JP6171161B1 - Method for manufacturing a mask for solder printing - Google Patents

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Abstract

【課題】基板の段差への追従性に優れ、基板に良く密着することで、印刷にじみがなく良好な印刷品質を得ることができるはんだ印刷用マスクを提供する。【解決手段】熱硬化型接着シートまたは、ポリイミドシートと熱硬化型接着シートの積層からなる樹脂層とステンレスやニッケルなどの平板状の金属板を重ねあわせ、熱硬化型接着シートの熱硬化条件で硬化させ、紫外線レーザにより、所定の大きさとパターンに開口を形成する。または、樹脂層に直接ニッケルめっきを形成し、紫外線レーザ加工で開口を形成する。【選択図】図1Provided is a solder printing mask that has excellent followability to a step of a substrate and can adhere well to the substrate so that printing can be performed without blurring. A thermosetting adhesive sheet or a resin layer made of a laminate of a polyimide sheet and a thermosetting adhesive sheet is laminated with a flat metal plate such as stainless steel or nickel, and the thermosetting adhesive sheet is subjected to the thermosetting conditions. After curing, an opening is formed in a predetermined size and pattern by an ultraviolet laser. Alternatively, nickel plating is directly formed on the resin layer, and an opening is formed by ultraviolet laser processing. [Selection] Figure 1

Description

本発明は、電子部品の実装分野において、はんだ印刷に用いられるマスクと、その製造方法に関するものである。   The present invention relates to a mask used for solder printing and a manufacturing method thereof in the field of mounting electronic components.

電子部品の実装においては、基板の部品を搭載する部分にはんだペーストを印刷するために、金属の薄い平板に、印刷パターンに対応する開口が形成された、メタルマスクが広く用いられている(例えば、特許文献1参照)。   In mounting electronic parts, in order to print a solder paste on a part on which a board part is to be mounted, a metal mask in which an opening corresponding to a printing pattern is formed on a thin metal plate is widely used (for example, , See Patent Document 1).

はんだペースト印刷時には、このメタルマスクを印刷機に設置して、その基板に対向する面(印刷面)とその反対の面(スキージ面)にペーストを適量乗せて、スキージ面上でスキージを、圧力をかけながら滑動させて、開口からはんだペーストを押し出して、基板上に印刷する。   At the time of solder paste printing, this metal mask is installed in a printing machine, and an appropriate amount of paste is placed on the surface facing the board (printing surface) and the opposite surface (squeegee surface), and the squeegee is pressured on the squeegee surface. The solder paste is extruded from the opening and printed on the substrate.

ここで、基板の面は常に平坦であるとは限らず、配線パターンやランド、ソルダーレジストが形成されているために段差を有する場合が多い。特に、近年では携帯端末の普及から、基板も、ガラスエポキシ樹脂板を用いた硬く柔軟性のないリジッド基板ではなく、ポリイミドを用いた薄くて変形自在なフレキシブル基板に実装する場合が増えてきているが、フレキシブル基板はリジッド基板に比べて凹凸の多い基板である。   Here, the surface of the substrate is not always flat and often has a step due to the formation of the wiring pattern, land, and solder resist. In particular, in recent years, with the spread of portable terminals, the substrate is also mounted on a thin and deformable flexible substrate using polyimide instead of a rigid and non-rigid rigid substrate using a glass epoxy resin plate. However, the flexible substrate is a substrate having a larger number of irregularities than the rigid substrate.

このような場合、金属板のみで構成されるメタルマスクでは、金属の硬さのため基板の段差に応じた変形ができず、メタルマスクの印刷面が基板に密着しない為、にじみなどの印刷不良の原因となっていた。   In such a case, a metal mask composed only of a metal plate cannot be deformed according to the level difference of the substrate due to the hardness of the metal, and the printing surface of the metal mask does not adhere to the substrate, so printing defects such as bleeding are not possible. It was the cause.

この問題に対応するため、メタルマスクに代わって、柔軟性を有するプラスチックと金属の複合構造である、はんだ印刷用マスク100の様なものが使われている(例えば、特許文献2、3参照)。   In order to cope with this problem, a solder printing mask 100, which is a composite structure of plastic and metal having flexibility, is used instead of the metal mask (see, for example, Patent Documents 2 and 3). .

図11は、従来のはんだ印刷用マスク100の概略側面図である。はんだ印刷用マスク100は、印刷面がプラスチックシート101、第1金属層102、第2金属層103、及び開口から構成される積層構造であり、プラスチックシート101が印刷面、第二金属層103がスキージ面として使用される。   FIG. 11 is a schematic side view of a conventional solder printing mask 100. The solder printing mask 100 has a laminated structure in which a printing surface includes a plastic sheet 101, a first metal layer 102, a second metal layer 103, and an opening. The plastic sheet 101 has a printing surface, and the second metal layer 103 has a printing surface. Used as a squeegee surface.

ここで、はんだ印刷用マスク100は、プラスチックシート101に、スパッタリングや無電解銅めっきで形成した銅の薄膜よりなる第1金属層103に対し、電気ニッケルめっきで金属層102を形成したのち、レーザ加工やエッチング加工により開口を形成して製造する。   Here, the solder printing mask 100 is formed by forming the metal layer 102 on the plastic sheet 101 by electro nickel plating on the first metal layer 103 made of copper thin film formed by sputtering or electroless copper plating. An opening is formed by processing or etching.

すなわち、従来のはんだ印刷用マスク100を製造するためには、プラスチックシート101上に銅薄膜を形成するためのスパッタ装置や無電解銅めっき設備を用意するか、市販されている銅/プラスチック積層シートを使用する必要があった。しかしながら、前者では、設備投資の高騰や製造工程の複雑化を招くことが問題となる。一方後者では、市販されている厚さの銅/プラスチック積層シートが、単体のプラスチックシートに比べて高価であるためコスト増の問題が生じる。さらに製造者の都合で入手可能な厚さの種類が限定されている場合には、はんだ印刷用マスク100の総厚(各層の厚さの合計)に対する第1金属層102と第2金属層103の厚さの合計が制御できない、といった問題があった。   That is, in order to manufacture the conventional solder printing mask 100, a sputtering device or an electroless copper plating facility for forming a copper thin film on the plastic sheet 101 is prepared, or a commercially available copper / plastic laminated sheet. Had to be used. However, the former is problematic in that the capital investment increases and the manufacturing process becomes complicated. On the other hand, in the latter case, since a commercially available copper / plastic laminated sheet is more expensive than a single plastic sheet, there is a problem of an increase in cost. Furthermore, when the types of thicknesses available for the convenience of the manufacturer are limited, the first metal layer 102 and the second metal layer 103 with respect to the total thickness of the solder printing mask 100 (the total thickness of each layer). There was a problem that the total thickness could not be controlled.

図11の従来のはんだ印刷用マスク100は、市販の銅/プラスチック積層シートを使用したものであり、第1金属層102と第2金属層103の厚さの合計が、プラスチックシート101より厚いものとなっている。   The conventional solder printing mask 100 of FIG. 11 uses a commercially available copper / plastic laminated sheet, and the total thickness of the first metal layer 102 and the second metal layer 103 is thicker than that of the plastic sheet 101. It has become.

図12は、従来のはんだ印刷用マスク100の使用状態を示したものである。基板201が段差を有するとき、スキージ202を、圧力をかけながらメタルマスクのスキージ面(第2金属層103)を滑動させてはんだペーストPを印刷した場合、従来のはんだ印刷用マスク100では総厚に対する金属の割合が高く剛性が高いため、スキージ202の圧力によっても段差に追従せず、基板に密着しない。そのため、はんだペーストPが基板201上に適正に転写されず、これがにじみや印刷不足などの不良の原因となっていた。   FIG. 12 shows a use state of a conventional solder printing mask 100. When the solder paste P is printed by sliding the metal mask squeegee surface (second metal layer 103) while applying pressure when the substrate 201 has a level difference, the conventional solder printing mask 100 has a total thickness. Since the metal ratio is high and the rigidity is high, even the pressure of the squeegee 202 does not follow the step and does not adhere to the substrate. For this reason, the solder paste P is not properly transferred onto the substrate 201, which causes defects such as bleeding and insufficient printing.

特開2009−113384JP2009-113384A 特開平10−138657JP-A-10-138657 特開2000−334909JP 2000-334909 A

この発明の目的は、上記事情に鑑み、印刷時における基板の段差への追従性が高く、基板に良く密着し、印刷品質の良好なはんだ印刷用マスクと、その簡便な製造方法を提供することである。   In view of the above circumstances, an object of the present invention is to provide a solder printing mask that has high followability to a step of a substrate during printing, adheres well to the substrate, has good print quality, and a simple manufacturing method thereof. It is.

上記の目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、厚さ0.02〜0.06mmのエポキシ系の熱硬化型接着シートを所望の厚さまで重ねあわせた樹脂層を、所定の硬化条件で硬化させる工程と、前記樹脂層上に無電解ニッケルめっきで0.5〜1.5μmのニッケルめっき皮膜よりなる下地を形成する工程と、前記下地の上に、電気ニッケルめっきで総厚の1/3以下でありかつ0.015mm以上の厚さのニッケルめっきをして、金属層を形成して金属・樹脂積層体を作る工程と、前記金属・樹脂積層体の前記樹脂層側から、紫外線レーザを照射し、前記金属・樹脂積層体を加工して、所定のパターンで開口を形成する工程と、を備えることを特徴とするはんだ印刷用マスクの製造方法。
In order to achieve the above-mentioned object, the invention according to claim 1 is characterized in that a resin layer in which an epoxy thermosetting adhesive sheet having a thickness of 0.02 to 0.06 mm is laminated to a desired thickness is provided in a predetermined manner. A step of curing under curing conditions, a step of forming a base made of a nickel plating film of 0.5 to 1.5 μm by electroless nickel plating on the resin layer, and a total thickness by electro nickel plating on the base A step of forming a metal layer by forming a metal layer by nickel plating with a thickness of 1/3 or less and 0.015 mm or more from the resin layer side of the metal / resin laminate And a step of processing the metal / resin laminate to form an opening with a predetermined pattern by irradiating with an ultraviolet laser.

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請求項の発明によれば、樹脂層の厚さを従来に比較して自由に設定してはんだ印刷用マスクの総厚を一定に保持しつつ、金属層の厚さを樹脂層の厚さより薄くすることで、印刷時のはんだ印刷用マスクの基板の段差への追従性が高く、良好な印刷品質を有するはんだ印刷用マスクを、簡便な方法で製造することが可能になる。
According to the first aspect of the present invention, the thickness of the resin layer is freely set as compared with the conventional one, and the total thickness of the solder printing mask is kept constant, while the thickness of the metal layer is made larger than the thickness of the resin layer. By reducing the thickness, it is possible to manufacture a solder printing mask having a good print quality with high followability to the step of the substrate of the solder printing mask during printing by a simple method.

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本発明の実施の形態1に係る、はんだ印刷用マスクの概略の正面図(a)と、側面図(b)である。It is the front view (a) of the outline of the mask for solder printing based on Embodiment 1 of this invention, and a side view (b). 本発明の実施の形態1に係る、はんだ印刷用マスクの製造方法を示す概略工程フロー図である。It is a general | schematic process flowchart which shows the manufacturing method of the mask for solder printing based on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1に係る、はんだ印刷用マスクの使用状態を表す、概略側面図である。It is a schematic side view showing the use condition of the mask for solder printing based on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態2に係る、はんだ印刷用マスクの製造方法を示す概略工程フロー図である。It is a schematic process flowchart which shows the manufacturing method of the mask for solder printing based on Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施の形態3に係る、はんだ印刷用マスクの概略の正面図(a)と、側面図(b)である。It is the front view (a) of the outline of the mask for solder printing based on Embodiment 3 of this invention, and a side view (b). 本発明の実施の形態3に係る、はんだ印刷用マスクの製造方法を示す概略工程フロー図である。It is a schematic process flowchart which shows the manufacturing method of the mask for solder printing based on Embodiment 3 of this invention. 本発明の実施の形態4に係る、はんだ印刷用マスクの製造方法を示す概略工程フロー図である。It is a general | schematic process flowchart which shows the manufacturing method of the mask for solder printing based on Embodiment 4 of this invention. 本発明の実施の形態5に係る、はんだ印刷用マスクの概略の正面図(a)と、側面図(b)である。It is the front view (a) of the outline of the mask for solder printing based on Embodiment 5 of this invention, and a side view (b). 本発明の実施の形態5に係る、はんだ印刷用マスクの製造方法を示す概略工程フロー図である。It is a general | schematic process flowchart which shows the manufacturing method of the mask for solder printing based on Embodiment 5 of this invention. 本発明の実施の形態6に係る、はんだ印刷用マスクの製造方法を示す概略工程フロー図である。It is a general | schematic process flowchart which shows the manufacturing method of the mask for solder printing based on Embodiment 6 of this invention. 従来のはんだ印刷用マスクの概略の側面図である。It is a schematic side view of the conventional solder printing mask. 従来のはんだ印刷用マスクの使用状態を表す、概略側面図である。It is a schematic side view showing the use condition of the conventional solder printing mask.

本発明の実施の形態について、添付の図面を参照しながら説明する。なお、図面において、図面中の各部の構成の大きさ、間隔、数、その他詳細は、視認と理解の助けのために、実際の物とから大幅に簡略化・省略化して表現している。   Embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the size, interval, number, and other details of the configuration of each part in the drawings are expressed greatly simplified and omitted from actual ones for the sake of visual recognition and understanding.

実施の形態1
図1は、実施の形態1にかかる、はんだ印刷用マスク1の概略の正面図(a)と、側面図(b)である。
Embodiment 1
FIG. 1 is a schematic front view (a) and side view (b) of a solder printing mask 1 according to the first embodiment.

はんだ印刷用マスク1は、平板状の金属板(金属層)13と、金属板13の片側全面に被覆された熱硬化型接着シート(接着剤層)12と、熱硬化型接着シート12の、金属板13と反対側に固着しているポリイミドシート11からなる平板状の積層構造をしており、面内に印刷パターンに対応する配列・数・大きさ・形状(以下「配列等」という)に形成された開口14から構成されている。ここで、本実施の形態1においては、熱硬化型接着シート12とポリイミドシート11からなる積層を樹脂層という。以降の実施の形態においても、同様に取り扱う。   The solder printing mask 1 includes a flat metal plate (metal layer) 13, a thermosetting adhesive sheet (adhesive layer) 12 coated on the entire surface of one side of the metal plate 13, and a thermosetting adhesive sheet 12. It has a flat laminated structure composed of a polyimide sheet 11 fixed on the opposite side of the metal plate 13, and the arrangement, number, size, and shape (hereinafter referred to as "array") corresponding to the printed pattern in the surface. It is comprised from the opening 14 formed in this. Here, in this Embodiment 1, the lamination | stacking which consists of the thermosetting type adhesive sheet 12 and the polyimide sheet 11 is called resin layer. The same applies to the following embodiments.

金属板13の素材は、本実施の形態1では、電気ニッケルめっきにより形成されたニッケル板が使われている。板の大きさは、一辺が300〜600mmの四角形であり、板厚は、0.015mm以上であり、かつ樹脂層の厚さ(すなわち、熱硬化型接着シート12とポリイミドシート11の厚さの合計)より薄くなるように設定されている。   In the first embodiment, a nickel plate formed by electric nickel plating is used as the material of the metal plate 13. The size of the plate is a square having a side of 300 to 600 mm, the plate thickness is 0.015 mm or more, and the thickness of the resin layer (that is, the thickness of the thermosetting adhesive sheet 12 and the polyimide sheet 11). Total) is set to be thinner.

熱硬化型接着シート12は、耐薬品性に優れた、エポキシ樹脂からなる熱硬化型接着シートであり、熱や圧力により硬化して、接着力を発揮する。熱硬化型接着シート12の厚さは、基本的には0.02〜0.06mmのものがあるが、既存の厚さに限らずに、重ね合わせて厚くして使用することも可能である。   The thermosetting adhesive sheet 12 is a thermosetting adhesive sheet made of an epoxy resin having excellent chemical resistance, and is cured by heat or pressure to exert an adhesive force. The thickness of the thermosetting adhesive sheet 12 is basically 0.02 to 0.06 mm, but is not limited to the existing thickness, and can be used by being overlapped and thickened. .

ポリイミドシート11は、厚さ0.025〜0.125mmのフィルムであり、外形寸法は金属板13の開口14を全て覆い隠せる面積以上であり、かつ金属板13の外形寸法以下に設定されている。素材のポリイミドは、耐薬品性と耐熱性に優れ、機械的強度が高いため、はんだ印刷用マスク1の印刷面の素材として好適である。   The polyimide sheet 11 is a film having a thickness of 0.025 to 0.125 mm, and the outer dimension is set to be equal to or larger than the area capable of covering all the openings 14 of the metal plate 13 and smaller than the outer dimension of the metal plate 13. . Since the material polyimide is excellent in chemical resistance and heat resistance and has high mechanical strength, it is suitable as a material for the printing surface of the solder printing mask 1.

ここで、総厚に対する金属板13の厚さは、1/2未満、好ましくは1/3以下とする。但し、上記の通り0.015mm以上である。0.015mm未満の場合は、はんだ印刷用マスク1の強度が不足し、印刷中の伸びや破断を起こしやすくなり、1/2以上のときは、剛性が高くなり基板追従性が低下して、印刷品質を下げることになる。   Here, the thickness of the metal plate 13 with respect to the total thickness is less than 1/2, preferably 1/3 or less. However, it is 0.015 mm or more as described above. If it is less than 0.015 mm, the strength of the solder printing mask 1 is insufficient, and it tends to cause elongation or breakage during printing, and if it is 1/2 or more, the rigidity becomes high and the board followability decreases. The print quality will be lowered.

開口14は、はんだ印刷用マスク1に形成された穴であり、金属板13、樹脂層を一体的に貫通している。また、印刷パターンに対応する配列等で形成されている。ここで、開口14の配列等は、はんだ印刷用マスク1を使用して生産する製品により異なるが、例えば、一般的に開口14の大きさは一辺または径の大きさが0.1mm以上、その間隔は、0.1mm以上とされている。また、後述する紫外線レーザにより加工する場合には、図1(b)にみられるように、ポリイミドシート11側は、金属板13側よりも開口14の面積は大きくなる。このような形状とすることで、はんだ印刷時に、開口14の内壁は、スキージ側からワーク側へ向かって孔が広がる順テーパーの形態をとることになるので、はんだ印刷後のはんだの開口14からの抜け性が、順テーパーでない場合(テーパーがない場合や逆テーパーである場合)に比べて良くなる。   The opening 14 is a hole formed in the solder printing mask 1 and integrally penetrates the metal plate 13 and the resin layer. Further, it is formed in an array corresponding to the print pattern. Here, the arrangement and the like of the openings 14 differ depending on the products to be produced using the solder printing mask 1. For example, the opening 14 generally has a side or a diameter of 0.1 mm or more. The interval is set to 0.1 mm or more. In addition, when processing with an ultraviolet laser described later, as shown in FIG. 1B, the area of the opening 14 on the polyimide sheet 11 side is larger than that on the metal plate 13 side. By adopting such a shape, during solder printing, the inner wall of the opening 14 takes a form of a forward taper in which the hole expands from the squeegee side toward the workpiece side. Therefore, from the solder opening 14 after solder printing, This is better than when the taper is not forward tapered (when there is no taper or when there is a reverse taper).

次に、本実施の形態1に係るはんだ印刷用マスク1の製造方法について、図2のはんだ印刷用マスク1の製造方法を示す概略工程フロー図に基づいて説明をする。   Next, a method for manufacturing the solder printing mask 1 according to the first embodiment will be described based on a schematic process flow diagram showing the method for manufacturing the solder printing mask 1 shown in FIG.

まず、電鋳法により、金属板13を準備する(ステップS1)。この実施の形態1において金属板13を形成する方法である電気ニッケルめっきは、スルファミン酸ニッケルまたは、硫酸ニッケルを金属塩とするめっき浴の中にステンレスからなるめっき基材を浸漬し、アノードとの間で通電をすることで、めっき基材上に電気ニッケルめっきを施す。ここで、めっき基材は、作製する金属板13以上の大きさである。所定の厚さ(金属板13の厚さに相当)まで通電を行ったら、電気めっきを停止して、めっき基材をめっき浴から引き揚げ、さらにめっき基材からめっき生成物であるニッケル皮膜を剥離することで、金属板13が作製される。このとき、めっき基材の周辺部に形成されためっき皮膜は、剥離時にロスするため、上述の通り、めっき基材はそのロス分だけ作成する金属板13より大きくする。   First, the metal plate 13 is prepared by electroforming (step S1). Electro nickel plating, which is a method of forming the metal plate 13 in the first embodiment, immerses a plating base made of stainless steel in a plating bath containing nickel sulfamate or nickel sulfate as a metal salt, and Electric nickel plating is performed on the plating base material by energizing between them. Here, the plating substrate is larger than the metal plate 13 to be produced. After energization to a predetermined thickness (corresponding to the thickness of the metal plate 13), the electroplating is stopped, the plating substrate is lifted from the plating bath, and the nickel film as the plating product is peeled off from the plating substrate. Thus, the metal plate 13 is produced. At this time, the plating film formed on the peripheral portion of the plating base material is lost at the time of peeling. Therefore, as described above, the plating base material is made larger than the metal plate 13 to be created by the loss.

同じ大きさに加工した熱硬化型接着シート12と、ポリイミドシート11を、この順番で金属板13に重ねあわせて、金属・樹脂積層体を作り、70〜100℃で1〜10秒間押圧して、熱により柔らかくなった熱硬化型接着シート12に発生した粘着力により、金属板13とポリイミドシート11を圧着して仮接着をする(ステップS2)。この圧着工程は、ポリイミドシート11と金属板13の仮接着を行うものであり、仮接着を適正に行うことで、次の工程で熱硬化をした際に十分な接着力が得られる。一方、温度や時間が適正なものでない場合、熱硬化後に十分な接着力が得られずに、不具合の原因となる。   The thermosetting adhesive sheet 12 processed to the same size and the polyimide sheet 11 are overlapped on the metal plate 13 in this order to form a metal / resin laminate, and pressed at 70 to 100 ° C. for 1 to 10 seconds. The metal plate 13 and the polyimide sheet 11 are pressure-bonded and temporarily bonded by the adhesive force generated in the thermosetting adhesive sheet 12 softened by heat (step S2). In this crimping step, the polyimide sheet 11 and the metal plate 13 are temporarily bonded, and by performing temporary bonding appropriately, sufficient adhesive strength can be obtained when thermosetting is performed in the next step. On the other hand, if the temperature and time are not appropriate, sufficient adhesive strength cannot be obtained after thermosetting, causing problems.

次に、金属・樹脂積層体を熱硬化する。熱硬化は、所定の温度に設定した熱乾燥機の炉内に置いて、一定の硬化時間以上熱を加えることで、熱硬化型接着シートを熱硬化させて、金属板13と樹脂層を固着する(ステップS3)。ここで、熱乾燥機の温度は、熱硬化型接着シートの硬化条件により異なり、本実施の形態1では、100〜150℃の範囲に設定される。また硬化時間は1時間以上、より好ましくは2時間以上とされる。   Next, the metal / resin laminate is thermally cured. Thermosetting is performed in a furnace of a heat dryer set to a predetermined temperature, and heat is applied for a predetermined curing time or more to thermally cure the thermosetting adhesive sheet, thereby fixing the metal plate 13 and the resin layer. (Step S3). Here, the temperature of the heat dryer varies depending on the curing conditions of the thermosetting adhesive sheet, and is set in a range of 100 to 150 ° C. in the first embodiment. The curing time is 1 hour or longer, more preferably 2 hours or longer.

次に、金属・樹脂積層体の樹脂層側から、レーザを照射して、所定のパターンで開口を形成する(ステップS4)。ここで、レーザ加工法の光源は、ポリイミドのような難燃性樹脂を切断部の形状を崩すことなく綺麗に切断できる紫外線レーザが用いられる。   Next, a laser is irradiated from the resin layer side of the metal / resin laminate to form openings with a predetermined pattern (step S4). Here, as a light source of the laser processing method, an ultraviolet laser that can cleanly cut a flame-retardant resin such as polyimide without breaking the shape of the cut portion is used.

この様にして、造られたはんだ印刷用マスク1を、アルミ製の枠と、ここに一定の張力で固着されたポリエステル製のスクリーンからなるスクリーン枠に、ポリイミドシート11が印刷面となるように(ポリイミドシート11が、スクリーンを挟んで枠の反対側を向くように)張設し、製版をすることで、印刷機にセットすることが可能となり、はんだ印刷に供される形態となる。   In this way, the produced solder printing mask 1 is placed on an aluminum frame and a screen frame made of a polyester screen fixed to the aluminum frame with a constant tension so that the polyimide sheet 11 becomes a printing surface. By stretching and making the plate (the polyimide sheet 11 faces the opposite side of the frame across the screen), it can be set in a printing machine, and is used for solder printing.

次に、本実施の形態1に係る発明の作用である、はんだ印刷用マスク1によるはんだ印刷方法について、図3に基づいて説明する。   Next, a solder printing method using the solder printing mask 1 as an operation of the invention according to the first embodiment will be described with reference to FIG.

はんだ印刷用マスク1を張設した印刷版と、段差のある基板201を、ポリイミドシート11を印刷面として、これが基板201と対向するように印刷機にセットする。   The printing plate on which the solder printing mask 1 is stretched and the substrate 201 with a step are set on a printing machine so that the polyimide sheet 11 is the printing surface and this is opposed to the substrate 201.

適量のはんだペーストPをはんだ印刷用マスク1のスキージ面である金属板13上に乗せ、スキージ202を面内で滑動させて、はんだペーストPをローリングさせながら、開口14内に供給することで、はんだペーストPを、基板201上に転写する。   An appropriate amount of solder paste P is placed on the metal plate 13 that is the squeegee surface of the solder printing mask 1, and the squeegee 202 is slid in the surface to supply the solder paste P into the opening 14 while rolling. The solder paste P is transferred onto the substrate 201.

このとき、はんだ印刷用マスク1は、スキージ202の圧力(スキージ圧)により、基板201の段差において、この形状に追従して弾性変形をして段差の近傍で基板201に確りと密着する。これにより、はんだペーストPは、適正に基板201に転写されるので、高い印刷品質を得る。   At this time, the solder printing mask 1 is elastically deformed following the shape of the step of the substrate 201 by the pressure of the squeegee 202 (squeegee pressure), and is firmly adhered to the substrate 201 in the vicinity of the step. Thereby, since the solder paste P is appropriately transferred to the substrate 201, high print quality is obtained.

本実施の形態1の発明によれば、樹脂層の厚さを従来に比較して自由に設定できるので、はんだ印刷用マスク1の総厚を一定に保持しつつ、金属板13の厚さを樹脂層の厚さより薄くできる。これにより、印刷時のはんだ印刷用マスク1の基板201の段差への追従性を高めることができるようになり、印刷品質を高めることが可能になる。   According to the first embodiment, the thickness of the resin layer can be freely set as compared with the conventional one. Therefore, the thickness of the metal plate 13 can be set while keeping the total thickness of the solder printing mask 1 constant. It can be made thinner than the resin layer. Thereby, it becomes possible to improve the followability of the solder printing mask 1 to the level difference of the substrate 201 during printing, and it is possible to improve the printing quality.

また、機械的強度や耐薬品性が高いポリイミドシート11を樹脂層に使用することで、基板の追従性の他に、印刷や洗浄による破損がしにくいはんだ印刷用マスク1を得ることが可能となる。さらに高い耐熱性を有するため、紫外線によって適正に切断できるという効果がある。   Further, by using a polyimide sheet 11 having high mechanical strength and chemical resistance as a resin layer, it is possible to obtain a solder printing mask 1 that is not easily damaged by printing or washing in addition to the followability of the substrate. Become. Furthermore, since it has high heat resistance, there exists an effect that it can cut | disconnect appropriately with an ultraviolet-ray.

実施の形態2
本実施の形態2におけるはんだ印刷用マスク1の製造方法は、実施の形態1が、予め準備していた金属板13を樹脂層に貼り合せていたのに対して、ここでは樹脂層に対して、ニッケルめっきを施して、熱硬化型接着シート12上に直接金属板13を形成する点で相違する。その他の構成については、実施の形態1と同様である。
Embodiment 2
In the method of manufacturing the solder printing mask 1 in the second embodiment, the metal plate 13 prepared in advance is bonded to the resin layer in the first embodiment. The difference is that nickel plating is applied to form the metal plate 13 directly on the thermosetting adhesive sheet 12. Other configurations are the same as those in the first embodiment.

図4は、本実施の形態2における、はんだ印刷用マスク1の製造方法を示す概略工程フロー図である。この製造工程では、まずポリイミドシート11と熱硬化型接着シート12である樹脂層を仮接着する(ステップS11)。仮接着の条件は実施の形態1のステップS2と同様である。   FIG. 4 is a schematic process flow diagram showing a method for manufacturing the solder printing mask 1 according to the second embodiment. In this manufacturing process, first, the polyimide sheet 11 and the resin layer that is the thermosetting adhesive sheet 12 are temporarily bonded (step S11). The conditions for temporary bonding are the same as in step S2 of the first embodiment.

次に、樹脂層を熱硬化する(ステップS12)。熱硬化は、実施の形態1のステップS3と同様である。   Next, the resin layer is thermally cured (step S12). Thermosetting is the same as step S3 in the first embodiment.

次に、熱硬化型接着シート12の、ポリイミドシート11と反対側の面に、ニッケルめっきを施して、金属板13を形成して、金属・樹脂積層体を作る(ステップS13)。ここで、ニッケルめっきには、上述した電気ニッケルめっきと、アノードと被めっき体の間の通電を伴わない無電解ニッケルめっきが存在するが、電気絶縁物質である熱硬化型接着シート12は、通電ができないため、電気ニッケルめっきでは熱硬化型接着シート12に直接金属板13を形成することはできない。一方、無電解ニッケルめっきは、通電を必要とせず、めっき液中の還元剤の反応によりめっき皮膜を形成するため、樹脂のような電気絶縁物質上にもめっきが可能である。   Next, the surface of the thermosetting adhesive sheet 12 opposite to the polyimide sheet 11 is subjected to nickel plating to form a metal plate 13 to make a metal / resin laminate (step S13). Here, the nickel plating includes the above-described electro nickel plating and electroless nickel plating without energization between the anode and the object to be plated. However, the thermosetting adhesive sheet 12 which is an electrically insulating material is energized. Therefore, the metal plate 13 cannot be directly formed on the thermosetting adhesive sheet 12 by electro nickel plating. On the other hand, electroless nickel plating does not require energization, and forms a plating film by the reaction of a reducing agent in the plating solution. Therefore, plating can be performed on an electrically insulating material such as a resin.

本実施の形態2では、まず熱硬化型接着シート12上に無電解ニッケルめっきで金属板13の下地となるニッケル皮膜を薄く形成する。このニッケル皮膜の厚さは、0.5〜1.5μmとする。次に、この下地のニッケル皮膜の上に、電気ニッケルめっきで金属板13を形成する。このとき、実施の形態1と同様に、金属板13の厚さは、好ましくは総層の1/2未満、より好ましくは1/3以下であり、かつ0.015mm以上になるようにめっきの条件を調整する。   In the second embodiment, first, a thin nickel film is formed on the thermosetting adhesive sheet 12 as a base for the metal plate 13 by electroless nickel plating. The thickness of this nickel film shall be 0.5-1.5 micrometers. Next, the metal plate 13 is formed on the underlying nickel film by electro nickel plating. At this time, as in the first embodiment, the thickness of the metal plate 13 is preferably less than ½ of the total layer, more preferably 1 / or less, and 0.015 mm or more. Adjust the conditions.

次に、実施の形態1のステップS4と同様に、金属・樹脂積層体の樹脂層側から、紫外線レーザを照射して、所定のパターンで開口を形成する(ステップS14)。   Next, as in step S4 of the first embodiment, an ultraviolet laser is irradiated from the resin layer side of the metal / resin laminate to form an opening with a predetermined pattern (step S14).

実施の形態2の発明によれば、樹脂層の厚さを従来に比較して自由に設定して印刷用マスクの総厚を一定に保持しつつ、金属板13の厚さを樹脂層の厚さより薄くすることで、印刷時のはんだ印刷用マスク1の基板の段差への追従性が高く、良好な印刷品質を有するはんだ印刷用マスク1を、簡便な方法で製造することが可能になる。   According to the second embodiment, the thickness of the metal plate 13 is set to the thickness of the resin layer while keeping the total thickness of the printing mask constant by freely setting the thickness of the resin layer as compared with the conventional one. By making the thickness thinner than this, it becomes possible to manufacture the solder printing mask 1 having good print quality with high followability to the steps of the substrate of the solder printing mask 1 during printing by a simple method.

実施の形態3
本実施の形態3に係るはんだ印刷用マスク2は、図5に示すように、樹脂層が熱硬化型接着シート21のみから構成される単層構造であって、ポリイミドシート11を有さない点で実施の形態1と異なり、その他については同様である。そこで、実施の形態1と同じ構成については、説明と符号を省略する。
Embodiment 3
As shown in FIG. 5, the solder printing mask 2 according to the third embodiment has a single-layer structure in which the resin layer is composed only of the thermosetting adhesive sheet 21 and does not have the polyimide sheet 11. Unlike the first embodiment, the rest is the same. Therefore, description and reference numerals of the same configurations as those in Embodiment 1 are omitted.

樹脂層を構成する熱硬化型接着シート21は、実施の形態1と同様に、エポキシ系の熱硬化型接着シートであり、単体の厚さは0.02〜0.06mmであるが、本実施の形態2ではポリイミドシート11がないので、その分厚いものを使用したり、所望の厚さまで重ねわせたりして使用する。   The thermosetting adhesive sheet 21 constituting the resin layer is an epoxy thermosetting adhesive sheet as in the first embodiment, and the thickness of the single body is 0.02 to 0.06 mm. In Form 2, since there is no polyimide sheet 11, a thicker one is used, or a desired thickness is overlapped.

図6は、本実施の形態3に係るはんだ印刷用マスク2の製造方法を示す概略工程フロー図である。実施の形態1との相違点は、金属・樹脂積層体が、ステップS2のようなポリイミドシート11と熱硬化型接着シート12及び金属板13ではなく、熱硬化型接着シート21と金属板22から構成される点であり、その他の点では本質的に同様である。   FIG. 6 is a schematic process flow diagram showing a method for manufacturing the solder printing mask 2 according to the third embodiment. The difference from Embodiment 1 is that the metal / resin laminate is not the polyimide sheet 11, the thermosetting adhesive sheet 12, and the metal plate 13 as in Step S2, but the thermosetting adhesive sheet 21 and the metal plate 22. In other respects, the configuration is essentially the same.

すなわち、先ず、金属板22を準備し(ステップS21)、この金属板22と、これより厚い熱硬化型接着シート21を重ねあわせて金属・樹脂積層体をつくり、実施の形態1と同様の条件で圧着をして仮接着をし(ステップS22)、その後熱硬化をし(ステップS23)、樹脂層側から紫外線レーザを照射して所定のパターンの開口を形成する(ステップS24)。   That is, first, a metal plate 22 is prepared (step S21), and the metal plate 22 and a thermosetting adhesive sheet 21 thicker than this are overlapped to form a metal / resin laminate, and the same conditions as in the first embodiment. Then, pressure bonding is performed and temporary bonding is performed (step S22), followed by thermosetting (step S23), and an ultraviolet laser is irradiated from the resin layer side to form a predetermined pattern opening (step S24).

本実施の形態3の発明によれば、実施の形態1と同様に、樹脂層の厚さを従来に比較して自由に設定できるので、はんだ印刷用マスク2の総厚を一定に保持しつつ、金属板22の厚さを樹脂層の厚さより薄くできるので、印刷時のはんだ印刷用マスク2の基板201の段差への追従性を高めることができるようになり、印刷品質を高めることが可能になる。   According to the third embodiment, as in the first embodiment, the thickness of the resin layer can be freely set as compared with the conventional one, so that the total thickness of the solder printing mask 2 is kept constant. Since the thickness of the metal plate 22 can be made thinner than the thickness of the resin layer, the followability of the solder printing mask 2 to the level difference of the substrate 201 at the time of printing can be improved, and the printing quality can be improved. become.

さらに、樹脂層が単層であり、ポリイミドシート11を使わないので、実施の形態1に比べ、製造コストの削減と、製作工程の簡略化に効果がある。   Furthermore, since the resin layer is a single layer and the polyimide sheet 11 is not used, the manufacturing cost can be reduced and the manufacturing process can be simplified compared to the first embodiment.

実施の形態4
本実施の形態4は、実施の形態3に係るはんだ印刷用マスク2を、実施の形態2と同様に、めっき工程を使用して製造するものであり、その他の点については同様である。
Embodiment 4
In the fourth embodiment, the solder printing mask 2 according to the third embodiment is manufactured by using a plating process similarly to the second embodiment, and the other points are the same.

すなわち、先ず、熱硬化型接着シート21を準備し(ステップS31)、これを熱硬化させ(ステップS32)、無電解ニッケルめっきで下地を形成した後、電気ニッケルめっきで金属板22を形成し(ステップS33)、樹脂層側から紫外線レーザを照射して所定のパターンの開口を形成する(ステップS34)。   That is, first, a thermosetting adhesive sheet 21 is prepared (step S31), is thermally cured (step S32), a base is formed by electroless nickel plating, and then a metal plate 22 is formed by electro nickel plating ( In step S33), an ultraviolet laser is irradiated from the resin layer side to form a predetermined pattern of openings (step S34).

実施の形態5
本実施の形態5に係るはんだ印刷用マスク3は、図8に示すように、樹脂層が熱融着性ポリイミドシート31のみから構成される単層構造であって、ポリイミドシート11、硬化型接着シート21を有さない点で実施の形態1と異なり、その他については同様である。そこで、実施の形態1と同じ構成については、説明と符号を省略する。
Embodiment 5
As shown in FIG. 8, the solder printing mask 3 according to the fifth embodiment has a single-layer structure in which the resin layer is composed only of the heat-fusible polyimide sheet 31. Unlike the first embodiment in that the sheet 21 is not provided, the rest is the same. Therefore, description and reference numerals of the same configurations as those in Embodiment 1 are omitted.

樹脂層を構成する熱融着性ポリイミドシート31は、熱可塑性ポリイミドを表面層に有し、中心層はポリイミドシート11と同じ材料からなる通常のポリイミドシートであり、所定の熱融着条件で熱と圧力をかけることで、他のものと融着することができる。単体の厚さは0.025〜0.050mmであるが、熱融着性ポリイミドシート31同士で重ね貼りすることで、これより厚い樹脂層を形成することが可能である。   The heat-fusible polyimide sheet 31 constituting the resin layer is a normal polyimide sheet made of the same material as that of the polyimide sheet 11 having a thermoplastic polyimide in the surface layer, and is heated under predetermined heat-fusing conditions. By applying pressure, it can be fused with other things. Although the thickness of a single body is 0.025 to 0.050 mm, it is possible to form a resin layer thicker than this by overlapping and sticking together with the heat-fusible polyimide sheets 31.

図9は、本実施の形態5に係るはんだ印刷用マスク3の製造方法を示す概略工程フロー図である。実施の形態1との相違点は、金属・樹脂積層体が、ステップS2のようなポリイミドシート11と熱硬化型接着シート12及び金属板13ではなく、熱融着性ポリイミドシート31と金属板32から構成される点であり、その他の点では本質的に同様である。   FIG. 9 is a schematic process flow diagram showing a method for manufacturing the solder printing mask 3 according to the fifth embodiment. The difference from the first embodiment is that the metal / resin laminate is not the polyimide sheet 11, the thermosetting adhesive sheet 12 and the metal plate 13 as in step S 2, but the heat-fusible polyimide sheet 31 and the metal plate 32. The other points are essentially the same.

すなわち、先ず、金属板32を準備し(ステップS41)、この金属板32と、これより厚い熱融着性ポリイミドシート31を重ねあわせて金属・樹脂積層体をつくり、圧着をし(ステップS42)、樹脂層側から紫外線レーザを照射して所定のパターンの開口を形成する(ステップS43)。   That is, first, a metal plate 32 is prepared (step S41), a metal / resin laminate is formed by laminating the metal plate 32 and a thicker heat-fusible polyimide sheet 31, and then crimped (step S42). Then, an ultraviolet laser is irradiated from the resin layer side to form an opening having a predetermined pattern (step S43).

本実施の形態5の発明によれば、実施の形態1と同様に、樹脂層の厚さを従来に比較して自由に設定できるので、はんだ印刷用マスク3の総厚を一定に保持しつつ、金属板32の厚さを樹脂層の厚さより薄くできる。これにより、印刷時のはんだ印刷用マスク3の基板201の段差への追従性を高めることができるようになり、印刷品質を高めることが可能になる。   According to the fifth embodiment, the thickness of the resin layer can be freely set as compared with the conventional one, as in the first embodiment, so that the total thickness of the solder printing mask 3 is kept constant. The thickness of the metal plate 32 can be made thinner than the thickness of the resin layer. As a result, the followability of the solder printing mask 3 to the level difference of the substrate 201 during printing can be improved, and the printing quality can be improved.

さらに、樹脂層が単層であり、熱硬化型接着シート12を使わないので仮接着が不要であり、実施の形態1に比べ、製造コストの削減と工程の簡略化に効果がある。   Furthermore, since the resin layer is a single layer and the thermosetting adhesive sheet 12 is not used, temporary adhesion is unnecessary, and compared to the first embodiment, the manufacturing cost can be reduced and the process can be simplified.

実施の形態6
本実施の形態6は、実施の形態5に係るはんだ印刷用マスク3を、実施の形態2と同様に、めっき工程を使用して製造するものであり、その他の点については同様である。
Embodiment 6
In the sixth embodiment, the solder printing mask 3 according to the fifth embodiment is manufactured by using a plating process as in the second embodiment, and the other points are the same.

すなわち、先ず、熱融着性ポリイミドシート31を準備し(ステップS51)、これに無電解ニッケルめっきで下地を形成した後、電気ニッケルめっきで金属板52を形成し(ステップS52)、樹脂層側から紫外線レーザを照射して所定のパターンの開口を形成する(ステップS53)。   That is, first, a heat-fusible polyimide sheet 31 is prepared (step S51), a base is formed thereon by electroless nickel plating, and then a metal plate 52 is formed by electric nickel plating (step S52). Then, an ultraviolet laser is irradiated to form an opening having a predetermined pattern (step S53).

以上、実施の形態1〜6について説明したが、本発明はこれに限られるものではなく、同様の効果を得られる他の形態も含まれる。例えば、ポリイミドシート11は、他の樹脂フィルム、例えばPETフィルムでも代替可能である。   As mentioned above, although Embodiment 1-6 was demonstrated, this invention is not restricted to this, The other form from which the same effect is acquired is also included. For example, the polyimide sheet 11 can be replaced with another resin film such as a PET film.

また、金属板13、22、32における金属はニッケルを用いたが、SUS304のように、一般にメタルマスクに使用される金属材料であればなにを用いてもよい。   Moreover, although nickel was used for the metal in the metal plates 13, 22, and 32, any metal material generally used for a metal mask such as SUS304 may be used.

また、実施の形態6においては、樹脂層は熱融着性ポリイミドシート31に限られず、通常のポリイミドシート11を使用しても良い。   In the sixth embodiment, the resin layer is not limited to the heat-fusible polyimide sheet 31, and a normal polyimide sheet 11 may be used.

1、2、3 はんだ印刷用マスク
11 ポリイミドシート
12、21 熱硬化型接着シート(接着剤層)
13、22、32 金属層(金属板)
14 開口
31 熱融着性ポリイミドシート

1, 2, 3 Mask for solder printing 11 Polyimide sheet 12, 21 Thermosetting adhesive sheet (adhesive layer)
13, 22, 32 Metal layer (metal plate)
14 Opening 31 Heat-sealable polyimide sheet

Claims (1)

厚さ0.02〜0.06mmのエポキシ系の熱硬化型接着シートを所望の厚さまで重ねあわせた樹脂層を、所定の硬化条件で硬化させる工程と、
前記樹脂層上に無電解ニッケルめっきで0.5〜1.5μmのニッケルめっき皮膜よりなる下地を形成する工程と、
前記下地の上に、電気ニッケルめっきで総厚の1/3以下でありかつ0.015mm以上の厚さのニッケルめっきをして、金属層を形成して金属・樹脂積層体を作る工程と、
前記金属・樹脂積層体の前記樹脂層側から、紫外線レーザを照射し、前記金属・樹脂積層体を加工して、所定のパターンで開口を形成する工程と、
を備えることを特徴とするはんだ印刷用マスクの製造方法。
A step of curing a resin layer in which an epoxy thermosetting adhesive sheet having a thickness of 0.02 to 0.06 mm is overlaid to a desired thickness under predetermined curing conditions;
Forming a base made of a nickel plating film of 0.5 to 1.5 μm by electroless nickel plating on the resin layer;
Forming a metal / resin laminate by forming a metal layer on the base by performing nickel electroplating with a nickel thickness of 1/3 or less of the total thickness and 0.015 mm or more ;
Irradiating an ultraviolet laser from the resin layer side of the metal / resin laminate, processing the metal / resin laminate, and forming openings in a predetermined pattern;
A method for manufacturing a mask for solder printing, comprising:
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