JP6159642B2 - 発光素子 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 29
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 28
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 23
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical group [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 9
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 8
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 36
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 12
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 11
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 9
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 9
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 8
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 8
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 7
- XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N trimethylgallium Chemical compound C[Ga](C)C XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 6
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 6
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 6
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 5
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 4
- DXNVUKXMTZHOTP-UHFFFAOYSA-N dialuminum;dimagnesium;barium(2+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Mg+2].[Mg+2].[Al+3].[Al+3].[Ba+2].[Ba+2] DXNVUKXMTZHOTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 4
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 4
- IBEFSUTVZWZJEL-UHFFFAOYSA-N trimethylindium Chemical compound C[In](C)C IBEFSUTVZWZJEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- JNDMLEXHDPKVFC-UHFFFAOYSA-N aluminum;oxygen(2-);yttrium(3+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Y+3] JNDMLEXHDPKVFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000002248 hydride vapour-phase epitaxy Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N trimethylaluminium Chemical compound C[Al](C)C JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910019901 yttrium aluminum garnet Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 2
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 238000009877 rendering Methods 0.000 description 2
- RGGPNXQUMRMPRA-UHFFFAOYSA-N triethylgallium Chemical compound CC[Ga](CC)CC RGGPNXQUMRMPRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MHYQBXJRURFKIN-UHFFFAOYSA-N C1(C=CC=C1)[Mg] Chemical compound C1(C=CC=C1)[Mg] MHYQBXJRURFKIN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000012788 optical film Substances 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
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- Semiconductor Lasers (AREA)
Description
基板上に、共振器構造を含む複数の窒化物半導体層を積層形成してなる発光素子であって、
前記基板上に形成され、レーザ光を発生する活性層を備えた共振器構造と、
前記共振器構造内に配され、前記レーザ光を吸収して前記レーザ光より長波長の光を発光する発光層と、
前記共振器構造よりも積層方向一端側に配され、前記レーザ光よりも短波長から前記発光層の発光波長域までの光を略反射する広帯域ストップバンド反射鏡層と、
前記共振器構造より積層方向他端側に配され、前記レーザ光を略反射し、前記発光波長域の光を略透過する狭帯域ストップバンド反射鏡層と、を備えていることを特徴とする。
(1) 本発明の発光素子は、
前記レーザ光の波長は紫外域であり、前記発光波長域は可視光域であることが好ましい。
この構成によれば、紫外光を吸収させて可視光を発光させる発光素子が得られる。
前記発光層は前記両反射鏡層間にて形成される前記レーザ光の光定在波の腹を含まない位置に配されていることが好ましい。
この構成によれば、発光層におけるレーザ光の必要以上に過剰な吸収が抑制でき、共振器構造内におけるレーザ発振を実現できる。
前記発光層間には、前記レーザ光の前記光定在波の腹を含まない位置に前記発光層を配置すべく、前記発光波長に対して透明な膜厚調整層が介在されていることが好ましい。
この構成によれば、膜厚調整層によって発光層を容易にレーザ光の光定在波の腹を含まない位置に配置できる。また、膜厚調整層における光吸収も発生しない。
前記広帯域ストップバンド反射鏡層は誘電体層を積層した誘電体多層膜層であり、前記共振器構造の積層方向上部側に設けられていることが好ましい。
この構成によれば、誘電体多層膜層を用いることで簡単に反射鏡層を広帯域化できる。
前記基板は前記発光波長域に対して透過性を有していることが好ましい。
この構成によれば、基板側から発光層からの光を取り出すことが可能となる。
前記発光層はそれぞれ、青色、緑色、赤色に相当する波長域に対して発光ピークを有する窒化物半導体混晶であることが好ましい。
この構成によれば、RGB(赤色・緑色・青色)に対応する発光を窒化物半導体混晶の混晶組成を変更するだけで得られ、演色性及び色再現性の高い白色発光を得ることが可能となる。
前記発光層は前記レーザ光により励起可能な蛍光体層であることが好ましい。
この構成によれば、レーザ光によって蛍光体層を励起させることでレーザ光より長波長の光を発光させることが可能となる。
本発明の実施例1に係る白色発光素子(発光素子)の断面構造を図1に示す。白色発光素子はn型GaN基板100と、第1〜3GaInN発光層202、203、204を含む共振器構造と、窒化物半導体多層膜反射鏡層(狭帯域ストップバンド反射鏡層)102と、第1、第2誘電体多層膜反射鏡層(広帯域ストップバンド反射鏡層110)108、109とを備えている。n型GaN基板100にはHVPE法(ハイドライド気相成長法)により作製したn型GaN自立基板を用いた。また、n型GaN基板100上への各窒化物半導体層の成膜にはMOCVD法(有機金属気相成長法)を用いた。
本発明の実施例2に係る白色発光素子の断面構造を図4に示す。実施例1との相違点は発光層にGaInN層ではなく、蛍光体薄膜層(蛍光体層)701を用いている点と発光層の積層方向における形成位置のみである。
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施例1、2に限定されるものではなく、例えば次のような実施例も本発明の技術的範囲に含まれる。
(1)上記実施例1、2では、基板にGaN基板を用いたが、これに限らず、サファイア上GaN基板や、SiC上GaN基板や、ZnO上GaN基板、AlN基板等を用いても良い。
(2)上記実施例1、2では、活性層に窒化物半導体結晶を用いたが、GaInN層を用いたが、これに限らず、AlGaN層、AlInN層、AlGaInN層、GaNSb層等を用いても良い。
(3)上記実施例1、2では、発光素子に8波長共振器構造を採用したが、7波長以下乃至9波長以上の共振器長を有する共振器構造を用いても良い。
(4)上記実施例1、2では、活性層にGaInN三重量子井戸層を用いたが、量子井戸層のペア数には制限はない。
(5)上記実施例1、2では、活性層から発生するレーザ光の中心波長を約400nmの紫外域としたが、これに限らず、可視光域であっても良い。
(6)上記実施例1、2では、広帯域ストップバンド反射鏡層にSiO2層とZrO2層を交互に積層した誘電体多層膜を用いたが、TiO2やSiN等の材料を用いてもよく、そのペア数にも制限はない。
(7)上記実施例1、2では、発光素子として紫外光励起による白色発光素子を例示したが、その他の可視光、赤外光などを利用した発光素子であっても良い。
(8)上記実施例1では、挟帯域ストップバンド反射鏡層にAlInNとGaNを交互に積層した窒化物半導体多層膜を用いたが、例えばAlGaNやAlGaInN等の材料を用いてもよく、そのペア数にも制限はない。
(9)上記実施例2では、蛍光体層にYAG蛍光体とBAM蛍光体を用いたが、その他の材料を用いてもよい。
(10)上記実施例1、2では、窒化物半導体をMOCVD法により成膜したが、これに限らず、HVPE法やMBE法、スパッタリング法等で成膜しても良い。
(11)上記実施例2では、RGB(赤色・緑色・青色)に対応する発光層にIn組成を調整したGaInN層を3層形成して用いたが、例えばRG(赤色・緑色)のみをGaInN層とし、B(青色)はBAM蛍光体等の蛍光体層とするなどして、GaInN層と蛍光体層を組み合わせても構わない。
102…窒化物半導体反射鏡層(挟帯域ストップバンド反射鏡層)
104…GaInN三重量子井戸活性層(活性層)
110…誘電体多層膜反射鏡層(広帯域ストップバンド反射鏡層)
202、203、204…第1〜3GaInN発光層(発光層、窒化物半導体混晶)
501、601…SiO2層(誘電体層)
502、602…ZrO2層(誘電体層)
701…蛍光体薄膜層(発光層、蛍光体層)
Claims (8)
- 基板上に、共振器構造を含む複数の窒化物半導体層を積層形成してなる発光素子であって、
前記基板上に形成され、レーザ光を発生する活性層を備えた共振器構造と、
前記共振器構造内に配され、前記レーザ光を吸収して前記レーザ光より長波長の光を発光する発光層と、
前記共振器構造よりも積層方向一端側に配され、前記レーザ光よりも短波長から前記発光層の発光波長域までの光を略反射する広帯域ストップバンド反射鏡層と、
前記共振器構造より積層方向他端側に配され、前記レーザ光を略反射し、前記発光波長域の光を略透過する狭帯域ストップバンド反射鏡層と、を備えていることを特徴とする発光素子。 - 前記レーザ光の波長は紫外域であり、前記発光波長域は可視光域であることを特徴とする請求項1に記載の発光素子。
- 前記発光層は前記両反射鏡層間にて形成される前記レーザ光の光定在波の腹を含まない位置に配されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の発光素子。
- 前記発光層間には、前記レーザ光の前記光定在波の腹を含まない位置に前記発光層を配置すべく、前記発光波長域に対して透明な膜厚調整層が介在されていることを特徴とする請求項3に記載の発光素子。
- 前記広帯域ストップバンド反射鏡層は誘電体層を積層した誘電体多層膜層であり、前記共振器構造の積層方向上部側に設けられていることを特徴とする請求項1から請求項4の何れか1項に記載の発光素子。
- 前記基板は前記発光波長域に対して透過性を有していることを特徴とする請求項1から請求項5の何れか1項に記載の発光素子。
- 前記発光層はそれぞれ、青色、緑色、赤色に相当する波長域に対して発光ピークを有する窒化物半導体混晶であることを特徴とする請求項1から請求項6の何れか1項に記載の発光素子。
- 前記発光層は前記レーザ光により励起可能な蛍光体層であることを特徴とする請求項1から請求項6の何れか1項に記載の発光素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013215829A JP6159642B2 (ja) | 2013-10-16 | 2013-10-16 | 発光素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013215829A JP6159642B2 (ja) | 2013-10-16 | 2013-10-16 | 発光素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015079842A JP2015079842A (ja) | 2015-04-23 |
JP6159642B2 true JP6159642B2 (ja) | 2017-07-05 |
Family
ID=53011044
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013215829A Active JP6159642B2 (ja) | 2013-10-16 | 2013-10-16 | 発光素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6159642B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6846730B2 (ja) * | 2016-07-22 | 2021-03-24 | 学校法人 名城大学 | 半導体多層膜反射鏡及び垂直共振器型発光素子の製造方法 |
JP6932345B2 (ja) * | 2017-03-27 | 2021-09-08 | 学校法人 名城大学 | 半導体多層膜反射鏡及び垂直共振器型発光素子 |
JP2020077649A (ja) * | 2018-11-05 | 2020-05-21 | 学校法人 名城大学 | 窒化物半導体発光素子 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10270799A (ja) * | 1997-03-21 | 1998-10-09 | Sanyo Electric Co Ltd | 発光素子 |
US8829546B2 (en) * | 1999-11-19 | 2014-09-09 | Cree, Inc. | Rare earth doped layer or substrate for light conversion |
JP2007173393A (ja) * | 2005-12-20 | 2007-07-05 | Denso Corp | レーザ装置 |
US7902542B2 (en) * | 2006-06-14 | 2011-03-08 | 3M Innovative Properties Company | Adapted LED device with re-emitting semiconductor construction |
JP4874768B2 (ja) * | 2006-11-14 | 2012-02-15 | 株式会社リコー | 波長変換素子 |
JP5190038B2 (ja) * | 2009-08-19 | 2013-04-24 | キヤノン株式会社 | 面発光レーザ |
-
2013
- 2013-10-16 JP JP2013215829A patent/JP6159642B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015079842A (ja) | 2015-04-23 |
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Date | Code | Title | Description |
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