JP6231330B2 - 制振装置 - Google Patents
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Description
2 可動マス
3 リニアガイド
4 固定ラック
5 マス側ラック
6 ピニオンギア
7 モータベース
8 モータ
13 マス側ストッパ
14 ベース側ストッパ
31 レール
32 ベアリング
A アクチュエータ
Claims (5)
- 架台と、当該架台上を往復動自在な可動マスと、当該可動マスを往復動させるアクチュエータとを備えた制振装置において、上記アクチュエータは、上記架台に固定されて上記可動マスの移動方向に沿う固定ラックと、上記可動マスに固定されて上記固定ラックに対向するマス側ラックと、上記固定ラックと上記マス側ラックに挟まれて双方に歯合するピニオンギアと、上記架台および上記可動マスの双方に対して上記可動マスの移動方向へ往復動自在に設けたモータベースと、上記モータベースに搭載されて上記ピニオンギアを駆動するモータとを備えたことを特徴とする制振装置。
- 上記モータベースは、上記架台と上記可動マスとの間に配置されることを特徴とする請求項1に記載の制振装置。
- 上記可動マスは、上記架台に上記可動マスの移動方向に沿って設けたレールと当該レールを走行するベアリングとを備えた一対のリニアガイドによって上架台に対して往復動自在とされ、上記アクチュエータは、上記架台と上記可動マスと上記一対のリニアガイドで囲まれた空間内に配置されることを特徴とする請求項2に記載の制振装置。
- 上記架台に、上記可動マスのストロークエンドの両側で当該可動マスの移動を規制するマス側ストッパと、上記モータベースのストロークエンドの両側で上記モータベースの移動を規制するベース側ストッパとを設けたこと特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の制振装置。
- 上記マス側ストッパおよび上記ベース側ストッパは、ともに油圧バッファであることを特徴とする請求項4に記載の制御装置。
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