JP6069398B2 - 2流体ノズル及び基板液処理装置並びに基板液処理方法 - Google Patents
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Description
2 基板
34 2流体ノズル
47 液体吐出口
48 液体吐出部
52 気体吐出口
Claims (8)
- 液体吐出部から吐出した処理液と気体吐出口から吐出した気体とを混合して生成した処理液の液滴を被処理体に向けて噴霧する2流体ノズルにおいて、
前記液体吐出部は、前記気体吐出口の内側に同一円周上に配置した複数の液体吐出口で構成し、
前記複数の液体吐出口は、隣接する液体吐出口の間隔が前記液体吐出口の直径以上の間隔とすることで各液体吐出口から吐出した処理液同士が接触しない間隔とすることにより、前記液体吐出部と前記気体吐出口の下方近傍で前記複数の液体吐出口から吐出されたそれぞれの処理液と前記気体吐出口から吐出された気体とを衝突させて前記処理液の液滴を生成することを特徴とする2流体ノズル。 - 前記液体吐出口と前記気体吐出口との間隔は、隣接する液体吐出口から吐出した処理液同士が接触することなく気体と混合する間隔としたことを特徴とする請求項1に記載の2流体ノズル。
- 前記気体吐出口は、スリット形状であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の2流体ノズル。
- 前記気体吐出口は、下方へ向けて気体を吐出することを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載の2流体ノズル。
- 前記気体吐出口から気体を旋回させて吐出する旋回流発生部を有することを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載の2流体ノズル。
- 基板を処理液の液滴で液処理する基板液処理装置において、
基板を保持しながら回転させる基板保持手段と、
基板保持手段で保持された基板を囲い、処理液を受けるカップと、
基板に処理液の液滴を吐出する2流体ノズルと、
を備え、
前記2流体ノズルは、液体吐出部から吐出した処理液と気体吐出口から吐出した気体とを混合して液滴を生成し、前記液体吐出部は、前記気体吐出口の内側に同一円周上に配置した複数の液体吐出口で構成し、前記複数の液体吐出口は、隣接する液体吐出口の間隔が前記液体吐出口の直径以上の間隔とすることで各液体吐出口から吐出した処理液同士が接触しない間隔とすることにより、前記液体吐出部と前記気体吐出口の下方近傍で前記複数の液体吐出口から吐出されたそれぞれの処理液と前記気体吐出口から吐出された気体とを衝突させて前記処理液の液滴を生成することを特徴とする基板液処理装置。 - 前記液体吐出口と前記気体吐出口との間隔は、隣接する液体吐出口から吐出した処理液同士が接触することなく気体と混合する間隔としたことを特徴とする請求項6に記載の基板液処理装置。
- 2流体ノズルの液体吐出部から吐出した処理液と気体吐出口から吐出した気体とを混合して生成した処理液の液滴を基板に向けて噴霧することで基板を処理液の液滴で液処理する基板液処理方法において、
請求項1に記載の2流体ノズルで液処理することを特徴とする基板液処理方法。
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