JP6274307B2 - 表面処理装置及び表面処理方法 - Google Patents
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Description
さらに、ワークがシート状であり、ワーク押圧部材をワークに載置するようにしたため、ワーク押圧部材をワークに押し付けるような手段を用いなくても、ワーク押圧部材の自重だけでワークの変形を矯正し得るものとなり、装置構造の簡略化などを実現し得るものとなる。
さらに、ワーク押圧部材とともにワークを挟持するワーク基盤を備えたものとしたので、ワークの変形を矯正する機能がより向上し、紫外線による均一な表面処理性能をより一層高めることができる。
図1に示す表面処理装置は、ワークWに紫外線を照射して表面処理を行う装置であって、紫外線を照射する紫外線照射手段1と、紫外線の透過性を有し且つワークWの被処理面を押圧するためのワーク押圧部材2とを備えている。そして、表面処理装置は、紫外線照射手段1からの紫外線を、ワーク押圧部材2を通してワークWの被処理面に照射するものとなっている。
まず、図5(A),(B)及び図6のステップS1に示すように、ワーク基盤5にワークWをセットする。ワーク基盤5には、予めスペーサ6,6が配置されている。ステップS1の工程は、図1に示す表面処理装置において、コンベア3上のワーク基盤5に対し、搬入用ロボットR1がワークWを載置する。このとき、ワークWは、紫外線による表面処理部分すなわちフレームFが薄い樹脂製フィルムから成るものであるため、図中に誇張して示すように、フレームFの周囲などに撓み等の変形が生じている。
図7は、本発明の表面処理装置の第2実施形態を説明する図である。なお、第1実施形態と同じ構成部位は、同一符号を付して詳細な説明を省略する。
1 紫外線照射手段
1A 第1照射部
1B,1C 第2の照射部
2 ワーク押圧部材
3 コンベア
4 着脱装置
5 ワーク基盤
6 スペーサ
7 遮光部
8 紫外線ランプ
9 反射体
9A 反射鏡(反射体)
Claims (10)
- シート状のワークに紫外線を照射して表面処理を行う装置であって、
複数のワークを移動させるコンベアと、
コンベアに処理前のワークを供給する搬入側ロボットと、
コンベアから処理後のワークを取り出す搬出用ロボットと、
コンベアの中間に配置され且つ紫外線を照射する紫外線照射手段と、
紫外線の透過性を有し且つワーク上に載置してワークの被処理面を押圧するためのワーク押圧部材と、
紫外線照射手段を通過するワークに対してワーク押圧部材を着脱させる着脱装置と、
コンベアに取り付けられ且つワーク押圧部材とともにワークを挟持するワーク基盤とを備え、
紫外線照射手段からの紫外線を、ワーク押圧部材を通してワークの被処理面に照射することを特徴とする表面処理装置。 - 紫外線照射手段から照射する紫外線の波長が、254nm以上であることを特徴とする請求項1に記載の表面処理装置。
- ワーク押圧部材が、アクリル樹脂製であることを特徴とする請求項1又は2に記載の表面処理装置。
- ワークの両面が、紫外線の被処理面であって、
ワーク基盤が、紫外線の透過性を有しており、
紫外線照射手段が、ワークの一方の被処理面に紫外線を照射する第1照射部と、他方の被処理面に紫外線を照射する第2の照射部とを備えていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の表面処理装置。 - 紫外線照射手段の第2照射部が、第1照射部から照射した紫外線を反射させてワークに照射する反射体を備えていることを特徴とする請求項4に記載の表面処理装置。
- ワーク押圧部材とワーク基盤との間に介装されるスペーサを備えたことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の表面処理装置。
- ワーク押圧部材及びワーク基盤の少なくとも一方が、ワークの一部に対する紫外線の透過を抑制する遮光部を備えていることを特徴とする請求項4〜6のいずれか1項に記載の表面処理装置。
- ワークが、アノード及びカソードの電極層で電解質層を挟んだ構造を有し且つ周囲にフレームを有する膜電極接合体であって、少なくともフレームの周縁部にワーク押圧部材を通して紫外線を照射することを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の表面処理装置。
- 前記フレームが、樹脂製フィルムから成るものであることを特徴とする請求項8に記載の表面処理装置。
- 請求項1〜9のいずれか1項に記載の表面処理装置を用いてワークの被処理面に紫外線を照射するに際し、紫外線の透過性を有し且つワーク上に載置してワークの被処理面を押圧するためのワーク押圧部材と、ワーク押圧部材とともにワークを挟持するワーク基盤とを用い、
紫外線をワーク押圧部材を通してワークの被処理面に照射することを特徴とする表面処理方法。
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