JP6173486B2 - 散乱光情報処理方法、散乱光情報処理装置及び散乱光情報処理システム - Google Patents
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Description
被測定物の散乱光情報を処理する散乱光情報処理方法であって、
被測定物は、少なくとも一部が光を透過する物質で構成される光学素子であり、
被測定物に対して所定の角度で照射された光の散乱光強度分布の情報を取得する散乱光測定情報取得工程と、
被測定物の形状と光学的性質と散乱光強度分布の測定条件から、被測定物モデルを作成するモデル生成工程と、
被測定物モデルに対して、少なくとも被測定物を透過した出射側の散乱光情報を表す関数のパラメータを設定する関数パラメータ設定工程と、
被測定物モデルに基づいて被測定物の物質内部における散乱光の反射と散乱光の屈折を考慮した計算により散乱光強度分布計算結果を算出する散乱光強度分布算出工程と、
散乱光測定情報取得工程において取得された散乱光強度分布の情報と、被測定物モデルに基づいて計算により算出された散乱光強度分布計算結果と、が一致するよう関数パラメータを算出する関数パラメータ算出処理工程と、
を有することを特徴とする。
また、本発明の他の散乱光情報処理方法は、
被測定物の散乱光情報を処理する散乱光情報処理方法であって、
被測定物は、少なくとも一部が光を透過する物質で構成される光学素子であり、
被測定物に対して複数の異なる入射角度で照射された光の散乱光強度分布の情報を取得する散乱光測定情報取得工程と、
被測定物の形状と光学的性質と散乱光強度分布の測定条件から、被測定物モデルを作成するモデル生成工程と、
被測定物モデルに対して、少なくとも被測定物を透過した出射側の散乱光情報を表す関数のパラメータを設定する関数パラメータ設定工程と、
被測定物モデルに基づいて計算により散乱光強度分布計算結果を算出する散乱光強度分布算出工程と、
散乱光測定情報取得工程において取得された散乱光強度分布の情報と、被測定物モデルに基づいて計算により算出された散乱光強度分布計算結果と、が一致するように、各入射角度の関数パラメータを仮関数パラメータとして算出する仮関数パラメータ算出処理工程と、
散乱光測定情報取得工程において取得された散乱光強度分布の情報と、被測定物モデルに対して各入射角度の仮関数パラメータの少なくとも一部を用いて算出した散乱光強度分布計算結果と、が一致するように仮関数パラメータを調整して最終的な関数パラメータを決定する関数パラメータ決定工程を有することを特徴とする。
被測定物の散乱光情報を処理する散乱光情報処理装置であって、
被測定物は、少なくとも一部が光を透過する物質で構成される光学素子であり、
被測定物に対して所定の角度で照射された光の散乱光強度分布の情報を取得する散乱光測定情報取得部と、
被測定物の形状と光学的性質と散乱光強度分布の測定条件から、被測定物モデルを作成するモデル生成部と、
被測定物モデルに対して、少なくとも被測定物を透過した出射側の散乱光情報を表す関数のパラメータを設定する関数パラメータ設定部と、
被測定物モデルに基づいて被測定物の物質内部における散乱光の反射と散乱光の屈折を考慮した計算により散乱光強度分布計算結果を算出する散乱光強度分布算出部と、
散乱光測定情報取得部において取得された散乱光強度分布の情報と、被測定物モデルに基づいて計算により算出された散乱光強度分布計算結果と、が一致するよう関数パラメータを算出する関数パラメータ算出処理部と、
を有することを特徴とする。
また、本発明の別の散乱光情報処理装置は、
被測定物の散乱光情報を処理する散乱光情報処理装置であって、
被測定物は、少なくとも一部が光を透過する物質で構成される光学素子であり、
被測定物に対して複数の異なる入射角度で照射された光の散乱光強度分布の情報を取得する散乱光測定情報取得部と、
被測定物の形状と光学的性質と散乱光強度分布の測定条件から、被測定物モデルを作成するモデル生成部と、
被測定物モデルに対して、少なくとも被測定物を透過した出射側の散乱光情報を表す関数のパラメータを設定する関数パラメータ設定部と、
被測定物モデルに基づいて計算により散乱光強度分布計算結果を算出する散乱光強度分布算出部と、
散乱光測定情報取得部において取得された散乱光強度分布の情報と、被測定物モデルに基づいて計算により算出された散乱光強度分布計算結果と、が一致するように、各入射角度の関数パラメータを仮関数パラメータとして算出する仮関数パラメータ算出処理部と、
散乱光測定情報取得部において取得された散乱光強度分布の情報と、被測定物モデルに対して各入射角度の仮関数パラメータの少なくとも一部を用いて算出した散乱光強度分布計算結果と、が一致するように仮関数パラメータを調整して最終的な関数パラメータを決定する関数パラメータ決定部を有することを特徴とする。
被測定物の散乱光を測定し散乱光情報を処理する散乱光情報処理システムであって、
被測定物は、少なくとも一部が光を透過する物質で構成される光学素子であり、
被測定物に対して所定の角度で光を照射する光照射部と、
少なくとも被測定物で散乱した光を受光する散乱光測定部と、
散乱光測定部で受光した情報に基づき、被測定物の散乱光強度分布の情報を取得する散乱光測定情報取得部と、
被測定物の形状と光学的性質と散乱光強度分布の測定条件を記憶する情報記憶部と、
記憶された形状と光学的性質と測定条件から、被測定物モデルを作成するモデル生成部と、
被測定物モデルに対して、少なくとも被測定物を透過した出射側の散乱光情報をあらわす関数のパラメータを設定する関数パラメータ設定部と、
被測定物モデルから被測定物の物質内部における散乱光の反射と散乱光の屈折を考慮した計算により散乱光強度分布計算結果を算出する散乱光強度分布算出部と、
散乱光測定情報取得部で取得された散乱光強度分布の情報と、被測定物モデルから計算により算出された散乱光強度分布計算結果と、が一致するよう関数パラメータを算出する関数パラメータ算出処理部と、
を有することを特徴とする。
また、本発明の別の散乱光情報処理システムは、
被測定物の散乱光を測定し散乱光情報を処理する散乱光情報処理システムであって、
被測定物は、少なくとも一部が光を透過する物質で構成される光学素子であり、
被測定物に対して所定の角度で光を照射する光照射部と、
少なくとも被測定物で散乱した光を受光する散乱光測定部と、
散乱光測定部で受光した情報に基づき、被測定物に対して複数の異なる入射角度で照射された光の散乱光強度分布の情報を取得する散乱光測定情報取得部と、
被測定物の形状と光学的性質と散乱光強度分布の測定条件を記憶する情報記憶部と、
記憶された形状と光学的性質と測定条件から、被測定物モデルを作成するモデル生成部と、
被測定物モデルに対して、少なくとも被測定物を透過した出射側の散乱光情報をあらわす関数のパラメータを設定する関数パラメータ設定部と、
被測定物モデルから計算により散乱光強度分布計算結果を算出する散乱光強度分布算出部と、
散乱光測定情報取得部においてで取得された散乱光強度分布の情報と、被測定物モデルに基づいて計算により算出された散乱光強度分布計算結果と、が一致するように、各入射角度の関数パラメータを仮関数パラメータとして算出する仮関数パラメータ算出処理部と、
散乱光測定情報取得部において取得された散乱光強度分布の情報と、被測定物モデルに対して各入射角度の仮関数パラメータの少なくとも一部を用いて算出した散乱光強度分布計算結果と、が一致するように仮関数パラメータを調整して最終的な関数パラメータを決定する関数パラメータ決定部を有することを特徴とする。
ここで被測定物300に平行平面を用いているのは、被測定物の表裏面形状の影響を予め極力除くためである。
このような被測定物を用いることで、面の粗さと散乱光強度分布の関係が測定できるものとしている。
例えば、被測定物が不透過物質のときにBRDFを取得する場合、従来技術では被測定物の表面が平面以外では、散乱光情報処理システムによる散乱光強度分布の測定結果をBRDFとすると、反射面の表面形状の影響が含まれてしまい誤差となってしまう。
従来技術として説明したように、被測定物に光を入射させた場合、測定面10aの照射領域における表面形状情報とBRDFとの合成から散乱光強度分布を算出する。そして、算出した散乱光強度分布が実測の散乱光強度分布測定結果に近似するように、BRDFを変化させる。これにより、反射面の照射領域における表面形状の影響と分離して、BRDFを算出している。
光学設計ソフトウエアでは、上述のようにBSDFの定義を、面の法線からの散乱光線の角度の関数としている。また、ときには散乱面に照射する入射光線の角度の関数として、散乱光線の放射輝度を表し、平面の散乱光強度分布としている。
この結果、従来の手順では、透過物質の被測定物に対して、BSDFを取得できない。このことについて、さらに詳しく説明する。
図1(a)は、本発明の第1実施形態の散乱光情報処理システム100の概要を示す機能ブロック図である。また、図1(b)は、散乱光情報処理システム100をより詳しく説明する機能ブロック図である。
ここで、被測定物は、少なくとも一部が光を透過する物質で構成される光学素子である。光学素子は、例えば図3に示す平行平板300である。
さらに、受光部102は、パワーセンサーや高感度カメラなど、光の強度を観察できる機器であれば、特に限定されることはない。さらに、測定したい光強度や角度分解能によって、受光部102の種類を使い分けできることが望ましい。
被測定物への入射光の角度を変更したい場合は、光照射部110または被測定物が相対的に位置を変化できるように構成されている。
前述のように、散乱光情報処理装置200は、「測定条件の情報」及び「被測定物の情報」、「散乱光の測定情報」からBSDFを算出する散乱光情報に関する処理を行う。散乱光情報の処理に関する詳細説明は後述する。
散乱光情報処理システム100による測定を開始する。事前に、ステップS101において、制御部110を介して、測定条件及び被測定物の情報記憶部103aに測定条件の情報が格納される。
この際、散乱光の測定情報は、上記測定条件の情報及び被測定物の情報と共に一括してコンピュータに送られてもよい。
ここで、測定条件及び被測定物の情報記憶部103aと、散乱光強度分布測定データ記憶部103bの内容は、テキストファイルなどに一括して保存されても良いことはいうまでもない。
図4は、散乱光情報処理装置200でのデータ処理方法について説明する図である。散乱光情報処理装置200は、測定条件の情報及び被測定物の情報、散乱光の測定情報を用いて、所定の処理を行い、BSDFを高精度に算出することを目的とする処理を行う。
また、P0は、中心部の光強度に対応する。即ち、ある入射光の入射角度(θi、φi)に対して、P0、σθ、σφの3つのパラメータ(変数)で散乱光強度分布を表すことができる。
ステップS204における光線追跡において、入射光が被測定物の被測定面に対して入射した場合、後方散乱光が発生する。この後方散乱光の一部の光線S1は、透過物質である平行平板20内で反射、全反射を繰り返して被測定面に再度入射する。この内部反射では、光照射部による光の入射角度と同じ角度で入射することは少ない。後方散乱光により入射した光による散乱は、Lambertian関数以外では、シフト・インバリアント(shift−invariant)散乱角の考え方が適用される。
ステップS207において、BSDFの初期値のパラメータを変更する。そして、ステップS204に戻り、コンピュータの演算処理により光線追跡が行われる。
そこで、評価値が収束しない場合、ステップS202に戻り、BSDFのモデル関数を変更する工程が行われる。
以上の処理により、被測定物の被測定面の散乱光情報を最も良く表すBSDFのモデル関数と、モデル関数を決めるパラメータが決定される。
さらに、本実施形態の散乱光情報処理方法によれば、1つの面の散乱光情報であるBSDFを、散乱光の測定結果から、被測定物の外形である表裏面形状や外径、面間隔(厚さ)、こば部、面取り部、エッジ部及び、光学的性質である屈折率、光吸収率、蛍光等の被測定物内部の影響を考慮して、それらの影響を除くことで、正確にBSDFを算出することができる。このため、光学設計ソフトウエアにパラメータとして設定した際に、従来に対して高精度にシミュレーションをすることが可能になる。
予測条件とは、BTDFとBRDFの散乱光強度分布形状のモデル関数とパラメータが同じ、かつ、入射光に対して、軸対称な散乱光強度分布である。
この予測条件は、被測定物が透過物質であることはもちろんのこと、被測定物は入射光に対して回転軸対称の場合で、かつ、入射光が被測定面に垂直に入射した場合に良く立つ仮定ある。
また、表面粗さが照射光の波長以下の小さい凹凸の場合に精度良く成り立つモデルである。
次に、第2実施形態の散乱光情報処理装置、測定方法、散乱光情報処理方法及び散乱光情報処理システムを説明する。
図7は、第2実施形態の散乱光情報処理システムを示す機能ブロック図である。ここで、点線で囲んだ散乱光情報処理装置250の構成が第1実施形態と異なっている。
第2実施形態の散乱光情報処理装置250について、第1実施形態の散乱光情報処理装置と同じ構成には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
さらに、散乱光測定情報取得部104で取得された散乱光強度分布の情報と被測定物モデルから計算した散乱光強度分布計算結果が一致するように、各入射角度の関数パラメータを仮関数パラメータとして算出する仮関数パラメータ算出部251と、散乱光測定情報取得部104において取得された散乱光強度分布の情報と、被測定物モデルに対して各入射角度の仮関数パラメータの少なくとも一部を用いて算出した散乱光強度分布計算結果とが一致するように仮関数パラメータを調整して最終的な関数パラメータを決定する関数パラメータ決定部252とをさらに有している。
散乱光情報処理装置250は、散乱光情報処理システム150と一体または、別体の一つまたは別のコンピュータの内部に配置されている。
情報記憶部103は、「測定条件の情報」と、「被測定物の情報」と「散乱光の測定情報」の記憶をつかさどる。散乱光情報処理装置250は、「測定条件の情報」及び「被測定物の情報」、「散乱光の測定情報」からBSDFを算出する散乱光情報に関する制御を行う。
図9は、第2実施形態の散乱光情報処理方法のうちの散乱光の測定の手順について説明するフローチャートである。
以上の、測定条件の情報と、被測定物の情報は、コンピュータに送られて情報記憶部103aに格納される。
ここで、入射光の入射角度の測定範囲(0から89度)における散乱光の測定情報を、以下のように表す。
BS(θni) ・・・△測定データ
ここで散乱光の測定情報は、説明を簡略するために、1断面で測定した時の状態を示している。つまり、入射光の入射角度と受光部の角度は、θ方向にだけ限定して動いたことと仮定する。
次に、コンピュータでは、以上の「測定条件の情報」及び「被測定物の情報」、「散乱光の測定情報」を用いて、散乱光情報処理装置250にて所定の処理が行われて、BSDFが算出される。
本実施形態が上述の第1実施形態と異なる点は、複数の入射角度で測定した「散乱光の測定情報」を用いる点である。
仮BSDF(θni ) (ni=1、2、3、・・・、θni = 0、5、10、15、20、・・・85)
ステップS409の判断結果が偽(No)の場合、ステップS410へ進む。
ステップS413において、ステップS412で計算された散乱光強度分布と、コンピュータの散乱光強度分布測定データ記憶部103bに格納されている「散乱光の測定情報」とを用いて比較する。ステップS414において、各角度における散乱光強度分布の一致度を算出し、判断する。
この繰り返されるステップにより、被測定物の被測定面のBSDFを良く表す仮BSDFのパラメータを算出することができる。
また、本実施形態によれば、透過物質のBSDFにおいて、双方向透過率分布関数(BTDF)及び双方向反射率分布関数(BRDF)の両方を取得することができる。
次に、第2実施形態の変形例について説明する。図11は、本変形例の散乱光情報処理方法の手順を示すフローチャートである。
ステップS508において、入射光の入射角度θniの情報に基づき、入射角度θniが一番大きい角度か否かが判断される。ステップS508の判断結果が偽の場合、ステップS509へ進む。
101 光照射部
102 受光部
103 情報記憶部
104 散乱光測定情報取得部
105 関数パラメータ設定部
106 モデル生成部
107 散乱光強度分布算出部
108 関数パラメータ算出処理部
110 制御部
200 散乱光情報処理装置
Claims (24)
- 被測定物の散乱光情報を処理する散乱光情報処理方法であって、
前記被測定物は、少なくとも一部が光を透過する物質で構成される光学素子であり、
前記被測定物に対して所定の角度で照射された光の散乱光強度分布の情報を取得する散乱光測定情報取得工程と、
前記被測定物の形状と光学的性質と前記散乱光強度分布の測定条件から、被測定物モデルを作成するモデル生成工程と、
前記被測定物モデルに対して、少なくとも前記被測定物を透過した出射側の散乱光情報を表す関数のパラメータを設定する関数パラメータ設定工程と、
前記被測定物モデルに基づいて前記被測定物の物質内部における散乱光の反射と該散乱光の屈折を考慮した計算により散乱光強度分布計算結果を算出する散乱光強度分布算出工程と、
前記散乱光測定情報取得工程において取得された散乱光強度分布の情報と、前記被測定物モデルに基づいて計算により算出された散乱光強度分布計算結果と、が一致するよう前記関数パラメータを算出する関数パラメータ算出処理工程と、
を有することを特徴とする散乱光情報処理方法。 - 前記関数パラメータ設定工程にてパラメータを設定する前記関数は、前記被測定物モデルに対して、前記光学素子の測定面の入射側で反射した散乱光情報及び前記被測定物を透過した出射側の散乱光情報を表す関数であることを特徴とする請求項1に記載の散乱光情報処理方法。
- 前記散乱光測定情報取得工程において取得する散乱光強度分布の情報は、少なくとも前記被測定物を透過した散乱光強度分布または前記被測定物を反射した散乱光強度分布であり、
モデル生成工程において入力する散乱光強度分布の測定条件には、少なくとも散乱光の強度分布測定の際に前記被測定物へ入射した光の光強度が含まれていることを特徴とする請求項1または2に記載の散乱光情報処理方法。 - 前記散乱光測定情報取得工程において、少なくとも前記被測定物を透過した散乱光強度分布の一部の情報または前記被測定物を反射した散乱光強度分布の一部の情報を取得することを特徴とする請求項3に記載の散乱光測定情報処理方法。
- 前記散乱光測定情報取得工程において、少なくとも前記被測定物を透過した散乱光強度分布または前記被測定物を反射した散乱光強度分布を前記被測定物への入射光の光強度で規格化した散乱光強度分布を取得することを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の散乱光情報処理方法。
- 前記散乱光測定情報取得工程において取得する散乱光強度分布の情報は、被測定物を透過した光の散乱光強度分布及び被測定物を反射した光の散乱光強度分布であることを特徴とする請求項1〜5の何れか一項に記載の散乱光情報処理方法。
- 前記被測定物の形状と光学的性質は、前記被測定物である前記光学素子の曲率半径、光学的厚さ、屈折率を少なくとも含むことを特徴とする請求項1〜6の何れか一項に記載の散乱光情報処理方法。
- 被測定物の散乱光情報を処理する散乱光情報処理方法であって、
前記被測定物は、少なくとも一部が光を透過する物質で構成される光学素子であり、
前記被測定物に対して複数の異なる入射角度で照射された光の散乱光強度分布の情報を取得する散乱光測定情報取得工程と、
前記被測定物の形状と光学的性質と前記散乱光強度分布の測定条件から、被測定物モデルを作成するモデル生成工程と、
前記被測定物モデルに対して、少なくとも前記被測定物を透過した出射側の散乱光情報を表す関数のパラメータを設定する関数パラメータ設定工程と、
前記被測定物モデルに基づいて計算により散乱光強度分布計算結果を算出する散乱光強度分布算出工程と、
前記散乱光測定情報取得工程において取得された散乱光強度分布の情報と、前記被測定物モデルに基づいて計算により算出された散乱光強度分布計算結果と、が一致するように、各入射角度の関数パラメータを仮関数パラメータとして算出する仮関数パラメータ算出処理工程と、
前記散乱光測定情報取得工程において取得された散乱光強度分布の情報と、被測定物モデルに対して各入射角度の仮関数パラメータの少なくとも一部を用いて算出した散乱光強度分布計算結果と、が一致するように仮関数パラメータを調整して最終的な関数パラメータを決定する関数パラメータ決定工程を有することを特徴とする散乱光情報処理方法。 - 被測定物の散乱光情報を処理する散乱光情報処理装置であって、
前記被測定物は、少なくとも一部が光を透過する物質で構成される光学素子であり、
前記被測定物に対して所定の角度で照射された光の散乱光強度分布の情報を取得する散乱光測定情報取得部と、
前記被測定物の形状と光学的性質と前記散乱光強度分布の測定条件から、被測定物モデルを作成するモデル生成部と、
前記被測定物モデルに対して、少なくとも前記被測定物を透過した出射側の散乱光情報を表す関数のパラメータを設定する関数パラメータ設定部と、
前記被測定物モデルに基づいて前記被測定物の物質内部における散乱光の反射と該散乱光の屈折を考慮した計算により散乱光強度分布計算結果を算出する散乱光強度分布算出部と、
前記散乱光測定情報取得部において取得された散乱光強度分布の情報と、前記被測定物モデルに基づいて計算により算出された散乱光強度分布計算結果と、が一致するよう前記関数パラメータを算出する関数パラメータ算出処理部と、
を有することを特徴とする散乱光情報処理装置。 - 前記関数パラメータ設定部にてパラメータを設定する前記関数は、前記被測定物モデルに対して、前記光学素子の測定面の入射側で反射した散乱光情報及び前記被測定物を透過した出射側の散乱光情報を表す関数であることを特徴とする請求項9に記載の散乱光情報処理装置。
- 前記散乱光測定情報取得部において取得する散乱光強度分布の情報は、少なくとも前記被測定物を透過した散乱光強度分布または前記被測定物を反射した散乱光強度分布であり、
モデル生成部において入力する散乱光強度分布の測定条件には、少なくとも散乱光の強度分布測定の際に前記被測定物へ入射した光の光強度が含まれていることを特徴とする請求項9または10に記載の散乱光情報処理装置。 - 前記散乱光測定情報取得部において、少なくとも前記被測定物を透過した散乱光強度分布の一部の情報または前記被測定物を反射した散乱光強度分布の一部の情報を取得することを特徴とする請求項11に記載の散乱光測定情報処理装置。
- 前記散乱光測定情報取得部において、少なくとも前記被測定物を透過した散乱光強度分布または前記被測定物を反射した散乱光強度分布を前記被測定物への入射光の光強度で規格化した散乱光強度分布を取得することを特徴とする請求項9〜12の何れか一項に記載の散乱光情報処理装置。
- 前記散乱光測定情報取得部において取得する散乱光強度分布の情報は、被測定物を透過した光の散乱光強度分布及び被測定物を反射した光の散乱光強度分布であることを特徴とする請求項9〜13の何れか一項に記載の散乱光情報処理装置。
- 前記被測定物の形状と光学的性質は、前記被測定物である前記光学素子の曲率半径、光学的厚さ、屈折率を少なくとも含むことを特徴とする請求項9〜14の何れか一項に記載の散乱光情報処理装置。
- 被測定物の散乱光情報を処理する散乱光情報処理装置であって、
前記被測定物は、少なくとも一部が光を透過する物質で構成される光学素子であり、
前記被測定物に対して複数の異なる入射角度で照射された光の散乱光強度分布の情報を取得する散乱光測定情報取得部と、
前記被測定物の形状と光学的性質と前記散乱光強度分布の測定条件から、被測定物モデルを作成するモデル生成部と、
前記被測定物モデルに対して、少なくとも前記被測定物を透過した出射側の散乱光情報を表す関数のパラメータを設定する関数パラメータ設定部と、
前記被測定物モデルに基づいて計算により散乱光強度分布計算結果を算出する散乱光強度分布算出部と、
前記散乱光測定情報取得部において取得された散乱光強度分布の情報と、前記被測定物モデルに基づいて計算により算出された散乱光強度分布計算結果と、が一致するように、各入射角度の関数パラメータを仮関数パラメータとして算出する仮関数パラメータ算出処理部と、
前記散乱光測定情報取得部において取得された散乱光強度分布の情報と、被測定物モデルに対して各入射角度の仮関数パラメータの少なくとも一部を用いて算出した散乱光強度分布計算結果と、が一致するように仮関数パラメータを調整して最終的な関数パラメータを決定する関数パラメータ決定部を有することを特徴とする散乱光情報処理装置。 - 被測定物の散乱光を測定し散乱光情報を処理する散乱光情報処理システムであって、
前記被測定物は、少なくとも一部が光を透過する物質で構成される光学素子であり、
前記被測定物に対して所定の角度で光を照射する光照射部と、
少なくとも前記被測定物で散乱した光を受光する散乱光測定部と、
前記散乱光測定部で受光した情報に基づき、前記被測定物の散乱光強度分布の情報を取得する散乱光測定情報取得部と、
前記被測定物の形状と光学的性質と前記散乱光強度分布の測定条件を記憶する情報記憶部と、
前記記憶された形状と光学的性質と測定条件から、被測定物モデルを作成するモデル生成部と、
前記被測定物モデルに対して、少なくとも前記被測定物を透過した出射側の散乱光情報をあらわす関数のパラメータを設定する関数パラメータ設定部と、
前記被測定物モデルから前記被測定物の物質内部における散乱光の反射と該散乱光の屈折を考慮した計算により散乱光強度分布計算結果を算出する散乱光強度分布算出部と、
前記散乱光測定情報取得部で取得された散乱光強度分布の情報と、前記被測定物モデルから計算により算出された散乱光強度分布計算結果と、が一致するよう前記関数パラメータを算出する関数パラメータ算出処理部と、
を有することを特徴とする散乱光情報処理システム。 - 前記散乱光測定部は、前記被測定物で散乱及び反射した光を受光する受光部を有し、
前記関数パラメータ設定部にてパラメータを設定する前記関数は、前記被測定物モデルに対して、前記光学素子の測定面の入射側で反射した散乱光情報及び前記被測定物を透過した出射側の散乱光情報を表す関数であることを特徴とする請求項17に記載の散乱光情報処理システム。 - 前記散乱光測定情報取得部において取得する散乱光強度分布の情報は、少なくとも前記被測定物を透過した散乱光強度分布または前記被測定物を反射した散乱光強度分布であり、
モデル生成部において入力する散乱光強度分布の測定条件には、少なくとも散乱光の強度分布測定の際に前記被測定物へ入射した光の光強度が含まれていることを特徴とする請求項17または18に記載の散乱光情報処理システム。 - 前記散乱光測定情報取得部において、少なくとも前記被測定物を透過した散乱光強度分布の一部の情報または前記被測定物を反射した散乱光強度分布の一部の情報を取得することを特徴とする請求項19に記載の散乱光測定情報処理システム。
- 前記散乱光測定情報取得部において、少なくとも前記被測定物を透過した散乱光強度分布または前記被測定物を反射した散乱光強度分布を前記被測定物への入射光の光強度で規格化した散乱光強度分布を取得することを特徴とする請求項17〜20の何れか一項に記載の散乱光情報処理システム。
- 前記散乱光測定情報取得部において取得する散乱光強度分布の情報は、被測定物を透過した光の散乱光強度分布及び被測定物を反射した光の散乱光強度分布であることを特徴とする請求項17〜21の何れか一項に記載の散乱光情報処理システム。
- 前記被測定物の形状と光学的性質は、前記被測定物である前記光学素子の曲率半径、光学的厚さ、屈折率を少なくとも含むことを特徴とする請求項17〜22の何れか一項に記載の散乱光情報処理システム。
- 被測定物の散乱光を測定し散乱光情報を処理する散乱光情報処理システムであって、
前記被測定物は、少なくとも一部が光を透過する物質で構成される光学素子であり、
前記被測定物に対して所定の角度で光を照射する光照射部と、
少なくとも前記被測定物で散乱した光を受光する散乱光測定部と、
前記散乱光測定部で受光した情報に基づき、前記被測定物に対して複数の異なる入射角度で照射された光の散乱光強度分布の情報を取得する散乱光測定情報取得部と、
前記被測定物の形状と光学的性質と前記散乱光強度分布の測定条件を記憶する情報記憶部と、
前記記憶された形状と光学的性質と測定条件から、被測定物モデルを作成するモデル生成部と、
前記被測定物モデルに対して、少なくとも前記被測定物を透過した出射側の散乱光情報をあらわす関数のパラメータを設定する関数パラメータ設定部と、
前記被測定物モデルから計算により散乱光強度分布計算結果を算出する散乱光強度分布算出部と、
前記散乱光測定情報取得部において取得された散乱光強度分布の情報と、前記被測定物モデルに基づいて計算により算出された散乱光強度分布計算結果と、が一致するように、各入射角度の関数パラメータを仮関数パラメータとして算出する仮関数パラメータ算出処理部と、
前記散乱光測定情報取得部において取得された散乱光強度分布の情報と、被測定物モデルに対して各入射角度の仮関数パラメータの少なくとも一部を用いて算出した散乱光強度分布計算結果と、が一致するように仮関数パラメータを調整して最終的な関数パラメータを決定する関数パラメータ決定部を有することを特徴とする散乱光情報処理システム。
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