JP6198644B2 - Precision measurement target and precision measurement method - Google Patents
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本発明は、装置をサブミリメートル単位の精度で予め決定された位置に配置するためのサブミリメートル単位の計測、すなわち、精密計測を行うのに用いられる精密計測用ターゲット及精密計測方法に関する。 The present invention relates to a target for precision measurement and a precision measurement method used to perform measurement in submillimeters for placing an apparatus at a predetermined position with submillimeter accuracy, that is, precision measurement.
従来、基準標又は測量点を床面に設置する際に床面を加工する場合、床面の加工を必要とするので作業量が多くなり、多くの時間を要するという不都合がある。また、罫書き線を床面に引くこと又はポンチを床面等に打つことによって基準標又は測量点を地面等に形成した場合、観測する角度、光加減等によって測量の際の誤差が発生するおそれがあるという不都合がある。 Conventionally, when a floor surface is processed when a reference mark or a survey point is installed on the floor surface, the processing of the floor surface is required, which increases the amount of work and takes a lot of time. In addition, when a reference mark or survey point is formed on the ground by drawing a ruled line on the floor or punching it on the floor, an error in surveying occurs due to the observation angle, light adjustment, etc. There is an inconvenience that there is a fear.
従来、サブミリメートル単位の精度が要求されない測量を行うために用いられる測量用ターゲットが提案されている(例えば、特許文献1〜4)。このような測量用ターゲットを用いることによって、上述したような不都合がなくなる。
Conventionally, surveying targets used for surveying that do not require sub-millimeter accuracy have been proposed (for example,
電波望遠鏡のパラボナアンテナの配置、研究用加速器の装置の配置、医療用加速器の装置の配置、リニアモータカーのガイドウエイの配置等において、装置をサブミリメートル単位の精度で予め決定された位置に配置するための精密計測を行う必要がある。しかしながら、精密計測を行うための基準標又は測量点として用いるのに適した精密計測用ターゲットはなかった。 In the arrangement of radio telescope parabona antennas, research accelerator devices, medical accelerator devices, linear motor car guideways, etc., devices are placed at predetermined positions with submillimeter accuracy. It is necessary to perform precise measurement for this purpose. However, there has been no precision measurement target suitable for use as a reference mark or survey point for precision measurement.
精密計測において、計測機器とターゲットとの距離が30〜40cmの近距離で使われること及びこれらの距離が20m程度の遠距離で使われることが好ましい。遠距離からの視準により測量用ターゲットの全体が見えるが、近距離からの視準により測量用ターゲットの一部しか見えない。 In precision measurement, it is preferable that the distance between the measurement device and the target is used at a short distance of 30 to 40 cm, and that these distances are used at a long distance of about 20 m. Although the entire survey target is visible by collimation from a long distance, only a part of the survey target is visible by collimation from a short distance.
しかしながら、従来の測量用ターゲットは、遠距離からの視準か近距離からの視準かによって測量用ターゲットの標の見え方が変わるにもかかわらず測量用ターゲットの標への案内がない。測量用ターゲットの標への案内がないために、視準の際に測量用ターゲットの標を把握するのが困難となり、計測機器の倍率を調整したとしても装置をサブミリメートル単位の精度で位置決めすることができない。したがって、従来提案されている測量用ターゲットを用いて精密計測を行うことはできなかった。 However, the conventional survey target does not provide guidance to the survey target regardless of whether the target of the survey target changes depending on whether it is collimated from a long distance or collimation from a short distance. Because there is no guidance to the target of the surveying target, it is difficult to grasp the target of the surveying target at the time of collimation, and the device is positioned with sub-millimeter accuracy even if the magnification of the measuring device is adjusted. I can't. Therefore, it has been impossible to perform precise measurement using the conventionally proposed survey target.
本発明の目的は、精密計測を行うための基準標又は測量点として用いることができる精密計測用ターゲット及精密計測方法を提供することである。 An object of the present invention is to provide a precision measurement target and a precision measurement method that can be used as a reference mark or a survey point for performing precision measurement.
本発明による精密計測用ターゲットは、装置をサブミリメートル単位の精度で予め決定された位置に配置するためのサブミリメートル単位の計測を行うのに用いられる精密計測用ターゲットであって、予め決定された形状のシートを有し、0.1ミリメートル以上0.5ミリメートル未満の直径を有する円形の標及び標に向かって段階的に間隔が狭くなるように配置される複数組の2本の平行線が、シートの一方の面に設けられたことを特徴とする。 The precision measurement target according to the present invention is a precision measurement target used to perform measurement in submillimeters for placing the apparatus at a predetermined position with submillimeter accuracy. A circular mark having a sheet of a shape and having a diameter of 0.1 mm or more and less than 0.5 mm, and a plurality of sets of two parallel lines arranged so as to be gradually reduced toward the mark. , Provided on one surface of the sheet.
好適には、複数組の2本の平行線の外側の矩形領域をシートの一方の面に画定し、矩形領域を黒色にし、シートの一方の面の矩形領域以外の部分を白色又は灰色にする。 Preferably, a rectangular area outside the plurality of sets of two parallel lines is defined on one side of the sheet, the rectangular area is black, and a portion other than the rectangular area on one side of the sheet is white or gray. .
好適には、標に向かう第1の直線及び第2の直線が、シートの一方の面に設けられ、複数組の2本の平行線と、第1の直線及び第2の直線との間の領域をシートの一方の面に画定し、領域を黒色にし、シートの一方の面の領域以外の部分を白色又は灰色にする。 Preferably, a first straight line and a second straight line directed to the mark are provided on one surface of the sheet, and the plurality of sets of two parallel lines and the first straight line and the second straight line are between An area is defined on one side of the sheet, the area is black, and the non-area area on one side of the sheet is white or gray.
好適には、標に向かう第1の直線及び第2の直線が、シートの一方の面に設けられ、第1の直線及び第2の直線の内側の領域をシートの一方の面に画定し、領域を黒色にする。 Preferably, a first straight line and a second straight line directed to the mark are provided on one surface of the sheet, and an area inside the first straight line and the second straight line is defined on the one surface of the sheet, Make the area black.
好適には、標を中心とする少なくとも一つの円弧が、複数組の2本の平行線のうちの一組の二本の平行線と接続するようにシートの一方の面に設けられ、円弧を黒色にする。 Preferably, at least one arc centered on the mark is provided on one surface of the sheet so as to connect to one set of two parallel lines of the plurality of sets of two parallel lines, Turn black.
好適には、標の直径が0.2ミリメートルである。 Preferably, the mark diameter is 0.2 millimeters.
好適には、シートの他方の面を接着面とする。 Preferably, the other surface of the sheet is an adhesive surface.
本発明による精密計測方法は、装置をサブミリメートル単位の精度で予め決定された位置に配置するためのサブミリメートル単位の計測を行う精密計測方法であって、上記精密計測用ターゲットを計測機器で視認する際に、計測機器の対物レンズと接眼レンズとの間に配置された十字線の交点を標に一致させるために、計測機器によって十字線の一方の線を、複数組の2本の平行線のうちの一組の2本の平行線の間に配置することを特徴とする。 The precision measurement method according to the present invention is a precision measurement method for measuring in units of submillimeters for placing the apparatus at a predetermined position with accuracy in units of submillimeters. In order to match the intersection of the crosshairs arranged between the objective lens and the eyepiece lens of the measuring instrument with the mark, the measuring instrument converts one crosshair line into a plurality of sets of two parallel lines. It arrange | positions between two parallel lines of 1 set of these, It is characterized by the above-mentioned.
本発明による精密計測用ターゲットによれば、標に向かって段階的に間隔が狭くなるように配置される複数組の2本の平行線によって、精密計測用ターゲットの全体が見えるか一部しか見えないかに関係なく十字線(ヘアピン)の交点を標に簡単に案内することができる。このように十字線の交点を標に簡単に案内することができるので、本発明による精密計測用ターゲットを、精密計測を行うための基準標又は測量点として用いることができる。 According to the precision measurement target according to the present invention, the whole or only part of the precision measurement target can be seen by a plurality of sets of two parallel lines arranged so that the interval is gradually reduced toward the mark. Regardless of whether or not there is a crosshair (hairpin) intersection can be easily guided to the mark. As described above, since the intersection of the crosshairs can be easily guided to the mark, the precision measurement target according to the present invention can be used as a reference mark or a survey point for performing precision measurement.
本発明による精密計測方法によれば、本発明による精密計測用ターゲットを精密計測のための基準標又は測量点として用いているので、精密計測を行うことができる。 According to the precision measurement method of the present invention, the precision measurement target according to the present invention is used as a reference mark or surveying point for precision measurement, so that precise measurement can be performed.
本発明による精密計測用ターゲット及び精密計測方法を、図面を参照しながら詳細に説明する。
図1は、本発明による精密計測用ターゲットの一実施の形態の正面図である。図1に示す精密計測用ターゲット1は、電波望遠鏡のパラボナアンテナの配置、研究用加速器の装置の配置、医療用加速器の装置の配置、リニアモータカーのガイドウエイの配置等において、精密計測を行うための基準標又は測量点として用いられる。
The precision measurement target and precision measurement method according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is a front view of an embodiment of a precision measurement target according to the present invention. The
精密計測用ターゲット1は、予め決定された形状としての正方形のシート2を有する。シート2は、紙、プラスチック等によって構成され、予め決定された寸法(例えば、一辺3cm)を有する。シート2の一方の面には、円形の標3及び標3への案内のための印刷パターン4,5,6,7が設けられ、シート2の他方の面は、接着剤が設けられた接着面となる。このような接着面を設けることによって、床等の任意の個所において精密計測用ターゲット1を基準標又は測量点として用いることができる。標3は、精密計測を行えるようにするために0.1ミリメートル以上0.5ミリメートル未満の直径を有する。好適には、標3の直径は0.2ミリメートルである。
The
印刷パターン4は、標3に向かって段階的に間隔が狭くなるように配置される2本の平行線11a,11b、2本の平行線12a,12b、2本の平行線13a,13b及び2本の平行線14a,14bを有する。すなわち、シート2の一方の面には、複数組の2本の平行線としての4組の2本の平行線11a,11b、2本の平行線12a,12b、2本の平行線13a,13b及び2本の平行線14a,14bが設けられる。
The
一端が標3に隣接する平行線11a,11bの間隔は、一端が平行線11a,11bの他端に隣接する平行線12a,12bの間隔より狭い。また、平行線12a,12bの間隔は、一端が平行線12a,12bの他端に隣接する平行線13a,13bの間隔より狭い。さらに、平行線13a,13bの間隔は、一端が平行線13a,13bの他端に隣接する平行線14a,14bの間隔より狭い。
The interval between the
また、印刷パターン4は、標3を中心とする少なくとも一つの円弧としての円弧15,16,17を有する。円弧15は、一組の二本の平行線としての平行線11b及び平行線12bと接続するようにシート2の一方の面に設けられる。円弧16は、一組の二本の平行線としての平行線12b及び平行線13bと接続するようにシート2の一方の面に設けられる。円弧17は、一組の二本の平行線としての平行線13b及び平行線14bと接続するようにシート2の一方の面に設けられる。
The
したがって、円弧15の内側にある平行線11bとそれに対向する平行線11aとの間隔を、円弧15の外側にある平行線12bとそれに対向する平行線12aとの間隔より狭くしている。また、円弧16の内側にある平行線12bとそれに対向する平行線12aとの間隔を、円弧16の外側にある平行線13bとそれに対向する平行線13aとの間隔より狭くしている。さらに、円弧17の内側にある平行線13bとそれに対向する平行線13aとの間隔を、円弧17の外側にある平行線14bとそれに対向する平行線14aとの間隔より狭くしている。
Therefore, the interval between the
4組の2本の平行線11a,11b、2本の平行線12a,12b、2本の平行線13a,13b及び2本の平行線14a,14bの外側の矩形領域を、シート2の一方の面に画定する。本実施の形態では、平行線11aの外側の矩形領域21a、平行線11bの外側の矩形領域21b、平行線12aの外側の矩形領域22a、平行線12bの外側の矩形領域22b、平行線13aの外側の矩形領域23a、平行線13bの外側の矩形領域23b、平行線14aの外側の矩形領域24a及び平行線14bの外側の矩形領域24bを、シート2の一方の面に画定する。
Four sets of two
また、本実施の形態では、平行線13aと平行線13bとの間及び平行線14aと平行線14bとの間にある矩形領域25を、シート2の一方の面に画定する。
In the present embodiment, a
印刷パターン5は、印刷パターン4を標3を中心にして時計回りに90°回転した印刷パターンである。したがって、印刷パターン5に含まれる平行線31a,31b,32a,32b,33a,33b,34a,34bは、平行線11a,11b,12a,12b,13a,13b,14a,14bに垂直である。
The
印刷パターン6は、印刷パターン4を標3を中心にして時計回りに180°回転した印刷パターンであり、印刷パターン7は、印刷パターン4を標3を中心にして時計回りに270°回転した印刷パターンである。
The
本実施の形態では、標3と、矩形領域21a,21b,22a,22b,23a,23b,24a,24b,25、円弧15,16,17並びにこれらの矩形領域及び円弧に対応する印刷パターン5,6,7内の矩形領域及び円弧とを黒色にし、黒色にした標3並びに当該矩形領域及び円弧以外の部分を白色又は灰色にする。このようにコントラストを明瞭にすることによって、精密計測を行いやすくすることができる。
In the present embodiment, the
図2は、本発明による精密計測方法を説明するための図であり、図3は、計測機器の対物レンズと接眼レンズとの間に配置されるレクチル及び十字線(ヘアピン)の一例を示す図である。
図2において、測量点として用いられる図1に示す精密計測用ターゲット1の他方の面が壁面40に貼り付けられ、計測機器50が壁面40に対して所定の距離(例えば、30cm〜20m)を以て配置される。
FIG. 2 is a diagram for explaining a precision measurement method according to the present invention, and FIG. 3 is a diagram illustrating an example of a reticle and a crosshair (hairpin) arranged between an objective lens and an eyepiece lens of a measurement device. It is.
In FIG. 2, the other surface of the
精密計測用ターゲット1を計測機器50で視認する際に、計測機器50の対物レンズと接眼レンズとの間に配置された十字線60の交点61を標3に一致させる。このために、十字線60を垂直方向(1軸)で動かす場合、後述するように、精密計測用ターゲット1を計測機器50で視認する際に、十字線60の一方の線としての横線62を、平行線11aと平行線11bとの間、平行線12aと平行線12bとの間、平行線13aと平行線13bとの間又は平行線14aと平行線14bとの間に配置する。
When the
例えば、計測機器50と壁面40すなわち精密計測用ターゲット1との間の距離が30cm未満である場合、精密計測用ターゲット1を計測機器50で視認する際に、同心円であるレクチル71,72,73のうちの最も半径の大きいレクチル73の半径が円弧15の半径よりも小さく見える。すなわち、精密計測用ターゲット1を計測機器50で視認する際に、精密計測用ターゲット1の一部しか見えない。したがって、交点61を標3に一致させるために、横線62を平行線11aと平行線11bとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル73の半径を円弧15の半径に一致させるように計測機器50の倍率を変更することもできる。
For example, when the distance between the
また、計測機器50と精密計測用ターゲット1との間の距離が30cmと40cmの間である場合、精密計測用ターゲット1を計測機器50で視認する際に、レクチル73の半径が円弧15の半径と円弧16の半径の間にあるように見える。すなわち、精密計測用ターゲット1を計測機器50で視認する際に、精密計測用ターゲット1の一部しか見えない。したがって、交点61を標3に一致させるために、横線62を平行線12aと平行線12bとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル72,73の半径を円弧15,16の半径にそれぞれ一致させ又はレクチル71,72,73の半径を円弧15,16,17の半径にそれぞれ一致させるように計測機器50の倍率を変更することもできる。
When the distance between the measuring
また、計測機器50と精密計測用ターゲット1との間の距離が40cmと20mの間である場合、精密計測用ターゲット1を計測機器50で視認する際に、レクチル73の半径が円弧16の半径と円弧17の半径の間にあるように見える。すなわち、精密計測用ターゲット1を計測機器50で視認する際に、精密計測用ターゲット1の一部しか見えない。したがって、交点61を標3に一致させるために、横線62を平行線13aと平行線13bとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル71,72の半径を円弧16,17の半径にそれぞれ一致させ又はレクチル71,72,73の半径を円弧15,16,17の半径にそれぞれ一致させるように計測機器50の倍率を変更することもできる。この場合、交点61を標3に案内するために矩形領域25を用いることもできる。
When the distance between the measuring
さらに、計測機器50と精密計測用ターゲット1との間の距離が20mを超える場合、精密計測用ターゲット1を計測機器50で視認する際に、レクチル73の半径が円弧17の半径より大きくなるように見える。すなわち、精密計測用ターゲット1を計測機器50で視認する際に、精密計測用ターゲット1の全体が見える。したがって、交点61を標3に一致させるために、横線62を平行線14aと平行線14bとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル71の半径を円弧17の半径に一致させるように計測機器50の倍率を変更することもできる。この場合も、交点61を標3に案内するために矩形領域25を用いることもできる。
Further, when the distance between the measuring
十字線60を垂直方向(1軸)で動かす際に印刷パターン4のみを用いる場合について説明したが、十字線60を垂直方向(1軸)で動かす際に印刷パターン6のみ又は印刷パターン4と印刷パターン6の両方を用いてもよい。
Although the case where only the
十字線60を水平方向(1軸)で動かす場合、後述するように、精密計測用ターゲット1を計測機器50で視認する際に、十字線60の一方の線としての縦線63を、平行線31aと平行線31bとの間、平行線32aと平行線32bとの間、平行線33aと平行線33bとの間又は平行線34aと平行線34bとの間に配置する。
When the
例えば、計測機器50と精密計測用ターゲット1との間の距離が30cm未満である場合、交点61を標3に一致させるために、縦線63を平行線31aと平行線31bとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル73の半径を円弧15の半径に一致させるように計測機器50の倍率を変更することもできる。
For example, when the distance between the measuring
また、計測機器50と精密計測用ターゲット1との間の距離が30cmと40cmの間である場合、交点61を標3に一致させるために、縦線63を平行線32aと平行線32bとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル72,73の半径を円弧15,16の半径にそれぞれ一致させ又はレクチル71,72,73の半径を円弧15,16,17の半径にそれぞれ一致させるように計測機器50の倍率を変更することもできる。
Further, when the distance between the measuring
また、計測機器50と精密計測用ターゲット1との間の距離が40cmと20mの間である場合、交点61を標3に一致させるために、縦線63を平行線33aと平行線33bとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル71,72の半径を円弧16,17の半径にそれぞれ一致させ又はレクチル71,72,73の半径を円弧15,16,17の半径にそれぞれ一致させるように計測機器50の倍率を変更することもできる。
In addition, when the distance between the measuring
さらに、計測機器50と精密計測用ターゲット1との間の距離が20mを超える場合、交点61を標3に一致させるために、縦線63を平行線14aと平行線14bとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル71の半径を円弧17の半径に一致させるように計測機器50の倍率を変更することもできる。
Further, when the distance between the measuring
十字線60を水平方向(1軸)で動かす際に印刷パターン5のみを用いる場合について説明したが、十字線60を水平方向(1軸)で動かす際に印刷パターン7のみ又は印刷パターン5と印刷パターン7の両方を用いてもよい。
The case where only the
十字線60を垂直方向及び水平方向(2軸)で動かす場合、後述するように、精密計測用ターゲット1を計測機器50で視認する際に、横線62を、平行線11aと平行線11bとの間、平行線12aと平行線12bとの間、平行線13aと平行線13bとの間又は平行線14aと平行線14bとの間に配置する。また、縦線63を、平行線31aと平行線31bとの間、平行線32aと平行線32bとの間、平行線33aと平行線33bとの間又は平行線34aと平行線34bとの間に配置する。
When the
例えば、計測機器50と精密計測用ターゲット1との間の距離が30cm未満である場合、交点61を標3に一致させるために、横線62を平行線11aと平行線11bとの間に配置するとともに縦線63を平行線31aと平行線31bとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル73の半径を円弧15の半径に一致させるように計測機器50の倍率を変更することもできる。
For example, when the distance between the measuring
また、計測機器50と精密計測用ターゲット1との間の距離が30cmと40cmの間である場合、交点61を標3に一致させるために、横線62を平行線12aと平行線12bとの間に配置するとともに縦線63を平行線32aと平行線32bとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル72,73の半径を円弧15,16の半径にそれぞれ一致させ又はレクチル71,72,73の半径を円弧15,16,17の半径にそれぞれ一致させるように計測機器50の倍率を変更することもできる。
When the distance between the measuring
また、計測機器50と精密計測用ターゲット1との間の距離が40cmと20mの間である場合、交点61を標3に一致させるために、横線62を平行線13aと平行線13bとの間に配置するとともに縦線63を平行線33aと平行線33bとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル71,72の半径を円弧16,17の半径にそれぞれ一致させ又はレクチル71,72,73の半径を円弧15,16,17の半径に一致させるように計測機器50の倍率を変更することもできる。
When the distance between the measuring
さらに、計測機器50と精密計測用ターゲット1との間の距離が20mを超える場合、交点61を標3に一致させるために、横線62を平行線14aと平行線14bとの間に配置するとともに縦線63を平行線34aと平行線34bとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル71の半径を円弧17の半径に一致させるように計測機器50の倍率を変更することもできる。
Further, when the distance between the measuring
垂直方向及び水平方向(2軸)で動かす際に印刷パターン4,5のみを用いる場合について説明したが、垂直方向及び水平方向(2軸)で動かす際に印刷パターン6,7のみ又は印刷パターン4,5,6,7の全てを用いてもよい。
Although the case where only the
交点61を標3に一致させた後、計測機器50は、精密計測を行うために、レーザ光51を精密計測用ターゲット1に出射し、精密計測用ターゲット1から反射されたレーザ光を受光する。
After matching the
本実施の形態によれば、印刷パターン4,5,6,7はそれぞれ、標3に向かって段階的に間隔が狭くなるように配置される複数組の2本の平行線を有する。これらの2本の平行線によって、精密計測用ターゲット1を計測機器50で視認する際に、精密計測用ターゲット1の全体が見えるか一部しか見えないかに関係なく交点61を標3に簡単に案内することができる。
According to the present embodiment, each of the
このように交点61を標3に簡単に案内することができるので、精密計測用ターゲット1を、精密計測を行うための基準標又は測量点として用いることができる。すなわち、精密計測用ターゲット1を精密計測のための基準標又は測量点として用いていることによって、精密計測を行うことができる。
Thus, since the
図4は、本発明による精密計測用ターゲットの他の実施の形態の正面図である。図4に示す精密計測用ターゲット101は、精密計測を行うための基準標又は測量点として用いられ、正方形のシート102を有する。シート102は、紙、プラスチック等によって構成され、予め決定された寸法(例えば、一辺3cm)を有する。シート102の一方の面には、円形の標103、標103への案内のための印刷パターン104,105,106,107及び標103を包囲するレクチル合わせ用の環状領域108が設けられ、シート102の他方の面は、接着剤が設けられた接着面となる。標103は、0.1ミリメートル以上0.5ミリメートル未満の直径を有する。好適には、標103の直径は0.2ミリメートルである。
FIG. 4 is a front view of another embodiment of the precision measurement target according to the present invention. A
印刷パターン104は、標103に向かって段階的に間隔が狭くなるように配置される2本の平行線111a,111b、2本の平行線112a,112b、2本の平行線113a,113b及び2本の平行線114a,114bを有する。すなわち、シート2の一方の面には、4組の2本の平行線111a,111b、2本の平行線112a,112b、2本の平行線113a,113b及び2本の平行線114a,114bが設けられる。
The
一端が環状領域108に隣接する平行線111a,111bの間隔は、一端が平行線111a,111bの他端に隣接する平行線112a,112bの間隔より狭い。また、平行線112a,112bの間隔は、一端が平行線112a,112bの他端に隣接する平行線113a,113bの間隔より狭い。さらに、平行線113a,113bの間隔は、一端が平行線113a,113bの他端に隣接する平行線114a,114bの間隔より狭い。
The interval between the
また、印刷パターン104は、標103を中心とする円弧115,116,117を有する。円弧115は、平行線111b及び平行線112bと接続するようにシート102の一方の面に設けられる。円弧116は、平行線112b及び平行線113bと接続するようにシート102の一方の面に設けられる。円弧117は、平行線113b及び平行線114bと接続するようにシート102の一方の面に設けられる。
The
したがって、円弧115の内側にある平行線111bとそれに対向する平行線111aとの間隔を、円弧115の外側にある平行線112bとそれに対向する平行線112aとの間隔より狭くしている。また、円弧116の内側にある平行線112bとそれに対向する平行線112aとの間隔を、円弧116の外側にある平行線113bとそれに対向する平行線113aとの間隔より狭くしている。さらに、円弧117の内側にある平行線113bとそれに対向する平行線113aとの間隔を、円弧117の外側にある平行線114bとそれに対向する平行線114aとの間隔より狭くしている。
Therefore, the interval between the parallel line 111b inside the
4組の2本の平行線111a,111b、2本の平行線112a,112b、2本の平行線113a,113b及び2本の平行線114a,114bの外側の領域を、シート102の一方の面に画定する。本実施の形態では、平行線111aの外側の矩形領域121a、平行線111bの外側の矩形領域121b、平行線112aの外側の矩形領域122a、平行線112bの外側の矩形領域122b、平行線113aの外側の矩形領域123a、平行線113bの外側の矩形領域123b、平行線114aの外側の矩形領域124a及び平行線114bの外側の矩形領域24bを、シート102の一方の面に画定する。
Four sets of two
また、本実施の形態では、平行線113aと平行線113bとの間及び平行線114aと平行線114bとの間にある矩形領域125を、シート102の一方の面に画定する。
In the present embodiment, a
印刷パターン105は、印刷パターン104を標103を中心にして時計回りに90°回転した印刷パターンである。したがって、印刷パターン105に含まれる平行線131a,131b,132a,132b,133a,133b,134a,134bは、平行線111a,111b,112a,112b,113a,113b,114a,114bに垂直である。
The
印刷パターン106は、印刷パターン104を標103を中心にして時計回りに180°回転した印刷パターンであり、印刷パターン107は、印刷パターン104を標103を中心にして時計回りに270°回転した印刷パターンである。
The
本実施の形態では、標103と、矩形領域121a,121b,122a,122b,123a,123b,124a,124b,125、円弧115,116,117並びにこれらの矩形領域及び円弧に対応する印刷パターン105,106,107内の矩形領域及び円弧と、環状領域108とを黒色にし、黒色にした標103、当該矩形領域及び円弧並びに環状領域108以外の部分を白色又は灰色にする。
In the present embodiment, the
図5は、計測機器の対物レンズと接眼レンズとの間に配置されるレクチル及び十字線の他の例を示す図である。精密計測用ターゲット101を計測機器50で視認する際に、計測機器50の対物レンズと接眼レンズとの間に配置された十字線160の交点161を標103に一致させる。このために、十字線160を垂直方向(1軸)で動かす場合、後述するように、精密計測用ターゲット101を計測機器50で視認する際に、十字線160の横線162を、平行線111aと平行線111bとの間、平行線112aと平行線112bとの間、平行線113aと平行線113bとの間又は平行線114aと平行線114bとの間に配置する。
FIG. 5 is a diagram illustrating another example of a reticle and a crosshair arranged between an objective lens and an eyepiece lens of a measurement device. When the
例えば、計測機器50と精密計測用ターゲット101との間の距離が30cm未満である場合、交点161を標103に一致させるために、横線162を平行線111aと平行線111bとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル171の半径を円弧115の半径に一致させるように計測機器50の倍率を変更することもできる。
For example, when the distance between the measuring
また、計測機器50と精密計測用ターゲット101との間の距離が30cmと40cmの間である場合、交点161を標103に一致させるために、横線162を平行線112aと平行線112bとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル171の半径を円弧116の半径に一致させるように計測機器50の倍率を変更することもできる。
When the distance between the measuring
また、計測機器50と精密計測用ターゲット101との間の距離が40cmと20mの間である場合、交点161を標103に一致させるために、横線162を平行線113aと平行線113bとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル171の半径を円弧117の半径に一致させるように計測機器50の倍率を変更することもできる。この場合、交点161を標103に案内するために矩形領域125を用いることもできる。
When the distance between the measuring
さらに、計測機器50と精密計測用ターゲット101との間の距離が20mを超える場合、交点161を標103に一致させるために、横線162を平行線114aと平行線114bとの間に配置するのが好ましい。この場合も、交点161を標103に案内するために矩形領域125を用いることもできる。
Further, when the distance between the measuring
十字線160を垂直方向(1軸)で動かす際に印刷パターン104のみを用いる場合について説明したが、十字線160を垂直方向(1軸)で動かす際に印刷パターン106のみ又は印刷パターン104と印刷パターン106の両方を用いてもよい。
The case where only the
十字線160を水平方向(1軸)で動かす場合、後述するように、精密計測用ターゲット101を計測機器50で視認する際に、十字線160の一方の線としての縦線163を、平行線131aと平行線131bとの間、平行線132aと平行線132bとの間、平行線133aと平行線133bとの間又は平行線134aと平行線134bとの間に配置する。
When the
例えば、計測機器50と精密計測用ターゲット101との間の距離が30cm未満である場合、交点161を標103に一致させるために、縦線163を平行線131aと平行線131bとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル171の半径を円弧115の半径に一致させるように計測機器50の倍率を変更することもできる。
For example, when the distance between the measuring
また、計測機器50と精密計測用ターゲット101との間の距離が30cmと40cmの間である場合、交点161を標103に一致させるために、縦線163を平行線132aと平行線132bとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル171の半径を円弧116の半径に一致させるように計測機器50の倍率を変更することもできる。
Further, when the distance between the measuring
また、計測機器50と精密計測用ターゲット101との間の距離が40cmと20mの間である場合、交点161を標103に一致させるために、縦線163を平行線133aと平行線133bとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル171の半径を円弧117の半径に一致させるように計測機器50の倍率を変更することもできる。
Further, when the distance between the measuring
さらに、計測機器50と精密計測用ターゲット101との間の距離が20mを超える場合、交点161を標103に一致させるために、縦線163を平行線114aと平行線114bとの間に配置するのが好ましい。
Further, when the distance between the measuring
十字線60を水平方向(1軸)で動かす際に印刷パターン105のみを用いる場合について説明したが、十字線60を水平方向(1軸)で動かす際に印刷パターン107のみ又は印刷パターン105と印刷パターン107の両方を用いてもよい。
The case where only the
十字線160を垂直方向及び水平方向(2軸)で動かす場合、後述するように、精密計測用ターゲット101を計測機器50で視認する際に、横線162を、平行線111aと平行線111bとの間、平行線112aと平行線112bとの間、平行線113aと平行線113bとの間又は平行線114aと平行線114bとの間に配置する。また、縦線163を、平行線131aと平行線131b(共に図示せず)との間、平行線132aと平行線132bとの間、平行線133aと平行線133bとの間又は平行線134aと平行線134bとの間に配置する。
When the
例えば、計測機器50と精密計測用ターゲット101との間の距離が30cm未満である場合、交点161を標103に一致させるために、横線162を平行線111aと平行線111bとの間に配置するとともに縦線163を平行線131aと平行線131b(共に図示せず)との間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル171の半径を円弧115の半径に一致させるように計測機器50の倍率を変更することもできる。
For example, when the distance between the measuring
また、計測機器50と精密計測用ターゲット101との間の距離が30cmと40cmの間である場合、交点161を標103に一致させるために、横線162を平行線112aと平行線112bとの間に配置するとともに縦線163を平行線132aと平行線132bとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル171の半径を円弧116の半径に一致させるように計測機器50の倍率を変更することもできる。
When the distance between the measuring
また、計測機器50と精密計測用ターゲット101との間の距離が40cmと20mの間である場合、交点161を標103に一致させるために、横線162を平行線113aと平行線113bとの間に配置するとともに縦線163を平行線133aと平行線133bとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル171の半径を円弧117の半径に一致させるように計測機器50の倍率を変更することもできる。
When the distance between the measuring
さらに、計測機器50と精密計測用ターゲット101との間の距離が20mを超える場合、交点161を標103に一致させるために、横線162を平行線114aと平行線114bとの間に配置するとともに縦線163を平行線134aと平行線134bとの間に配置するのが好ましい。
Further, when the distance between the measuring
垂直方向及び水平方向(2軸)で動かす際に印刷パターン104,105のみを用いる場合について説明したが、印刷パターン106,107のみ又は印刷パターン104,105,106,107の全てを用いてもよい。
Although the case where only the
本実施の形態によれば、印刷パターン104,105,106,107はそれぞれ、標103に向かって段階的に間隔が狭くなるように配置される複数組の2本の平行線を有する。これらの2本の平行線によって、精密計測用ターゲット101を計測機器50で視認する際に、精密計測用ターゲット101の全体が見えるか一部しか見えないかに関係なく交点161を標に簡単に案内することができる。このように交点161を標103に簡単に案内することができるので、精密計測用ターゲット101を、精密計測を行うための基準標又は測量点として用いることができる。
According to the present embodiment, each of the
図6は、本発明による精密計測用ターゲットの他の実施の形態の正面図である。図6に示す精密計測用ターゲット201は、精密計測を行うための基準標又は測量点として用いられ、正方形のシート202を有する。シート202は、紙、プラスチック等によって構成され、予め決定された寸法(例えば、一辺3cm)を有する。シート202の一方の面には、円形の標203、標203への案内のための印刷パターン204,205,206,207及び標203を包囲するレクチル合わせ用の環状領域208が設けられ、シート202の他方の面は、接着剤が設けられた接着面となる。標203は、0.1ミリメートル以上0.5ミリメートル未満の直径を有する。好適には、標203の直径は0.2ミリメートルである。
FIG. 6 is a front view of another embodiment of the precision measurement target according to the present invention. A
印刷パターン204は、標203に向かって段階的に間隔が狭くなるように配置される2本の平行線211a,211b、2本の平行線212a,212b、2本の平行線213a,213b、2本の平行線214a,214b及び2本の平行線215a,215bを有する。すなわち、シート2の一方の面には、5組の2本の平行線211a,211b、2本の平行線212a,212b、2本の平行線213a,213b、2本の平行線214a,214b及び2本の平行線215a,215bが設けられる。
The
一端が環状領域208に隣接する平行線211a,211bの間隔は、一端が平行線211a,211bの他端に隣接する平行線212a,212bの間隔より狭い。また、平行線212a,212bの間隔は、一端が平行線212a,212bの他端に隣接する平行線213a,213bの間隔より狭い。また、平行線213a,213bの間隔は、一端が平行線213a,213bの他端に隣接する平行線214a,214bの間隔より狭い。さらに、平行線214a,214bの間隔は、一端が平行線214a,214bの他端に隣接する平行線215a,215bの間隔より狭い。
The interval between the
また、印刷パターン204は、標203を中心とする円弧215,216を有する。円弧215は、平行線211b及び平行線212bと接続するようにシート202の一方の面に設けられ、円弧216は、平行線213b及び平行線214bと接続するようにシート202の一方の面に設けられる。
The
したがって、円弧215の内側にある平行線211bとそれに対向する平行線211aとの間隔を、円弧215の外側にある平行線212bとそれに対向する平行線212aとの間隔より狭くしている。また、円弧216の内側にある平行線213bとそれに対向する平行線213aとの間隔を、円弧216の外側にある平行線214bとそれに対向する平行線214aとの間隔より狭くしている。
Therefore, the interval between the
本実施の形態では、印刷パターン204は、標203に向かう第1の直線としての直線216a及び第2の直線としての直線216bを有する。5組の2本の平行線211a,211b、2本の平行線212a,212b、2本の平行線213a,213b、2本の平行線214a,214b及び2本の平行線215a,215bと、直線216a,216bとの間の領域221を、シート202の一方の面に画定する。
In the present embodiment, the
また、印刷パターン204は、標203を中心とする円弧215,216を有する。円弧215は、平行線211b及び平行線212bと接続するようにシート202の一方の面に設けられる。円弧216は、平行線213b及び平行線214bと接続するようにシート102の一方の面に設けられる。さらに、本実施の形態では、平行線212a,213a,214a,215aと平行線212b,213b,214b,215bとの間にある矩形領域222を、シート202の一方の面に画定する。
The
印刷パターン205は、印刷パターン204を標203を中心にして時計回りに90°回転した印刷パターンである。したがって、印刷パターン205に含まれる平行線231a,231b,232a,232b,233a,233b,234a,234b,235a,235bは、平行線211a,211b,212a,212b,213a,213b,214a,214b,215a,215bに垂直である。
The
印刷パターン206は、印刷パターン204を標203を中心にして時計回りに180°回転した印刷パターンであり、印刷パターン207は、印刷パターン204を標203を中心にして時計回りに270°回転した印刷パターンである。
The
本実施の形態では、標203と、領域221、矩形領域222、円弧215,216並びにこれらの領域、矩形領域及び円弧に対応する印刷パターン205,206,207内の矩形領域、領域及び円弧と、環状領域208とを黒色にし、黒色にした標203、当該矩形領域、領域及び円弧並びに環状領域208以外の部分を白色又は灰色にする。
In the present embodiment, the
図7は、計測機器の対物レンズと接眼レンズとの間に配置されるレクチル及び十字線の他の例を示す図である。精密計測用ターゲット201を計測機器50で視認する際に、計測機器50の対物レンズと接眼レンズとの間に配置された十字線260の交点261を標203に一致させる。このために、十字線260を垂直方向(1軸)で動かす場合、後述するように、精密計測用ターゲット201を計測機器50で視認する際に、十字線260の横線262を、平行線211aと平行線211bとの間、平行線212aと平行線212bとの間、平行線213aと平行線213bとの間、平行線214aと平行線214bとの間又は平行線215aと平行線215bとの間に配置する。
FIG. 7 is a diagram illustrating another example of a reticle and a crosshair arranged between an objective lens and an eyepiece lens of a measurement device. When the
例えば、計測機器50と精密計測用ターゲット201との間の距離が30cm未満である場合、交点261を標203に一致させるために、横線262を平行線211aと平行線211bとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル271の半径を円弧215の半径に一致させるように計測機器50の倍率を変更することもできる。
For example, when the distance between the measuring
また、計測機器50と精密計測用ターゲット201との間の距離が30cmと35cmの間である場合、交点261を標203に一致させるために、横線262を平行線212aと平行線212bとの間に配置するのが好ましい。この場合、交点261を標203に案内するために矩形領域222を用いることもできる。
When the distance between the measuring
また、計測機器50と精密計測用ターゲット201との間の距離が35cmと40cmの間である場合、交点261を標203に一致させるために、横線262を平行線213aと平行線213bとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル271の半径を円弧216の半径に一致させるように計測機器50の倍率を変更することもできる。この場合も、交点261を標203に案内するために矩形領域222を用いることもできる。
When the distance between the measuring
また、計測機器50と精密計測用ターゲット201との間の距離が40cmと20mの間である場合、交点261を標203に一致させるために、横線262を平行線214aと平行線214bとの間に配置するのが好ましい。この場合も、交点261を標203に案内するために矩形領域222を用いることもできる。
When the distance between the measuring
さらに、計測機器50と精密計測用ターゲット201との間の距離が20mを超える場合、交点261を標203に一致させるために、横線262を平行線215aと平行線215bとの間に配置するのが好ましい。この場合も、交点261を標203に案内するために矩形領域222を用いることもできる。
Further, when the distance between the measuring
十字線260を垂直方向(1軸)で動かす際に印刷パターン204のみを用いる場合について説明したが、十字線260を垂直方向(1軸)で動かす際に印刷パターン206のみ又は印刷パターン204と印刷パターン206の両方を用いてもよい。また、精密計測用ターゲット201を計測機器50で視認する際に、十字線260及びレクチル271の他に線272,273,274,275,276,277を用いてもよい。
The case where only the
十字線260を水平方向(1軸)で動かす場合、後述するように、精密計測用ターゲット201を計測機器50で視認する際に、十字線260の一方の線としての縦線263を、平行線231aと平行線231bとの間、平行線232aと平行線232bとの間、平行線233aと平行線233bとの間、平行線234aと平行線234bとの間又は平行線235aと平行線235bとの間に配置する。
When the
例えば、計測機器50と精密計測用ターゲット201との間の距離が30cm未満である場合、交点261を標203に一致させるために、縦線263を平行線231aと平行線231bとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル271の半径を円弧215の半径に一致させるように計測機器50の倍率を変更することもできる。
For example, when the distance between the measuring
また、計測機器50と精密計測用ターゲット201との間の距離が30cmと35cmの間である場合、交点261を標203に一致させるために、縦線263を平行線232aと平行線232bとの間に配置するのが好ましい。
In addition, when the distance between the measuring
また、計測機器50と精密計測用ターゲット201との間の距離が35cmと40cmの間である場合、交点261を標203に一致させるために、縦線263を平行線233aと平行線233bとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル271の半径を円弧216の半径に一致させるように計測機器50の倍率を変更することもできる。
In addition, when the distance between the measuring
また、計測機器50と精密計測用ターゲット201との間の距離が40cmと20mの間である場合、交点261を標203に一致させるために、縦線263を平行線234aと平行線234bとの間に配置するのが好ましい。
Further, when the distance between the measuring
さらに、計測機器50と精密計測用ターゲット201との間の距離が20mを超える場合、交点261を標203に一致させるために、縦線263を平行線235aと平行線235bとの間に配置するのが好ましい。
Further, when the distance between the measuring
十字線260を水平方向(1軸)で動かす際に印刷パターン205のみを用いる場合について説明したが、十字線260を水平方向(1軸)で動かす際に印刷パターン207のみ又は印刷パターン205と印刷パターン207の両方を用いてもよい。また、精密計測用ターゲット201を計測機器50で視認する際に、十字線260及びレクチル271の他に線272,273,274,275,276,277を用いてもよい。
The case where only the
十字線260を垂直方向及び水平方向(2軸)で動かす場合、後述するように、精密計測用ターゲット201を計測機器50で視認する際に、横線262を、平行線211aと平行線211bとの間、平行線212aと平行線212bとの間、平行線213aと平行線213bとの間、平行線214aと平行線214bとの間又は平行線215aと平行線215bとの間に配置する。また、縦線263を、平行線231aと平行線231bとの間、平行線232aと平行線232bとの間、平行線233aと平行線233bとの間、平行線234aと平行線234bとの間又は平行線235aと平行線235bとの間に配置する。
When the
例えば、計測機器50と精密計測用ターゲット201との間の距離が30cm未満である場合、交点261を標203に一致させるために、横線262を平行線211aと平行線211bとの間に配置するとともに縦線263を平行線231aと平行線231bとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル271の半径を円弧215の半径に一致させるように計測機器50の倍率を変更することもできる。
For example, when the distance between the measuring
また、計測機器50と精密計測用ターゲット201との間の距離が30cmと35cmの間である場合、交点261を標203に一致させるために、横線262を平行線212aと平行線212bとの間に配置するとともに縦線263を平行線232aと平行線232bとの間に配置するのが好ましい。
When the distance between the measuring
また、計測機器50と精密計測用ターゲット201との間の距離が35cmと40cmの間である場合、交点261を標203に一致させるために、横線262を平行線213aと平行線213bとの間に配置するとともに縦線263を平行線233aと平行線233bとの間に配置するのが好ましい。これと同時に、レクチル271の半径を円弧216の半径に一致させるように計測機器50の倍率を変更することもできる。
When the distance between the measuring
また、計測機器50と精密計測用ターゲット201との間の距離が40cmと20mの間である場合、交点261を標203に一致させるために、横線262を平行線214aと平行線214bとの間に配置するとともに縦線263を平行線234aと平行線234bとの間に配置するのが好ましい。
When the distance between the measuring
さらに、計測機器50と精密計測用ターゲット201との間の距離が20mを超える場合、交点261を標203に一致させるために、横線262を平行線215aと平行線215bとの間に配置するとともに縦線263を平行線235aと平行線235bとの間に配置するのが好ましい。
Further, when the distance between the measuring
垂直方向及び水平方向(2軸)で動かす際に印刷パターン204,205のみを用いる場合について説明したが、垂直方向及び水平方向(2軸)で動かす際に印刷パターン206,207のみ又は印刷パターン204,205,206,207の全てを用いてもよい。また、精密計測用ターゲット201を計測機器50で視認する際に、十字線260及びレクチル271の他に線272,273,274,275,276,277を用いてもよい。
The case where only the
本実施の形態によれば、印刷パターン204,205,206,207はそれぞれ、標203に向かって段階的に間隔が狭くなるように配置される複数組の2本の平行線を有する。これらの2本の平行線によって、精密計測用ターゲット201を計測機器50で視認する際に、精密計測用ターゲット201の全体が見えるか一部しか見えないかに関係なく交点261を標203に簡単に案内することができる。このように交点261を標203に簡単に案内することができるので、精密計測用ターゲット201を、精密計測を行うための基準標又は測量点として用いることができる。
According to the present embodiment, each of the
図8は、本発明による精密計測用ターゲットの他の実施の形態の正面図である。図8に示す精密計測用ターゲット301は、精密計測を行うための基準標又は測量点として用いられ、正方形のシート302を有する。シート302は、紙、プラスチック等によって構成され、予め決定された寸法(例えば、一辺3cm)を有する。シート302の一方の面には、円形の標303及び標303への案内のための印刷パターン304,305,306が設けられ、シート302の他方の面は、接着剤が設けられた接着面となる。標303は、0.1ミリメートル以上0.5ミリメートル未満の直径を有する。好適には、標303の直径は0.2ミリメートルである。
FIG. 8 is a front view of another embodiment of the precision measurement target according to the present invention. A
印刷パターン304は、標303に向かって段階的に間隔が狭くなるように配置される2本の平行線311a,311b及び2本の平行線312a,312bを有する。すなわち、シート2の一方の面には、2組の2本の平行線311a,311b及び2本の平行線312a,312bが設けられる。一端が標303側にある平行線311a,311bの間隔は、一端が平行線311a,311bの他端に隣接する平行線312a,312bの間隔より狭い。
The
本実施の形態では、印刷パターン304は、2本の平行線311a,311bの間に配置された直線316a及び2本の平行線312a,312bの間に配置された直線316bを有する。
In the present embodiment, the
また、本実施の形態では、標303と、印刷パターン304,305,306とを黒色にし、黒色にしたこれらの領域以外の部分を白色又は灰色にする。
In the present embodiment, the
図9は、計測機器の対物レンズと接眼レンズとの間に配置されるレクチル及び十字線の他の例を示す図である。精密計測用ターゲット301を計測機器50で視認する際に、計測機器50の対物レンズと接眼レンズとの間に配置された十字線360の交点361を標303に一致させる。このために、十字線360を垂直方向(1軸)で動かす場合、後述するように、精密計測用ターゲット301を計測機器50で視認する際に、十字線360の横線362を、平行線311aと平行線311bとの間又は平行線312aと平行線312bとの間に配置する。
FIG. 9 is a diagram illustrating another example of a reticle and a crosshair arranged between an objective lens and an eyepiece lens of a measurement device. When the
例えば、計測機器50と精密計測用ターゲット301との間の距離が30cmと40cmの間である場合、交点361を標303に一致させるために、横線362を平行線311aと平行線311bとの間に配置するのが好ましい。この場合、交点361を標303に案内するために直線316aを用いることもできる。
For example, when the distance between the measuring
また、計測機器50と精密計測用ターゲット301との間の距離が20mを超える場合、交点361を標303に一致させるために、横線362を平行線312aと平行線312bとの間に配置するのが好ましい。この場合、交点361を標303に案内するために直線316bを用いることもできる。
Further, when the distance between the measuring
十字線360を垂直方向(1軸)で動かす際に印刷パターン304のみを用いる場合について説明したが、十字線360を垂直方向(1軸)で動かす際に印刷パターン304の他に印刷パターン305,306を用いてもよい。また、精密計測用ターゲット301を計測機器50で視認する際に、十字線360及びレクチル371の他に線372,373を用いてもよい。
The case where only the
本実施の形態によれば、印刷パターン304は、標303に向かって段階的に間隔が狭くなるように配置される複数組の2本の平行線を有する。これらの2本の平行線によって、精密計測用ターゲット301を計測機器50で視認する際に、精密計測用ターゲット301の全体が見えるか一部しか見えないかに関係なく交点361を標303に簡単に案内することができる。このように交点361を標303に簡単に案内することができるので、精密計測用ターゲット301を、精密計測を行うための基準標又は測量点として用いることができる。
According to the present embodiment, the
図10は、本発明による精密計測用ターゲットの他の実施の形態の正面図である。図10に示す精密計測用ターゲット401は、精密計測を行うための基準標又は測量点として用いられ、正方形のシート402を有する。シート402は、紙、プラスチック等によって構成され、予め決定された寸法(例えば、一辺3cm)を有する。シート402の一方の面には、円形の標403、標403への案内のための印刷パターン404,405,406,407及び標403を包囲するレクチル合わせ用の環状領域408が設けられ、シート402の他方の面は、接着剤が設けられた接着面となる。標403は、0.1ミリメートル以上0.5ミリメートル未満の直径を有する。好適には、標403の直径は0.2ミリメートルである。
FIG. 10 is a front view of another embodiment of the precision measurement target according to the present invention. A
印刷パターン404は、標403に向かって段階的に間隔が狭くなるように配置される2本の平行線411a,411b、2本の平行線412a,412b及び2本の平行線413a,413bを有する。すなわち、シート2の一方の面には、3組の2本の平行線411a,411b、2本の平行線412a,412b及び2本の平行線413a,413bが設けられる。
The
一端が環状領域408に隣接する平行線411a,411bの間隔は、一端が平行線411a,411bの他端に隣接する平行線412a,412bの間隔より狭い。また、平行線412a,412bの間隔は、一端が平行線412a,412bの他端に隣接する平行線413a,413bの間隔より狭い。
The interval between the
3組の2本の平行線411a,411b、2本の平行線412a,412b及び2本の平行線413a,413bの外側の矩形領域を、シート402の一方の面に画定する。本実施の形態では、平行線411aの外側の矩形領域421a、平行線411bの外側の矩形領域421b、平行線412aの外側の矩形領域422a、平行線412bの外側の矩形領域422b、平行線413aの外側の矩形領域423a及び平行線413bの外側の矩形領域423bを、シート402の一方の面に画定する。また、本実施の形態では、平行線413aと平行線413bとの間にある矩形領域424を、シート402の一方の面に画定する。
A rectangular area outside the three sets of two
印刷パターン405は、標403に向かう第1の直線としての直線416a及び第2の直線としての直線416bを有し、直線416a,416bの内側の領域425を、シート402の一方の面に画定する。また、本実施の形態では、印刷パターン405は、矩形領域426を更に有する。
The
印刷パターン406は、印刷パターン404を標403を中心にして時計回りに180°回転した印刷パターンであり、印刷パターン407は、印刷パターン405を標403を中心にして時計回りに180°回転した印刷パターンである。
The
本実施の形態では、標403と、矩形領域421a,421b,422a,422b,423a,423b,424及びこれらの矩形領域に対応する印刷パターン406内の矩形領域と、領域425、矩形領域426並びにこれらの領域及び矩形領域に対応する印刷パターン407内の領域と、環状領域408とを黒色にし、黒色にした標403、当該矩形領域及び領域並びに環状領域408以外の部分を白色又は灰色にする。
In this embodiment, the
精密計測用ターゲット401を計測機器50で視認する際に、十字線160を垂直方向(1軸)、水平方向(1軸)並びに垂直方向及び水平方向(2軸)のいずれに動かしてもよい。また、精密計測用ターゲット401を計測機器50で視認する際に、計測機器の対物レンズと接眼レンズとの間に配置されるレクチル及び十字線として、図3、図5、図7若しくは図9に示すパターンのレクチル及び十字線又はそれ以外のパターンのレクチル及び十字線を用いることができる。
When the
本実施の形態によれば、印刷パターン404,406は、標303に向かって段階的に間隔が狭くなるように配置される複数組の2本の平行線を有する。これらの2本の平行線によって、精密計測用ターゲット401を計測機器50で視認する際に、精密計測用ターゲット401の全体が見えるか一部しか見えないかに関係なく十字線の交点を標403に簡単に案内することができる。このように交点を標403に簡単に案内することができるので、精密計測用ターゲット401を、精密計測を行うための基準標又は測量点として用いることができる。
According to the present embodiment, the
本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、幾多の変更及び変形が可能である。例えば、上記実施の形態において、シート2,102,202,302,402が正方形である場合について説明したが、シート2,102,202,302,402の形状を、円形等の他の形状にすることもできる。
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and many changes and modifications can be made. For example, in the above-described embodiment, the case where the
また、精密計測用ターゲット301を計測機器50で視認する際に十字線を垂直方向(1軸)に動かす場合についてのみ説明したが、精密計測用ターゲット301を計測機器50で視認する際に十字線を水平方向(1軸)並びに垂直方向及び水平方向(2軸)のいずれに動かすこともできる。
Further, only the case where the crosshair is moved in the vertical direction (one axis) when visually recognizing the
さらに、精密計測用ターゲット1,101,201,301を計測機器50で視認する際に、計測機器の対物レンズと接眼レンズとの間に配置されるレクチル及び十字線として、任意のパターンのレクチル及び十字線を用いることができる。
Further, when the
1,101,201,301,401 精密計測用ターゲット
2,102,202,302,402 シート
3,103,203,303,403 標
4,5,6,7,104,105,106,107,204,205,206,207,304,305,306,404,405,406,407 印刷パターン
11a,11b,12a,12b,13a,13b,14a,14b,31a,31b,32a,32b,33a,33b,34a,34b,111a,111b,112a,112b,113a,113b,114a,114b,131a,131b,132a,132b,133a,133b,134a,134b,211a,211b,212a,212b,213a,213b,214a,214b,215a,215b,231a,231b,232a,232b,233a,233b,234a,234b,235a,235b,311a,311b,312a,312b,411a,411b,412a,412b,413a,413b 平行線
15,16,17,115,116,117,215,216 円弧
21a,21b,22a,22b,23a,23b,24a,24b,25,121a,121b,122a,122b,123a,123b,124a,124b,222,421a,421b,422a,422b,423a,423b,424,426 矩形領域
40 壁面
50 計測機器
60,160,260,360 十字線
61,161,261,361 交点
62,162,262,362 横線
63,163,263,363 縦線
71,72,73,171,271,371 レクチル
108,208,408 環状領域
216a,216b,316a,316b,416a,416b 直線
221,425 領域
272,273,274,275,276,277,372,373 線
1, 101, 201, 301, 401 Precision measurement target 2, 102, 202, 302, 402 Sheet 3, 103, 203, 303, 403 Target 4, 5, 6, 7, 104, 105, 106, 107, 204 205, 206, 207, 304, 305, 306, 404, 405, 406, 407 Print patterns 11a, 11b, 12a, 12b, 13a, 13b, 14a, 14b, 31a, 31b, 32a, 32b, 33a, 33b, 34a, 34b, 111a, 111b, 112a, 112b, 113a, 113b, 114a, 114b, 131a, 131b, 132a, 132b, 133a, 133b, 134a, 134b, 211a, 211b, 212a, 212b, 213a, 213b, 214a, 214b, 215a, 215 , 231a, 231b, 232a, 232b, 233a, 233b, 234a, 234b, 235a, 235b, 311a, 311b, 312a, 312b, 411a, 411b, 412a, 412b, 413a, 413b Parallel lines 15, 16, 17, 115, 116, 117, 215, 216 Arcs 21a, 21b, 22a, 22b, 23a, 23b, 24a, 24b, 25, 121a, 121b, 122a, 122b, 123a, 123b, 124a, 124b, 222, 421a, 421b, 422a, 422b, 423a, 423b, 424, 426 Rectangular area 40 Wall surface 50 Measuring device 60, 160, 260, 360 Cross line 61, 161, 261, 361 Intersection 62, 162, 262, 362 Horizontal line 63, 163, 263, 363 Vertical 71, 72, 73, 171, 271, 371 Rectile 108, 208, 408 Annular region 216a, 216b, 316a, 316b, 416a, 416b Straight line 221, 425 region 272, 273, 274, 275, 276, 277, 372, 373 line
Claims (6)
予め決定された形状のシートを有し、
0.1ミリメートル以上0.5ミリメートル未満の直径を有する円形の標及び前記標に向かって段階的に間隔が狭くなるように配置される複数組の2本の平行線が、前記シートの一方の面に設けられ、
前記標に向かう第1の直線及び第2の直線が、前記シートの一方の面に設けられ、前記複数組の2本の平行線と、前記第1の直線及び前記第2の直線との間の領域を前記シートの一方の面に画定し、前記領域を黒色にし、前記シートの一方の面の前記領域以外の部分を白色又は灰色にしたことを特徴とする精密計測用ターゲット。 A precision measurement target used to perform sub-millimeter measurements to place the device at a predetermined location with sub-millimeter accuracy,
Having a sheet of a predetermined shape,
A circular mark having a diameter of 0.1 mm or more and less than 0.5 mm, and a plurality of sets of two parallel lines arranged so as to be gradually decreased toward the mark, Provided on the surface ,
A first straight line and a second straight line directed to the mark are provided on one surface of the sheet, and between the plurality of sets of two parallel lines and the first straight line and the second straight line. Is defined on one surface of the sheet, the region is black, and a portion other than the region on one surface of the sheet is white or gray .
予め決定された形状のシートを有し、
0.1ミリメートル以上0.5ミリメートル未満の直径を有する円形の標及び前記標に向かって段階的に間隔が狭くなるように配置される複数組の2本の平行線が、前記シートの一方の面に設けられ、
前記標に向かう第1の直線及び第2の直線が、前記シートの一方の面に設けられ、前記第1の直線及び前記第2の直線の内側の領域を前記シートの一方の面に画定し、前記領域を黒色にしたことを特徴とする精密計測用ターゲット。 A precision measurement target used to perform sub-millimeter measurements to place the device at a predetermined location with sub-millimeter accuracy,
Having a sheet of a predetermined shape,
A circular mark having a diameter of 0.1 mm or more and less than 0.5 mm, and a plurality of sets of two parallel lines arranged so as to be gradually decreased toward the mark, Provided on the surface,
A first straight line and a second straight line directed to the mark are provided on one surface of the sheet, and an area inside the first straight line and the second straight line is defined on the one surface of the sheet. A precision measurement target characterized in that the region is black.
予め決定された形状のシートを有し、
0.1ミリメートル以上0.5ミリメートル未満の直径を有する円形の標及び前記標に向かって段階的に間隔が狭くなるように配置される複数組の2本の平行線が、前記シートの一方の面に設けられ、
前記標を中心とする少なくとも一つの円弧が、前記複数組の2本の平行線のうちの一組の2本の平行線と接続するように前記シートの一方の面に設けられ、前記円弧を黒色にしたことを特徴とする精密計測用ターゲット。 A precision measurement target used to perform sub-millimeter measurements to place the device at a predetermined location with sub-millimeter accuracy,
Having a sheet of a predetermined shape,
A circular mark having a diameter of 0.1 mm or more and less than 0.5 mm, and a plurality of sets of two parallel lines arranged so as to be gradually decreased toward the mark, Provided on the surface,
At least one arc centered on the mark is provided on one surface of the sheet so as to connect to one set of two parallel lines of the plurality of sets of two parallel lines, A precision measurement target characterized by being black.
請求項1から5のうちのいずれか一項に記載の精密計測用ターゲットを計測機器で視認する際に、計測機器の対物レンズと接眼レンズとの間に配置された十字線の交点を前記標に一致させるために、計測機器によって十字線の一方の線を、前記複数組の2本の平行線のうちの一組の2本の平行線の間に配置することを特徴とする精密計測方法。 A precision measurement method for measuring in sub-millimeters for placing the device at a predetermined position with sub-millimeter accuracy,
When the precision measurement target according to any one of claims 1 to 5 is visually recognized by a measurement device, an intersection of crosshairs arranged between an objective lens and an eyepiece of the measurement device is defined as the target. In order to make it coincide with each other, one of the crosshairs is arranged between a set of two parallel lines of the plurality of sets of two parallel lines by a measuring instrument. .
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