらに、ZnO、ITO、SnO2は露光に用いる紫外線に対する透過率が比較的高く、露光による硬化作用を阻害し難いため、この点もアノード間のギャップの微細化に寄与する。
従って、字欠けの抑制とアノード間の狭ギャップ化の双方の面で表示品質の向上を図った蛍光表示管をより低コストに実現することができる。
As described above, the anode electrode and its surrounding electrode are formed by exposure patterning on the conductive photosensitive layer, and as a fluorescent display tube with the surrounding electrode provided to suppress missing characters, the layer to be the electrode is printed. The gap between the anodes can be miniaturized even if this is performed. Furthermore, since ZnO, ITO, and SnO 2 have a relatively high transmittance with respect to ultraviolet rays used for exposure and it is difficult to inhibit the curing action by exposure, this point also contributes to the miniaturization of the gap between the anodes.
Therefore, it is possible to realize a fluorescent display tube that is improved in display quality in terms of both the suppression of missing characters and the narrow gap between the anodes at a lower cost.
ここで、前述のように実施の形態の製造方法によれば、フォトリソ電極32a(アノード電極32)とフォトリソ電極6a(周囲電極6)との間のギャップGを狭めることが可能とされるが、このようにアノード電極32と周囲電極6との間の狭ギャップ化が図られることで、字欠け抑制のために印加すべき周囲電極電圧の電圧値を低く抑えることができる。つまり、この点より、実施の形態の製造方法によれば、字欠けの抑制を行う上での消費電力の削減が図られる。   Here, according to the manufacturing method of the embodiment as described above, it is possible to narrow the gap G between the photolithography electrode 32a (anode electrode 32) and the photolithography electrode 6a (surrounding electrode 6). By narrowing the gap between the anode electrode 32 and the peripheral electrode 6 in this way, the voltage value of the peripheral electrode voltage to be applied for suppressing the chipping can be suppressed. That is, from this point, according to the manufacturing method of the embodiment, it is possible to reduce the power consumption in suppressing the lack of characters.
さらに、実施の形態の製造方法においては、印刷ペーストにおける導電性材料の含有率が40wt%〜60wt%とされている。   Furthermore, in the manufacturing method according to the embodiment, the content of the conductive material in the printing paste is 40 wt% to 60 wt%.
導電性材料の含有率を適切に設定することにより、電極となるべき膜を成膜精度を確保しつつ形成することができる。   By appropriately setting the content of the conductive material, a film to be an electrode can be formed while ensuring film formation accuracy.
さらにまた、実施の形態の製造方法においては、導電性材料の粉末平均粒径が1μm〜10μmとされている。   Furthermore, in the manufacturing method of the embodiment, the average particle diameter of the conductive material is set to 1 μm to 10 μm.
導電性材料の粉末粒径を適切に設定することにより、良好な印刷性とパターニング性との両立を図ることができる。   By appropriately setting the powder particle size of the conductive material, it is possible to achieve both good printability and patternability.
また、実施の形態の製造方法においては、感光剤は感光性樹脂を5wt%〜10wt%含有している。   Moreover, in the manufacturing method of embodiment, the photosensitive agent contains 5 wt%-10 wt% of photosensitive resin.
感光剤における感光性樹脂の含有率を適切に設定することにより、良好な印刷性とパターニング性との両立を図ることができる。   By appropriately setting the content of the photosensitive resin in the photosensitive agent, it is possible to achieve both good printability and patternability.
さらに、実施の形態の製造方法においては、導電感光層を膜厚5μm〜15μmにより形成している。   Furthermore, in the manufacturing method of the embodiment, the conductive photosensitive layer is formed with a film thickness of 5 μm to 15 μm.
導電感光層の膜厚を適切に設定することにより、電極としての良好な特性の確保と良好なパターンニング性との両立を図ることができる。   By appropriately setting the film thickness of the conductive photosensitive layer, it is possible to ensure both good characteristics as an electrode and good patterning properties.
また、実施の形態の蛍光表示管(同1)は、アノード電極(同32)と蛍光体(31)とを有するアノード(同3)と、蛍光体を発光させるための電子を放出するフィラメントとを有する蛍光表示管であって、アノード電極の周囲電極(同6)が形成されていると共に、アノード電極と周囲電極とが、導電性材料としてZnO、ITO、又はSnO2の何れかの粉末を含有しているものである。 The fluorescent display tube (1) of the embodiment includes an anode (3) having an anode electrode (32) and a phosphor (31), a filament that emits electrons for causing the phosphor to emit light, and A peripheral electrode of the anode electrode (same as 6) is formed, and the anode electrode and the peripheral electrode are made of ZnO, ITO, or SnO 2 powder as a conductive material. It is contained.
上述のようにZnO、ITO、SnO2は露光に用いる紫外線に対する透過率が比較的高く、露光による硬化作用を阻害し難いため、電極となるべき層の積層を印刷により行い該層への露光パターニングよりアノード電極と周囲電極とを形成する場合において、アノード間のギャップを微細化することが可能とされる。
従って、字欠けの抑制とアノード間の狭ギャップ化の双方の面で表示品質の向上を図った蛍光表示管をより低コストに実現することができる。
As described above, ZnO, ITO, and SnO 2 have a relatively high transmittance with respect to ultraviolet rays used for exposure, and it is difficult to inhibit the curing action by exposure. Therefore, the layers to be electrodes are stacked by printing, and exposure patterning is performed on the layers. In the case where the anode electrode and the surrounding electrode are formed, the gap between the anodes can be made finer.
Therefore, it is possible to realize a fluorescent display tube that is improved in display quality in terms of both the suppression of missing characters and the narrow gap between the anodes at a lower cost.
<5.変形例>

以上、本発明に係る実施の形態について説明したが、本発明は、上記により説明した具体例に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱しない範囲において多様な変形例を採り得る。
例えば、上記では、セグメントパターンの表示を行うタイプの蛍光表示管を例示したが、本発明はドットマトリクス表示を行う蛍光表示管、例えばアクティブマトリクス方式の蛍光表示管に対しても好適に適用できる。
<5. Modification>

While the embodiments according to the present invention have been described above, the present invention is not limited to the specific examples described above, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.
For example, in the above, a fluorescent display tube of a type that displays a segment pattern is illustrated, but the present invention can also be suitably applied to a fluorescent display tube that performs dot matrix display, for example, an active matrix fluorescent display tube.
また、本発明は、車両用のHUD以外の他の表示装置に対しても適用できるものである。   The present invention can also be applied to display devices other than the vehicle HUD.
1…蛍光表示管、3…アノード、31…蛍光体、32…アノード電極、32a…フォトリソ電極、32b…貫通電極、4…フィラメント、5…アノード配線、6…周囲電極、6a…フォトリソ電極、6b…貫通電極、7…周囲電極配線、8…第一絶縁層、9…第二絶縁層   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Fluorescent display tube, 3 ... Anode, 31 ... Phosphor, 32 ... Anode electrode, 32a ... Photolitho electrode, 32b ... Through electrode, 4 ... Filament, 5 ... Anode wiring, 6 ... Ambient electrode, 6a ... Photolitho electrode, 6b ... through electrode, 7 ... peripheral electrode wiring, 8 ... first insulating layer, 9 ... second insulating layer

Claims (5)

  1. アノード電極と蛍光体とを有するアノードと、前記蛍光体を発光させるための電子を放出するフィラメントとを有する蛍光表示管の製造方法であって、
    ZnO、ITO、又はSnO2の何れかの粉末による導電性材料と感光剤とを含有する印刷ペーストを塗布して形成された導電感光層に対する露光パターニングを行って、前記アノード電極と前記アノード電極の周囲電極とを形成する電極形成工程を有する
    蛍光表示管の製造方法。
    A method for manufacturing a fluorescent display tube, comprising: an anode having an anode electrode and a phosphor; and a filament that emits electrons for causing the phosphor to emit light.
    Exposure patterning is performed on the conductive photosensitive layer formed by applying a printing paste containing a conductive material and a photosensitizing agent made of ZnO, ITO, or SnO 2 powder, and the anode electrode and the anode electrode The manufacturing method of a fluorescent display tube which has an electrode formation process which forms a surrounding electrode.
  2. 前記印刷ペーストにおける前記導電性材料の含有率が40wt%〜60wt%とされた
    請求項1に記載の蛍光表示管の製造方法。
    The method for manufacturing a fluorescent display tube according to claim 1, wherein the content of the conductive material in the printing paste is 40 wt% to 60 wt%.
  3. 前記導電性材料の粉末平均粒径が1μm〜10μmとされた
    請求項1又は請求項2に記載の蛍光表示管の製造方法。
    The method for manufacturing a fluorescent display tube according to claim 1, wherein the conductive material has a powder average particle diameter of 1 μm to 10 μm.
  4. 前記感光剤は感光性樹脂を5wt%〜10wt%含有する
    請求項1乃至請求項3の何れかに記載の蛍光表示管の製造方法。
    The method for producing a fluorescent display tube according to claim 1, wherein the photosensitive agent contains 5 wt% to 10 wt% of a photosensitive resin.
  5. 前記導電感光層を膜厚5μm〜15μmにより形成する
    請求項1乃至請求項4の何れかに記載の蛍光表示管の製造方法。
    The method for manufacturing a fluorescent display tube according to claim 1, wherein the conductive photosensitive layer is formed with a film thickness of 5 μm to 15 μm.
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