JP6279833B2 - 露光装置 - Google Patents
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Description
によって表される。オペレータは、描画された感度検出パターンに基づいて放電ランプ20の出力調整などを行い、その後通常の描画処理を実行する。以下では、図2〜5を用いて、感度検出パターンについて説明する。
22 DMD(光変調素子アレイ)
30 コントローラ(露光動作制御部)
SP 感度検出パターン
Claims (12)
- 複数の光変調素子を2次元配列させた光変調素子アレイと、
前記光変調素子アレイによって被描画体表面に規定される露光領域を、主走査方向に沿って相対移動させる走査部と、
露光領域の相対位置に応じて前記複数の光変調素子を制御し、オーバラップ露光動作によって描画パターンを被描画体に形成する露光動作制御部とを備え、
前記露光動作制御部が、複数の分割エリア間および各分割エリア内においてパターン濃度差をもたせたステップタブレットのパターンを、前記被描画体に形成可能であることを特徴とする露光装置。 - 前記露光動作制御部が、隣接する分割エリア間および各分割エリア内において総露光量が減少もしくは増加するステップタブレットのパターンを形成することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記露光動作制御部が、前記光変調素子アレイの中で露光時不使用とする不使用光変調素子の数を増加もしくは減少させていくことにより、ステップタブレットのパターンを形成することを特徴とする請求項1乃至2のいずれかに記載の露光装置。
- 前記露光動作制御部が、前記光変調素子アレイの中で不使用光変調素子を定めたマスクパターンによって構成され、不使用としない有効な光変調素子の割合を漸次的に減少もしくは増加させた一連のマスクパターンを、マスク切り替えピッチに応じて、順次切り替えて使用することを特徴とする請求項3に記載の露光装置。
- 前記露光動作制御部が、マスク切り替えピッチを変えることによって、ステップタブレットのパターン長さを調整可能であることを特徴とする請求項4に記載の露光装置。
- 前記露光動作制御部が、分割エリア区切り位置を変えることにより、スケーリング可能であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の露光装置。
- 前記露光動作制御部が、ステップタブレットの一部パターンのみを形成可能であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の露光装置。
- 前記露光動作制御部が、指標パターンを含むステップタブレットのパターンを形成可能であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の露光装置。
- 前記露光動作制御部が、スケールパターンと一連のマスクパターンとを合成して、ステップタブレットのパターンを形成することを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の露光装置。
- 前記露光動作制御部が、ステップタブレットのパターンを、描画パターンが形成されない前記被描画体の余白領域に形成することを特徴とする請求項1乃至9のいずれかに記載の露光装置。
- 複数の光変調素子を2次元配列させた光変調素子アレイによって被描画体表面に規定される露光領域を、主走査方向に沿って相対移動させ、
露光領域の相対位置に応じて前記複数の光変調素子を制御し、オーバラップ露光動作によって描画パターンを被描画体に形成する方法であって、
複数の分割エリア間および各分割エリア内においてパターン濃度差をもたせたステップタブレットのパターンを、前記被描画体に形成することを特徴とする露光方法。 - 露光装置を、
複数の光変調素子を2次元配列させた光変調素子アレイによって被描画体表面に規定される露光領域を、主走査方向に沿って相対移動させる間、露光位置を検出する露光位置検出手段と、
露光領域の相対位置に応じて前記複数の光変調素子を制御し、オーバラップ露光動作によって描画パターンを被描画体に形成する露光動作制御手段として機能させるプログラムであって、
複数の分割エリア間および各分割エリア内においてパターン濃度差をもたせたステップタブレットのパターンを、前記被描画体に形成するように、前記露光動作制御手段として機能させることを特徴とするプログラム。
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