JP6274322B2 - レーザ装置及びレーザ装置の制御方法 - Google Patents
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Description
第1の実施の形態におけるレーザ装置について説明する。本実施の形態におけるレーザ装置は、一つのチップに相互に異なる4つの波長のレーザ光を出射するレーザ装置である。
次に、本実施の形態におけるレーザ装置に用いられるリング共振器を用いた波長選択フィルタについて図6に基づき説明する。本実施の形態においては、波長選択フィルタは、図6(a)に示されるように、リング共振器70とリング共振器70に近接して配置された2本の光導波路90a、90bを有している。尚、便宜上、一方の光導波路90aの一方の側の端部をポートp1、他方の側の端部をポートp3とし、他方の光導波路90bの一方の側の端部をポートp2、他方の側の端部をポートp4として、この波長選択フィルタについて説明する。
次に、本実施の形態におけるレーザ装置の動作について説明する。本実施の形態においては、図7に示されるように、第5のリング共振器75と第1のリング共振器71及び第7のリング共振器77とのFSRが僅かに異なるように形成されている。具体的には、第5のリング共振器75は、FSRが25GHzとなるように半径が約475μmで形成されており、第1のリング共振器71及び第7のリング共振器77は、第5のリング共振器75よりもFSRが約5%狭くなるように形成されている。従って、第1のリング共振器71及び第7のリング共振器77は、半径が約500μmで形成されており、第1のリング共振器71及び第7のリング共振器77のFSRは23.75GHzとなっている。このように、第5のリング共振器75と第1のリング共振器71及び第7のリング共振器77とにおけるFSRが僅かに異なる場合、第5のリング共振器75における共振波長と第1のリング共振器71及び第7のリング共振器77における共振波長とが一致した波長λ 1においてレーザ発振する(バーニア効果)。本実施の形態においては、この波長λ1のレーザ光が、第1のレーザ光となる。尚、本実施の形態においては、第1のリング共振器71と第7のリング共振器77は、同じ共振波長となるように略同じ半径で形成されている。
(波長可変範囲)=FSRb×{FSRa/(|RSRa−FSRb|)}・・・・(1)
尚、上記における(1)に示される式に含まれる{FSRa/(|RSRa−FSRb|)}は、バーニア効果を利用した場合における波長可変量増倍係数であり、1つのリング共振器における共振波長の変化に対して、波長可変量増倍係数分だけレーザ光の発振波長を増大させることができる。{FSRa/(|RSRa−FSRb|)}は、第1のリング共振器71における共振波長の周期を、第1のリング共振器71における共振波長間隔と第5のリング共振器75における共振波長間隔との差分で割ったものであり、この差分が小さい程、波長可変範囲は大きくなる。例えば、第1のリング共振器71における共振波長の周期に対して、第1のリング共振器71における共振波長間隔と第5のリング共振器75における共振波長間隔との差分が10%である場合には、波長可変量は10倍増大させることができる。バーニア効果による波長可変幅の増大を有効に活用するためには、少なくとも波長可変量増倍係数は、5倍以上、更には10倍以上であることが好ましい。よって、第1のリング共振器71における共振波長の周期に対して、第1のリング共振器71における共振波長間隔と第5のリング共振器75における共振波長間隔との差分は20%以下、更には10%以下と微小である方が好ましい。但し、後述するように、共振波長間隔との差分をあまり小さくしすぎると、4つのレーザ共振器の独立動作に悪影響を与える場合があり、リング共振器におけるフィネスとあわせて調整が必要となる。
次に、第2の実施の形態について説明する。本実施の形態におけるレーザ装置は、図15に示されるように、第1の実施の形態よりも、第1のリング共振器171、第2のリング共振器172、第3のリング共振器173、第4のリング共振器174、第6のリング共振器176、第7のリング共振器177、第8のリング共振器178、第9のリング共振器179の半径が小さく形成されている構造のものである。
次に、第3の実施の形態について説明する。本実施の形態は、図17に示されるように、第1の実施の形態における第1のSOA10、第2のSOA20、第3のSOA30、第4のSOA40をレーザ装置を形成している四角形のシリコン導波路チップ110の一辺110aに設置した構造のものである。このように、シリコン導波路チップ110の一辺110aに、第1のSOA10、第2のSOA20、第3のSOA30、第4のSOA40を設置することにより、光ファイバ等との光結合を容易にすることができる。
次に、第4の実施の形態について説明する。本実施の形態は、第1の波長選択フィルタ、第2の波長選択フィルタ、第3の波長選択フィルタ、第4の波長選択フィルタが、各々複数のリング共振器により形成されている構造のレーザ装置である。
次に、本実施の形態におけるレーザ装置に用いられるリング共振器を用いた波長選択フィルタについて図19に基づき説明する。この波長選択フィルタは、図19(a)に示されるように、リング共振器350a、リング共振器350b、リング共振器350aまたはリング共振器350bに近接して配置された光導波路390a、390b、390cを有している。具体的には、リング共振器350aは、光導波路390aと光導波路390bとの間に形成されており、光導波路390a及び光導波路390bと近接している。また、リング共振器350bは、光導波路390bと光導波路390cとの間に形成されており、光導波路390b及び光導波路390cと近接している。尚、便宜上、光導波路390aの一方の側の端部をポートp1、他方の側の端部をポートp3とし、光導波路390cの一方の側の端部をポートp4、他方の側をポートp2として、この波長選択フィルタについて説明する。
第3のレーザ共振器の光路には、FSRが相互に僅かにずれている第12のリング共振器382、第3のリング共振器373、第5のリング共振器75が設置されており、バーニア効果により、この3つのリング共振波長が一致する波長λ3においてレーザ発振する。第4のレーザ共振器の光路には、FSRが相互に僅かにずれている第13のリング共振器383、第4のリング共振器374、第5のリング共振器75が設置されており、バーニア効果により、この3つのリング共振波長が一致する波長λ4においてレーザ発振する。
次に、第5の実施の形態について説明する。本実施の形態におけるレーザモジュールは、波長可変レーザモジュールであり、第3の実施の形態におけるレーザ装置を有している。具体的には、図20に示されるように、第3の実施の形態におけるレーザ装置、SOA電源511、ヒータ電源512、コントローラ520等を有している。
10a 一方の端面
10b 他方の端面
11 部分反射ミラー
20 第2のSOA
20a 一方の端面
20b 他方の端面
21 部分反射ミラー
30 第3のSOA
30a 一方の端面
30b 他方の端面
31 部分反射ミラー
40 第4のSOA
40a 一方の端面
40b 他方の端面
41 部分反射ミラー
51 第1の波長選択フィルタ
52 第2の波長選択フィルタ
53 第3の波長選択フィルタ
54 第4の波長選択フィルタ
55 第5の波長選択フィルタ
61 第1の波長選択ミラー
62 第2の波長選択ミラー
63 第3の波長選択ミラー
64 第4の波長選択ミラー
71 第1のリング共振器
71a ヒータ電極
72 第2のリング共振器
72a ヒータ電極
73 第3のリング共振器
73a ヒータ電極
74 第4のリング共振器
74a ヒータ電極
75 第5のリング共振器
75a ヒータ電極
76 第6のリング共振器
76a ヒータ電極
77 第7のリング共振器
77a ヒータ電極
78 第8のリング共振器
78a ヒータ電極
79 第9のリング共振器
79a ヒータ電極
81 第1のループミラー
82 第2のループミラー
83 第3のループミラー
84 第4のループミラー
91 第1の光導波路
91a 一方の端部
92 第2の光導波路
93 第3の光導波路
93a 一方の端部
94 第4の光導波路
95 第5の光導波路
95a 一方の端部
96 第6の光導波路
96a 一方の端部
97 第7の光導波路
97a 一方の端部
98 第8の光導波路
98a 一方の端部
99 第9の光導波路
99a 一方の端部
100 第10の光導波路
100a 一方の端部
Claims (10)
- 第1の利得媒質と、
前記第1の利得媒質の一方の端面に設けられた部分反射ミラーと、
第2の利得媒質と、
前記第2の利得媒質の一方の端面に設けられた部分反射ミラーと、
第3の利得媒質と、
前記第3の利得媒質の一方の端面に設けられた部分反射ミラーと、
第4の利得媒質と、
前記第4の利得媒質の一方の端面に設けられた部分反射ミラーと、
第1の波長選択フィルタと、
第2の波長選択フィルタと、
第3の波長選択フィルタと、
第4の波長選択フィルタと、
第5の波長選択フィルタと、
第1の波長選択ミラーと、
第2の波長選択ミラーと、
第3の波長選択ミラーと、
第4の波長選択ミラーと、
を有し、
前記第1の波長選択フィルタ、前記第2の波長選択フィルタ、前記第3の波長選択フィルタ、前記第4の波長選択フィルタ、前記第5の波長選択フィルタは、各々第1の入出力ポート、第2の入出力ポート、第3の入出力ポート、第4の入出力ポートを有しており、
選択された波長である選択光に対しては、前記第1の入出力ポートと前記第2の入出力ポート、及び、前記第3の入出力ポートと前記第4の入出力ポートが接続され、非選択光に対しては、前記第1の入出力ポートと前記第3の入出力ポート、及び、前記第2の入出力ポートと前記第4の入出力ポートが接続されるものであって、
前記第5の波長選択フィルタは、波長に対し周期的に選択光が存在している波長選択フィルタであって、
前記第1の利得媒質の他方の端面には、前記第1の波長選択フィルタの第1の入出力ポートが接続されており、
前記第2の利得媒質の他方の端面には、前記第2の波長選択フィルタの第1の入出力ポートが接続されており、
前記第3の利得媒質の他方の端面には、前記第3の波長選択フィルタの第1の入出力ポートが接続されており、
前記第4の利得媒質の他方の端面には、前記第4の波長選択フィルタの第1の入出力ポートが接続されており、
前記第1の波長選択フィルタの第4の入出力ポートには、前記第1の波長選択ミラーが接続されており、
前記第2の波長選択フィルタの第4の入出力ポートには、前記第2の波長選択ミラーが接続されており、
前記第3の波長選択フィルタの第4の入出力ポートには、前記第3の波長選択ミラーが接続されており、
前記第4の波長選択フィルタの第4の入出力ポートには、前記第4の波長選択ミラーが接続されており、
前記第5の波長選択フィルタの第1の入出力ポートには、前記第1の波長選択フィルタの第2の入出力ポートが接続されており、
前記第5の波長選択フィルタの第2の入出力ポートには、前記第2の波長選択フィルタの第2の入出力ポートが接続されており、
前記第5の波長選択フィルタの第3の入出力ポートには、前記第3の波長選択フィルタの第2の入出力ポートが接続されており、
前記第5の波長選択フィルタの第4の入出力ポートには、前記第4の波長選択フィルタの第2の入出力ポートが接続されていることを特徴とするレーザ装置。 - 前記第1の波長選択フィルタにおいて選択光となる波長、前記第2の波長選択フィルタにおいて選択光となる波長、前記第3の波長選択フィルタにおいて選択光となる波長、前記第4の波長選択フィルタにおいて選択光となる波長は相互に異なるものであって、
前記第1の波長選択フィルタにおいて選択光となる波長と前記第2の波長選択ミラーにおいて反射される波長とは同じであり、
前記第2の波長選択フィルタにおいて選択光となる波長と前記第1の波長選択ミラーにおいて反射される波長とは同じであり、
前記第3の波長選択フィルタにおいて選択光となる波長と前記第4の波長選択ミラーにおいて反射される波長とは同じであり、
前記第4の波長選択フィルタにおいて選択光となる波長と前記第3の波長選択ミラーにおいて反射される波長とは同じであることを特徴とする請求項1に記載のレーザ装置。 - 第1の利得媒質と、
前記第1の利得媒質の一方の端面に設けられた部分反射ミラーと、
第2の利得媒質と、
前記第2の利得媒質の一方の端面に設けられた部分反射ミラーと、
第3の利得媒質と、
前記第3の利得媒質の一方の端面に設けられた部分反射ミラーと、
第4の利得媒質と、
前記第4の利得媒質の一方の端面に設けられた部分反射ミラーと、
第1の波長選択フィルタと、
第2の波長選択フィルタと、
第3の波長選択フィルタと、
第4の波長選択フィルタと、
第5の波長選択フィルタと、
第1の波長選択ミラーと、
第2の波長選択ミラーと、
第3の波長選択ミラーと、
第4の波長選択ミラーと、
を有し、
前記第1の利得媒質の一方の端面に形成された部分反射ミラーと前記第2の波長選択ミラーとの間には、光路に、前記第1の利得媒質、前記第1の波長選択フィルタ、前記第5の波長選択フィルタが設置された共振器が形成されており、前記第1の利得媒質の他方の端面より出射された光のうち、前記第1の波長選択フィルタ及び前記第5の波長選択フィルタにおいて選択された波長の光を第1のレーザ光として、前記第1の利得媒質の一方の端面より出射し、
前記第2の利得媒質の一方の端面に形成された部分反射ミラーと前記第1の波長選択ミラーとの間には、光路に、前記第2の利得媒質、前記第2の波長選択フィルタ、前記第5の波長選択フィルタが設置された共振器が形成されており、前記第2の利得媒質の他方の端面より出射された光のうち、前記第2の波長選択フィルタ及び前記第5の波長選択フィルタにおいて選択された波長の光を第2のレーザ光として、前記第2の利得媒質の一方の端面より出射し、
前記第3の利得媒質の一方の端面に形成された部分反射ミラーと前記第4の波長選択ミラーとの間には、光路に、前記第3の利得媒質、前記第3の波長選択フィルタ、前記第5の波長選択フィルタが設置された共振器が形成されており、前記第3の利得媒質の他方の端面より出射された光のうち、前記第3の波長選択フィルタ及び前記第5の波長選択フィルタにおいて選択された波長の光を第3のレーザ光として、前記第3の利得媒質の一方の端面より出射し、
前記第4の利得媒質の一方の端面に形成された部分反射ミラーと前記第3の波長選択ミラーとの間には、光路に、前記第4の利得媒質、前記第4の波長選択フィルタ、前記第5の波長選択フィルタが設置された共振器が形成されており、前記第4の利得媒質の他方の端面より出射された光のうち、前記第4の波長選択フィルタ及び前記第5の波長選択フィルタにおいて選択された波長の光を第4のレーザ光として、前記第4の利得媒質の一方の端面より出射し、
前記第1のレーザ光の波長、前記第2のレーザ光の波長、前記第3のレーザ光の波長、前記第4のレーザ光の波長は、相互に異なるものであることを特徴とするレーザ装置。 - 前記第1の波長選択フィルタは第1のリング共振器を含んでおり、前記第1のリング共振器における共振波長の光が選択されるものであり、
前記第2の波長選択フィルタは第2のリング共振器を含んでおり、前記第2のリング共振器における共振波長の光が選択されるものであり、
前記第3の波長選択フィルタは第3のリング共振器を含んでおり、前記第3のリング共振器における共振波長の光が選択されるものであり、
前記第4の波長選択フィルタは第4のリング共振器を含んでおり、前記第4のリング共振器における共振波長の光が選択されるものであり、
前記第5の波長選択フィルタは第5のリング共振器を含んでおり、前記第5のリング共振器における共振波長の光が選択されるものであることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のレーザ装置。 - 前記第1の波長選択ミラーは第6のリング共振器と全反射ミラーを含んでおり、前記第6のリング共振器における共振波長の光が反射されるものであり、
前記第2の波長選択ミラーは第7のリング共振器と全反射ミラーを含んでおり、前記第7のリング共振器における共振波長の光が反射されるものであり、
前記第3の波長選択ミラーは第8のリング共振器と全反射ミラーを含んでおり、前記第8のリング共振器における共振波長の光が反射されるものであり、
前記第4の波長選択ミラーは第9のリング共振器と全反射ミラーを含んでおり、前記第9のリング共振器における共振波長の光が反射されるものであることを特徴とする請求項4に記載のレーザ装置。 - 前記第1の波長選択フィルタの選択光となる波長と前記第5の波長選択フィルタの選択光となる波長とが一致した波長は、前記第2の波長選択フィルタの選択光となる波長及び前記第3の波長選択フィルタの選択光となる波長とは異なる波長であり、前記第2の波長選択ミラーにおいて反射されるが、前記第3の波長選択ミラーにおいて反射されない光の波長であって、
前記第2の波長選択フィルタの選択光となる波長と前記第5の波長選択フィルタの選択光となる波長とが一致した波長は、前記第1の波長選択フィルタの選択光となる波長及び前記第4の波長選択フィルタの選択光となる波長とは異なる波長であり、前記第1の波長選択ミラーにおいて反射されるが、前記第4の波長選択ミラーにおいて反射されない光の波長であって、
前記第3の波長選択フィルタの選択光となる波長と前記第5の波長選択フィルタの選択光となる波長とが一致した波長は、前記第1の波長選択フィルタの選択光となる波長及び前記第4の波長選択フィルタの選択光となる波長とは異なる波長であり、前記第4の波長選択ミラーにおいて反射されるが、前記第1の波長選択ミラーにおいて反射されない光の波長であって、
前記第4の波長選択フィルタの選択光となる波長と前記第5の波長選択フィルタの選択光となる波長とが一致した波長は、前記第2の波長選択フィルタの選択光となる波長及び前記第3の波長選択フィルタの選択光となる波長とは異なる波長であり、前記第3の波長選択ミラーにおいて反射されるが、前記第2の波長選択ミラーにおいて反射されない光の波長であることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のレーザ装置。 - 前記第1のレーザ光の波長は、前記第1の波長選択フィルタの選択光となる波長と前記第5の波長選択フィルタの選択光となる波長とが一致した波長であり、前記第2の波長選択フィルタの選択光となる波長及び前記第3の波長選択フィルタの選択光となる波長とは異なる波長であり、前記第2の波長選択ミラーにおいて反射されるが、前記第3の波長選択ミラーにおいて反射されない光の波長であって、
前記第2のレーザ光の波長は、前記第2の波長選択フィルタの選択光となる波長と前記第5の波長選択フィルタの選択光となる波長とが一致した波長であり、前記第1の波長選択フィルタの選択光となる波長及び前記第4の波長選択フィルタの選択光となる波長とは異なる波長であり、前記第1の波長選択ミラーにおいて反射されるが、前記第4の波長選択ミラーにおいて反射されない光の波長であって、
前記第3のレーザ光の波長は、前記第3の波長選択フィルタの選択光となる波長と前記第5の波長選択フィルタの選択光となる波長とが一致した波長であり、前記第1の波長選択フィルタの選択光となる波長及び前記第4の波長選択フィルタの選択光となる波長とは異なる波長であり、前記第4の波長選択ミラーにおいて反射されるが、前記第1の波長選択ミラーにおいて反射されない光の波長であって、
前記第4のレーザ光の波長は、前記第4の波長選択フィルタの選択光となる波長と前記第5の波長選択フィルタの選択光となる波長とが一致した波長であり、前記第2の波長選択フィルタの選択光となる波長及び前記第3の波長選択フィルタの選択光となる波長とは異なる波長であり、前記第3の波長選択ミラーにおいて反射されるが、前記第2の波長選択ミラーにおいて反射されない光の波長であることを特徴とする請求項3に記載のレーザ装置。 - 前記第1の波長選択フィルタは、共振波長の周期が異なる複数のリング共振器を含んでおり、
前記第2の波長選択フィルタは、共振波長の周期が異なる複数のリング共振器を含んでおり、
前記第3の波長選択フィルタは、共振波長の周期が異なる複数のリング共振器を含んでおり、
前記第4の波長選択フィルタは、共振波長の周期が異なる複数のリング共振器を含んでいることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載のレーザ装置。 - 前記第1の利得媒質は、第1の半導体光増幅器であり、
前記第2の利得媒質は、第2の半導体光増幅器であり、
前記第3の利得媒質は、第3の半導体光増幅器であり、
前記第4の利得媒質は、第4の半導体光増幅器であり、
前記第1のレーザ光の一部の光量を検出する第1の光検出器と、
前記第1のレーザ光の一部の光がエタロンを通過した後の光量を検出する第2の光検出器と、
前記第2のレーザ光の光量を検出する第3の光検出器と、
前記第3のレーザ光の光量を検出する第4の光検出器と、
前記第4のレーザ光の光量を検出する第5の光検出器と、
前記第1の光検出器、前記第2の光検出器、前記第3の光検出器、前記第4の光検出器及び前記第5の光検出器において検出された光量に基づき、前記第1のレーザ光の発振波長、前記第2のレーザ光の発振波長、前記第3のレーザ光の発振波長及び前記第4のレーザ光の発振波長を制御する制御部と、
を有することを特徴とする請求項3または7に記載のレーザ装置。 - 第1の利得媒質と、前記第1の利得媒質の一方の端面に設けられた部分反射ミラーと、
第2の利得媒質と、前記第2の利得媒質の一方の端面に設けられた部分反射ミラーと、
第3の利得媒質と、前記第3の利得媒質の一方の端面に設けられた部分反射ミラーと、
第4の利得媒質と、前記第4の利得媒質の一方の端面に設けられた部分反射ミラーと、
第1の波長選択フィルタと、第2の波長選択フィルタと、第3の波長選択フィルタと、第4の波長選択フィルタと、第5の波長選択フィルタと、
第1の波長選択ミラーと、第2の波長選択ミラーと、第3の波長選択ミラーと、第4の波長選択ミラーと、
を有するレーザ装置の制御方法であって、
前記第1の利得媒質の一方の端面より出射される第1のレーザ光の波長、前記第2の利得媒質の一方の端面より出射される第2のレーザ光の波長、前記第3の利得媒質の一方の端面より出射される第3のレーザ光の波長、前記第4の利得媒質の一方の端面より出射される第4のレーザ光の波長は、相互に異なるものであって、
前記第1の波長選択フィルタ、前記第2の波長選択フィルタ、前記第3の波長選択フィルタ、前記第4の波長選択フィルタ、前記第5の波長選択フィルタは、各々第1の入出力ポート、第2の入出力ポート、第3の入出力ポート、第4の入出力ポートを有しており、
選択された波長である選択光に対しては、前記第1の入出力ポートと前記第2の入出力ポート、及び、前記第3の入出力ポートと前記第4の入出力ポートが接続され、非選択光に対しては、前記第1の入出力ポートと前記第3の入出力ポート、及び、前記第2の入出力ポートと前記第4の入出力ポートが接続されるものであって、
前記第5の波長選択フィルタは、波長に対し周期的に選択光が存在している波長選択フィルタであって、
前記第1の利得媒質の他方の端面には、前記第1の波長選択フィルタの第1の入出力ポートが接続されており、
前記第2の利得媒質の他方の端面には、前記第2の波長選択フィルタの第1の入出力ポートが接続されており、
前記第3の利得媒質の他方の端面には、前記第3の波長選択フィルタの第1の入出力ポートが接続されており、
前記第4の利得媒質の他方の端面には、前記第4の波長選択フィルタの第1の入出力ポートが接続されており、
前記第1の波長選択フィルタの第4の入出力ポートには、前記第1の波長選択ミラーが接続されており、
前記第2の波長選択フィルタの第4の入出力ポートには、前記第2の波長選択ミラーが接続されており、
前記第3の波長選択フィルタの第4の入出力ポートには、前記第3の波長選択ミラーが接続されており、
前記第4の波長選択フィルタの第4の入出力ポートには、前記第4の波長選択ミラーが接続されており、
前記第5の波長選択フィルタの第1の入出力ポートには、前記第1の波長選択フィルタの第2の入出力ポートが接続されており、
前記第5の波長選択フィルタの第2の入出力ポートには、前記第2の波長選択フィルタの第2の入出力ポートが接続されており、
前記第5の波長選択フィルタの第3の入出力ポートには、前記第3の波長選択フィルタの第2の入出力ポートが接続されており、
前記第5の波長選択フィルタの第4の入出力ポートには、前記第4の波長選択フィルタの第2の入出力ポートが接続されており、
前記第1のレーザ光の波長は、前記第1の波長選択フィルタの選択光となる波長と前記第5の波長選択フィルタの選択光となる波長とが一致した波長であり、前記第2の波長選択フィルタの選択光となる波長及び前記第3の波長選択フィルタの選択光となる波長とは異なる波長となり、前記第2の波長選択ミラーにおいて反射されるが、前記第3の波長選択ミラーにおいて反射されない光の波長となり、
前記第2のレーザ光の波長は、前記第2の波長選択フィルタの選択光となる波長と前記第5の波長選択フィルタの選択光となる波長とが一致した波長であり、前記第1の波長選択フィルタの選択光となる波長及び前記第4の波長選択フィルタの選択光となる波長とは異なる波長となり、前記第1の波長選択ミラーにおいて反射されるが、前記第4の波長選択ミラーにおいて反射されない光の波長となり、
前記第3のレーザ光の波長は、前記第3の波長選択フィルタの選択光となる波長と前記第5の波長選択フィルタの選択光となる波長とが一致した波長であり、前記第1の波長選択フィルタの選択光となる波長及び前記第4の波長選択フィルタの選択光となる波長とは異なる波長となり、前記第4の波長選択ミラーにおいて反射されるが、前記第1の波長選択ミラーにおいて反射されない光の波長となり、
前記第4のレーザ光の波長は、前記第4の波長選択フィルタの選択光となる波長と前記第5の波長選択フィルタの選択光となる波長とが一致した波長であり、前記第2の波長選択フィルタの選択光となる波長及び前記第3の波長選択フィルタの選択光となる波長とは異なる波長となり、前記第3の波長選択ミラーにおいて反射されるが、前記第2の波長選択ミラーにおいて反射されない光の波長となるように制御することを特徴とするレーザ装置の制御方法。
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