JP6101567B2 - Work transfer method - Google Patents
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Description
本発明は、板状ワークを研削して円形凹部を形成する研削装置において板状ワークを搬送するワーク搬送方法に関する。 The present invention relates to a workpiece transfer method for transferring a plate workpiece in a grinding apparatus that forms a circular recess by grinding the plate workpiece.
表面にデバイスが形成されたウェーハなど円板状の板状ワークの裏面を研削して薄化するに当たり、板状ワークの外周部分を残し、中央部分だけを薄化して円形凹部を形成することにより、板状ワークの強度を保つ技術がある。例えば、特許文献1には、板状ワークを保持テーブルで保持し、保持テーブルを回転させながら板状ワークを研削することにより、円形凹部を形成する技術が記載されている。 By grinding and thinning the back surface of a disk-shaped plate-shaped workpiece such as a wafer with a device formed on the surface, the outer periphery of the plate-shaped workpiece is left and only the central portion is thinned to form a circular recess. There is a technology to maintain the strength of plate-like workpieces. For example, Patent Document 1 describes a technique for forming a circular recess by holding a plate-like workpiece with a holding table and grinding the plate-like workpiece while rotating the holding table.
このようにして形成された円形凹部の中心は、保持テーブルの回転軸上に位置する。したがって、板状ワークの中心と保持テーブルの回転軸とがずれた状態で保持テーブルが板状ワークを保持した場合、板状ワークの中心と円形凹部の中心とがずれるという問題がある。そこで、特許文献2には、板状ワークの中心と円形凹部の中心とがずれている場合でも正常に加工をするため、円形凹部を形成した後の工程において、円形凹部の中心位置を測定して位置合わせをすることが記載されている。 The center of the circular recess formed in this way is located on the rotation axis of the holding table. Therefore, when the holding table holds the plate-like workpiece in a state where the center of the plate-like workpiece and the rotation axis of the holding table are shifted, there is a problem that the center of the plate-like workpiece and the center of the circular recess are displaced. Therefore, in Patent Document 2, in order to perform normal processing even when the center of the plate-like workpiece and the center of the circular recess are displaced, the center position of the circular recess is measured in the process after the formation of the circular recess. It is described that it is aligned.
特許文献2に記載された加工方法は、円形凹部が既に形成された板状ワークに対して加工をするものである。しかし、円形凹部を形成する際に、中心位置がずれないように形成すれば、以後の工程において、中心位置がずれている場合を考慮する必要がないので、処理を簡略化できるなど、コストを削減することができる。 The processing method described in Patent Document 2 processes a plate-like workpiece in which a circular recess has already been formed. However, if the circular recess is formed so that the center position does not shift, it is not necessary to consider the case where the center position is shifted in the subsequent steps. Can be reduced.
本発明は、板状ワークに円形凹部を形成する際に、板状ワークの中心が保持テーブルの回転軸に一致して保持されるよう板状ワークを搬送することにより、円形凹部の中心と板状ワークの中心とを一致させることを目的とする。 In the present invention, when the circular recess is formed in the plate-like workpiece, the center of the circular recess and the plate are conveyed by conveying the plate-like workpiece so that the center of the plate-like workpiece is held in alignment with the rotation axis of the holding table. The purpose is to match the center of the workpiece.
本発明に係るワーク搬送方法は、板状ワークを水平方向に移動させる第1の移動機構と、板状ワークを該水平方向に交わる水平方向に移動させる第2の移動機構と、板状ワークを仮置きする仮置き手段と、板状ワークを保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された板状ワークを研削する研削手段と、から少なくとも構成される研削装置において、該第1の移動機構及び第2の移動機構を用いて該仮置きテーブルから該保持テーブルに板状ワークを搬送するワーク搬送方法であって、該仮置き手段は、板状ワークを吸引保持して回転可能な仮置きテーブルと、該仮置きテーブルに吸引保持される該板状ワークの外周の所定位置を測定するとともに該板状ワークの外周部に備えた結晶方位を示すマークを検出する測定部とを含んで構成され、該研削手段を用いて該保持テーブルに保持される板状ワークの中央部分を研削して凹部を形成し、該凹部の周囲に凸部を形成する研削工程と、該研削工程で研削された板状ワークを該仮置きテーブルが吸引保持し、該仮置きテーブルを回転させ該測定部によって検出されたマークの位置を測定開始位置とし、該仮置きテーブルを回転させ該測定部が該板状ワークの外周の3カ所の位置から該板状ワークの中心を算出する板状ワーク中心算出工程と、該仮置きテーブルを回転させ該測定部によって検出されたマークの位置を測定開始位置とし、該仮置きテーブルを回転させ該測定部が該板状ワークの該凹部と該凸部との境界の3カ所の位置から該凹部の中心を算出する凹部中心算出工程と、該板状ワーク中心算出工程で算出された板状ワークの中心と、該凹部中心算出工程で算出された板状ワークの凹部中心とから、搬送補正量と搬送補正方向とを算出し、該第1の移動機構の移動量についての第1の補正量と、該第2の移動機構の移動量についての第2の補正量とを算出する搬送補正量算出工程と、該搬送補正量算出工程により算出された該第1の補正量と該第2の補正量とによって、該第1の移動機構及び第2の移動機構による該仮置きテーブルから該保持テーブルへの搬送量を補正し、該保持テーブルの中心と該板状ワークの中心とを一致させて該板状ワークを搬送する搬送工程とを備える。 A workpiece transfer method according to the present invention includes a first moving mechanism that moves a plate-like workpiece in a horizontal direction, a second movement mechanism that moves the plate-like workpiece in a horizontal direction that intersects the horizontal direction, and a plate-like workpiece. In the grinding apparatus comprising at least temporary placement means for temporarily placing, a holding table for holding the plate-like workpiece, and a grinding means for grinding the plate-like workpiece held on the holding table, the first moving mechanism And a workpiece transfer method for transferring a plate-like workpiece from the temporary placement table to the holding table using a second moving mechanism, wherein the temporary placement means sucks and holds the plate-like workpiece for temporary placement. A table, and a measurement unit that measures a predetermined position on the outer periphery of the plate-like workpiece sucked and held by the temporary placement table and detects a mark indicating a crystal orientation provided on the outer periphery of the plate-like workpiece. A grinding step of forming a concave portion by grinding a central portion of the plate-like workpiece held by the holding table using the grinding means, and forming a convex portion around the concave portion, and grinding in the grinding step. The temporary work table is sucked and held by the temporary placement table, the temporary placement table is rotated, the mark position detected by the measurement unit is set as the measurement start position, the temporary placement table is rotated, and the measurement unit is moved to the plate. A plate-like workpiece center calculation step for calculating the center of the plate-like workpiece from three positions on the outer circumference of the workpiece, and the position of the mark detected by the measurement unit by rotating the temporary placement table, A step of calculating the center of the concave portion by rotating the temporary table and calculating the center of the concave portion from three positions of the boundary between the concave portion and the convex portion of the plate-like workpiece; Plate-shaped wafer calculated in the process The first correction for the movement amount of the first movement mechanism is calculated by calculating the conveyance correction amount and the conveyance correction direction from the center of the groove and the depression center of the plate-like workpiece calculated in the depression center calculation step. A conveyance correction amount calculating step for calculating the amount and a second correction amount for the movement amount of the second movement mechanism; the first correction amount calculated by the conveyance correction amount calculation step; The amount of conveyance from the temporary placement table to the holding table by the first moving mechanism and the second moving mechanism is corrected according to the correction amount, and the center of the holding table and the center of the plate-like workpiece are matched. And a conveying step of conveying the plate-like workpiece.
前記第1の移動機構または第2の移動機構のいずれか一方を仮置き手段が備えることもあり、その場合も、前記搬送工程では、該第1の移動機構及び該第2の移動機構によって板状ワークが搬送される。 The temporary placement means may be provided with either the first moving mechanism or the second moving mechanism. In this case as well, in the transporting process, the first moving mechanism and the second moving mechanism are used for the plate. The workpiece is conveyed.
本発明によれば、円形凹部の中心位置と、板状ワークの中心位置とのずれを計測し、計測したずれに基づいて、板状ワークの搬送量を補正するので、板状ワークの中心位置を保持テーブルの回転軸に一致させることができる。これにより、板状ワークに形成される円形凹部の中心位置を、板状ワークの中心位置に一致させることができる。このため、以後の工程で、中心位置がずれている場合を考慮する必要がなくなる。 According to the present invention, since the deviation between the center position of the circular recess and the center position of the plate-like workpiece is measured and the conveyance amount of the plate-like workpiece is corrected based on the measured deviation, the center position of the plate-like workpiece is determined. Can be made to coincide with the rotation axis of the holding table. Thereby, the center position of the circular recessed part formed in a plate-shaped workpiece can be made to correspond with the center position of a plate-shaped workpiece. For this reason, it is not necessary to consider the case where the center position is shifted in the subsequent steps.
図1に示す研削装置10は、本体11と、本体11の前方に載置されたカセット30a,30bに対して板状ワークを搬出入する搬出入手段12と、搬出入手段12によってカセット30aから搬出された板状ワークを仮置きする仮置き手段13と、仮置き手段13から板状ワークを搬送する搬送手段14と、搬送手段14によって搬送された板状ワークを保持する保持手段15と、保持手段15によって保持された板状ワークを研削する2つの研削手段16a,16bと、板状ワークを洗浄する洗浄手段18と、研削後の板状ワークを保持手段15から洗浄手段18に搬送する搬送手段17と、研削装置10全体を制御する制御部19とを備えている。
The
カセット30aには、加工前の板状ワークが収容される。一方、カセット30bには、加工及び洗浄が終了した板状ワークが収容される。
A plate-shaped workpiece before processing is accommodated in the
搬出入手段12は、ロボットアームを備え、カセット30aに収容された板状ワークを保持し、その板状ワークを搬出して仮置き手段13に仮置きする。また、搬出入手段12は、洗浄が終わった板状ワークを洗浄手段18から搬送して、カセット30bに収容する。
The carry-in / out means 12 includes a robot arm, holds a plate-like workpiece housed in the
仮置き手段13は、載置された板状ワークを保持する仮置きテーブル131と、仮置きテーブル131に保持された板状ワークなどの外周位置を測定する測定部132と、測定部132を支持する測定支持部133とを有する。仮置きテーブル131は、例えば載置された板状ワークを吸引源(不図示)で吸引することにより、板状ワークを保持する。また、仮置きテーブル131は、±Z方向(鉛直方向)に平行な回転軸を中心として回転可能となっている。測定部132は、例えば撮像手段であり、仮置きテーブル131が保持した板状ワークの外周や板状ワークの外周部に備えた結晶方位を示すマークを検出し、その位置を測定する。測定支持部133は、±Y方向に移動可能となっており、測定支持部133の移動に伴って測定部132の測定範囲が変化するとともに、仮置きテーブル131の回転に伴って板状ワークの被測定範囲が変化する。これにより、測定部132は、板状ワーク上の任意の位置を測定することができる。
The temporary placement means 13 supports the temporary placement table 131 that holds the placed plate-like workpiece, the
保持手段15は、±Z方向と平行な回転軸を中心として回転するターンテーブル151と、ターンテーブル151上に配置された3つの保持テーブル152とを有する。保持テーブル152は、例えばチャックテーブルであり、載置された板状ワークを吸引源(不図示)で吸引することにより、板状ワークを保持する。また、保持テーブル152は、±Z方向(鉛直方向)に平行な回転軸を中心として回転可能となっている。3つの保持テーブル152は、ターンテーブル151の回転軸から等距離の位置に、正三角形状に配置されている。ターンテーブル151が120度ずつ回転することにより、保持テーブル152は、搬送手段14,17との間で板状ワークを受け渡しする受渡位置と、研削手段16aが板状ワークを研削する第一研削位置と、研削手段16bが板状ワークを研削する第二研削位置との間を移動する。
The
図2に示すように、搬送手段14は、板状ワーク20を保持する搬送パッド141と、搬送パッド141を支持する回動アーム142と、回動アーム142を支持する基部143と、基部143を移動させる移動手段144とを有する。回動アーム142は、±Z方向に平行な回転軸149を中心として回動するとともに、±Z方向に昇降して、搬送パッド141を移動させる。基部143は、回動アーム142の回転軸149を支持する。移動手段144は、例えばボールねじ機構を有し、基部143を±X方向に移動させる。これにより、回動アーム142の回転軸149は、±X方向に平行な直線148上を移動する。回動アーム142は、搬送パッド141に保持された板状ワークを水平方向に回動させる第1の移動機構として機能し、移動手段144は、回動アーム142に対して水平方向に交わる直線方向(±X方向)に板状ワーク20を移動させる第2の移動機構として機能する。回動アーム141の回転軸149と仮置きテーブル131の回転軸139との±Y方向の距離は、Y1である。
As shown in FIG. 2, the
図1に示す研削手段16aは、回転可能な粗研削用の研削砥石160aを備えており、送り手段161によって駆動されて全体が±Z方向に移動可能であり、いずれかの保持テーブル152が保持した板状ワークに、研削砥石160aを回転させながら押し当てて粗研削を行う。一方、研削手段16bは、回転可能な仕上げ研削用の研削砥石160bを備えており、送り手段161によって駆動されて全体が±Z方向に移動可能であり、研削砥石160bを回転させながら、いずれかの保持テーブル152に保持され粗研削された板状ワークに押し当てて仕上げ研削を行う。研削砥石160a、160bの回転軌道の最外周の直径は、ともに板状ワークの半径より若干大きい程度であり、板状ワークの外周付近は研削せず、中央部分だけを研削することにより、図3に示すように、円板状の板状ワーク20に、保持テーブル152の回転軸を中心とする円形凹部22が形成される。板状ワーク20には、結晶方位を示すノッチからなるマーク21が形成されている。なお、マークとして、ノッチに代えてオリエンテーションフラットが形成されていることもある。
The grinding means 16a shown in FIG. 1 includes a
搬送手段17は、仕上げ研削後の板状ワークを保持して旋回することにより、受渡位置にある保持テーブル152と、洗浄手段18との間で板状ワークを搬送する。 The conveyance means 17 conveys a plate-shaped workpiece between the holding table 152 in the delivery position and the cleaning means 18 by holding and turning the plate-shaped workpiece after finish grinding.
洗浄手段18は、例えばスピンナ洗浄装置であり、研削が終わった板状ワークを回転させるとともに、回転する板状ワークに向けて洗浄液を噴出することにより、板状ワークを洗浄して研削屑等を除去する。 The cleaning means 18 is, for example, a spinner cleaning device, and rotates the plate-shaped workpiece after grinding, and sprays cleaning liquid toward the rotating plate-shaped workpiece, thereby cleaning the plate-shaped workpiece and removing grinding debris and the like. Remove.
制御部19は、例えばコンピュータであり、プログラムやデータを記憶し、プログラムを実行してデータを処理することにより、測定部132の測定結果などの情報を外部から入力したり、様々な演算をしたり、搬送手段14などを制御する制御信号を外部に出力したりして、研削装置10を制御する。制御部19は、本体11が内蔵する構成であってもよいし、本体11の外に配置し、本体11と接続する構成であってもよい。
The
以下では、図1に示した研削装置10を用いて板状ワークを搬送する方法について説明する。
Below, the method to convey a plate-shaped workpiece | work using the grinding
(1)仮置き工程
仮置き工程においては、搬出入手段12が、カセット30aから板状ワーク20を搬出して仮置きテーブル131に載置(仮置き)する。仮置きテーブル131は、載置された板状ワーク20を保持する。
(1) Temporary Placement Step In the temporary placement step, the carry-in / out means 12 unloads the plate-
(2)研削工程
次に、搬送手段14が仮置きテーブル131から受渡位置に位置するいずれかの保持テーブル152に板状ワーク20を搬送し、ターンテーブル151が回転して板状ワーク20が研削手段16aの下方に移動する。そして、研削手段16aが降下して回転する研削砥石160aが板状ワーク20の上面中央部分に接触して粗研削が行われ、図3に示したように、保持テーブル152の回転軸を中心とする円形凹部22が形成される。円形凹部22の周囲には凸部23が形成される。
(2) Grinding process Next, the conveying
また、ターンテーブル151が回転して粗研削後の板状ワーク20が研削手段16bの下方に移動し、研削手段16bが降下して回転する研削砥石160bが板状ワーク20の上面に接触して仕上げ研削が行われ、円形凹部22が仕上げ研削される。
Further, the
仕上げ研削された板状ワーク20は、ターンテーブル151が回転することにより受渡位置に移動する。そして、搬送手段17によって板状ワーク20が洗浄手段18に搬送され洗浄された後、搬出入手段12によってカセット30aまたは30bに収容される。
The finish-ground plate-
(3)板状ワーク中心算出工程
研削工程によって円形凹部22が形成された板状ワーク20は、搬出入手段12によってカセット30aまたは30bから搬出され、再び仮置き手段13に搬送され仮置きテーブル131に吸引保持される。そして、測定部132の測定範囲138に板状ワーク20の外周がおさまるように測定支持部133が測定部132を移動させるとともに、仮置きテーブル131を回転させ、板状ワーク20に形成されたマーク21を測定部132が検出する。マーク21は、仮置きテーブル131を回転させながら、測定部132から板状ワーク20の外周に向けて測定光を投光し、その反射光を受光することにより検出することができる。
(3) Plate-shaped workpiece center calculating step The plate-shaped
次に、マーク21を測定開始位置として仮置きテーブル131を回転させながら、板状ワーク20の外周の3箇所の位置を求め、その3箇所の位置情報から板状ワーク20の中心位置を算出する。具体的には、図4に示すように、板状ワーク20の外周上の3点d,e,fの位置を測定し、3点d,e,fを頂点とする三角形の外心を算出することにより、板状ワーク20の中心29の位置を算出する。この計算は、制御部19が行う。
Next, while rotating the temporary placement table 131 using the
(4)凹部中心算出工程
同様に、図4に示すように、マーク21を測定開始位置として仮置きテーブル131を回転させながら、円形凹部22と凸部23との境界の3箇所の位置を求め、その3箇所の位置情報から板状ワーク20の中心位置を算出する。具体的には、円形凹部22と凸部23との境界の3点a,b,cの位置を測定し、3点a,b,cを頂点とする三角形の外心(3つの辺の垂直二等分線の交点)を算出する。三角形の外心は外接円の中心であるから、これにより、円形凹部22の中心28の位置を算出できる。この計算は、制御部19が行う。
(4) Recess Center Calculation Step Similarly, as shown in FIG. 4, three positions on the boundary between the
なお、板状ワーク中心算出工程及び凹部中心算出工程で測定する3点は、マーク21の位置以外であればよいが、図5に示すように、測定する3点が形成する三角形abc,defが鈍角三角形であると、各辺の垂直二等分線がなす角が小さくなり、測定誤差の影響が出やすくなる。このため、例えば仮置きテーブル131を120度回転させるごとに測定するなどして、3点がなるべく均等に散らばるようにしたほうがよい。
Note that the three points measured in the plate-like workpiece center calculating step and the recess center calculating step may be other than the position of the
(5)搬送補正量算出工程
次に、板状ワーク中心算出工程で算出された板状ワーク20の中心と、凹部中心算出工程で算出された板状ワーク20の凹部22の中心とから、板状ワークを仮置きテーブル131から保持テーブル152に搬送する際の搬送補正量を算出する。
(5) Transport Correction Amount Calculation Step Next, from the center of the
制御部19は、計測した中心位置に基づいて、板状ワーク20の中心位置と、円形凹部の中心位置との間のずれを算出する。図6に示すように、Δxは、所定の方向(例えば板状ワーク20の中心29に対して+Y方向)にマーク21を向けた状態における円形凹部の中心28と板状ワーク20の中心29との間の±X方向のずれ、Δyは、そのときの円形凹部の中心28と板状ワーク20の中心29との間の±Y方向のずれを表す。この誤差の分、板状ワーク20の搬送量を調整すれば、板状ワーク20の中心29を、保持テーブル152の回転軸159に合致させることができる。Δx及びΔyの値は、板状ワーク中心算出工程で求めた板状ワーク20の中心29のX座標及びY座標の値と、凹部中心算出工程で求めた円形凹部22の中心28のX座標及びY座標の値との差をとることによって求められる。
The
Δx及びΔyのうち、一方の値は、仮置きテーブル131に保持された板状ワークWを搬送パッド141が保持する際に基部143を移動させる移動量(第2の移動機構の移動量)の補正量とする。この値として、制御部19はΔxを記憶する。他方の値は、搬送パッド141に保持された板状ワークWを保持テーブル152に載置して保持させる際に移動手段144が基部143を移動させる移動量(第1の移動機構の移動量)の補正量とする。この値として、制御部19はΔyを記憶する。
One value of Δx and Δy is the amount of movement (the amount of movement of the second moving mechanism) for moving the base 143 when the
(6)搬送工程
次に、搬送手段14が、板状ワーク20を、仮置きテーブル131から受渡位置で待機する保持テーブル152に搬送する。搬送工程は、図2に示した搬送パッド141が仮置きテーブル131から板状ワークを受け取る受取段階と、搬送パッド141が保持した板状ワークを保持テーブル152に引き渡す引渡段階とに分けられる。
(6) Conveying Step Next, the conveying
受取段階においては、図2に示した移動手段144が基部143を移動させ、回動アーム142の回転軸149を、板状ワーク20の中心29から図6に示したΔxだけずらした位置に移動させる。これにより、回転軸149のX座標と板状ワーク20の中心29のX座標とが等しくなる。
In the receiving stage, the moving means 144 shown in FIG. 2 moves the
そして、搬送手段14は、回動アーム142を回動させることにより回動アーム142の先端をY方向に向け、搬送パッド141を下降させて、板状ワーク20を保持する。
Then, the conveying
次に、引渡段階においては、移動手段144が基部143を移動させ、回動アーム142を回動させて、その先端を+X方向へ向ける。そして、回動アーム142の回転軸149を、受渡位置にある保持テーブル152の回転軸159から図2に示したY1に図6に示したΔyを足した分だけ離れた位置に移動させる。そうすると、搬送パッド141が保持した板状ワーク20の中心29と保持テーブル152の回転軸159とが一致するため、その位置で、搬送パッド141を下降させて、板状ワーク20を保持テーブル152に引き渡す。保持テーブル152は、載置された板状ワーク20を保持する。
Next, in the delivery stage, the moving means 144 moves the
その後、上記研削工程を行うと、保持テーブル152の回転軸159と板状ワーク20の中心29とが合致しているため、板状ワーク20の中心と、研削工程で形成される円形凹部22の中心28とが合致する。
Thereafter, when the grinding step is performed, the
(7)洗浄工程
洗浄工程においては、搬送手段17が、受渡位置にある保持テーブル152に載置された板状ワーク20を保持して搬送し、洗浄手段18に載置する。洗浄手段18は、載置された板状ワーク20を保持して、板状ワーク20を回転させるとともに洗浄液を噴出して板状ワークを洗浄する。
(7) Cleaning Step In the cleaning step, the conveyance means 17 holds and conveys the plate-
(8)収容工程
収容工程においては、搬出入手段12が、洗浄が終わった板状ワーク20を洗浄手段18から搬送して、カセット30bに収納する。
(8) Storage step In the storage step, the carry-in / out means 12 conveys the plate-
このように、板状ワーク20を研削して円形凹部22を形成し、実際に形成された円形凹部22の中心28の位置と、板状ワーク20の中心29の位置との間のずれを計測し、計測したずれに基づいて算出した補正量に基づいて、搬送手段14の搬送量を補正することにより、板状ワーク20の中心29の位置が保持テーブル152の回転軸159に一致する。これにより、研削工程において形成される円形凹部22の中心28の位置を、板状ワーク20の中心29の位置と一致させることができる。
In this way, the plate-shaped
なお、搬送手段は、図2に示した搬送手段14の構成に限らず、他の構成であってもよい。搬送補正量算出工程において求める搬送補正量は、搬送手段14の構成により異なるので、別の例をいくつか説明する。 Note that the conveying means is not limited to the configuration of the conveying means 14 shown in FIG. Since the conveyance correction amount obtained in the conveyance correction amount calculation step varies depending on the configuration of the conveyance means 14, some other examples will be described.
図7に示す搬送手段14Aは、図2に示した移動手段144に相当するものを有さず、基部143が、図1に示した本体11に固定されている。その代わりに、回動アーム142は、搬送パッド141と回転軸149との間の距離を所定の範囲内で変動させる伸縮手段145を有する。回動アーム142の回転軸149は、仮置きテーブル131の回転軸139から見て+Y方向に距離Rだけ離れて配置されるとともに、受渡位置にある保持テーブル152の回転軸159から見て−X方向に同じく距離Rだけ離れて配置されている。以下では、図6に示したように、板状ワーク20の中心29と円形凹部22の中心28とがΔx、Δyだけずれている場合について説明する。
The conveying means 14A shown in FIG. 7 does not have the equivalent of the moving means 144 shown in FIG. 2, and the
搬送工程の受取段階において、搬送手段14Aは、回動アーム142を回動させて、回動アーム142を−Y方向からtan−1(Δx/R)だけずらした方向に向ける。そして、伸縮手段145は、回動アーム142を伸縮させて、搬送パッド141の中心と回転軸149との間の距離をR+Δyにする。
In the receiving stage of the transporting process, the transporting
次に、引渡段階において、搬送手段14Aは、回動アーム142を回動させて+X方向に向け、伸縮手段145が回動アーム142を伸縮させて、搬送パッド141の中心と回転軸149との間の距離をRにする。これにより、受渡位置にある保持テーブル152の回転軸159に、搬送パッド141の中心が位置合わせされ、板状ワーク20の中心29が、保持テーブル152の回転軸159に一致する。
Next, in the delivery stage, the
図8に示す搬送手段14Bは、図2に示した移動手段144に相当するものを有さず、基部143が図1に示した本体11に固定されている。また、回動アーム142は、図7に示した伸縮手段145に相当するものを有さず、伸縮しない。その代わりに、仮置き手段13Bが、仮置きテーブル131を±Y方向に移動させる移動手段134を有する。すなわち、仮置き手段13Bが、第1の移動機構または第2の移動機構のいずれか一方を備えている。回動アーム142の回転軸149は、仮置きテーブル131の回転軸139から見て+Y方向に配置されるとともに、受渡位置にある保持テーブル152の回転軸159から見て−X方向に距離X2だけ離れて配置されている。
The conveying means 14B shown in FIG. 8 does not have the equivalent of the moving means 144 shown in FIG. 2, and the
搬送工程の受取段階において、移動手段134は、仮置きテーブル131を移動させて、仮置きテーブル131の回転軸139を、回動アーム142の回転軸149からX2−Δxだけ離れた位置に移動させる。搬送手段14Bは、回動アーム142を回動させて、回動アーム142を−Y方向からtan−1(Δx/X2)だけずらした方向に向け、搬送パッド141によって板状ワーク20を保持する。
In the receiving stage of the transport process, the moving means 134 moves the temporary table 131 to move the
次に、引渡段階において、搬送手段14Bは、回動アーム142を回動させて+X方向に向ける。これにより、受渡位置にある保持テーブル152の回転軸159と板状ワーク20の中心29とが合致し、その状態で搬送パッド141を下降させて板状ワークWを保持テーブル152に保持させる。
Next, in the delivery stage, the conveying means 14B rotates the
なお、上述した搬送手段の構成や、仮置き手段や受渡位置にある保持テーブル152との位置関係は、例示であり、これに限定されるものではない。例えば、仮置き手段13は、仮置きテーブル131を±Y方向に移動させる移動手段134のほかに、仮置きテーブル131を±X方向に移動させる移動手段を有し、仮置きテーブル131をXY平面内で自在に移動させる構成であってもよい。 Note that the above-described configuration of the transport unit and the positional relationship with the temporary placement unit and the holding table 152 at the delivery position are examples, and are not limited thereto. For example, the temporary placing means 13 has a moving means for moving the temporary placement table 131 in the ± X direction in addition to the moving means 134 for moving the temporary placement table 131 in the ± Y direction. It may be configured to move freely within.
以上のように、円形凹部22の中心28の位置と、板状ワーク20の中心29の位置とのずれを計測し、計測したずれに基づいて、板状ワーク20の搬送量を補正するので、板状ワーク20の中心29の位置を、受渡位置にある保持テーブル152の回転軸159に一致させることができる。これにより、板状ワーク20に形成される円形凹部22の中心28の位置を、板状ワーク20の中心29の位置に一致させることができる。このため、以後の工程で、中心位置がずれている場合を考慮する必要がなくなる。
As described above, the deviation between the position of the
以上説明した実施形態は、一例であり、本発明は、これに限定されるものではない。例えば、板状ワーク中心算出工程及び凹部中心算出工程は、仮置き手段13で実行する必要はなく、別の位置で実行してもよい。そうすれば、研削工程で円形凹部22が形成された板状ワーク20を仮置き手段13に戻す必要がなく、次の板状ワーク20を仮置き手段13上で待機させておくことができるので、流れがスムーズになり、生産性を高めることができる。
The embodiment described above is an example, and the present invention is not limited to this. For example, the plate-like workpiece center calculation step and the recess center calculation step need not be executed by the temporary placement means 13 and may be executed at different positions. By doing so, it is not necessary to return the plate-
10 研削装置、11 本体、12 搬出入手段、
13 仮置き手段、131 仮置きテーブル、132 測定部、133 測定支持部、
134 移動手段、139,149,159 回転軸、
14,17 搬送手段、141 搬送パッド、
142 回動アーム(第1の移動機構)、143 基部、
144 移動手段(第2の移動機構)、145 伸縮手段、148 直線、
15 保持手段、151 ターンテーブル、152 保持テーブル、
16 研削手段、18 洗浄手段、19 制御部、
20 板状ワーク、21 マーク、22 円形凹部、28,29 中心、
30 カセット、
10 grinding device, 11 main body, 12 carry-in / out means,
13 Temporary placement means, 131 Temporary placement table, 132 Measuring unit, 133 Measuring support unit,
134 moving means, 139, 149, 159 rotating shaft,
14, 17 transport means, 141 transport pad,
142 rotating arm (first moving mechanism), 143 base,
144 moving means (second moving mechanism), 145 expansion / contraction means, 148 straight line,
15 holding means, 151 turntable, 152 holding table,
16 grinding means, 18 cleaning means, 19 control unit,
20 plate workpiece, 21 mark, 22 circular recess, 28, 29 center,
30 cassettes,
Claims (2)
該仮置き手段は、板状ワークを吸引保持して回転可能な仮置きテーブルと、該仮置きテーブルに吸引保持される該板状ワークの外周の所定位置を測定するとともに該板状ワークの外周部に備えた結晶方位を示すマークを検出する測定部とを含んで構成され、
該研削手段を用いて該保持テーブルに保持される板状ワークの中央部分を研削して凹部を形成し、該凹部の周囲に凸部を形成する研削工程と、
該研削工程で研削された板状ワークを該仮置きテーブルが吸引保持し、該仮置きテーブルを回転させ該測定部によって検出されたマークの位置を測定開始位置とし、該仮置きテーブルを回転させ該測定部が該板状ワークの外周の3カ所の位置から該板状ワークの中心を算出する板状ワーク中心算出工程と、
該仮置きテーブルを回転させ該測定部によって検出されたマークの位置を測定開始位置とし、該仮置きテーブルを回転させ該測定部が該板状ワークの該凹部と該凸部との境界の3カ所の位置から該凹部の中心を算出する凹部中心算出工程と、
該板状ワーク中心算出工程で算出された板状ワークの中心と、該凹部中心算出工程で算出された板状ワークの凹部中心とから、搬送補正量と搬送補正方向とを算出し、該第1の移動機構の移動量についての第1の補正量と、該第2の移動機構の移動量についての第2の補正量とを算出する搬送補正量算出工程と、
該搬送補正量算出工程により算出された該第1の補正量と該第2の補正量とによって、該第1の移動機構及び第2の移動機構による該仮置きテーブルから該保持テーブルへの搬送量を補正し、該保持テーブルの中心と該板状ワークの中心とを一致させて該板状ワークを搬送する搬送工程と、
を備えるワーク搬送方法。 A first moving mechanism for moving the plate-like workpiece in the horizontal direction; a second moving mechanism for moving the plate-like workpiece in the horizontal direction intersecting the horizontal direction; a temporary placing means for temporarily placing the plate-like workpiece; In a grinding apparatus comprising at least a holding table for holding a workpiece and a grinding means for grinding a plate-like workpiece held on the holding table, the first moving mechanism and the second moving mechanism are used. A workpiece transfer method for transferring a plate-like workpiece from the temporary table to the holding table,
The temporary placing means measures a predetermined position of the outer periphery of the plate-like workpiece that is sucked and held by the plate-like workpiece and rotates, and the outer circumference of the plate-like workpiece. And a measurement unit that detects a mark indicating a crystal orientation provided in the unit,
Grinding the central portion of the plate-like workpiece held by the holding table using the grinding means to form a concave portion, and forming a convex portion around the concave portion;
The temporary placement table sucks and holds the plate-like workpiece ground in the grinding process, rotates the temporary placement table, sets the mark position detected by the measurement unit as a measurement start position, and rotates the temporary placement table. A plate-like workpiece center calculating step in which the measuring unit calculates the center of the plate-like workpiece from three positions on the outer periphery of the plate-like workpiece;
The temporary placement table is rotated, and the position of the mark detected by the measurement unit is set as a measurement start position. The temporary placement table is rotated, and the measurement unit is set to 3 of the boundary between the concave portion and the convex portion of the plate-like workpiece. A recess center calculating step for calculating the center of the recess from the position of the place;
A conveyance correction amount and a conveyance correction direction are calculated from the center of the plate workpiece calculated in the plate workpiece center calculation step and the recess center of the plate workpiece calculated in the recess center calculation step. A conveyance correction amount calculating step for calculating a first correction amount for the movement amount of one movement mechanism and a second correction amount for the movement amount of the second movement mechanism;
Based on the first correction amount and the second correction amount calculated in the transport correction amount calculation step, transport from the temporary placement table to the holding table by the first movement mechanism and the second movement mechanism. A transporting step for transporting the plate-shaped workpiece by correcting the amount and matching the center of the holding table with the center of the plate-shaped workpiece;
A workpiece transfer method comprising:
請求項1に記載のワーク搬送方法。 The temporary placement means includes either the first moving mechanism or the second moving mechanism, and in the transporting step, the plate-shaped workpiece is transported by the first moving mechanism and the second moving mechanism. Item 2. The work conveying method according to Item 1.
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