JP6037380B2 - 固溶体単結晶製造方法 - Google Patents
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Description
約1×10-5 Paの真空度で真空封止した。
2 砒化インジウム(融液形成材)
3 砒化ガリウム(原料)
4 窒化ホウ素(BN)製スペーサ
5 結晶成長ユニット
6 窒化ホウ素(BN)製ルツボ
7 窒化ホウ素(BN)製プラグ
8 石英容器
9 真空封止用端子
10 熔け残った砒化ガリウム種結晶
11 熔けて拡がった砒化インジウム(溶融帯)
12 熔け残った砒化ガリウム原料
13 成長結晶
14 シリコン種結晶
15 成長したシリコンゲルマニウム結晶
16 熔け残ったシリコン原料
17 PbTe(種結晶)
18 SnTe(融液形成材)
19 PbTe(原料)
Claims (4)
- 種結晶と、該種結晶の外周側に配された、該種結晶よりも融点が低い融液形成材と、該融液形成材の外周側に配された、該融液形成材よりも融点が高い固体原料と、を備える複合材を、該複合材の外周部が内側よりも高温となるよう加熱し、
前記融液形成材を溶融させて溶融帯を形成し、該溶融帯の前記種結晶側領域に結晶を成長させつつ該溶融帯を前記複合材の外周側に移動させることにより、該複合材の外周側に向かって結晶を成長させる
ことを特徴とする、固溶体単結晶製造方法。 - 前記複合材が円板状又は多角形板状に形成されており、該複合材の円状面又は多角形状面の径方向に向かって結晶を成長させることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記円板状又は多角形板状に形成された前記複合材を、スペーサを介して複数積み重ね、該積み重ねられた複数の複合材を、各々の複合材の外周部が内側よりも高温となるよう同時に加熱して、該各々の複合材の外周側に向かって同時に結晶を成長させることを特徴とする、請求項2に記載の方法。
- 前記複合材が円柱状又は多角柱状に形成されており、該複合材の円状面又は多角形状面の径方向に向かって結晶を成長させることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
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