JP5981791B2 - Breaking device for brittle material substrate - Google Patents

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Description

本発明は、ガラス、セラミック、サファイア、半導体ウエハなどの脆性材料からなる基板のブレイク装置に関する。特に、本発明は、前段工程でスクライブライン(切溝)が形成された脆性材料基板をそのスクライブラインに沿ってブレイクして単位基板を取り出すブレイク装置に関する。   The present invention relates to a substrate breaker made of a brittle material such as glass, ceramic, sapphire, and a semiconductor wafer. In particular, the present invention relates to a breaking device that breaks a brittle material substrate in which a scribe line (cut groove) is formed in a previous step along the scribe line and takes out a unit substrate.
従来から、脆性材料基板(以下、単に「基板」という)の表面にカッターホイール(スクライビングホイールともいう)や固定刃、若しくはレーザービーム等のスクライブ手段を用いて、互いに直交するX方向ならびにY方向のスクライブラインを形成し、その後、当該スクライブラインに沿って外力を印加してブレイクすることにより、基板を単位基板に分断する方法は公知であり、例えば、特許文献1や特許文献2に開示されている。   Conventionally, the surface of a brittle material substrate (hereinafter, simply referred to as “substrate”) is scribed in the X and Y directions orthogonal to each other using a cutter wheel (also referred to as a scribing wheel), a fixed blade, or a scribing means such as a laser beam. A method of dividing a substrate into unit substrates by forming a scribe line and then applying an external force along the scribe line to break the substrate is known. For example, disclosed in Patent Document 1 and Patent Document 2 Yes.
図5は、基板の一般的なブレイク装置を示す斜視図である。
ブレイク装置21は、加工対象となる基板Wを載置して保持する水平なテーブル22を備えている。テーブル22は、モータを内蔵する回転駆動部23により水平面内で回動できるようになっており、かつ、水平なレール24に沿ってY方向に移動できるように構成されている。テーブル22の上方にはX方向に水平に延びるビーム(横枠)25が設けられており、このビーム25に、該ビームと平行にX方向に延びる板状のブレイクバー26が取り付けられ、シリンダ27によって駆動される昇降軸28を介して昇降できるようになっている。
FIG. 5 is a perspective view showing a general breaker for a substrate.
The breaking device 21 includes a horizontal table 22 that places and holds a substrate W to be processed. The table 22 can be rotated in a horizontal plane by a rotary drive unit 23 incorporating a motor, and can be moved in the Y direction along a horizontal rail 24. A beam (horizontal frame) 25 that extends horizontally in the X direction is provided above the table 22, and a plate-like break bar 26 that extends in the X direction parallel to the beam is attached to the beam 25. It can be moved up and down via a lifting shaft 28 driven by the motor.
図8は、前段階のスクライブ工程で、スクライブ手段により表面に互いに直交する縦、横のスクライブラインS1、S2が形成された長方形の基板Wを示すものであって、W1はブレイク後に製品となる単位基板であり、W2はブレイク後に破棄される端材領域である。
この基板Wをブレイク装置21でブレイクするにあたっては、スクライブラインS1、S2のいずれか一方、例えば図5に示すように、基板の長辺方向のスクライブラインS1がX方向に沿うようにしてテーブル22上に弾性材料からなるクッションシート13を挟んで載置する。この場合、図7(a)に示すように、スクライブラインS1、S2が下面となるようにしておく。この後、図7(b)に示すように、基板Wの上方からスクライブラインS1に向かってブレイクバー26を下降させて基板Wを押圧し、該基板Wをクッションシート13上で僅かにV字状に撓ませることにより、スクライブラインS1のクラックを伸展させて基板Wをブレイクする。このようにして長辺方向のスクライブラインS1をすべてブレイクした後、図6に示すように、基板の短辺方向のスクライブラインS2がX方向に向くようにテーブル22を90度回転させる。そして上記同様に、ブレイクバー26を下降させてすべてのスクライブラインS2をブレイクした後、図8に示す単位基板W1が取り出され、端縁部の端材領域W2は破棄される。
FIG. 8 shows a rectangular substrate W on which vertical and horizontal scribe lines S1 and S2 are formed on the surface by the scribe means in the previous scribing process, and W1 becomes a product after breaking. It is a unit substrate, and W2 is an end material region that is discarded after the break.
When the substrate W is broken by the breaking device 21, one of the scribe lines S1 and S2, for example, as shown in FIG. 5, the table 22 is set so that the scribe line S1 in the long side direction of the substrate is along the X direction. The cushion sheet 13 made of an elastic material is sandwiched between them. In this case, as shown in FIG. 7A, the scribe lines S1 and S2 are arranged on the lower surface. Thereafter, as shown in FIG. 7B, the break bar 26 is lowered from above the substrate W toward the scribe line S <b> 1 to press the substrate W, and the substrate W is slightly V-shaped on the cushion sheet 13. The substrate W is broken by extending the cracks of the scribe line S1 by bending the substrate W. After breaking all the scribe lines S1 in the long side direction in this way, as shown in FIG. 6, the table 22 is rotated 90 degrees so that the scribe line S2 in the short side direction of the substrate faces the X direction. Similarly to the above, after the break bar 26 is lowered to break all the scribe lines S2, the unit substrate W1 shown in FIG. 8 is taken out, and the end material region W2 at the edge is discarded.
特許第3787489号公報Japanese Patent No. 3787489 特開2002−187098号公報JP 2002-187098 A
上記した従来のブレイク装置21では、ビーム25と平行にX方向に延びる一つのブレイクバー26によってブレイクするものであるから、スクライブラインの数だけ、即ち、長辺方向のスクライブラインS1と、短辺方向のスクライブラインS2を合計した数だけブレイクバーを昇降させなければならない。
通常、1枚の大型基板には数多くのスクライブラインが形成されているので、スクライブラインの数が増えるのに応じてブレイクに要する時間が長くなるとともに、ブレイクバーやその昇降機構の摩耗や寿命などにも影響する。
In the conventional break device 21 described above, the break is caused by one break bar 26 extending in the X direction in parallel with the beam 25. Therefore, the number of scribe lines, that is, the scribe lines S1 in the long side direction and the short sides are reduced. The break bar must be raised and lowered by the total number of scribe lines S2 in the direction.
Usually, a large substrate is formed with a large number of scribe lines, so the time required for break increases as the number of scribe lines increases, and the wear and life of the break bar and its lifting mechanism etc. Also affects.
そこで本発明は、上記課題を解決し、ブレイクに要する時間を短縮することが可能なブレイク装置を提供することを目的とする。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a break device capable of solving the above-described problems and reducing the time required for break.
上記課題を解決するために本発明では次のような技術的手段を講じた。即ち、本発明のブレイク装置は、脆性材料基板を載置する載置面を有するテーブルと、前記テーブルの上方で前記載置面と平行に配置されたビームと、前記ビームの延在方向に沿って該ビームに設けられたガイド軸と、前記ガイド軸に沿って移動可能に形成された複数のブレイクバーとからなり、前記複数のブレイクバーのそれぞれは、昇降軸を介して昇降可能に形成され、かつ、前記載置面に垂直な軸を中心として回転可能に形成されており、これにより前記複数のブレイクバーが、ビームの延在方向に沿って直列に並ぶ直列姿勢と、ビームの延在方向と直交する方向に沿って互いに平行となる分離姿勢とになるように形成したことを特徴とする。
さらに、前記各ブレイクバーには、隣接する側端部の一方に凸部が形成されるとともに他方に凹部が形成され、直列姿勢の時に隣接する側端部の凸部と凹部とが連結状態になるように構成されていることを特徴とする。
In order to solve the above problems, the present invention takes the following technical means. That is, the break device of the present invention includes a table having a mounting surface on which a brittle material substrate is mounted, a beam disposed in parallel with the mounting surface above the table, and an extending direction of the beam. And a plurality of break bars formed to be movable along the guide shaft. Each of the plurality of break bars is formed to be movable up and down via a lifting shaft. In addition, the plurality of break bars are arranged in series along the beam extending direction, and are formed to be rotatable about an axis perpendicular to the mounting surface. It is formed so that it may become a separation posture which becomes mutually parallel along a direction orthogonal to a direction.
Further, each of the break bars has a convex portion formed on one of the adjacent side end portions and a concave portion formed on the other side, and the convex portions and the concave portions of the adjacent side end portions are in a connected state when in the series posture. It is comprised so that it may become.
本発明は上記のようにしたものであるから、ブレイクすべきスクライブラインの長さが、個々のブレイクバーの長さより短い場合は、複数のブレイクバーをビームの延在方向と直交する方向に沿って互いに平行となる分離姿勢にして基板のスクライブラインに向かって同時に下降させることにより、複数のスクライブラインを同時にブレイクすることができ、ブレイクに要する時間を短縮することができる。また、ブレイクすべきスクライブラインが個々のブレイクバーの長さよりも長い場合は、二つのブレイクバーをビームの延在方向に直列に並ぶ直列姿勢にすることによってブレイクすることができるといった効果がある。
そして、隣接するブレイクバーを直列姿勢にする時に、ブレイクバーの隣接する側端部において互いに噛み合う凹部と凸部を設けてあるので、二つのブレイクバーの直線的な連結状態を確実に保持することができるという効果もある。
Since the present invention is as described above, when the length of the scribe line to be broken is shorter than the length of each break bar, a plurality of break bars are arranged along the direction orthogonal to the beam extending direction. Thus, a plurality of scribe lines can be broken simultaneously, and the time required for breaking can be shortened by simultaneously lowering toward the scribe lines of the substrate in a separation posture that is parallel to each other. Further, when the scribe line to be broken is longer than the length of each break bar, there is an effect that the two break bars can be broken by arranging them in series in the beam extending direction.
And, when the adjacent break bars are placed in a series posture, the concave and convex portions that engage with each other are provided at the adjacent side end portions of the break bar, so that the linear connection state of the two break bars can be reliably maintained. There is also an effect that can be done.
本発明において、前記複数のブレイクバーは、互いに平行となる分離姿勢において、ブレイクバー同士の間隔を維持したまま前記ガイド軸に沿って同時に移動できるとともに、それぞれ単独でも移動できるように形成するのがよい。
これにより、複数のブレイクバーが互いに平行となる分離姿勢でブレイクを行う場合に、複数のブレイクバーによるスクライブラインのブレイクを、同じピッチで連続して行うことができ、作業を効率化することができる。また、それぞれ単独でも移動できるようにしたので、ブレイクすべき基板のスクライブラインのピッチが変わった場合でも、複数本のスクライブラインを同時にブレイクすることができる。
In the present invention, the plurality of break bars are formed so that they can move simultaneously along the guide shaft while maintaining the distance between the break bars in a separation posture parallel to each other, and can be moved individually. Good.
This makes it possible to perform scribe line breaks with a plurality of break bars continuously at the same pitch when performing a break in a separation posture in which a plurality of break bars are parallel to each other, thereby improving work efficiency. it can. Further, since each of them can be moved independently, even when the pitch of the scribe lines of the substrate to be broken changes, a plurality of scribe lines can be broken simultaneously.
本発明に係るブレイク装置において、基板の短辺方向のスクライブラインをブレイクする場合の一例を示す斜視図。The perspective view which shows an example in the case of breaking the scribe line of the short side direction of a board | substrate in the breaking apparatus which concerns on this invention. 基板の長辺方向のスクライブラインをブレイクする場合を示す図1同様の斜視図。The perspective view similar to FIG. 1 which shows the case where the scribe line of the long side direction of a board | substrate is broken. 基板ブレイク時の状態を示す断面図。Sectional drawing which shows the state at the time of a substrate break. ブレイクバーの別実施例を示す部分的な斜視図。The fragmentary perspective view which shows another Example of a break bar. 従来のブレイク装置において、基板の長辺方向のスクライブラインをブレイクする場合の一例を示す斜視図。The perspective view which shows an example in the case of breaking the scribe line of the long side direction of a board | substrate in the conventional break device. 基板の短辺方向のスクライブラインをブレイクする場合を示す図5同様の斜視図。The perspective view similar to FIG. 5 which shows the case where the scribe line of the short side direction of a board | substrate is broken. 従来のブレイク装置による基板ブレイク時の状態を示す断面図。Sectional drawing which shows the state at the time of the substrate break by the conventional break device. スクライブラインが形成された基板の一例を示す平面図。The top view which shows an example of the board | substrate with which the scribe line was formed.
以下において、本発明のブレイク装置を図に基づいて詳細に説明する。
図1は、本発明に係るブレイク装置の一例を示す斜視図であって、基板の短辺方向のスクライブラインをブレイクする場合を示すものであり、図2は、基板の長辺方向のスクライブラインをブレイクする場合を示す図1同様の斜視図であり、図3は、基板ブレイク時の拡大断面図である。
Hereinafter, the breaking device of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is a perspective view showing an example of a breaking device according to the present invention, in which a scribe line in the short side direction of the substrate is broken, and FIG. 2 is a scribe line in the long side direction of the substrate. FIG. 3 is a perspective view similar to FIG. 1 showing a case of breaking the substrate, and FIG. 3 is an enlarged sectional view at the time of substrate break.
ブレイク装置1は、ブレイクすべき基板Wを載置するテーブル2を備えている。このテーブル2は、水平なレール3、3に沿ってY方向に移動できるようになっており、モータM1によって回転するネジ軸4により駆動される。またテーブル2は、モータを内蔵する駆動部5により水平面内で回動できるようになっている。   The breaking device 1 includes a table 2 on which a substrate W to be broken is placed. The table 2 can move in the Y direction along the horizontal rails 3 and 3 and is driven by a screw shaft 4 that is rotated by a motor M1. The table 2 can be rotated in a horizontal plane by a drive unit 5 incorporating a motor.
テーブル2は、この上に載置した基板Wを定位置で保持できるように保持手段を備えている。この保持手段として、例えばテーブル2に開口させた多数の小さな吸着孔(図示せず)からのエア吸引によって吸着保持させることができる。   The table 2 includes holding means so that the substrate W placed thereon can be held at a fixed position. As this holding means, for example, it can be sucked and held by air suction from a large number of small suction holes (not shown) opened in the table 2.
テーブル2を挟んで立設された支持柱6、6に、X方向に延びる水平なビーム(横枠)7がテーブル2を跨ぐようにして架設されている。ビーム7には、モータM2によって駆動されるガイド軸8がビーム7の延在方向、即ち、X方向に沿って設けられている。このガイド軸8に沿って二つのホルダ9、9が移動可能に取り付けられており、該ホルダ9、9に左右一対の長尺板状のブレイクバー10、10がそれぞれ取り付けられている。   A horizontal beam (horizontal frame) 7 extending in the X direction is installed on support columns 6, 6 erected with the table 2 interposed therebetween so as to straddle the table 2. The beam 7 is provided with a guide shaft 8 driven by the motor M2 along the extending direction of the beam 7, that is, the X direction. Two holders 9 and 9 are movably attached along the guide shaft 8, and a pair of left and right elongated plate-like break bars 10 and 10 are attached to the holders 9 and 9, respectively.
左右のブレイクバー10、10は、ビーム7の延在方向に沿って一直線上に配置されており、かつ、流体シリンダ11ならびに該流体シリンダ11によって駆動する昇降軸12により昇降可能に形成されている。また、ブレイクバー10の下端は、図3に示すように、長さ方向に稜線10aを有する下向き三角形で形成されている。
さらに、各ブレイクバー10、10は、テーブル2の面に垂直な軸(本実施例では、昇降軸12)を中心として回転可能に形成されており、これにより前記二つのブレイクバー10、10は、図1に示すように、ビーム7の延在方向、即ちX方向に沿って直列に並ぶ直列姿勢と、図2に示すように、ビーム7の延在方向と直交する方向、即ちY方向に沿って互いに平行となる分離姿勢とになるように形成されている。本実施例においては、昇降軸12にブレイクバー10が固着され、この昇降軸12が、ホルダ9内に組み込まれた回動機構(図示外)によって回動することによりブレイクバー10が回転できるようになっている。
The left and right break bars 10, 10 are arranged in a straight line along the extending direction of the beam 7, and are formed to be movable up and down by a fluid cylinder 11 and a lifting shaft 12 driven by the fluid cylinder 11. . Moreover, the lower end of the break bar 10 is formed as a downward triangle having a ridge line 10a in the length direction, as shown in FIG.
Further, each of the break bars 10 and 10 is formed so as to be rotatable about an axis (in this embodiment, the lifting shaft 12) perpendicular to the surface of the table 2, so that the two break bars 10 and 10 are As shown in FIG. 1, in the extending direction of the beam 7, that is, in the series posture arranged in series along the X direction, and in the direction orthogonal to the extending direction of the beam 7, that is, in the Y direction, as shown in FIG. 2. It is formed so that it may become a separation posture which becomes mutually parallel along. In the present embodiment, the break bar 10 is fixed to the lifting shaft 12, and the lifting shaft 12 is rotated by a rotation mechanism (not shown) incorporated in the holder 9 so that the break bar 10 can rotate. It has become.
ブレイクバー10、10をそれぞれ保持する二つのホルダ9、9は、モータM2を駆動することにより、互いの間隔を保持したままガイド軸8に沿って同時に連動して移動することができるとともに、それぞれ単独でも移動できるように形成されている。この単独の移動により、ブレイクバー10、10同士の間隔が調整できるようになっている。この構成は、例えば、ホルダ9とガイド軸8との噛合部に、噛み合いを解除して両者間の伝動を一時的に遮断するクラッチなどの伝動遮断機構(図示せず)を介在させることにより達成できる。ブレイクバー10、10の間隔を調整する場合は、いずれか一方のホルダ9の伝動遮断機構をオンし、他方のホルダ9のみをモータM2を駆動して移動させる。また、間隔を保持したままブレイクバー10、10を移動する場合は、両方の伝動遮断機構を解除して伝動状態にしておけばよい。   The two holders 9 and 9 that respectively hold the break bars 10 and 10 can be moved simultaneously in conjunction with the guide shaft 8 while maintaining a distance from each other by driving the motor M2. It is formed so that it can move alone. The distance between the break bars 10 and 10 can be adjusted by this single movement. This configuration is achieved, for example, by interposing a transmission blocking mechanism (not shown) such as a clutch that releases the engagement and temporarily blocks the transmission between the two at the meshing portion of the holder 9 and the guide shaft 8. it can. When adjusting the space | interval of the break bars 10 and 10, the transmission interruption | blocking mechanism of any one holder 9 is turned ON, and only the other holder 9 drives and moves the motor M2. In addition, when the break bars 10 and 10 are moved with the interval maintained, both transmission blocking mechanisms may be released to be in the transmission state.
次に、図8で示した基板W、即ち、表面に互いに直交するスクライブラインS1、S2が所定のピッチで形成された長方形の基板Wを、上記のブレイク装置1でブレイクする動作について説明する。
まず、基板Wの長辺方向のスクライブラインS1を分断するに際して、図1に示すように、二つのブレイクバー10、10をX方向に沿って直列に並べる。本実施例では互いに連結した連結姿勢としている。そして図3(a)に示すように、スクライブラインS1、S2が下向きとなるようにテーブル2上のクッションシート13の上面に載置する。この場合、長辺方向のスクライブラインS1がブレイクバー10、10の連結方向、即ちX方向と一致するように載置する。なお、二つのブレイクバー10、10を連結した時の長さは、ブレイクすべき長辺方向のスクライブラインS1の長さよりも長くなるように予め設定しておく。この状態で、連結したブレイクバー10、10をスクライブラインS1の真上から下降させて、最初のスクライブラインS1をブレイクし、次いで、スクライブラインS1のピッチ分だけテーブル2をY方向に移動させて次のスクライブラインS1をブレイクする。
図示した基板Wでは、長辺方向のスクライブラインS1は2本あるので、ブレイクバー10を2回下降させることにより、すべての長辺方向のスクライブラインS1をブレイクすることができる。
Next, the operation of breaking the substrate W shown in FIG. 8, that is, the rectangular substrate W in which the scribe lines S1 and S2 orthogonal to each other on the surface are formed at a predetermined pitch will be described.
First, when dividing the scribe line S1 in the long side direction of the substrate W, as shown in FIG. 1, the two break bars 10 and 10 are arranged in series along the X direction. In this embodiment, they are connected to each other. And as shown to Fig.3 (a), it mounts on the upper surface of the cushion sheet 13 on the table 2 so that the scribe lines S1 and S2 may face downward. In this case, the scribe line S1 in the long side direction is placed so as to coincide with the connecting direction of the break bars 10 and 10, that is, the X direction. The length when the two break bars 10, 10 are connected is set in advance so as to be longer than the length of the scribe line S1 in the long side direction to be broken. In this state, the connected break bars 10 and 10 are lowered from directly above the scribe line S1, the first scribe line S1 is broken, and then the table 2 is moved in the Y direction by the pitch of the scribe line S1. Break the next scribe line S1.
In the illustrated substrate W, since there are two long-side scribe lines S1, it is possible to break all the long-side scribe lines S1 by lowering the break bar 10 twice.
長辺方向のスクライブラインS1のブレイクが完了すると、図2に示すように、二つのブレイクバー10、10を分離させて、ビーム7の延在方向と直交する方向、即ちY方向に沿って互いに平行となる分離姿勢にするとともに、ブレイクバー10、10の間隔をスクライブラインS2のピッチと一致するように調整する。なお、それぞれのブレイクバー10の長さは、ブレイクすべき短辺方向のスクライブラインS2の長さよりも長くなるように予め設定しておく。この状態で、二つのブレイクバー10、10をスクライブラインS2、S2の真上から同時に下降させることにより、2本のスクライブラインS2、S2を同時にブレイクする(図3参照)。
次いで、ブレイクバー10、10を、その間隔を保持したまま、次にブレイクすべきスクライブラインS2、S2の真上までガイド軸8に沿って移動させ、上記と同様に下降させてブレイクする。この動作をすべての短辺方向のスクライブラインS2がブレイクされるまで繰り返す。
図示した基板Wでは、短辺方向のスクライブラインS2は5本あるので、ブレイクバー10、10を3回下降させることにより短辺方向のスクライブラインS2のブレイクが完了する。もし短辺方向のスクライブラインS2が10本あれば、5回の下降で10本すべてのスクライブラインS2をブレイクすることができる。
When the breaking of the scribe line S1 in the long side direction is completed, as shown in FIG. 2, the two break bars 10 and 10 are separated, and they are separated from each other along the direction perpendicular to the extending direction of the beam 7, that is, the Y direction. The separation posture becomes parallel, and the interval between the break bars 10 and 10 is adjusted to coincide with the pitch of the scribe lines S2. The length of each break bar 10 is set in advance so as to be longer than the length of the scribe line S2 in the short side direction to be broken. In this state, the two break bars 10 and 10 are simultaneously lowered from above the scribe lines S2 and S2, thereby simultaneously breaking the two scribe lines S2 and S2 (see FIG. 3).
Next, the break bars 10 and 10 are moved along the guide shaft 8 to the position immediately above the scribe lines S2 and S2 to be broken next while maintaining the interval, and are lowered and broken as described above. This operation is repeated until all the scribe lines S2 in the short side direction are broken.
In the illustrated substrate W, there are five scribe lines S2 in the short side direction. Therefore, the break of the scribe line S2 in the short side direction is completed by lowering the break bars 10, 10 three times. If there are 10 scribe lines S2 in the short side direction, all 10 scribe lines S2 can be broken in 5 descendings.
このように、分離姿勢にした2本のブレイクバー10、10を同時に下降させることにより、スクライブラインを2本同時にブレイクすることができてブレイクに要する時間を短縮することができるとともに、互いの間隔を維持したままガイド軸8に沿って移動させることにより、同じ間隔で連続してブレイクを行うことができる。   In this way, by simultaneously lowering the two break bars 10 and 10 in the separated posture, two scribe lines can be broken simultaneously, so that the time required for the break can be shortened and the distance between each other can be reduced. Breaking can be performed continuously at the same interval by moving along the guide shaft 8 while maintaining the above.
また、基板Wの長辺方向のスクライブラインS1の長さが各ブレイクバー10、10の長さより短い場合は、短辺方向のスクライブラインS2のブレイク時と同じように、ブレイクバー10、10を互いに平行な分離姿勢とし、テーブル2を回転させてスクライブラインS1がY方向と一致するように基板Wを配置することによって、長辺方向のスクライブラインS1も2本同時にブレイクすることができる。これにより、ブレイクに要する時間の短縮をさらに助長することができる。   Further, when the length of the scribe line S1 in the long side direction of the substrate W is shorter than the length of each break bar 10, 10, the break bar 10, 10 is set in the same manner as during the break of the scribe line S2 in the short side direction. By placing the substrate W so that the separation postures are parallel to each other and the table 2 is rotated so that the scribe line S1 coincides with the Y direction, the two scribe lines S1 in the long side direction can be simultaneously broken. Thereby, shortening of the time required for the break can be further promoted.
なお、図4に示すように、二つのブレイクバー10、10を一直線上に連結した際、ブレイクバー10、10の隣接する側端部に、互いに噛み合う凹部10cと凸部10bを設けるのがよい。これにより、二つのブレイクバー10、10両者の直線的な連結状態を確実に保持することができる。   In addition, as shown in FIG. 4, when the two break bars 10 and 10 are connected on a straight line, it is good to provide the recessed part 10c and the convex part 10b which mutually mesh in the adjacent edge part of the break bars 10 and 10. FIG. . Thereby, the linear connection state of the two break bars 10 and 10 can be reliably maintained.
以上、本発明の代表的な実施例について説明したが、本発明は必ずしも上記の実施例のみに限定されるものではない。例えば、上記実施例では、ブレイクバー10を二つ設けた例を示したが、三つあるいはそれ以上設置することも可能である。その他本発明の目的を達成し、請求の範囲を逸脱しない範囲内で適宜修正、変更することができる。   As mentioned above, although the typical Example of this invention was described, this invention is not necessarily limited only to said Example. For example, in the above-described embodiment, an example in which two break bars 10 are provided has been described. However, three or more break bars 10 may be provided. In addition, the object of the present invention can be achieved and modified and changed as appropriate without departing from the scope of the claims.
本発明は、ガラス、セラミック、サファイア、半導体ウエハなどの脆性材料からなる基板のブレイク装置に適用することができる。   The present invention can be applied to a substrate breaker made of a brittle material such as glass, ceramic, sapphire, and a semiconductor wafer.
W 脆性材料基板
S1 長辺方向のスクライブライン
S2 短辺方向のスクライブライン
1 ブレイク装置
2 テーブル
7 ビーム
8 ガイド軸
9 ホルダ
10 ブレイクバー
11 流体シリンダ
12 昇降軸
13 クッションシート
W Brittle material substrate S1 Long side scribe line S2 Short side scribe line 1 Break device 2 Table 7 Beam 8 Guide shaft 9 Holder 10 Break bar 11 Fluid cylinder 12 Lifting shaft 13 Cushion sheet

Claims (2)

  1. 脆性材料基板を載置する載置面を有するテーブルと、
    前記テーブルの上方で前記載置面と平行に配置されたビームと、
    前記ビームの延在方向に沿って該ビームに設けられたガイド軸と、
    前記ガイド軸に沿って移動可能に形成された複数のブレイクバーとからなり、
    前記複数のブレイクバーのそれぞれは、昇降軸を介して昇降可能に形成され、かつ、前記載置面に垂直な軸を中心として回転可能に形成されており、これにより前記複数のブレイクバーが、ビームの延在方向に沿って直列に並ぶ直列姿勢と、ビームの延在方向と直交する方向に沿って互いに平行となる分離姿勢とになるように形成され
    前記各ブレイクバーには、隣接する側端部の一方に凸部が形成されるとともに他方に凹部が形成され、直列姿勢の時に隣接する側端部の凸部と凹部とが連結状態になるように構成されている脆性材料基板のブレイク装置。
    A table having a mounting surface for mounting a brittle material substrate;
    A beam disposed above the table and parallel to the placement surface;
    A guide shaft provided on the beam along the extending direction of the beam;
    A plurality of break bars formed to be movable along the guide shaft,
    Each of the plurality of break bars is formed so as to be movable up and down via a lifting shaft, and is formed to be rotatable around an axis perpendicular to the placement surface, whereby the plurality of break bars are It is formed so as to have a series posture aligned in series along the extending direction of the beam and a separating posture parallel to each other along a direction orthogonal to the extending direction of the beam ,
    Each break bar has a convex portion formed at one of the adjacent side end portions and a concave portion formed at the other, so that the convex portions and the concave portions of the adjacent side end portions are connected to each other when in the series posture. Breaking device for brittle material substrate constructed in
  2. 前記複数のブレイクバーは、前記分離姿勢において、ブレイクバー同士の間隔を維持したまま前記ガイド軸に沿って同時に移動できるとともに、それぞれ単独でも移動できるように形成されている請求項1に記載のブレイク装置。   2. The break bar according to claim 1, wherein the plurality of break bars are configured to be able to move simultaneously along the guide shaft while maintaining an interval between the break bars in the separation posture, and to be able to move individually. apparatus.
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