JP6266493B2 - 研磨装置及び研磨方法 - Google Patents
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- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
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- H01L21/3205—Deposition of non-insulating-, e.g. conductive- or resistive-, layers on insulating layers; After-treatment of these layers
- H01L21/321—After treatment
- H01L21/32115—Planarisation
- H01L21/3212—Planarisation by chemical mechanical polishing [CMP]
Description
MRR_Edge=F(AP_Edge,RRP,etc...) …(1)
ここで、AP_Edgeはエッジ領域の圧力室であるエッジ室8の圧力(エッジ室圧力)である。また、RRPは、リテーナリング圧力室9の圧力(リテーナリング圧力)である。エッジ領域の研磨レートに影響するその他のパラメータ(式(1)の「etc」)としては、例えば、エッジ室8より半導体ウエハWの中心側に隣接する圧力室であるアウター室7の圧力等である。
RRP=G(MRR_Tgt,AP_Edge,etc...) …(2)
MRR_Edge(t)=a×AP_8(t)+b×RRP(t)+c …(3)
ここで、a、b、cは、それぞれ実験的に求められた定数である。
MRR_8(t)=G_8×AP_8(t) …(4)
ここで、G_8はエリア8の圧力の研磨レートに対するゲインである。
MRR_Edge(t)=MRR_8(t) …(5)
式(5)に式(3)及び式(4)を代入すると、下式(6)を得る。
a×AP_8(t)+b×RRP(t)+c=G_8×AP_8(t) …(6)
式(6)を変形すると、下式(7)のように、各時点のリテーナリング圧力RRP(t)が得られる。
RRP(t)=1/b×(G_8−a)×AP_8(t)−c/b …(7)
MRR(t)=A・AP(t)+B …(9)
行列Aは、基板中心側、すなわち左上の部分においては対角行列に近い比較的疎な形をしており、基板端側、すなわち右下の部分では周辺部圧力の影響を表わすため比較的密になる。行列Aの各要素は、前述のように各圧力を変化させた実験および重回帰分析によって決定できる。あるいは、基板中心側の各領域に関しては、研磨レートが対向する圧力室の圧力によって殆ど決まるので、サンプルウェハを研磨したときの当該領域の研磨レートと対向する圧力室の圧力とから、対応する要素の値を決めることにしてもよい。ここで、研磨レートのオフセットを無視できる場合には、ベクトルBの対応する要素を0にする。
y(k)=y(0)−A・f1(k,Δt,tD,α,u0,Δu(1),Δu(2),…,Δu(k−1))−kΔt・B …(10)
ただし、 y(k)は膜厚であって、長さIの列ベクトルであり、Aは圧力に対する研磨レートの比例定数であって、サイズI×Jの行列であり、kは離散時間であって、k=0,1,2,…であり、Δtは時間刻み(制御周期)であり、tDは応答のむだ時間であり、αは応答の時定数であり、u0は初期圧力であって、長さJの列ベクトルであり、Δu(k)は時刻kにおける圧力の変化量であって、長さJの列ベクトルである。
yP(k,p)=yO(k,p)+yF(k,p) …(11)
yO(k,p)=y(k)−A・f2(k,Δt,tD,α,u0,Δu(1),Δu(2),…,Δu(k−1),p)−pΔt・B …(12)
yF(k,p)=−A・f3(k,Δt,tD,α,Δu(k),Δu(k+1),…,Δu(k+p−1),p) …(13)
ただし、yP(k,p)は、時刻kにおける膜厚のp段先の予測値であって、長さIの列ベクトルであり、yO(k,p)は、過去の操作量(圧力)によって定まる確定項であって、長さIの列ベクトルであり、yF(k,p)は、現時点以降の操作量(圧力)によって定まる未確定項であって、長さIの列ベクトルである。
YP(k,P)=[yP(k,1)T,yP(k,2)T,…,yP(k,P)T]T …(14)
YO(k,P)=[ yO(k,1)T,yO(k,2)T,…,yO(k,P)T]T …(15)
ΔUQ=[Δu(k)T,Δu(k+1)T,…,Δu(k+Q−1)T]T …(16)
とおき、Ψを(I×P)×(J×Q)の適当な行列として用いると、膜厚のP段先までの予測値YP(k,P)は下式(17)のように表わされる。
YP(k,P)=YO(k,P)−ΨΔUQ …(17)
ここで、十分な時間が経過した後の操作量(圧力)の変化を抑えるために、1≦Q≦Pの条件下で、下式(18)を仮定している。
Δu(k+Q)=Δu(k+Q+1)=…=Δu(k+P−1)=0 …(18)
もし、Q=Pであれば、式(18)はΔu(k+Q)=0と解釈される。
YR(k,P)=[yR(k,1)T,yR(k,2)T,…,yR(k,P)T]T …(19)
yR(k,p)=yS(k+p)+exp(−pΔt/β)[y(k)−yS(k)] …(20)
yS(k+p)=[yS0(k+p),yS0(k+p),…,yS0(k+p)]T …(21)
ここで、式(21)は、長さIの列ベクトルである。
J=‖YR(k,P)−YP(k,P)‖2 ΓTΓ+‖ΔUQ‖2 ΛTΛ
=‖YR(k,P)−YO(k,P)+ΨΔUQ‖2 ΓTΓ+‖ΔUQ‖2 ΛTΛ …(22)
ただし、‖X‖2 A=XTAX …(23)
2 トップリング本体
3 リテーナリング
4 弾性膜(メンブレン)
4a 隔壁
5 センター室
6 リプル室
7 アウター室
8 エッジ室
9 リテーナリング圧力室
11、12、13、14、15 流路
21、22、23、24、26 流路
25 ロータリージョイント
31 真空源
32 弾性膜(メンブレン)
33 シリンダ
35 気水分離槽
V1−1〜V1−3、V2−1〜V2−3、V3−1〜V3−3、V4−1〜V4−3、V5−1〜V5−3 バルブ
R1、R2、R3、R4、R5 圧力レギュレータ
P1、P2、P3、P4、P5 圧力センサ
F1、F2、F3、F4、F5 流量センサ
40 膜厚測定部
41 トップリングフランジ
42 受光部
43 分光器
44 光源
45 光学ヘッド(光学式膜厚測定ヘッド)
46 処理部
51 通孔
52 ロータリージョイント
53 液体供給路
54 液体排出路
55 液体供給源
60 研磨液供給ノズル
100 研磨テーブル
101 研磨パッド
101a 研磨面
102 孔
110 トップリングヘッド
111 トップリングシャフト
112 回転筒
113 タイミングプーリ
114 トップリング用回転モータ
115 タイミングベルト
116 タイミングプーリ
117 トップリングヘッドシャフト
124 上下動機構
126 軸受
128 ブリッジ
129 支持台
130 支柱
131 真空源
132 ボールねじ
132a ねじ軸
132b ナット
138 ACサーボモータ
500 制御部
501 研磨制御装置
502 閉ループ制御装置
Claims (17)
- 研磨対象物の被研磨面と研磨部材とを相対的に摺動させて前記被研磨面を研磨する研磨装置であって、
前記研磨対象物の前記被研磨面の裏面を押圧することで、前記被研磨面を前記研磨部材に押圧する押圧部と、
前記研磨対象物の研磨中に、前記研磨対象物の前記被研磨面の残膜プロファイルを推定する膜厚測定部と、
前記研磨対象物の研磨中に、前記膜厚測定部の測定結果に応じて、前記押圧部による前記被研磨面の裏面に対する押圧を制御する制御部と、
を備え、
前記押圧部は、円形状の圧力室及びその周りを囲む複数の円環状の圧力室から形成され、
前記制御部は、前記研磨対象物の研磨中の前記押圧部による押圧の制御とともに、前記被研磨面の前記研磨部材に対する押圧に影響を与える前記押圧部の周辺部を研磨中に制御し、
前記制御部は、前記周辺部の押圧を、前記押圧部の最外周の圧力室であるエッジ室によって裏面を直接押圧される前記被研磨面のエッジ領域内の半径方向に分けられた複数の領域の各々の研磨速度に対する、前記押圧部の前記エッジ室の押圧、および前記周辺部の押圧との関係式を用いて研磨中に計算することを特徴とする研磨装置。 - 前記周辺部は、前記押圧部の近傍で前記研磨部材を押圧するリテーナ部材であり、
前記制御部は、前記押圧部による前記被研磨面の裏面の押圧の制御とともに、前記リテーナ部材による前記研磨部材の押圧を制御することを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。 - 前記押圧部は、前記研磨対象物の前記被研磨面の裏面のエッジ領域を押圧し、
前記リテーナ部材は、前記研磨対象物を囲う部材であることを特徴とする請求項2に記載の研磨装置。 - 前記研磨対象物の前記被研磨面の裏面を部分的に押圧する複数の前記押圧部を備え、
前記周辺部は、隣接する他の前記押圧部であることを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。 - 前記周辺部は、前記押圧部の弾性体の変形による前記被研磨面の圧力を制御する機構であることを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
- 前記周辺部は、前記押圧部の弾性体の変形を制御する機構であることを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
- 前記制御部は、前記被研磨面の膜厚プロファイルが、前記被研磨面の全面において、均一又は所望の形状となるように、前記周辺部の押圧を制御することを特徴とする請求項2ないし6のいずれか一項に記載の研磨装置。
- 前記制御部は、前記被研磨面の膜厚プロファイルが、前記押圧部によって裏面を直接押圧される前記被研磨面の領域内において、均一又は所望の形状となるように、前記周辺部の押圧を制御することを特徴とする請求項2ないし4のいずれか一項に記載の研磨装置。
- 前記周辺部の制御について制御限界値が設定されており、
前記制御部は、前記制御限界値の範囲内で制御を行うことを特徴とする請求項1ないし8のいずれか一項に記載の研磨装置。 - 研磨対象物の被研磨面と研磨部材とを相対的に摺動させて前記被研磨面を研磨する研磨方法であって、
前記研磨対象物の前記被研磨面の裏面を押圧部で押圧することで、前記被研磨面を前記研磨部材に押圧する押圧ステップと、
前記研磨対象物の研磨中に、前記研磨対象物の前記被研磨面の残膜プロファイルを推定する膜厚測定ステップと、
前記研磨対象物の研磨中に、前記膜厚測定ステップにおける測定結果に応じて、前記押圧部による前記被研磨面の裏面に対する押圧を制御する制御ステップと、
を含み、
前記押圧部は、円形状の圧力室及びその周りを囲む複数の円環状の圧力室から形成され、
前記制御ステップは、前記押圧部による前記被研磨面の裏面の押圧の制御とともに、前記被研磨面の前記研磨部材に対する押圧に影響を与える前記押圧部の周辺部を研磨中に制御し、
前記周辺部の押圧は、前記押圧部の最外周の圧力室であるエッジ室によって裏面を直接押圧される前記被研磨面のエッジ領域内の半径方向に分けられた複数の領域の各々の研磨速度に対する、前記押圧部の前記エッジ室の押圧、および前記周辺部の押圧との関係式を用いて研磨中に計算されることを特徴とする研磨方法。 - 前記被研磨面の裏面に対する押圧と前記周辺部の押圧とが、閉ループ制御において同時に決定されることを特徴とする請求項10に記載の研磨方法。
- 前記膜厚測定部は、光学式の膜厚センサであることを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
- 前記膜厚測定部は、渦電流式膜厚センサであることを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
- 推定された残膜プロファイルが目標膜厚プロファイルになるまで、前記膜厚測定ステップと前記制御ステップとを一定の周期で繰り返すことを特徴とする請求項10に記載の研磨方法。
- 前記周辺部は、前記押圧部の近傍で前記研磨部材を押圧するリテーナ部材であり、
前記制御ステップは、前記押圧部による前記被研磨面の裏面の押圧の制御とともに、前記リテーナ部材による前記研磨部材の押圧を制御することを特徴とする請求項10に記載の研磨方法。 - 前記押圧ステップは、複数の前記押圧部により前記研磨対象物の前記被研磨面の裏面を部分的に押圧し、
前記周辺部は、隣接する他の前記押圧部であることを特徴とする請求項10に記載の研磨方法。 - 前記制御ステップは、前記被研磨面の膜厚プロファイルが、前記被研磨面の全面において、均一又は所望の形状となるように、前記周辺部の押圧を制御することを特徴とする請求項15または16に記載の研磨方法。
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Family Cites Families (42)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3311116B2 (ja) * | 1993-10-28 | 2002-08-05 | 株式会社東芝 | 半導体製造装置 |
US5664987A (en) * | 1994-01-31 | 1997-09-09 | National Semiconductor Corporation | Methods and apparatus for control of polishing pad conditioning for wafer planarization |
JP3158934B2 (ja) * | 1995-02-28 | 2001-04-23 | 三菱マテリアル株式会社 | ウェーハ研磨装置 |
US5795215A (en) * | 1995-06-09 | 1998-08-18 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for using a retaining ring to control the edge effect |
USRE38854E1 (en) * | 1996-02-27 | 2005-10-25 | Ebara Corporation | Apparatus for and method for polishing workpiece |
JP3795128B2 (ja) * | 1996-02-27 | 2006-07-12 | 株式会社荏原製作所 | ポリッシング装置 |
US5964653A (en) * | 1997-07-11 | 1999-10-12 | Applied Materials, Inc. | Carrier head with a flexible membrane for a chemical mechanical polishing system |
US6077151A (en) * | 1999-05-17 | 2000-06-20 | Vlsi Technology, Inc. | Temperature control carrier head for chemical mechanical polishing process |
JP3327289B2 (ja) * | 2000-03-29 | 2002-09-24 | 株式会社ニコン | 工程終了点測定装置及び測定方法及び研磨装置及び半導体デバイス製造方法及び信号処理プログラムを記録した記録媒体 |
US6776692B1 (en) | 1999-07-09 | 2004-08-17 | Applied Materials Inc. | Closed-loop control of wafer polishing in a chemical mechanical polishing system |
EP1092504B1 (en) * | 1999-10-15 | 2005-12-07 | Ebara Corporation | Apparatus and method for polishing workpiece |
US7160739B2 (en) | 2001-06-19 | 2007-01-09 | Applied Materials, Inc. | Feedback control of a chemical mechanical polishing device providing manipulation of removal rate profiles |
KR100506934B1 (ko) * | 2003-01-10 | 2005-08-05 | 삼성전자주식회사 | 연마장치 및 이를 사용하는 연마방법 |
JP2005011977A (ja) * | 2003-06-18 | 2005-01-13 | Ebara Corp | 基板研磨装置および基板研磨方法 |
WO2005043132A1 (en) * | 2003-10-31 | 2005-05-12 | Applied Materials, Inc. | Polishing endpoint detection system and method using friction sensor |
JP3889744B2 (ja) * | 2003-12-05 | 2007-03-07 | 株式会社東芝 | 研磨ヘッドおよび研磨装置 |
EP1758711B1 (en) | 2004-06-21 | 2013-08-07 | Ebara Corporation | Polishing apparatus and polishing method |
US7150673B2 (en) | 2004-07-09 | 2006-12-19 | Ebara Corporation | Method for estimating polishing profile or polishing amount, polishing method and polishing apparatus |
JP4689367B2 (ja) | 2004-07-09 | 2011-05-25 | 株式会社荏原製作所 | 研磨プロファイル又は研磨量の予測方法、研磨方法及び研磨装置 |
JP4597634B2 (ja) | 2004-11-01 | 2010-12-15 | 株式会社荏原製作所 | トップリング、基板の研磨装置及び研磨方法 |
CN101934491B (zh) | 2004-11-01 | 2012-07-25 | 株式会社荏原制作所 | 抛光设备 |
TWI386989B (zh) * | 2005-02-25 | 2013-02-21 | Ebara Corp | 研磨裝置及研磨方法 |
US7175505B1 (en) * | 2006-01-09 | 2007-02-13 | Applied Materials, Inc. | Method for adjusting substrate processing times in a substrate polishing system |
JP4342528B2 (ja) * | 2006-03-23 | 2009-10-14 | 株式会社荏原製作所 | ポリッシング方法 |
JP2007268678A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Elpida Memory Inc | 研磨装置及び研磨装置の制御方法 |
US7115017B1 (en) * | 2006-03-31 | 2006-10-03 | Novellus Systems, Inc. | Methods for controlling the pressures of adjustable pressure zones of a work piece carrier during chemical mechanical planarization |
JP4790475B2 (ja) * | 2006-04-05 | 2011-10-12 | 株式会社荏原製作所 | 研磨装置、研磨方法、および基板の膜厚測定プログラム |
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KR101357290B1 (ko) * | 2006-10-06 | 2014-01-28 | 가부시끼가이샤 도시바 | 가공 종점 검지방법, 연마방법 및 연마장치 |
JP2008277450A (ja) * | 2007-04-26 | 2008-11-13 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Cmp装置の研磨条件管理装置及び研磨条件管理方法 |
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