JP6269303B2 - 圧力センサの製造方法 - Google Patents
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Description
以下、本発明の第1実施形態について図を参照して説明する。本実施形態に係る圧力センサは、例えば自動車のコモンレ−ル等の燃料噴射系における燃料パイプに取り付けられ、この燃料パイプ内の圧力媒体としての気体または気液混合気の高圧力を検出するものである。図1に示されるように、圧力センサは、金属ステム10及び半導体チップ20を備えている。
本実施形態では、第1実施形態と異なる部分について説明する。本実施形態では、均一化工程において、図7に示されるように、隣同士のセンサ出力間の二次曲線の頂点がそれぞれ第2狙い値となるように、各センサ出力間の二次曲線のそれぞれの曲がり量をオフセット補正する。これにより、各センサ出力間の温度特性曲線を第1狙い値と第2狙い値との間に収めることができる。したがって、圧力センサの特性保証を確実に満たすようにすることができる。
上記各実施形態で示された圧力センサの製造方法は一例であり、上記で示した構成に限定されることなく、本発明を実現できる他の構成とすることもできる。例えば、取得工程では、3点の温度ではなく例えば5点やそれ以上の数のセンサ出力を取得しても良い。
25 センサ部(センシング部)
28 増幅回路部(センシング部)
29 補正回路部
Claims (2)
- 圧力媒体の圧力が印加されることで歪むダイヤフラム(12)の歪みに応じたセンサ出力を取得するセンシング部(25、28)と、
前記センサ出力の温度特性成分を補正する補正値が記憶されており、前記補正値に基づいて前記センサ出力の補正を行う補正回路部(29)と、
を備えた圧力センサの製造方法であって、
前記センシング部(25、28)の使用温度範囲において少なくとも3点の温度に対する前記センシング部(25、28)のセンサ出力を取得する取得工程と、
前記センシング部(25、28)の使用温度範囲における前記センサ出力の温度特性曲線を示す二次曲線の基礎データを用意する一方、前記取得工程で取得した前記各センサ出力をそれぞれ同一の第1狙い値に合わせると共に、前記第1狙い値に合わせた前記各センサ出力のうちの隣同士のセンサ出力間の温度特性曲線である二次曲線の曲がり量を前記基礎データに基づいて推定する推定工程と、
前記各センサ出力のいずれかの温度を補正することにより、前記推定工程で推定された前記隣同士のセンサ出力間の二次曲線の曲がり量を均一化する均一化工程と、
前記均一化工程で取得された前記センサ出力の補正成分を前記補正値として前記補正回路部(29)に記憶する記憶工程と、
を含んでいることを特徴とする圧力センサの製造方法。 - 前記均一化工程では、前記隣同士のセンサ出力間の二次曲線の頂点がそれぞれ第2狙い値となるように、前記各センサ出力間の二次曲線のそれぞれの曲がり量をオフセット補正することを特徴とする請求項1に記載の圧力センサの製造方法。
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