JP6090325B2 - Composite sheet cutting method, glass sheet cutting method, composite sheet cutting piece - Google Patents
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Description
本発明は、複合シートの切断方法、及びガラスシートの切断方法、複合シートの切断片に関する。 The present invention relates to a composite sheet cutting method, a glass sheet cutting method, and a composite sheet cut piece.
ガラスシート及び該ガラスシート上に形成される樹脂膜を含む複合シートが知られている。この複合シートは、ガラスシートの耐薬品性、耐熱性と、樹脂膜のフレキシブル性とを両方有し、その特性を活かして、例えばディスプレイ、太陽電池等の製造に用いられる。 A composite sheet including a glass sheet and a resin film formed on the glass sheet is known. This composite sheet has both the chemical resistance and heat resistance of a glass sheet and the flexibility of a resin film, and is used for the production of, for example, a display, a solar cell and the like by utilizing the characteristics.
近年、複合シートの切断方法として、レーザ光を用いる方法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。 In recent years, a method using laser light has been proposed as a method for cutting a composite sheet (see, for example, Patent Document 1).
また、ガラスシートの切断方法として、ガラスシートをレーザ光で局所的に加熱し、熱応力によって、ガラスシートにクラックを形成する方法が知られている(例えば、特許文献2参照)。 As a method for cutting a glass sheet, a method is known in which a glass sheet is locally heated with laser light and cracks are formed in the glass sheet by thermal stress (see, for example, Patent Document 2).
ガラスシートの厚さが薄くなると、ガラスシートに形成されるクラックがガラスシートを厚さ方向に貫通するようになる。 When the thickness of the glass sheet is reduced, cracks formed in the glass sheet penetrate the glass sheet in the thickness direction.
そうすると、クラックの形成時に、クラックを挟んだ両側のガラスがつながっていないので、ガラスが変形しやすく、クラックの位置が所望の位置から外れやすかった。 Then, when the crack was formed, the glass on both sides sandwiching the crack was not connected, so that the glass was easily deformed, and the position of the crack was easily removed from the desired position.
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、切断精度の良い複合シートの切断方法、切断精度の良いガラスシートの切断方法の提供を目的とする。 This invention is made | formed in view of the said subject, Comprising: It aims at provision of the cutting method of a composite sheet with a sufficient cutting precision, and the cutting method of a glass sheet with a good cutting precision.
上記課題を解決するため、本発明の一の態様によれば、
厚さ200μm以下のガラスシート、及び該ガラスシート上に形成される樹脂膜を含む複合シートの切断方法であって、
前記複合シートの前記ガラスシートに局所的にレーザ光を照射し、ガラスの徐冷点以下の温度で前記ガラスシートを局所的に加熱し、前記ガラスシートにおける前記レーザ光の照射位置を移動させ、移動軌跡に沿って、前記ガラスシートを厚さ方向に貫通するクラックを伸展させる工程を有し、
該工程では、前記樹脂膜が前記クラックをまたいで、前記クラックを挟んだ両側のガラスをつなぎ、
また、該工程では、前記ガラスシートにおける前記レーザ光の照射位置を移動させるとき、移動軌跡に沿って、線状の熱劣化部を前記樹脂膜に形成し、
ここで、熱劣化とは、レーザ照射前の樹脂膜の引張強度(MPa)を基準として、レーザ照射後の樹脂膜の引張強度が0.01%以上低下することを意味し、
該工程後に前記樹脂膜が切断される、複合シートの切断方法を提供する。
In order to solve the above problems , according to one aspect of the present invention ,
A method of cutting a composite sheet comprising a glass sheet having a thickness of 200 μm or less and a resin film formed on the glass sheet,
The glass sheet of the composite sheet is locally irradiated with laser light, the glass sheet is locally heated at a temperature below the annealing point of the glass, and the irradiation position of the laser light in the glass sheet is moved, A step of extending a crack penetrating the glass sheet in the thickness direction along the movement trajectory,
In more該工, across the resin film is the crack, the glass of both sides of the crack tuna technique,
Further, in this step, when moving the irradiation position of the laser light on the glass sheet, along the movement trajectory, a linear thermal deterioration portion is formed on the resin film,
Here, the thermal deterioration means that the tensile strength of the resin film after laser irradiation is reduced by 0.01% or more based on the tensile strength (MPa) of the resin film before laser irradiation.
Provided is a composite sheet cutting method in which the resin film is cut after the step.
また、本発明の他の一の態様によれば、
厚さ200μm以下のガラスシートの切断方法であって、
該ガラスシート及び該ガラスシート上に形成される樹脂膜を含む複合シートの前記ガラスシートに局所的にレーザ光を照射し、ガラスの徐冷点以下の温度で前記ガラスシートを局所的に加熱し、前記ガラスシートにおける前記レーザ光の照射位置を移動させ、移動軌跡に沿って、前記ガラスシートを厚さ方向に貫通するクラックを伸展させる工程を有し、
該工程では、前記樹脂膜が前記クラックをまたいで、前記クラックを挟んだ両側のガラスをつなぎ、
また、該工程では、前記ガラスシートにおける前記レーザ光の照射位置を移動させるとき、移動軌跡に沿って、線状の熱劣化部を前記樹脂膜に形成し、
ここで、熱劣化とは、レーザ照射前の前記樹脂膜の引張強度(MPa)を基準として、レーザ照射後の前記樹脂膜の引張強度が0.01%以上低下することを意味し、
該工程後に、前記線状の熱劣化部を中心に前記樹脂膜を折り曲げることで、前記移動軌跡の終端部である前記ガラスシートの端部を切断する、ガラスシートの切断方法を提供する。
According to another aspect of the present invention ,
A method for cutting a glass sheet having a thickness of 200 μm or less,
The glass sheet of the composite sheet including the glass sheet and the resin film formed on the glass sheet is locally irradiated with laser light, and the glass sheet is locally heated at a temperature below the annealing point of the glass. The step of moving the irradiation position of the laser light in the glass sheet, and extending a crack penetrating the glass sheet in the thickness direction along the movement locus,
In more該工, across the resin film is the crack, the glass of both sides of the crack tuna technique,
Further, in this step, when moving the irradiation position of the laser light on the glass sheet, along the movement trajectory, a linear thermal deterioration portion is formed on the resin film,
Here, the thermal deterioration means that the tensile strength of the resin film after laser irradiation is reduced by 0.01% or more based on the tensile strength (MPa) of the resin film before laser irradiation.
A glass sheet cutting method is provided in which, after the step, the resin film is bent around the linear heat-deteriorated portion to cut an end portion of the glass sheet that is a terminal portion of the movement locus .
本発明によれば、切断精度の良い複合シートの切断方法、切断精度の良いガラスシートの切断方法が提供される。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the cutting method of a composite sheet with a sufficient cutting precision and the cutting method of a glass sheet with a high cutting precision are provided.
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。各図面において、同一の又は対応する構成には、同一の又は対応する符号を付して説明を省略する。 Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. In the drawings, the same or corresponding components are denoted by the same or corresponding reference numerals, and description thereof is omitted.
[第1の実施形態]
図1〜図9は、本発明の第1の実施形態による複合シートの切断方法の説明図である。[First Embodiment]
FIGS. 1-9 is explanatory drawing of the cutting method of the composite sheet by the 1st Embodiment of this invention.
本発明の複合シート10は、図1に示すように、ガラスシート12、及びガラスシート12上に形成される樹脂膜14を含む。複合シート10は、ガラスシート12の耐薬品性、耐熱性と、樹脂膜14のフレキシブル性とを両方有し、その特性を活かして、例えばディスプレイ、太陽電池等の製造に用いられる。
As shown in FIG. 1, the
ガラスシート12のガラスの種類は、多種多様であってよく、例えばソーダライムガラス、無アルカリガラス等でよい。また、ガラスシート12の成形方法は、一般的なものでよく、例えばフロート法、フュージョン法、リドロー法等でよい。
The glass type of the
ガラスシート12の0℃〜300℃における平均線膨張係数(以下、単に「平均線膨張係数」という)は、例えば10×10−7/℃〜100×10−7/℃、好ましくは10×10−7/℃〜50×10−7/℃である。The average linear expansion coefficient (hereinafter simply referred to as “average linear expansion coefficient”) of the
ガラスシート12の厚さは、200μm以下である。ガラスシート12の厚さが200μm以下の場合、ガラスシート12を渦巻き状に巻回してガラスロールを作製することが可能である。また、ガラスシート12の厚さが200μm以下の場合、図2に示すレーザ光20の照射によってガラスシート12に形成されるクラック31が、ガラスシート12を厚さ方向に貫通する。ガラスシート12の厚さは、好ましくは150μm以下、より好ましくは100μm以下、さらに好ましくは50μm以下である。また、ガラスシート12の厚さは、好ましくは10μm以上である。
The thickness of the
ガラスシート12は、ガラスと樹脂との密着性を高めるため、予め表面処理が施されたものであってよい。表面処理としては、プライマー処理、オゾン処理、プラズマエッチング処理等が挙げられる。プライマーとしては、シランカップリング剤が例示できる。シランカップリング剤としては、アミノシラン類、エポキシシラン類、アルコキシシラン類、シラザン類等が例示できる。
The
樹脂膜14をガラスシート12上に形成する方法は、特に限定されないが、例えば液状の樹脂組成物をガラスシート12に塗布し、樹脂組成物を固化させる方法、樹脂フィルムをガラスシート12に貼り付ける方法のいずれでもよい。樹脂フィルムは、ガラスと樹脂との密着性を高めるため、予め表面処理が施されたものであってよく、例えばガラスと接触する面に粘着剤が塗布されたものであってよい。この場合、樹脂膜14は、基材としての樹脂フィルムと、粘着剤とからなる。粘着剤としては、イソシアネート系、ポリウレタン系、ポリエステル系、アクリル系、ポリエチレンイミン系、ゴム系、シランカップリング剤、チタンカップリング剤、シリコーン系、ポリイミドシリコーン系等が挙げられる。
The method for forming the
樹脂膜14は、ガラスシート12の切断位置(つまり、ガラスシート12におけるレーザ光20(図2参照)の照射位置の移動軌跡)の少なくとも一部に形成され、ガラスシート12の少なくとも切断終了位置に形成されることが好ましく、ガラスシート12の切断位置の全体にわたって形成されることがより好ましい。
The
樹脂膜14は、詳しくは後述するが、レーザ光20の照射でガラスシート12に形成されるクラック31をまたいで、クラック31を挟んだ両側のガラス121、122をつなぐ役割を果たす。そのため、少なくとも、クラック31(つまり、ガラスシート12におけるレーザ光の照射位置の移動軌跡の中心線)からクラック31と直交する両方向にそれぞれ2.5mm以内の領域が樹脂膜14で覆われていることが好ましい。また、少なくとも、クラック31からクラック31と直交する両方向にそれぞれ5mm以内の領域が樹脂膜14で覆われていることがより好ましい。
As will be described in detail later, the
樹脂膜14は、ガラスシート12よりも大きくても小さくてもよい。樹脂膜14は、ガラスシート12と同じ大きさを有することが特に好ましい。
The
樹脂膜14は、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂のいずれで形成されてもよいが、図2に示すレーザ光20でガラスシート12を局所的に加熱するとき、樹脂膜14が裂けて切断されないように熱硬化性樹脂で形成されるものが好ましい。熱硬化性樹脂としては、例えば、ポリイミド(PI)、エポキシ(EP)等が用いられる。熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリアミド(PA)、ポリアミドイミド(PAI)、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリエーテルサルホン(PES)、環状ポリオレフィン(COP)、ポリカーボネート(PC)、ポリ塩化ビニル(PVC)、ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)、アクリル(PMMA)、ウレタン(PU)等が用いられる。尚、樹脂膜14は、光硬化性樹脂で形成されてもよい。
The
また、樹脂膜14は、耐熱性や強度、成形性などの向上のため、無機フィラーを含んでもよい。
Further, the
樹脂膜14は、ガラスシート12の片面に形成されることが好ましく、ガラスシート12のレーザ光20が入射する面12a(以下、ガラスシート12のレーザ照射面12aという)と反対側の面に形成されることが好ましい。
The
樹脂膜14の厚さは、樹脂膜14の種類によるが、例えば1μm〜200μm、より好ましくは1μm〜100μm、さらに好ましくは1μm〜50μmである。樹脂膜14の厚さが厚くなりすぎると、樹脂膜14を折り曲げることで樹脂膜14を割断できなくなる。また、樹脂膜14の厚さが薄くなりすぎると、レーザ光20でガラスシート12を局所的に加熱するときに樹脂膜14が裂けて切断されてしまう。尚、樹脂膜14が基材と粘着剤とからなる場合、樹脂膜14の厚さは、基材と粘着剤との合計の厚さである。
The thickness of the
樹脂膜14の剥離強度は、ガラスシート12を平坦に保持しながら、ガラスシート12から樹脂膜14を引き剥がす180°剥離試験(JIS K6854−2)で測定される。レーザ光20の照射時に樹脂膜14がガラスシート12の変形を抑制できるように、樹脂膜14の剥離強度は、例えば0N/25mmよりも大きく、好ましくは0.01N/25mm以上、より好ましくは0.1N/25mm以上である。
The peel strength of the
複合シートの切断方法は、例えば、ガラスシート12に初期クラック30を形成する第1の工程(図1参照)と、ガラスシート12を厚さ方向に貫通するクラック31を形成する第2の工程(図2参照)と、樹脂膜14を切断する第3の工程(図8参照)とを有する。
The composite sheet cutting method includes, for example, a first step of forming an
第1の工程は、図1に示すように、ガラスシート12に初期クラック30を形成する。初期クラック30は、ガラスシート12の切断開始位置に形成され、ガラスシート12の端部に形成されてよい。初期クラック30は、ホイールカッタやポイントカッター、ヤスリ、レーザ等で形成される。
In the first step, an
第1の工程は、ガラスシート12上に樹脂膜14を形成する前に行われてもよいし、ガラスシート12上に樹脂膜14を形成した後に行われてもよい。後者の場合、初期クラック30形成時に、ガラスシート12が樹脂膜14で補強されているので、ガラスシート12の破損を抑えることができる。
The first step may be performed before the
第1の工程は、任意の工程であって、なくてもよい。例えば、ガラスシート12の端面が砥石等で研削されたものである場合、研削によって形成されるマイクロクラックを初期クラックとして利用できる。
The first step is an optional step and may be omitted. For example, when the end surface of the
第2の工程は、図2に示すように、複合シート10のガラスシート12に局所的にレーザ光20を照射し、ガラスの徐冷点以下の温度でガラスシート12を局所的に加熱し、ガラスシート12におけるレーザ光20の照射位置を移動させる。
In the second step, as shown in FIG. 2, the
ガラスシート12におけるレーザ20の照射位置の移動のため、ガラスシート12を移動させてもよいし、レーザ光20の光源を移動させてもよく、両者を移動させてもよい。ガラスシート12の移動は、例えばガラスシート12を支持するステージの移動、又はガラスシート12を搬送する搬送ロールの回転により行われる。搬送ロールは、その中心線を中心に回転させる。ガラスシート12の移動の代わりに、ガラスシート12の回転を行ってもよい。ガラスシート12の回転は、ガラスシート12を支持するステージの回転により行われる。ステージは、ステージに突設される回転軸を中心に回転させる。ガラスシート12の回転は、ガラスシート12におけるレーザ光20の照射位置の移動軌跡が曲線状の場合に特に有効である。また、ガラスシート12におけるレーザ20の照射位置の移動のため、光源からのレーザ光をガラスシート12に向けて反射するガルバノミラーを回転させてもよい。
In order to move the irradiation position of the
ところで、ガラスがガラスの徐冷点を超える温度で加熱されると、ガラスの粘性流動によって、熱応力が緩和されてしまう。なお加熱される温度は、徐冷点以下のなるべく高い温度が好ましい。すなわち加熱の温度範囲としては、(ガラスの徐冷点−200℃)以上、ガラスの徐冷点以下が好ましく、(ガラスの徐冷点−100℃)以上、ガラスの徐冷点以下がより好ましい。 By the way, when the glass is heated at a temperature exceeding the annealing point of the glass, the thermal stress is relaxed by the viscous flow of the glass. The heating temperature is preferably as high as possible below the annealing point. That is, the heating temperature range is preferably (glass annealing point -200 ° C) or more and glass annealing point or less, (glass annealing point -100 ° C) or more and glass annealing point or less. .
本実施形態では、ガラスの徐冷点以下の温度でガラスシート12が局所的に加熱されるので、熱応力が生じる。レーザ光20の照射位置には圧縮応力が生じ、その反作用で、レーザ光20の照射位置の後方近傍には引張応力が生じる。生じた引張応力でガラスシート12が切り開かれ、クラック31が形成される。クラック31は、ガラスシート12を厚さ方向に貫通する。クラック31は、レーザ光20の照射位置に追従し、レーザ光20の照射位置の移動軌跡に沿って伸展する。その移動軌跡は、直線状でも曲線状でもよく、直線状部分と曲線状部分の両方を有してよい。クラック31は、初期クラック30を起点として形成されてよい。ここで、「後方」とは、クラック31の伸展方向と反対方向を意味し、ガラスシート12におけるレーザ光20の照射位置の移動方向と反対方向を意味する。
In this embodiment, since the
また、一般的に、ガラスが部分的に融けると、融けた部分が冷えて固まるときに、熱収縮しようとする。このとき、融けた部分の熱収縮がその周辺部分によって妨げられ、マイクロクラックがランダムに形成される。 In general, when glass is partially melted, it tends to shrink when the melted portion cools and hardens. At this time, thermal contraction of the melted portion is hindered by the peripheral portion, and microcracks are randomly formed.
本実施形態では、ガラスの徐冷点以下の温度でガラスシート12が局所的に加熱されるので、ガラスが溶融しない。そのため、滑らかなガラス切断面が得られ、強度の高いガラス切断面が得られる。
In this embodiment, since the
レーザ光20は、光源から出射された後、集光レンズ等で集光され、ガラスシート12のレーザ照射面12aに入射する。レーザ光20は、ガラスシート12のレーザ照射面12aに垂直に入射してもよいし、斜めに入射してもよい。
After being emitted from the light source, the
レーザ光20の光源としては、例えばCO2レーザ(波長10600nm)、中赤外光パラメトリック発振器(波長2600nm〜3450nm)、Er:YAGレーザ(波長2940nm)、Ho:YAGレーザ(波長2080nm)、Ybファイバーレーザ(波長1000nm〜1100nm)、Ybディスクレーザ(波長1000nm〜1100nm)、Nd:YAGレーザ(波長1064nm)、高出力半導体レーザ(波長808nm〜980nm)グリーンレーザ(波長532nm)、UVレーザ(波長355nm)等が用いられる。As a light source of the
レーザ光20の光源は、レーザ光を連続発振するCWレーザ、レーザ光を断続発振するパルスレーザのいずれでもよい。
The light source of the
ガラスシート12のレーザ照射面12aにおけるレーザ光20の形状(スポット形状)は、レーザ光20の光源の種類等に応じて適宜設定される。レーザ光20の波長で、ガラスシート12の光吸収率が変わるためである。例えば、光源がCO2レーザの場合、レーザ光20の波長が長く、レーザ光20の大部分がガラスシート12のレーザ照射面12a近傍で熱として吸収される。そこで、光源がCO2レーザの場合、ガラスシート12のレーザ照射面12aにおけるレーザ光20の形状は、レーザ光20の照射位置の移動方向に細長い形状としてよい。レーザ光20の照射位置が移動するとき、ガラスシート12の切断位置を長時間にわたって加熱でき、ガラスシート12のレーザ照射面12aから内部に熱が伝達する時間を確保できる。ガラスシート12の内部が加熱されることで、ガラスシート12を厚さ方向に貫通するクラック31の形成が可能になる。The shape (spot shape) of the
ガラスシート12の厚さが200μm以下の場合、ガラスシート12のレーザ照射面12aから内部に熱が伝達する時間が短いので、ガラスシート12のレーザ照射面12aにおけるレーザ光20の形状は、例えば円形や矩形であってもよい。円形の場合、レーザ光20の照射位置の移動軌跡が曲線状部分を含むとき、移動軌跡の曲線状部分の幅が一定となり、移動軌跡からクラック31が外れ難い。楕円形や矩形の場合、移動軌跡の曲線状部分の幅を一定とするには、レーザ光20の照射位置を移動させながら、レーザ光20を光軸の周りに回動させればよい。例えばレーザ光20の光源を、光軸の周りに回動させればよい。
When the thickness of the
ガラスシート12のレーザ照射面12aにおけるレーザ光20の移動方向長さL(図3参照)は、特に限定されないが、例えば0.1mm〜60mm、好ましくは1mm〜30mmである。また、ガラスシート12のレーザ照射面12aにおけるレーザ光20の移動直交方向長さW(図3参照)は、特に限定されないが、例えば0.01mm〜10mm、好ましくは0.1mm〜5mmである。
Although the moving direction length L (refer FIG. 3) of the
第2の工程では、図2に示すように、ガラスシート12を冷媒40で局所的に冷却し、ガラスシート12における冷媒40の供給位置を、ガラスシート12におけるレーザ光20の照射位置と連動して移動させてよい。冷媒40の供給位置は、レーザ光20の照射位置の後方近傍でよい。レーザ光20の照射位置の後方に急激な温度勾配が生じ、レーザ光20の照射位置と、クラック31の先端位置との距離が短くなる。
In the second step, as shown in FIG. 2, the
冷媒40は、ガス(例えば室温の圧縮空気)、液体(例えば室温の水)のいずれでもよく、両方を含むものでもよい。 The refrigerant 40 may be either a gas (for example, compressed air at room temperature) or a liquid (for example, water at room temperature), or may include both.
ノズル50は、例えば図2に示すように筒状に形成され、ガラスシート12に向けて冷媒40を吐出する。
The
ガラスシート12における冷媒40の供給位置の移動のため、ガラスシート12が移動してもよいし、ノズル50が移動してもよく、両者が移動してもよい。
In order to move the supply position of the refrigerant 40 in the
本実施形態の第2の工程では、図2に示すように、ガラスシート12にクラック31を形成するとき、樹脂膜14を切断しない。そのため、樹脂膜14がクラック31をまたいで、クラック31を挟んだ両側のガラス121、122をつないでいる。クラック31を挟んだ両側のガラス121、122が樹脂膜14で連結されているので、クラック31の形成時にガラスの変形が抑制され、クラック31の位置が所望の位置から外れ難くなる。よって、ガラスシート12の切断精度が良くなる。この効果は、樹脂膜14がガラスシート12の切断位置(つまり、ガラスシート12におけるレーザ光20の照射位置の移動軌跡)の全体にわたって形成されている場合に顕著である。
In the second step of this embodiment, as shown in FIG. 2, when the
第2の工程では、図2に示すように、ガラスシート12に対して樹脂膜14側とは反対側からレーザ光20を照射してよい。レーザ光20は、ガラスシート12を透過する間に、ガラスシート12の光吸収率に応じて減衰し、その後、樹脂膜14に入射する。よって、樹脂膜14に入射するレーザ光20の強度が低く、樹脂膜14が軟化、溶融し難い。樹脂膜14の一部が溶融すると、溶融した部分が表面張力で引き裂かれることがある。
In the second step, as shown in FIG. 2, the
第2の工程では、図2に示すように、ガラスシート12におけるレーザ光20の照射位置を移動させることで、移動軌跡に沿って、線状の熱劣化部143を樹脂膜14に形成してよい。ここで、「熱劣化」とは、熱によって炭化、発泡等が生じ、レーザ照射前の樹脂膜14の引張強度(MPa)を基準として、レーザ照射後の樹脂膜14の引張強度が0.01%以上低下することを意味する。引張強度試験では、線状の熱劣化部143と直交する方向の引張応力を樹脂膜14に加える。
In the second step, as shown in FIG. 2, by moving the irradiation position of the
線状の熱劣化部143が樹脂膜14に形成されることで、熱劣化部143を中心に樹脂膜14が折れ曲がりやすくなる。レーザ照射後の樹脂膜14の引張強度は、レーザ照射前の樹脂膜14の引張強度を基準として0.1%以上低下することが好ましく、1%以上低下することがより好ましい。
By forming the linear
熱劣化部143は、樹脂膜14におけるガラスシート12と接触する面14a(図5参照)に形成される。熱劣化部143は、図5に示すように樹脂膜14を厚さ方向に貫通しなくてもよいし、貫通してもよい。尚、熱劣化部143には、ガラスシート12のクラック31に続く溝線(スクライブ線)が形成されてもよい。
The
ところで、ガラスシート12におけるレーザ光20の照射位置を移動させるときに、移動軌跡の終端部であるガラスシート12の端部には、図4に示すように、ガラスシート12を厚さ方向に貫通するクラック31が形成されにくい。クラック31は基本的にはレーザ光20の照射位置の後方に生じる引張応力で伸展するためである。なお該引張応力は、(i)レーザ光照射による圧縮応力の反作用による引張応力、(ii)レーザ光の加熱による樹脂の熱膨張による引張応力、及び好適には(iii)冷媒の供給による引張応力が相互作用することにより生じると考えられる。またこの相互作用により切断精度が高くなっていると考えられる。
By the way, when the irradiation position of the
クラック31の先端がガラスシート12の端部に近づくと、僅かな外力で、クラック31が伸展し、ガラスシート12が分断される。そのため、レーザ光20の照射後、複合シート10を支持台から取り外すとき、複合シート10が僅かに撓むと、その応力でガラスシート12の端部が切断される。
When the tip of the
複合シート10が僅かに撓むとき、本実施形態では、図6に示すように線状の熱劣化部143を中心に樹脂膜14が折れ曲がり、樹脂膜14の変形に合わせてガラスシート12の端部が折れ曲がる。線状の熱劣化部143はレーザ光20の照射位置の移動軌跡に沿って形成されているので、その移動軌跡を中心にガラスシート12の端部が折れ曲がる。よって、ガラスシート12の端部がレーザ光20の移動軌跡に沿って切断され、切断位置の制御が可能となる。この効果は、ガラスシート12の切断終了位置に対応する樹脂膜14の端部に熱劣化部143が形成されている場合に顕著である。
In the present embodiment, when the
熱劣化部143は、樹脂膜14の端(レーザ照射開始点)から端(レーザ照射終了点)まで形成されていることが望ましい。樹脂膜14が、熱劣化部143を中心に折れ曲がりやすい。
The thermally deteriorated
尚、本実施形態では、レーザ光20の照射位置の移動軌跡の終端部であるガラスシート12の端部を切断する工程が、レーザ光20の照射後、複合シート10を支持台から取り外すときに行われるが、複合シート10を支持台から取り外した後に行われてもよい。
In the present embodiment, the step of cutting the end portion of the
第3の工程では、図8に示すように樹脂膜14を切断し、複数の樹脂膜141、142を得る。これにより、複数の切断片111、112が得られる。一方の切断片111は、ガラスシート121、及びガラスシート121と結合する樹脂膜141を含む。また、他方の切断片112は、ガラスシート122及びガラスシート122と結合する樹脂膜142を含む。
In the third step, the
本実施形態では、図4〜図7に示すように、ガラスシート12におけるレーザ光20の照射位置の移動軌跡に沿って、線状の熱劣化部143が樹脂膜14に形成されている。よって、図8に示すように、線状の熱劣化部143を中心に樹脂膜14を折り曲げることで、熱劣化部143に沿って樹脂膜14を切断(割断)できる。線状の熱劣化部143を中心に樹脂膜14を折り曲げるとき、ガラス切断面同士が擦れないように、樹脂膜14を折り曲げることが好ましい。
In the present embodiment, as shown in FIGS. 4 to 7, a linear
線状の熱劣化部143は、レーザ光20の照射位置の移動軌跡に沿って形成されている。そのため、図9に示すように、切断により得られたガラスシート121の切断面と、切断により得られた樹脂膜141の切断面とが面一である。同様に、切断により得られたガラスシート122の切断面と、切断により得られた樹脂膜142の切断面とが面一である。樹脂膜の切断面がガラスシートの切断面よりも凹んでいる場合に比べて、ガラスシート121、122が傷付きにくく、切断片111、112の保管が容易である。
The linear
尚、本実施形態の第3の工程は、樹脂膜14を折り曲げることで、樹脂膜14を切断するが、樹脂膜14の切断方法は特に限定されない。例えば、樹脂膜の切断面がガラスシートの切断面と面一となる樹脂膜の切断方法として、線状の熱劣化部に沿って樹脂膜を引き裂く方法、カッターで線状の熱劣化部に沿って樹脂膜を切り裂く方法も使用可能である。また、樹脂膜の切断面がガラスシートの切断面よりも多少凹むが、樹脂膜14の切断方法として、レーザで樹脂膜を局所的に気化させる方法も使用可能である。
In the third step of the present embodiment, the
[第2の実施形態]
上記実施形態は、ガラスシート12及び樹脂膜14を含む複合シート10の切断方法に関する。[Second Embodiment]
The embodiment described above relates to a method for cutting the
一方、本実施形態は、ガラスシート12の切断方法に関する。ガラスシート12の切断方法は、複合シート10の切断方法と同様に図1〜図7の工程を有してよいが、これらの工程は同じ工程であるので、説明を省略する。
On the other hand, the present embodiment relates to a method for cutting the
図10は、本発明の第2の実施形態によるガラスシートの切断方法の説明図であって、図7の工程に続いて行われる工程を示す図である。 FIG. 10 is an explanatory diagram of a method for cutting a glass sheet according to the second embodiment of the present invention, and is a diagram illustrating a process performed subsequent to the process of FIG.
ガラスシート12の切断方法は、図10に示すように、ガラスシート12と樹脂膜14とを剥離する工程を有する。ガラスシート12と樹脂膜14とを剥離する場合、剥離時にガラスシート12が破損しないように、樹脂膜14の剥離強度は、例えば3N/25mm以下、好ましくは1N/25mm以下である。
The cutting method of the
ガラスシート12と樹脂膜14との剥離方法は、特に限定されないが、例えばガラスシート12と樹脂膜14との界面に薄刃を挿入し剥離起点を作製する工程と、ガラスシート12を平坦に保持しながら、樹脂膜14を剥離起点から順次撓み変形させる工程とを有してよい。剥離の際に、ガラスシート12を平坦に保持することで、ガラスシート12の破損を低減できる。
The peeling method of the
ガラスシート12と樹脂膜14とを剥離するとき、樹脂膜14が切断されていないことが好ましい。1回の作業で、複数のガラス121、122と、樹脂膜14との剥離が可能である。
When peeling the
尚、ガラスシート12と樹脂膜14とを剥離する工程は、樹脂膜14の切断後に行われてもよく、例えば図8の工程に続いて行われてもよい。
In addition, the process of peeling the
ガラスシートの切断方法は、ガラスシート12上に樹脂膜14を形成する工程をさらに有してもよい。
The glass sheet cutting method may further include a step of forming the
以下の実施例および比較例において、特に記載しない限りガラスシートとして、150mm角のガラスシート(厚さ100μm、平均線膨張係数38×10−7/℃、旭硝子社製無アルカリガラス、商品名:AN100)を用いた。In the following examples and comparative examples, unless otherwise specified, as a glass sheet, a 150 mm square glass sheet (thickness 100 μm, average linear expansion coefficient 38 × 10 −7 / ° C., alkali-free glass manufactured by Asahi Glass Co., Ltd., trade name: AN100 ) Was used.
[実施例1]
実施例1では、ガラスシートの樹脂膜を形成する面を表面処理した後、樹脂膜としてポリイミド膜(150mm角、厚さ5μm)を形成した。ガラスシートの表面処理は、アミノプロピルトリメトキシシランをスピンコータで塗布して行った。ポリイミド膜は、ガラスシートの表面処理面にポリイミドワニス(荒川化学社製、H851D)をスピンコータで塗布し、250℃で30分間熱処理することにより形成した。[Example 1]
In Example 1, after the surface of the glass sheet on which the resin film was formed was surface-treated, a polyimide film (150 mm square, thickness 5 μm) was formed as the resin film. The surface treatment of the glass sheet was performed by applying aminopropyltrimethoxysilane with a spin coater. The polyimide film was formed by applying polyimide varnish (H851D, manufactured by Arakawa Chemical Co., Ltd.) to the surface-treated surface of the glass sheet with a spin coater and heat-treating at 250 ° C. for 30 minutes.
実施例1では、作製したガラスシート及びポリイミド膜からなる複合シートを図1〜図9に示す方法で切断した。 In Example 1, the composite sheet which consists of the produced glass sheet and a polyimide film was cut | disconnected by the method shown in FIGS.
先ず、ガラスシートを切断した。初期クラックは、矩形のガラスシートの4辺のうちの1辺に20mmピッチで8本形成した。複合シートはポリイミド膜を下向きにして支持台に載置した。レーザ光は、CO2レーザ(波長10600nm、出力39W)からガラスシートに局所的に照射した。レーザ走査速度は130mm/secとした。ガラスシートにおけるレーザ光の照射位置は、各初期クラックの形成位置から、初期クラックを形成する1辺と垂直に、該1辺と平行な他の1辺まで移動させた。その移動軌跡は、直線状とした。また、冷媒である霧状の液滴は、ノズルからガラスシートに局所的に供給した。冷媒の供給位置は、レーザ光の照射位置の後方近傍に位置させ、レーザ光の照射位置と連動して移動させた。First, the glass sheet was cut. Eight initial cracks were formed at 20 mm pitch on one of the four sides of the rectangular glass sheet. The composite sheet was placed on the support with the polyimide film facing downward. The laser beam was locally irradiated on the glass sheet from a CO 2 laser (wavelength 10600 nm, output 39 W). The laser scanning speed was 130 mm / sec. The irradiation position of the laser beam on the glass sheet was moved from the formation position of each initial crack to another side parallel to the one side perpendicular to the one side forming the initial crack. The movement trajectory was linear. Moreover, the mist-like droplet which is a refrigerant | coolant was supplied locally to the glass sheet from the nozzle. The supply position of the coolant was positioned in the vicinity of the rear of the laser light irradiation position and moved in conjunction with the laser light irradiation position.
その結果、初期クラックを起点として、レーザ光の照射位置の移動軌跡に沿って、8本のクラックがガラスシートに形成された。各クラックは、ガラスシートを板厚方向に貫通しており、レーザ光の照射位置の移動軌跡の終端部には形成されなかった。また、レーザ光の照射位置の移動軌跡の全体に沿って、直線状の熱劣化部がポリイミド膜に形成された。ポリイミド膜は、クラックをまたいで、クラックを挟んだ両側のガラスをつないでいた。 As a result, eight cracks were formed on the glass sheet along the movement trajectory of the irradiation position of the laser beam starting from the initial crack. Each crack penetrated the glass sheet in the plate thickness direction, and was not formed at the terminal portion of the movement locus of the irradiation position of the laser beam. In addition, a linear thermal degradation portion was formed on the polyimide film along the entire movement locus of the irradiation position of the laser beam. The polyimide film straddled the crack and connected the glass on both sides sandwiching the crack.
その後、支持台から複合シートを取り外すとき、直線状の熱劣化部を中心にポリイミド膜が僅かに折れ曲がり、変形した。その変形に合わせてガラスシートの端部が折れ曲がり、ガラスシートの端部が切断された。このようにして、ガラスシートを切断した。 Thereafter, when the composite sheet was removed from the support base, the polyimide film was slightly bent and deformed around the linear heat-degraded portion. The edge part of the glass sheet was bent according to the deformation, and the edge part of the glass sheet was cut. In this way, the glass sheet was cut.
続いて、直線状の熱劣化部を中心にポリイミド膜を折り曲げ、熱劣化部に沿ってポリイミド膜を割断した。直線状の熱劣化部はガラスシートにおけるレーザ光の照射位置の移動軌跡の全体に沿って形成されているので、樹脂膜の切断面と、ガラスシートの切断面とが略面一となった。 Subsequently, the polyimide film was bent around the linearly deteriorated part, and the polyimide film was cleaved along the thermally deteriorated part. Since the linear thermally deteriorated portion is formed along the entire movement locus of the irradiation position of the laser beam on the glass sheet, the cut surface of the resin film and the cut surface of the glass sheet are substantially flush with each other.
このようにして、複合シートを切断した。複合シートの切断精度は、ガラスシートにおける実際の切断位置と、直線状の目標切断位置との間のずれ幅(以下、「ガラスシートにおける切断のずれ幅」という)で評価した。評価は、レーザ光の照射位置の移動軌跡のうち、終端部と、それ以外の部分とに分けて行った。 In this way, the composite sheet was cut. The cutting accuracy of the composite sheet was evaluated by a deviation width between the actual cutting position in the glass sheet and the linear target cutting position (hereinafter referred to as “cutting deviation width in the glass sheet”). The evaluation was performed separately for the terminal portion and the other portion of the movement locus of the irradiation position of the laser beam.
実施例1では、レーザ光の照射位置の移動軌跡のうち、終端部と、それ以外の部分との両方において、ガラスシートにおける切断の最大ずれ幅は0mmであった。 In Example 1, the maximum deviation width of the cut in the glass sheet was 0 mm in both the terminal portion and the other portion of the movement locus of the irradiation position of the laser beam.
[実施例2]
実施例2では、ポリイミドフィルム(150mm角、厚さ38μm、荒川化学社製、商品名ポミラン)上にポリイミドシリコーン粘着剤(厚さ10μm、荒川化学社製、商品名H802)を付けて積層樹脂フィルムを作製した。作製した積層樹脂フィルムの粘着剤側をガラスシート上に貼り付けて複合シートを作製した。[Example 2]
In Example 2, a polyimide resin (150 mm square, thickness 38 μm, manufactured by Arakawa Chemical Co., Ltd., trade name Pomilan) was coated with a polyimide silicone adhesive (
次いで、実施例1と同様に、ガラスシートに局所的にレーザ光を照射し、その照射位置を移動させた。また、実施例1と同様に、ガラスシートに局所的に冷媒を供給し、その供給位置を移動させた。 Subsequently, similarly to Example 1, the glass sheet was locally irradiated with laser light, and the irradiation position was moved. Moreover, like Example 1, the refrigerant | coolant was locally supplied to the glass sheet and the supply position was moved.
その結果、初期クラックを起点として、レーザ光の照射位置の移動軌跡に沿って、8本のクラックがガラスシートに形成された。各クラックは、ガラスシートを板厚方向に貫通しており、レーザ光の照射位置の移動軌跡の終端部には形成されなかった。また、レーザ光の照射位置の移動軌跡の全体に沿って、直線状の熱劣化部が積層樹脂フィルムに形成された。積層樹脂フィルムは、クラックをまたいで、クラックを挟んだ両側のガラスをつないでいた。 As a result, eight cracks were formed on the glass sheet along the movement trajectory of the irradiation position of the laser beam starting from the initial crack. Each crack penetrated the glass sheet in the plate thickness direction, and was not formed at the terminal portion of the movement locus of the irradiation position of the laser beam. Moreover, the linear heat deterioration part was formed in the laminated resin film along the whole movement locus of the irradiation position of a laser beam. The laminated resin film straddled the crack and connected the glass on both sides sandwiching the crack.
その後、支持台から複合シートを取り外すとき、直線状の熱劣化部を中心に積層樹脂フィルムが僅かに折れ曲がり、変形した。その変形に合わせてガラスシートの端部が僅かに折れ曲がり、ガラスシートの端部が切断された。このようにして、ガラスシートを切断した。 Thereafter, when the composite sheet was removed from the support base, the laminated resin film was slightly bent and deformed around the linear heat-deteriorated portion. The edge part of the glass sheet bent slightly according to the deformation | transformation, and the edge part of the glass sheet was cut | disconnected. In this way, the glass sheet was cut.
続いて、直線状の熱劣化部を中心に積層樹脂フィルムを折り曲げ、熱劣化部に沿って積層樹脂フィルムを割断した。直線状の熱劣化部はガラスシートにおけるレーザ光の照射位置の移動軌跡の全体に沿って形成されているので、積層樹脂フィルムの切断面と、ガラスシートの切断面とが略面一となった。 Subsequently, the laminated resin film was bent around the linear heat-degraded part, and the laminated resin film was cleaved along the heat-degraded part. Since the linear heat-degraded part is formed along the entire movement locus of the laser beam irradiation position on the glass sheet, the cut surface of the laminated resin film and the cut surface of the glass sheet are substantially flush with each other. .
このようにして、複合シートを切断した。レーザ光の照射位置の移動軌跡のうち、終端部と、それ以外の部分との両方において、ガラスシートにおける切断の最大ずれ幅は0mmであった。 In this way, the composite sheet was cut. Of the movement locus of the irradiation position of the laser beam, the maximum deviation width of the cut in the glass sheet was 0 mm in both the terminal portion and the other portion.
[実施例3]
実施例3では、基材としてのポリエチレンナフタレート(PEN)フィルム(150mm角、厚さ50μm)と、アクリル粘着剤(厚さ30μm)とからなる積層樹脂フィルム(寺岡製作所社製、商品名635F)を用意した。用意した積層樹脂フィルムの粘着剤側をガラスシートに貼り付けて複合シートを作製した。[Example 3]
In Example 3, a laminated resin film (trade name: 635F, manufactured by Teraoka Seisakusho Co., Ltd.) comprising a polyethylene naphthalate (PEN) film (150 mm square,
次いで、実施例1と同様に、ガラスシートに局所的にレーザ光を照射し、その照射位置を移動させた。また、実施例1と同様に、ガラスシートに局所的に冷媒を供給し、その供給位置を移動させた。 Subsequently, similarly to Example 1, the glass sheet was locally irradiated with laser light, and the irradiation position was moved. Moreover, like Example 1, the refrigerant | coolant was locally supplied to the glass sheet and the supply position was moved.
その結果、初期クラックを起点として、レーザ光の照射位置の移動軌跡に沿って、8本のクラックがガラスシートに形成された。各クラックは、ガラスシートを板厚方向に貫通しており、レーザ光の照射位置の移動軌跡の終端部には形成されなかった。また、レーザ光の照射位置の移動軌跡の全体に沿って、直線状の熱劣化部が積層樹脂フィルムに形成された。積層樹脂フィルムは、クラックをまたいで、クラックを挟んだ両側のガラスをつないでいた。 As a result, eight cracks were formed on the glass sheet along the movement trajectory of the irradiation position of the laser beam starting from the initial crack. Each crack penetrated the glass sheet in the plate thickness direction, and was not formed at the terminal portion of the movement locus of the irradiation position of the laser beam. Moreover, the linear heat deterioration part was formed in the laminated resin film along the whole movement locus of the irradiation position of a laser beam. The laminated resin film straddled the crack and connected the glass on both sides sandwiching the crack.
その後、支持台から複合シートを取り外すとき、直線状の熱劣化部を中心に積層樹脂フィルムが僅かに折れ曲がり、変形した。その変形に合わせてガラスシートの端部が折れ曲がり、ガラスシートの端部が切断された。このようにして、ガラスシートを切断した。 Thereafter, when the composite sheet was removed from the support base, the laminated resin film was slightly bent and deformed around the linear heat-deteriorated portion. The edge part of the glass sheet was bent according to the deformation, and the edge part of the glass sheet was cut. In this way, the glass sheet was cut.
続いて、直線状の熱劣化部を中心に積層樹脂フィルムを折り曲げ、熱劣化部に沿って積層樹脂フィルムを切断(割断)した。直線状の熱劣化部はガラスシートにおけるレーザ光の照射位置の移動軌跡の全体に沿って形成されているので、積層樹脂フィルムの切断面と、ガラスシートの切断面とが略面一となった。 Subsequently, the laminated resin film was bent around the linear heat-degraded portion, and the laminated resin film was cut (cleaved) along the heat-degraded portion. Since the linear heat-degraded part is formed along the entire movement locus of the laser beam irradiation position on the glass sheet, the cut surface of the laminated resin film and the cut surface of the glass sheet are substantially flush with each other. .
このようにして、複合シートを切断した。レーザ光の照射位置の移動軌跡のうち、終端部と、それ以外の部分との両方において、ガラスシートにおける切断の最大ずれ幅は0mmであった。 In this way, the composite sheet was cut. Of the movement locus of the irradiation position of the laser beam, the maximum deviation width of the cut in the glass sheet was 0 mm in both the terminal portion and the other portion.
[実施例4]
実施例4では、環状ポリオレフィン(COP)フィルム(150mm角、厚さ50μm、ゼオン社製、商品名ZF14)を用意した。用意したCOPフィルムをコロナ放電により活性化処理し、ガラスシート上に加熱貼合して複合シートを作製した。[Example 4]
In Example 4, a cyclic polyolefin (COP) film (150 mm square,
次いで、実施例1と同様に、ガラスシートに局所的にレーザ光を照射し、その照射位置を移動させた。また、実施例1と同様に、ガラスシートに局所的に冷媒を供給し、その供給位置を移動させた。 Subsequently, similarly to Example 1, the glass sheet was locally irradiated with laser light, and the irradiation position was moved. Moreover, like Example 1, the refrigerant | coolant was locally supplied to the glass sheet and the supply position was moved.
その結果、初期クラックを起点として、レーザ光の照射位置の移動軌跡に沿って、8本のクラックがガラスシートに形成された。各クラックは、ガラスシートを板厚方向に貫通しており、レーザ光の照射位置の移動軌跡の終端部には形成されなかった。また、レーザ光の照射位置の移動軌跡の全体に沿って、直線状の熱劣化部がCOPフィルムに形成された。COPフィルムは、クラックをまたいで、クラックを挟んだ両側のガラスをつないでいた。 As a result, eight cracks were formed on the glass sheet along the movement trajectory of the irradiation position of the laser beam starting from the initial crack. Each crack penetrated the glass sheet in the plate thickness direction, and was not formed at the terminal portion of the movement locus of the irradiation position of the laser beam. In addition, a linear thermally deteriorated portion was formed on the COP film along the entire movement locus of the irradiation position of the laser beam. The COP film straddled the crack and connected the glass on both sides sandwiching the crack.
その後、支持台から複合シートを取り外すとき、直線状の熱劣化部を中心にCOPフィルムが僅かに折れ曲がり、変形した。その変形に合わせてガラスシートの端部が折れ曲がり、ガラスシートの端部が切断された。このようにして、ガラスシートを切断した。 Thereafter, when the composite sheet was removed from the support base, the COP film was slightly bent and deformed around the linear heat-degraded portion. The edge part of the glass sheet was bent according to the deformation, and the edge part of the glass sheet was cut. In this way, the glass sheet was cut.
続いて、直線状の熱劣化部を中心にCOPフィルムを折り曲げ、熱劣化部に沿ってCOPフィルムを切断(割断)した。直線状の熱劣化部はガラスシートにおけるレーザ光の照射位置の移動軌跡の全体に沿って形成されているので、COPフィルムの切断面と、ガラスシートの切断面とが略面一となった。 Subsequently, the COP film was bent around the linearly deteriorated part, and the COP film was cut (cleaved) along the thermally deteriorated part. Since the linear thermally deteriorated portion is formed along the entire movement locus of the irradiation position of the laser beam on the glass sheet, the cut surface of the COP film and the cut surface of the glass sheet are substantially flush with each other.
このようにして、複合シートを切断した。レーザ光の照射位置の移動軌跡のうち、終端部と、それ以外の部分との両方において、ガラスシートにおける切断の最大ずれ幅は0mmであった。 In this way, the composite sheet was cut. Of the movement locus of the irradiation position of the laser beam, the maximum deviation width of the cut in the glass sheet was 0 mm in both the terminal portion and the other portion.
[実施例5]
実施例5では、基材としてのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(厚さ125μm)と、アクリル粘着剤(厚さ16μm)とからなる積層樹脂フィルム(150mm角、ソマール社製、商品名ソマタックPS−250WA)を用意した。用意した積層樹脂フィルムの粘着剤側をガラスシートに貼り付けて複合シートを作製した。[Example 5]
In Example 5, a laminated resin film (150 mm square, manufactured by Somaru, trade name Somatac PS-250WA) composed of a polyethylene terephthalate (PET) film (thickness 125 μm) as a base material and an acrylic adhesive (thickness 16 μm). ) Was prepared. A composite sheet was prepared by attaching the pressure-sensitive adhesive side of the prepared laminated resin film to a glass sheet.
次いで、実施例1と同様に、ガラスシートに局所的にレーザ光を照射し、その照射位置を移動させた。また、実施例1と同様に、ガラスシートに局所的に冷媒を供給し、その供給位置を移動させた。 Subsequently, similarly to Example 1, the glass sheet was locally irradiated with laser light, and the irradiation position was moved. Moreover, like Example 1, the refrigerant | coolant was locally supplied to the glass sheet and the supply position was moved.
その結果、初期クラックを起点として、レーザ光の照射位置の移動軌跡に沿って、8本のクラックがガラスシートに形成された。各クラックは、ガラスシートを板厚方向に貫通しており、レーザ光の照射位置の移動軌跡の終端部には形成されなかった。また、レーザ光の照射位置の移動軌跡の全体に沿って、直線状の熱劣化部が積層樹脂フィルムに形成された。積層樹脂フィルムは、クラックをまたいで、クラックを挟んだ両側のガラスをつないでいた。 As a result, eight cracks were formed on the glass sheet along the movement trajectory of the irradiation position of the laser beam starting from the initial crack. Each crack penetrated the glass sheet in the plate thickness direction, and was not formed at the terminal portion of the movement locus of the irradiation position of the laser beam. Moreover, the linear heat deterioration part was formed in the laminated resin film along the whole movement locus of the irradiation position of a laser beam. The laminated resin film straddled the crack and connected the glass on both sides sandwiching the crack.
その後、支持台から複合シートを取り外すとき、直線状の熱劣化部を中心に積層樹脂フィルムが僅かに折れ曲がり、変形した。その変形に合わせてガラスシートの端部が折れ曲がり、ガラスシートの端部が切断された。このようにして、ガラスシートを切断した。 Thereafter, when the composite sheet was removed from the support base, the laminated resin film was slightly bent and deformed around the linear heat-deteriorated portion. The edge part of the glass sheet was bent according to the deformation, and the edge part of the glass sheet was cut. In this way, the glass sheet was cut.
続いて、ガラスシートと積層樹脂フィルムとの界面に薄刃を挿入し剥離起点を作製し、ガラスシート12を平坦に保持しながら、積層樹脂フィルムを剥離起点から順次撓み変形させ、一度に複数のガラス単板短冊を剥離した。剥離強度は0.11N/25mmであった。
Subsequently, a thin blade is inserted into the interface between the glass sheet and the laminated resin film to produce a peeling start point, and while holding the
このようにして、ガラスシートを切断した。レーザ光の照射位置の移動軌跡のうち、終端部と、それ以外の部分との両方において、ガラスシートにおける切断の最大ずれ幅は0mmであった。 In this way, the glass sheet was cut. Of the movement locus of the irradiation position of the laser beam, the maximum deviation width of the cut in the glass sheet was 0 mm in both the terminal portion and the other portion.
[実施例6]
実施例6では、基材としてのポリイミドフィルム(厚さ25μm)と、アクリル粘着剤(厚さ22μm)とからなる積層樹脂フィルム(150mm角、3M社製、品番7414)を用意した。用意した積層樹脂フィルムの粘着剤側をガラスシート上に貼り付けて複合シートを作製した。[Example 6]
In Example 6, a laminated resin film (150 mm square, manufactured by 3M, product number 7414) composed of a polyimide film (thickness 25 μm) as a base material and an acrylic pressure-sensitive adhesive (thickness 22 μm) was prepared. A composite sheet was prepared by pasting the pressure-sensitive adhesive side of the prepared laminated resin film on a glass sheet.
次いで、実施例1と同様に、ガラスシートに局所的にレーザ光を照射し、その照射位置を移動させた。また、実施例1と同様に、ガラスシートに局所的に冷媒を供給し、その供給位置を移動させた。 Subsequently, similarly to Example 1, the glass sheet was locally irradiated with laser light, and the irradiation position was moved. Moreover, like Example 1, the refrigerant | coolant was locally supplied to the glass sheet and the supply position was moved.
その結果、初期クラックを起点として、レーザ光の照射位置の移動軌跡に沿って、8本のクラックがガラスシートに形成された。各クラックは、ガラスシートを板厚方向に貫通しており、レーザ光の照射位置の移動軌跡の終端部には形成されなかった。また、レーザ光の照射位置の移動軌跡の全体に沿って、直線状の熱劣化部が積層樹脂フィルムに形成された。積層樹脂フィルムは、クラックをまたいで、クラックを挟んだ両側のガラスをつないでいた。 As a result, eight cracks were formed on the glass sheet along the movement trajectory of the irradiation position of the laser beam starting from the initial crack. Each crack penetrated the glass sheet in the plate thickness direction, and was not formed at the terminal portion of the movement locus of the irradiation position of the laser beam. Moreover, the linear heat deterioration part was formed in the laminated resin film along the whole movement locus of the irradiation position of a laser beam. The laminated resin film straddled the crack and connected the glass on both sides sandwiching the crack.
その後、支持台から複合シートを取り外すとき、直線状の熱劣化部を中心に積層樹脂フィルムが僅かに折れ曲がり、変形した。その変形に合わせてガラスシートの端部が折れ曲がり、ガラスシートの端部が切断された。このようにして、ガラスシートを切断した。 Thereafter, when the composite sheet was removed from the support base, the laminated resin film was slightly bent and deformed around the linear heat-deteriorated portion. The edge part of the glass sheet was bent according to the deformation, and the edge part of the glass sheet was cut. In this way, the glass sheet was cut.
続いて、ガラスシートと積層樹脂フィルムとの界面に薄刃を挿入し剥離起点を作製し、ガラスシートを平坦に保持しながら、積層樹脂フィルムを剥離起点から順次撓み変形させ、一度に複数のガラス単板短冊を剥離した。剥離強度は0.69N/25mmであった。 Subsequently, a thin blade is inserted into the interface between the glass sheet and the laminated resin film to produce a peeling start point, and while the glass sheet is held flat, the laminated resin film is sequentially bent and deformed from the peeling start point, and a plurality of glass units are The strip was peeled off. The peel strength was 0.69 N / 25 mm.
このようにして、ガラスシートを切断した。レーザ光の照射位置の移動軌跡のうち、終端部と、それ以外の部分との両方において、ガラスシートにおける切断の最大ずれ幅は0mmであった。 In this way, the glass sheet was cut. Of the movement locus of the irradiation position of the laser beam, the maximum deviation width of the cut in the glass sheet was 0 mm in both the terminal portion and the other portion.
[比較例1]
比較例1では、樹脂膜の付いていない150mm角のガラスシートの切断を行った。具体的には、実施例1と同様に、ガラスシートに局所的にレーザ光を照射し、その照射位置を移動させた。また、実施例1と同様に、ガラスシートに局所的に冷媒を供給し、その供給位置を移動させた。[Comparative Example 1]
In Comparative Example 1, a 150 mm square glass sheet without a resin film was cut. Specifically, as in Example 1, the glass sheet was locally irradiated with laser light, and the irradiation position was moved. Moreover, like Example 1, the refrigerant | coolant was locally supplied to the glass sheet and the supply position was moved.
その結果、初期クラックを起点として、レーザ光の照射位置の移動軌跡に沿って、8本のクラックがガラスシートに形成された。各クラックは、ガラスシートを板厚方向に貫通しており、レーザ光の照射位置の移動軌跡の終端部には形成されなかった。 As a result, eight cracks were formed on the glass sheet along the movement trajectory of the irradiation position of the laser beam starting from the initial crack. Each crack penetrated the glass sheet in the plate thickness direction, and was not formed at the terminal portion of the movement locus of the irradiation position of the laser beam.
その後、支持台からガラスシートを取り外すとき、ガラスシートが撓み、その応力でクラックが意図しない方向に伸展した。 Thereafter, when the glass sheet was removed from the support, the glass sheet was bent, and the stress caused the crack to extend in an unintended direction.
比較例1では、ガラスシートにおけるレーザ光の照射位置の移動軌跡のうち、終端部において、切断の最大ずれ幅は1mm〜3mmであった。また、ガラスシートにおけるレーザ光の照射位置の移動軌跡のうち、終端部以外の部分において、切断の最大ずれ幅は1mm程度であった。 In Comparative Example 1, the maximum deviation width of the cutting was 1 mm to 3 mm in the terminal portion of the movement locus of the irradiation position of the laser beam on the glass sheet. Further, in the movement locus of the irradiation position of the laser beam on the glass sheet, the maximum deviation width of the cutting was about 1 mm in a portion other than the terminal portion.
[比較例2]
比較例2では、ポリイミド膜の膜厚を0.5μmとした他は、実施例1と同様に複合シートを作製した。[Comparative Example 2]
In Comparative Example 2, a composite sheet was produced in the same manner as in Example 1 except that the film thickness of the polyimide film was 0.5 μm.
次いで、実施例1と同様に、ガラスシートに局所的にレーザ光を照射し、その照射位置を移動させた。また、実施例1と同様に、ガラスシートに局所的に冷媒を供給し、その供給位置を移動させた。 Subsequently, similarly to Example 1, the glass sheet was locally irradiated with laser light, and the irradiation position was moved. Moreover, like Example 1, the refrigerant | coolant was locally supplied to the glass sheet and the supply position was moved.
その結果、初期クラックを起点として、レーザ光の照射位置の移動軌跡に沿って、8本のクラックがガラスシートに形成された。各クラックは、ガラスシートを板厚方向に貫通しており、レーザ光の照射位置の移動軌跡の終端部には形成されなかった。一方、ポリイミド膜は、レーザ光の照射位置の移動軌跡の全体に沿って切断された。 As a result, eight cracks were formed on the glass sheet along the movement trajectory of the irradiation position of the laser beam starting from the initial crack. Each crack penetrated the glass sheet in the plate thickness direction, and was not formed at the terminal portion of the movement locus of the irradiation position of the laser beam. On the other hand, the polyimide film was cut along the entire movement locus of the irradiation position of the laser beam.
その後、支持台から複合シートを取り外すとき、ガラスシートが撓み、その応力でクラックが意図しない方向に伸展した。このようにして、複合シートを切断した。 Thereafter, when the composite sheet was removed from the support base, the glass sheet was bent, and the stress caused the crack to extend in an unintended direction. In this way, the composite sheet was cut.
ガラスシートにおけるレーザ光の照射位置の移動軌跡のうち、終端部において、切断の最大ずれ幅は1mm〜3mmであった。また、ガラスシートにおけるレーザ光の照射位置の移動軌跡のうち、終端部以外の部分において、切断の最大ずれ幅は1mm程度であった。 Of the movement trajectory of the irradiation position of the laser beam on the glass sheet, the maximum deviation width of the cutting was 1 mm to 3 mm at the terminal portion. Further, in the movement locus of the irradiation position of the laser beam on the glass sheet, the maximum deviation width of the cutting was about 1 mm in a portion other than the terminal portion.
[まとめ]
実施例1〜3、及び比較例1〜2の結果を表1〜表3にまとめる。[Summary]
The results of Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 and 2 are summarized in Tables 1 to 3.
以上、複合シートの切断方法、及びガラスシートの切断方法を実施形態等で説明したが、本発明は上記実施形態等に限定されず、特許請求の範囲に記載された範囲で、種々の変形及び改良が可能である。 As mentioned above, although the cutting method of the composite sheet and the cutting method of the glass sheet have been described in the embodiments and the like, the present invention is not limited to the above embodiments and the like, and various modifications and changes can be made within the scope described in the claims. Improvements are possible.
本出願は、2012年8月21日に日本国特許庁に出願された特願2012−182656号に基づく優先権を主張するものであり、特願2012−182656号の全内容を本出願に援用する。 This application claims priority based on Japanese Patent Application No. 2012-182656 filed with the Japan Patent Office on August 21, 2012. The entire contents of Japanese Patent Application No. 2012-182656 are incorporated herein by reference. To do.
10 複合シート
12 ガラスシート
14 樹脂膜
143 熱劣化部
20 レーザ光
30 初期クラック
31 クラック
40 冷媒
50 ノズルDESCRIPTION OF
Claims (11)
前記複合シートの前記ガラスシートに局所的にレーザ光を照射し、ガラスの徐冷点以下の温度で前記ガラスシートを局所的に加熱し、前記ガラスシートにおける前記レーザ光の照射位置を移動させ、移動軌跡に沿って、前記ガラスシートを厚さ方向に貫通するクラックを伸展させる工程を有し、
該工程では、前記樹脂膜が前記クラックをまたいで、前記クラックを挟んだ両側のガラスをつなぎ、
また、該工程では、前記ガラスシートにおける前記レーザ光の照射位置を移動させるとき、移動軌跡に沿って、線状の熱劣化部を前記樹脂膜に形成し、
ここで、熱劣化とは、レーザ照射前の前記樹脂膜の引張強度(MPa)を基準として、レーザ照射後の前記樹脂膜の引張強度が0.01%以上低下することを意味し、
該工程後に前記樹脂膜が切断される、複合シートの切断方法。 A method of cutting a composite sheet comprising a glass sheet having a thickness of 200 μm or less and a resin film formed on the glass sheet,
The glass sheet of the composite sheet is locally irradiated with laser light, the glass sheet is locally heated at a temperature below the annealing point of the glass, and the irradiation position of the laser light in the glass sheet is moved, A step of extending a crack penetrating the glass sheet in the thickness direction along the movement trajectory,
In more該工, across the resin film is the crack, the glass of both sides of the crack tuna technique,
Further, in this step, when moving the irradiation position of the laser light on the glass sheet, along the movement trajectory, a linear thermal deterioration portion is formed on the resin film,
Here, the thermal deterioration means that the tensile strength of the resin film after laser irradiation is reduced by 0.01% or more based on the tensile strength (MPa) of the resin film before laser irradiation.
A method for cutting a composite sheet, wherein the resin film is cut after the step.
該ガラスシート及び該ガラスシート上に形成される樹脂膜を含む複合シートの前記ガラスシートに局所的にレーザ光を照射し、ガラスの徐冷点以下の温度で前記ガラスシートを局所的に加熱し、前記ガラスシートにおける前記レーザ光の照射位置を移動させ、移動軌跡に沿って、前記ガラスシートを厚さ方向に貫通するクラックを伸展させる工程を有し、
該工程では、前記樹脂膜が前記クラックをまたいで、前記クラックを挟んだ両側のガラスをつなぎ、
また、該工程では、前記ガラスシートにおける前記レーザ光の照射位置を移動させるとき、移動軌跡に沿って、線状の熱劣化部を前記樹脂膜に形成し、
ここで、熱劣化とは、レーザ照射前の前記樹脂膜の引張強度(MPa)を基準として、レーザ照射後の前記樹脂膜の引張強度が0.01%以上低下することを意味し、
該工程後に、前記線状の熱劣化部を中心に前記樹脂膜を折り曲げることで、前記移動軌跡の終端部である前記ガラスシートの端部を切断する、ガラスシートの切断方法。 A method for cutting a glass sheet having a thickness of 200 μm or less,
The glass sheet of the composite sheet including the glass sheet and the resin film formed on the glass sheet is locally irradiated with laser light, and the glass sheet is locally heated at a temperature below the annealing point of the glass. The step of moving the irradiation position of the laser light in the glass sheet, and extending a crack penetrating the glass sheet in the thickness direction along the movement locus,
In more該工, across the resin film is the crack, the glass of both sides of the crack tuna technique,
Further, in this step, when moving the irradiation position of the laser light on the glass sheet, along the movement trajectory, a linear thermal deterioration portion is formed on the resin film,
Here, the thermal deterioration means that the tensile strength of the resin film after laser irradiation is reduced by 0.01% or more based on the tensile strength (MPa) of the resin film before laser irradiation.
The glass sheet cutting method of cutting an end portion of the glass sheet, which is a terminal portion of the movement locus, by bending the resin film around the linear heat-deteriorated portion after the step .
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