JP6057281B2 - 単結晶製造装置及び単結晶製造方法 - Google Patents
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20 ルツボ
30 金型
30a 上面部
32 側面(金型基準面)
40 移動機構
41 ホルダ
42、80、81、100、110 ガイド部材
42−1、80−1、81−1、101−1、111−1 第1のガイド基準部
42−2、80−2、81−2、101−2、111−2 第2のガイド基準部
45 シャフト
50 種結晶
51 種結晶の基準面
90 単結晶
91 単結晶の基準面
Claims (7)
- 単結晶の材料となる融液を上面部に保持する金型と、前記上面部に保持された融液に種結晶を接触させながら移動させる移動手段とを備えた単結晶製造装置であって、
前記移動手段に設けられ、前記種結晶を保持する保持部材と、
前記移動手段に設けられ、前記種結晶と当接し、前記種結晶の位置を規定するガイド部材と、を更に有し、
前記ガイド部材は、前記種結晶の基準面と平行なガイド基準部を有し、前記ガイド基準部は前記金型の前記上面部の一辺と平行である、
ことを特徴とする単結晶製造装置。 - 前記移動手段に前記ガイド部材を固定する固定部材を更に有する、請求項1に記載の単結晶製造装置。
- 前記ガイド部材に前記種結晶を固定するためのバネ部材を更に有する、請求項1又は2に記載の単結晶製造装置。
- 単結晶の材料となる融液を上面部に保持する金型と、種結晶を移動するための移動手段とを備えた単結晶製造装置における単結晶製造方法であって、
前記移動手段に設けられた保持部材によって前記種結晶を保持し、
前記移動手段に設けられ、前記種結晶の基準面と平行なガイド基準部を有するガイド部材を、前記種結晶の基準面と当接させ、
前記ガイド基準部を前記金型の前記上面部の一辺と平行となるように設定し、
前記移動手段によって、前記上面部に保持された融液に前記種結晶を接触させながら移動させる、
ステップを有することを特徴とする単結晶製造方法。 - 前記移動手段によって、前記ガイド部材は前記種結晶と同時に引き上げられる、請求項4に記載の単結晶製造方法。
- 前記移動手段に前記ガイド部材を固定する固定部材を更に有する、請求項4又は5に記載の単結晶製造方法。
- 前記ガイド部材に前記種結晶を固定するためのバネ部材を更に有する、請求項4〜6の何れか一項に記載の単結晶製造方法。
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