JP5965199B2 - 異方性導電接着剤及びその製造方法、発光装置及びその製造方法 - Google Patents

異方性導電接着剤及びその製造方法、発光装置及びその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP5965199B2
JP5965199B2 JP2012094141A JP2012094141A JP5965199B2 JP 5965199 B2 JP5965199 B2 JP 5965199B2 JP 2012094141 A JP2012094141 A JP 2012094141A JP 2012094141 A JP2012094141 A JP 2012094141A JP 5965199 B2 JP5965199 B2 JP 5965199B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
anisotropic conductive
conductive adhesive
light emitting
emitting element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2012094141A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2013221104A (ja
Inventor
秀次 波木
秀次 波木
士行 蟹澤
士行 蟹澤
英明 馬越
英明 馬越
青木 正治
正治 青木
明 石神
明 石神
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dexerials Corp
Original Assignee
Dexerials Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dexerials Corp filed Critical Dexerials Corp
Priority to JP2012094141A priority Critical patent/JP5965199B2/ja
Priority to PCT/JP2013/061318 priority patent/WO2013157552A1/ja
Priority to KR1020147031743A priority patent/KR20150002805A/ko
Priority to TW102113581A priority patent/TWI579366B/zh
Publication of JP2013221104A publication Critical patent/JP2013221104A/ja
Priority to US14/515,648 priority patent/US20150034989A1/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5965199B2 publication Critical patent/JP5965199B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J9/00Adhesives characterised by their physical nature or the effects produced, e.g. glue sticks
    • C09J9/02Electrically-conducting adhesives
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08JWORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J3/00Processes of treating or compounding macromolecular substances
    • C08J3/12Powdering or granulating
    • C08J3/128Polymer particles coated by inorganic and non-macromolecular organic compounds
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J11/00Features of adhesives not provided for in group C09J9/00, e.g. additives
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J201/00Adhesives based on unspecified macromolecular compounds
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22CALLOYS
    • C22C5/00Alloys based on noble metals
    • C22C5/06Alloys based on silver
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14Metallic material, boron or silicon
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01BCABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B1/00Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors
    • H01B1/20Conductive material dispersed in non-conductive organic material
    • H01B1/22Conductive material dispersed in non-conductive organic material the conductive material comprising metals or alloys
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/02Bonding areas ; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/04Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L24/06Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of a plurality of bonding areas
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/28Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
    • H01L24/29Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L24/83Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/005Processes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/44Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the coatings, e.g. passivation layer or anti-reflective coating
    • H01L33/46Reflective coating, e.g. dielectric Bragg reflector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/62Arrangements for conducting electric current to or from the semiconductor body, e.g. lead-frames, wire-bonds or solder balls
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08KUse of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K3/00Use of inorganic substances as compounding ingredients
    • C08K3/02Elements
    • C08K3/08Metals
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08KUse of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K9/00Use of pretreated ingredients
    • C08K9/12Adsorbed ingredients, e.g. ingredients on carriers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/02Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/04Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L2224/0401Bonding areas specifically adapted for bump connectors, e.g. under bump metallisation [UBM]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/02Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/04Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L2224/06Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of a plurality of bonding areas
    • H01L2224/061Disposition
    • H01L2224/06102Disposition the bonding areas being at different heights
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/13Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/13001Core members of the bump connector
    • H01L2224/13099Material
    • H01L2224/131Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • H01L2224/13138Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/13144Gold [Au] as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/14Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of a plurality of bump connectors
    • H01L2224/1401Structure
    • H01L2224/1403Bump connectors having different sizes, e.g. different diameters, heights or widths
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/16238Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation the bump connector connecting to a bonding area protruding from the surface of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/28Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/29Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/29001Core members of the layer connector
    • H01L2224/29099Material
    • H01L2224/29198Material with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials in the form of a matrix with a filler, i.e. being a hybrid material, e.g. segmented structures, foams
    • H01L2224/29199Material of the matrix
    • H01L2224/2929Material of the matrix with a principal constituent of the material being a polymer, e.g. polyester, phenolic based polymer, epoxy
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/28Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/29Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/29001Core members of the layer connector
    • H01L2224/29099Material
    • H01L2224/29198Material with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials in the form of a matrix with a filler, i.e. being a hybrid material, e.g. segmented structures, foams
    • H01L2224/29298Fillers
    • H01L2224/29299Base material
    • H01L2224/2939Base material with a principal constituent of the material being a polymer, e.g. polyester, phenolic based polymer, epoxy
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/28Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/29Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/29001Core members of the layer connector
    • H01L2224/29099Material
    • H01L2224/29198Material with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials in the form of a matrix with a filler, i.e. being a hybrid material, e.g. segmented structures, foams
    • H01L2224/29298Fillers
    • H01L2224/29399Coating material
    • H01L2224/294Coating material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • H01L2224/29438Coating material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/29439Silver [Ag] as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/28Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/29Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/29001Core members of the layer connector
    • H01L2224/29099Material
    • H01L2224/29198Material with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials in the form of a matrix with a filler, i.e. being a hybrid material, e.g. segmented structures, foams
    • H01L2224/29298Fillers
    • H01L2224/29399Coating material
    • H01L2224/294Coating material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • H01L2224/29438Coating material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/29444Gold [Au] as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/28Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/29Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/29001Core members of the layer connector
    • H01L2224/29099Material
    • H01L2224/29198Material with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials in the form of a matrix with a filler, i.e. being a hybrid material, e.g. segmented structures, foams
    • H01L2224/29298Fillers
    • H01L2224/29399Coating material
    • H01L2224/294Coating material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • H01L2224/29438Coating material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/29455Nickel [Ni] as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321Disposition
    • H01L2224/32151Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/32221Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/32225Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/49105Connecting at different heights
    • H01L2224/49107Connecting at different heights on the semiconductor or solid-state body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73265Layer and wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/81Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
    • H01L2224/8119Arrangement of the bump connectors prior to mounting
    • H01L2224/81192Arrangement of the bump connectors prior to mounting wherein the bump connectors are disposed only on another item or body to be connected to the semiconductor or solid-state body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/83Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • H01L2224/831Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector the layer connector being supplied to the parts to be connected in the bonding apparatus
    • H01L2224/83101Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector the layer connector being supplied to the parts to be connected in the bonding apparatus as prepeg comprising a layer connector, e.g. provided in an insulating plate member
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/83Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • H01L2224/8319Arrangement of the layer connectors prior to mounting
    • H01L2224/83192Arrangement of the layer connectors prior to mounting wherein the layer connectors are disposed only on another item or body to be connected to the semiconductor or solid-state body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/83Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • H01L2224/838Bonding techniques
    • H01L2224/8385Bonding techniques using a polymer adhesive, e.g. an adhesive based on silicone, epoxy, polyimide, polyester
    • H01L2224/83851Bonding techniques using a polymer adhesive, e.g. an adhesive based on silicone, epoxy, polyimide, polyester being an anisotropic conductive adhesive
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L24/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/06Polymers
    • H01L2924/078Adhesive characteristics other than chemical
    • H01L2924/07802Adhesive characteristics other than chemical not being an ohmic electrical conductor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/06Polymers
    • H01L2924/078Adhesive characteristics other than chemical
    • H01L2924/0781Adhesive characteristics other than chemical being an ohmic electrical conductor
    • H01L2924/07811Extrinsic, i.e. with electrical conductive fillers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/12Passive devices, e.g. 2 terminal devices
    • H01L2924/1204Optical Diode
    • H01L2924/12041LED
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2933/00Details relating to devices covered by the group H01L33/00 but not provided for in its subgroups
    • H01L2933/0008Processes
    • H01L2933/0025Processes relating to coatings
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2933/00Details relating to devices covered by the group H01L33/00 but not provided for in its subgroups
    • H01L2933/0008Processes
    • H01L2933/0033Processes relating to semiconductor body packages
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2933/00Details relating to devices covered by the group H01L33/00 but not provided for in its subgroups
    • H01L2933/0008Processes
    • H01L2933/0033Processes relating to semiconductor body packages
    • H01L2933/0066Processes relating to semiconductor body packages relating to arrangements for conducting electric current to or from the semiconductor body

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Led Device Packages (AREA)
  • Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
  • Conductive Materials (AREA)
  • Manufacturing Of Electrical Connectors (AREA)
  • Connections Effected By Soldering, Adhesion, Or Permanent Deformation (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Description

本発明は、異方性導電接着剤に関し、特にLED(発光ダイオード)等の半導体素子の配線基板へのフリップチップ実装に用いる異方性導電接着剤の技術に関する。
近年、LEDを用いた光機能素子が注目されている。
このような光機能素子としては、小型化等のため、LEDチップを配線基板上に直接実装するフリップチップ実装が行われている。
配線基板上にLEDチップをフリップチップ実装する方法としては、図4(a)〜(c)に示すように、従来、種々のものが知られている。
図4(a)は、ワイヤボンディングによる実装方法である。
図4(a)に示す発光装置101では、LEDチップ103の第1及び第2の電極104、105を上側(配線基板102と反対側)にした状態で、LEDチップ103を配線基板102上にダイボンド接着剤110、111によって固定する。
そして、ボンディングワイヤ106、108によって配線基板102上の第1及び第2のパターン電極107、109とLEDチップ103の第1及び第2の電極104、105をそれぞれ電気的に接続する。
図4(b)は、導電性ペーストによる実装方法である。
図4(b)に示す発光装置121では、LEDチップ103の第1及び第2の電極104、105を配線基板102側に向けた状態で、これら第1及び第2の電極104、105と配線基板102の第1及び第2のパターン電極124、125とを、例えば銅ペースト等の導電性ペースト122、123によって電気的に接続するとともに、封止樹脂126、127によってLEDチップ103を配線基板102上に接着する。
図4(c)は、異方性導電接着剤による実装方法である。
図4(c)に示す発光装置131では、LEDチップ103の第1及び第2の電極104、105を配線基板102側に向けた状態で、これら第1及び第2の電極104、105と、配線基板102の第1及び第2のパターン電極124、125上に設けたバンプ132、133とを、異方性導電接着剤134中の導電性粒子135によって電気的に接続するとともに、異方性導電接着剤134中の絶縁性接着剤樹脂136によってLEDチップ103を配線基板102上に接着する。
しかしながら、上述した従来技術には、種々の課題がある。
まず、ワイヤボンディングによる実装方法においては、金からなるボンディングワイヤ106、108が例えば波長が400〜500nmの光を吸収するため、発光効率が低下してしまう。
また、この方法の場合、オーブンを用いてダイボンド接着剤110、111を硬化させるため、硬化時間が長く、生産効率を向上させることが困難である。
一方、導電性ペースト122、123を用いる実装方法では、導電性ペースト122、123のみの接着力は弱く、封止樹脂126、127による補強が必要となるが、この封止樹脂により、導電性ペースト122、123内へ光が拡散したり、導電性ペースト122、123内において光が吸収されることにより、発光効率が低下してしまう。
また、この方法の場合、オーブンを用いて封止樹脂126、127を硬化させるため、硬化時間が長く、生産効率を向上させることが困難である。
他方、異方性導電接着剤134を用いる実装方法では、異方性導電接着剤134中の導電性粒子135の色が茶色であるため絶縁性接着剤樹脂136の色も茶色になり、異方性導電接着剤134内において光が吸収されることにより、発光効率が低下してしまう。
このような問題を解決するため、光の反射率が高く、電気抵抗が低い銀(Ag)を用いて導電層を形成することによって光の吸収を抑え、発光効率を低下させることのない異方性導電接着剤を提供することも提案されている。
しかし、銀は化学的に不安定な材料であるため、酸化や硫化しやすいという問題があり、また、熱圧着後において、通電を行うことによってマイグレーションが発生し、これにより配線部分の断線や接着剤の劣化による接着強度の低下を引き起こすという問題がある。
かかる問題を解決するため、例えば特許文献4に記載されているように、反射率、耐食性、耐マイグレーション性に優れたAg系薄膜合金も提案されている。
このAg系薄膜合金を導電性粒子の表面に被覆すれば、耐食性、耐マイグレーション性は向上するが、このAg系薄膜合金を最表層に用い、下地層に例えばニッケルを用いると、ニッケルの反射率がAgより低いため、導電性粒子全体の反射率が低下してしまうという問題がある。
特開2005−120375号公報 特開平5−152464号公報 特開2003−26763号公報 特開2008−266671号公報
本発明は、このような従来の技術の課題を考慮してなされたもので、その目的とするところは、Ag系金属を導電層とする導電性粒子を用い、光反射率が高く、しかも優れた耐マイグレーション性を有する異方性導電接着剤の技術を提供することにある。
上記目的を達成するためになされた本発明は、絶縁性接着剤樹脂中に光反射性の導電性粒子を含有する異方性導電接着剤であって、前記導電性粒子が、核となる樹脂粒子の表面に、銀と、金と、ハフニウムとを含有する合金からなる光反射性金属層が形成されてなるものであり、前記導電性粒子における光反射性金属層の組成比が、銀が50重量%以上80重量%以下、金が10重量%以上45重量%以下、ハフニウムが10重量%以上40重量%以下で、全体として100重量%を超えない範囲であるものである
発明では、上述した異方性導電接着剤を製造する方法であって、前記光反射性金属層を、スパッタリング法によって形成する工程を有するものである。
一方、本発明は、対となる接続電極を有する配線基板と、前記配線基板の対となる接続電極にそれぞれ対応する接続電極を有する発光素子とを備え、上述した異方性導電接着剤によって前記発光素子が前記配線基板上に接着され、かつ、当該発光素子の接続電極が、当該異方性導電接着剤の導電性粒子を介して当該配線基板の対応する接続電極に対しそれぞれ電気的に接続されている発光装置である。
また、本発明は、対となる接続電極を有する配線基板と、前記配線基板の接続電極にそれぞれ対応する接続電極を有する発光素子とを用意し、前記配線基板の接続電極と前記発光素子の接続電極を対向する方向に配置した状態で、当該発光素子と当該発光素子との間に上述した異方性導電接着剤を配置し、前記配線基板に対して前記発光素子を熱圧着する工程を有する発光装置の製造方法である。
本発明の場合、異方性導電接着剤の導電性粒子が、核となる樹脂粒子の表面に、銀と、金と、ハフニウムとを含有する合金からなる光反射性金属層が形成されており、銀と同等の反射率を有することから、異方性導電接着剤による光の吸収を最小限に抑えることができる。
その結果、本発明の異方性導電接着剤を用いて配線基板上に発光素子を実装すれば、発光素子の発光効率を低下させることがなく、効率良く光を取り出すことが可能な発光装置を提供することができる。
また、本発明の異方性導電接着剤は、導電性粒子の光反射性金属層がマイグレーションの起こりにくいハフニウム及び金を含む合金からなることから、耐マイグレーション性を向上させることができる。
一方、本発明の方法によれば、異方性導電接着剤の配置と熱圧着工程という簡素で迅速な工程により、上述した顕著な効果を奏する発光装置を製造することができるので、生産効率を大幅に向上させることができる。
本発明によれば、Ag系金属を導電層とする導電性粒子を用い、光反射率が高く、しかも優れた耐マイグレーション性を有する異方性導電接着剤の技術を提供することができる。
(a):本発明に係る異方性導電接着剤の構成を模式的に示す断面図である。(b):本発明に用いる導電性粒子の構成を示す拡大断面図である(その1)。(c):本発明に用いる導電性粒子の構成を示す拡大断面図である(その2)。(d):本発明に係る発光装置の実施の形態の構成を示す断面図である。 (a)〜(c):本発明の発光装置の製造工程の実施の形態を示す図である。 異方導電性接着剤の入射光の波長に対する反射率の関係を示すグラフである。 (a):ワイヤボンディングによる実装方法を示す図である。(b):導電性ペーストによる実装方法を示す図である。(c):異方性導電接着剤による実装方法である。
以下、本発明の好ましい実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
なお、本発明は、ペースト状の異方導電性接着剤に特に好ましく適用することができるものである。
図1(a)は、本発明に係る異方性導電接着剤の構成を模式的に示す断面図、図1(b)及び(c)は、本発明に用いる導電性粒子の構成を示す拡大断面図、図1(d)は、本発明に係る発光装置の実施の形態の構成を示す断面図である。
図1(a)に示すように、本発明の異方性導電接着剤1は、絶縁性接着剤樹脂2中に、複数の導電性粒子3が分散された状態で含有してなるものである。
本発明の場合、絶縁性接着剤樹脂2としては、特に限定されることはないが、透明性、接着性、耐熱性、機械的強度、電気絶縁性に優れる観点からは、エポキシ樹脂と、その硬化剤とを含む組成物を好適に用いることができる。
エポキシ系樹脂は、具体的には、脂環式エポキシ化合物や複素環式エポキシ化合物や水素添加エポキシ化合物などである。脂環式エポキシ化合物としては、分子内に2つ以上のエポキシ基を有するものが好ましく挙げられる。これらは液状であっても、固体状であってもよい。具体的には、グリシジルヘキサヒドロビスフェノールA、3,4−エポキシシクロヘキセニルメチル−3',4'−エポキシシクロヘキセンカルボキシレート等を挙げることができる。中でも、硬化物にLED素子の実装等に適した光透過性を確保でき、速硬化性にも優れている点から、グリシジルヘキサヒドロビスフェノールA、3,4−エポキシシクロヘキセニルメチル−3',4'−エポキシシクロヘキセンカルボキシレートを好ましく使用することができる。
複素環系エポキシ化合物としては、トリアジン環を有するエポキシ化合物を挙げることができ、特に好ましくは1,3,5−トリス(2,3−エポキシプロピル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6−(1H,3H,5H)−トリオンを挙げることができる。
水素添加エポキシ化合物としては、先述の脂環式エポキシ化合物や複素環式エポキシ化合物の水素添加物や、その他公知の水素添加エポキシ樹脂を使用することができる。
また、これらのエポキシ化合物に加えて本発明の効果を損なわない限り、他のエポキシ樹脂を併用してもよい。例えば、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、テトラメチルビスフェノールA、ジアリールビスフェノールA、ハイドロキノン、カテコール、レゾルシン、クレゾール、テトラブロモビスフェノールA、トリヒドロキシビフェニル、ベンゾフェノン、ビスレゾルシノール、ビスフェノールヘキサフルオロアセトン、テトラメチルビスフェノールA、テトラメチルビスフェノールF、トリス(ヒドロキシフェニル)メタン、ビキシレノール、フェノールノボラック、クレゾールノボラックなどの多価フェノールとエピクロルヒドリンとを反応させて得られるグリシジルエーテル1グリセリン、ネオペンチルグリコール、エチレングリコール、プロピレングリコール、チレングリコール、ヘキシレングリコール、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコールなどの脂肪族多価アルコールとエピクロルヒドリンとを反応させて得られるポリグリシジルエーテルlp−オキシ安息香酸、β−オキシナフトエ酸のようなヒドロキシカルボン酸とエピクロルヒドリンとを反応させて得られるグリシジルエーテルエステル1フタル酸、メチルフタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、テトラハイドロフタル酸、エンドメチレンテトラハイドロフタル酸、エンドメチレンヘキサハイドロフタル酸、トリメリット酸、重合脂肪酸のようなポリカルボン酸から得られるポリグリシジルエステル1アミノフェノール、アミノアルキルフェノールから得られるグリシジルアミノグリシジルエーテル1アミノ安息香酸から得られるグリシジルアミノグリシジルエステル1アニリン、トルイジン、トリブロムアニリン、キシリレンジアミン、ジアミノシクロヘキサン、ビスアミノメチルシクロヘキサン、4,4'−ジアミノジフェニルメタン、4,4'−ジアミノジフェニルスルホンなどから得られるグリシジルアミン1エポキシ化ポリオレフィン等の公知のエポキシ樹脂類が挙げられる。
また、硬化剤としては、酸無水物、イミダゾール化合物、ジシアンなどを挙げることができる。中でも、硬化剤を変色させ難い酸無水物、特に脂環式酸無水物系硬化剤を好ましく使用することができる。具体的には、メチルヘキサヒドロフタル酸無水物等を好ましく挙げることができる。
なお、脂環式のエポキシ化合物と脂環式酸無水物系硬化剤とを使用する場合、それぞれの使用量は、脂環式酸無水物形硬化剤が少なすぎると未硬化エポキシ化合物が多くなり、多すぎると余剰の硬化剤の影響で被着体材料の腐食が促進される傾向があるので、脂環式エポキシ化合物100質量部に対し、好ましくは80〜120質量部、より好ましくは95〜105質量部の割合で使用することができる。
また、異方導電性接着剤1全体の反射率を向上させる観点からは、絶縁性接着剤樹脂2として、硬化後において、例えば青色光のピーク波長であるピーク波長460nmにおける反射率が30%以上のものを用いることが好ましい。
図1(b)に示すように、本発明の導電性粒子3は、核となる球状の樹脂粒子30を有し、この樹脂粒子30の表面に、銀合金からなる光反射性金属層31が形成されている。
本発明の場合、樹脂粒子30は、特に限定されることはないが、高い導通信頼性を得る観点からは、例えば架橋ポリスチレン系、ベンゾグアナミン系、ナイロン系、PMMA(ポリメタクリレート)系などからなる樹脂粒子を好適に用いることができる。
樹脂粒子30の大きさは、特に限定されることはないが、高い導通信頼性を得る観点からは、平均粒径で3μm〜5μmのものを好適に用いることができる。
また、光反射性金属層31との密着性を向上させる観点からは、図1(c)に示すように、樹脂粒子30の表面に例えばニッケルや金等の金属による下地めっき層32を形成したものを用いることもできる。
光反射性金属層31は、銀(Ag)と、金(Au)と、ハフニウム(Hf)とを含む合金からなるものである。
この場合、銀としては、純度(金属中における割合)が98重量%以上のものを用いることが好ましい。
本発明の場合、光反射性金属層31の形成方法は、特に限定されることはないが、銀合金を均一に被覆する観点からは、スパッタリング法を採用することが好ましい。
スパッタリング法は、物体に薄膜を形成する方法の一つであり、真空中で行うものである。スパッタリング法では、容器内を真空にした状態でスパッタガスを導入し、成膜対象物とスパッタリングターゲットとの間に電圧を印加してグロー放電を生じさせる。これにより発生した電子やイオンが高速でターゲットに衝突することにより、ターゲット材料の粒子が弾き飛ばされ、その粒子(スパッタ粒子)が成膜対象物の表面に付着して薄膜が形成される。
ここで、本発明のような微小な粒子にスパッタリングによって薄膜を形成する方法としては、一次粒子まで分散させた微粒子を装置内の容器にセットし、容器を回転させて微粒子を流動させるとよい。すなわち、このような流動状態の微粒子に対してスパッタリングを行うことにより、各微粒子の全面にターゲット材料のスパッタ粒子が衝突し、各微粒子の全面に薄膜を形成させることができる。
また、本発明に適用するスパッタリング法としては、二極スパッタリング法、マグネトロンスパッタリング法、高周波スパッタリング法、反応性スパッタリング法を含む公知のスパッタリング法を採用することが可能である。
本発明の場合、光反射性金属層31の組成比は特に限定されることはないが、所望の反射率及び耐マイグレーション性を確保する観点からは、銀が50重量%以上80重量%以下、金が10重量%以上45重量%以下、ハフニウムが10重量%以上40重量%以下で、全体として100重量%を超えない範囲に調整することが好ましい。
ここで、金の比率が大きくなると、反射率が低下する傾向があり、ハフニウムの比率が大きくなると、導通性が低下する傾向があり、他方、金及びハフニウムの比率が小さくなると、耐マイグレーション性が低下する傾向がある。
本発明の場合、光反射性金属層31の組成比を調整する方法としては、例えば、スパッタリングの際に、銀と、金と、ハフニウムとを含む合金からなるターゲット(図示せず)を用い、その組成比を調整することによって行うことができる。
なお、光反射性金属層31において、他に含有する金属としては、例えば、ビスマス、ネオジム等があげられる。
本発明の場合、光反射性金属層31の厚さは特に限定されることはないが、所望の反射率を確保する観点からは、0.1μm以上に設定することが好ましい。
本発明の場合、絶縁性接着剤樹脂2に対する導電性粒子3の含有量は特に限定されることはないが、光反射率、耐マイグレーション性、絶縁性の確保を考慮すると、絶縁性接着剤樹脂2を100重量部に対し、導電性粒子3を1以上100重量部以下含有させることが好ましい。
本発明の異方性導電接着剤1を製造するには、例えば、所定のエポキシ樹脂等を溶解させた溶液に、所定の溶剤に分散させた上記導電性粒子3を加えて混合してバインダーペーストを調製する。
ここで、異方性導電接着剤フィルムを製造する場合には、このバインダーペーストを例えばポリエステルフィルム等の剥離フィルム上にコーティングし、乾燥後、カバーフィルムをラミネートして所望の厚さの異方導電性接着フィルムを得る。
一方、図1(d)に示すように、本実施の形態の発光装置10は、例えばセラミックスからなる配線基板20と、この配線基板20上に発光素子40が実装されて構成されている。
本実施の形態の場合、配線基板20上には、対となる接続電極として、第1及び第2の接続電極21、22が、例えば、銀めっきによって所定のパターン形状に形成されている。
第1及び第2の接続電極21、22の例えば隣接する端部には、例えばスタッドバンプからなる凸状の端子部21b、22bがそれぞれ設けられている。
一方、発光素子40としては、例えば、ピーク波長が400nm以上500nm以下の可視光を発光するLED(発光ダイオード)が用いられている。
本発明は、特に、ピーク波長が460nm近傍の青色用のLEDを好適に用いることができる。
発光素子40は、その本体部40aが例えば長方体形状に形成され、一方の面上に、アノード電極及びカソード電極である、第1及び第2の接続電極41、42が設けられている。
ここで、配線基板20の第1及び第2の接続電極21、22の端子部21b、22bと、発光素子40の第1及び第2の接続電極41、42とは、対向させて配置した場合に、各接続部分が対向するように、それぞれの大きさ並びに形状が設定されている。
そして、発光素子40が、硬化させた上記異方性導電接着剤1によって配線基板20上に接着されている。
さらに、発光素子40の第1及び第2の接続電極41、42が、異方性導電接着剤1の導電性粒子3を介して配線基板20の対応する第1及び第2の接続電極21、22(端子部21b、22b)に対しそれぞれ電気的に接続されている。
すなわち、発光素子40の第1の接続電極41が、導電性粒子3の接触によって配線基板20の第1の接続電極21の端子部21bに対し電気的に接続されるとともに、発光素子40の第2の接続電極42が、導電性粒子3の接触によって配線基板20の第2の接続電極22の端子部22bに対し電気的に接続されている。
その一方で、配線基板20の第1の接続電極21及び発光素子40の第1の接続電極41と、配線基板20の第2の接続電極22及び発光素子40の第2の接続電極42とは、異方性導電接着剤1中の絶縁性接着剤樹脂2によって互いに絶縁されている。
図2(a)〜(c)は、本発明の発光装置の製造工程の実施の形態を示す図である。
まず、図2(a)に示すように、対となる第1及び第2の接続電極21、22を有する配線基板20と、配線基板20の第1及び第2の接続電極21、22にそれぞれ対応する第1及び第2の接続電極41、42を有する発光素子40とを用意する。
そして、配線基板20の第1及び第2の接続電極21、22の端子部21b、22bと、発光素子40の第1及び第2の接続電極41、42とを、対向する方向に配置した状態で、配線基板20の第1及び第2の接続電極21、22の端子部21b、22bを覆うように未硬化のペースト状の異方性導電接着剤1aを配置する。
なお、例えば未硬化の異方性導電接着剤1aがフィルム状のものである場合には、例えば図示しない貼付装置によって未硬化の異方性導電接着剤1aを、配線基板20の第1及び第2の接続電極21、22が設けられた側の面の所定位置に貼り付ける。
そして、図2(b)に示すように、未硬化の異方性導電接着剤1a上に発光素子40を載置し、図示しない熱圧着ヘッドによって発光素子40の発光側の面、すなわち、第1及び第2の接続電極41、42が設けられた側と反対側の面40bに対して所定の圧力及び温度で加圧・加熱を行う。
これにより、未硬化の異方性導電接着剤1aの絶縁性接着剤樹脂2aが硬化し、図2(c)に示すように、その接着力によって発光素子40が配線基板20上に接着固定される。
また、この熱圧着工程において、配線基板20の第1及び第2の接続電極21、22の端子部21b、22bと、発光素子40の第1及び第2の接続電極41、42とに複数の導電性粒子3がそれぞれ接触して加圧され、その結果、発光素子40の第1の接続電極41と配線基板20の第1の接続電極21、並びに、発光素子40の第2の接続電極42と配線基板20の第2の接続電極22が、それぞれ電気的に接続される。
その一方で、配線基板20の第1の接続電極21及び発光素子40の第1の接続電極41と、配線基板20の第2の接続電極22及び発光素子40の第2の接続電極42とは、異方性導電接着剤1中の絶縁性接着剤樹脂2によって互いに絶縁された状態になる。
そして、以上の工程により、目的とする発光装置10が得られる。
以上述べた本実施の形態によれば、異方性導電接着剤1の導電性粒子3が、核となる樹脂粒子30の表面に、銀と、金と、ハフニウムとを含有する合金からなる光反射性金属層31が形成されており、銀と同等の反射率を有することから、異方性導電接着剤1による光の吸収を最小限に抑えることができる。
その結果、本実施の形態の異方性導電接着剤1を用いて配線基板20上に発光素子40を実装すれば、発光素子40の発光効率を低下させることがなく、効率良く光を取り出すことが可能な発光装置10を提供することができる。
また、本発明の異方性導電接着剤1は、導電性粒子3の光反射性金属層31がマイグレーションの起こりにくいハフニウム及び金を含む合金からなることから、耐マイグレーション性を向上させることができる。
一方、本実施の形態の方法によれば、異方性導電接着剤1の配置工程と、熱圧着工程という簡素で迅速な工程により、発光装置10を製造することができるので、生産効率を大幅に向上させることができる。
なお、本発明は上述した実施の形態に限られることなく、種々の変更を行うことができる。
例えば、図1(c)及び図2(a)〜(c)に示す発光装置10は、その形状や大きさを簡略化して模式的に示したもので、配線基板並びに発光素子の接続電極の形状、大きさ及び数等については、適宜変更することができる。
また、本発明は例えばピーク波長が460nm近傍の青色用の発光素子のみならず、種々のピーク波長を有する発光素子に適用することができる。
ただし、本発明は、ピーク波長が460nm近傍の発光素子に適用した場合に最も効果があるものである。
以下、実施例及び比較例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
<接着剤組成物>
エポキシ樹脂(ダイセル化学工業社製 CEL2021P)100重量部、硬化剤として、メチルヘキサヒドロフタル酸無水物(新日本理化社製 MH−700)100重量部、硬化促進剤(四国化学社製 2E4MZ)2重量部及び溶剤であるトルエンを用いて接着剤組成物を調製した。
<導電性粒子の作成>
〔実施例粒子1〕
平均粒径5μmの架橋アクリル樹脂からなる樹脂粒子(根上工業社製 アートパール J−6P)の表面に、スパッタリング法により、厚さ0.2μmの銀合金(銀:金:ハフニウム=60:30:20)からなる光反射性金属層を形成した。
この場合、スパッタリング装置としては、(共立社製 粉体スパッタリング装置)を用い、スパッタターゲットとしては、溶解、鋳造法により作製したAg・Au・Hf合金ターゲットを用いた。
〔実施例粒子2〕
光反射性金属層の組成比を銀:金:ハフニウム=50:10:40とした以外は実施例粒子1と同一の条件で実施例粒子2を作成した。
〔実施例粒子3〕
光反射性金属層の組成比を銀:金:ハフニウム=50:40:10とした以外は実施例粒子1と同一の条件で実施例粒子3を作成した。
〔実施例粒子4〕
光反射性金属層の組成比を銀:金:ハフニウム=80:10:10とした以外は実施例粒子1と同一の条件で実施例粒子4を作成した。
〔実施例粒子5〕
厚さ0.2μmのニッケルめっきを施した平均粒径4.6μmのアクリル樹脂からなる樹脂粒子(日本化学社製)を用いた以外は実施例粒子1と同一の条件で実施例粒子5を作成した。
〔比較例粒子1〕
樹脂粒子の表面に金からなる光反射性金属層を形成した以外は実施例粒子1と同一の条件で比較例粒子1を作成した。
〔比較例粒子2〕
樹脂粒子の表面に銀からなる光反射性金属層を形成した以外は実施例粒子1と同一の条件で比較例粒子2を作成した。
〔比較例粒子3〕
光反射性金属層の組成比を銀:金:ハフニウム=98:1:1とした以外は実施例粒子1と同一の条件で比較例粒子3を作成した。
〔比較例粒子4〕
光反射性金属層の組成比を銀:金:ハフニウム=30:5:65とした以外は実施例粒子1と同一の条件で実施例粒子4を作成した。
〔比較例粒子5〕
光反射性金属層の組成比を銀:金:ハフニウム=30:62:8とした以外は実施例粒子1と同一の条件で比較例粒子5を作成した。
<異方性導電接着剤の作成>
上述した接着剤組成物100重量部(溶剤を除く)に、上述した実施例粒子1〜5及び比較例粒子1〜5をそれぞれ15重量部混入して、実施例1〜5並びに比較例1〜5の異方性導電接着剤を得た。
<評価>
(1)反射率
実施例1〜5及び比較例1〜5の異方性導電接着剤を平滑な白色板上に乾燥後の厚さが100μmとなるように塗布し、温度200℃で1分間加熱硬化させて反射率測定用のサンプルを作成した。
各サンプルについて、分光測色計(コニカミノルタ社製 CM−3600d)を用い、青色波長である波長460nmにおける反射率を測定した。その結果を表1に示す。
(2)LED実装サンプルの作成及び全光束量評価
実施例1〜5及び比較例1〜5の異方性導電接着剤を、平滑化処理がなされた金バンプ付きの配線基板上に塗布した。この配線基板の電極間ピッチは、100μmで、ニッケル/金めっき=5.0μm/0.3μmが施されている。また、金バンプの厚さは15μmとした。
上述した配線基板上に青色LEDチップ(Vf=3.2V(If=20mA))をアライメントして搭載し、温度200℃、1チップ当たり1kgの圧力で20秒間加熱圧着を行い、実施例1〜5及び比較例1〜5のLED実装サンプルを作成した。
積分全球型の全光束量測定システム(大塚電子社製 LE−2100)を用い、If=20mAの定電流制御の条件下で、実施例1〜5及び比較例1〜5のLED実装サンプルの全光束量を測定した。その結果を表1に示す。
(3)耐マイグレーション性
上述した実施例1〜5及び比較例1〜5のLED実装サンプルに対し、それぞれ温度85℃、相対湿度85%RHの環境下で通電させる高温高湿試験を500時間行った後の全光束量を測定し、それぞれの変化率を算出した。その結果を表1に示す。
(4)導通信頼性
上述した耐マイグレーション性試験の前後において電気測定を行い、導通の破断(オープン)の有無、短絡発生の有無を確認した。ここで、導通の破断が確認できた場合は「○」として評価し、測定パターンの一部がショートした場合を「△」として評価した。その結果を表1に示す。
Figure 0005965199
<実施例1>
表1から明らかなように、銀:金:ハフニウム=60:30:20からなる光反射性金属層を形成した実施例1の異方性導電接着剤を用いた樹脂硬化物は、反射率が45%を示すとともに、LED実装サンプルの全光束量は330mlmを示した。これは、金からなる光反射性金属層を樹脂粒子表面に形成した導電性粒子を用いた比較例1のものより高い値を示し、LED実装サンプルからの光の取り出し効率の向上がみられた。
さらに、500時間の高温高湿試験後において初期全光束量の変化はなく、また、電気特性についてはも初期状態から変化がなかった。これらの結果から、導電性粒子の変色及びマイグレーションが発生していないことを確認した。
<実施例2>
銀:金:ハフニウム=50:10:40からなる光反射性金属層を形成した実施例2の異方性導電接着剤を用いた樹脂硬化物は、反射率が40%を示すとともに、LED実装サンプルの全光束量は300mlmを示した。これは、金からなる光反射性金属層を樹脂粒子表面に形成した導電性粒子を用いた比較例1のものより高い値を示し、LED実装サンプルからの光の取り出し効率の向上がみられた。
さらに、500時間の高温高湿試験後において初期全光束量の変化はなく、また、電気特性についてはも初期状態から変化がなく、導電性粒子の変色及びマイグレーションが発生していないことを確認した。
<実施例3>
銀:金:ハフニウム=50:40:10からなる光反射性金属層を形成した実施例3の異方性導電接着剤を用いた樹脂硬化物は、反射率が35%を示すとともに、LED実装サンプルの全光束量は280mlmを示した。これは、金からなる光反射性金属層を樹脂粒子表面に形成した導電性粒子を用いた比較例1のものより高い値を示し、LED実装サンプルからの光の取り出し効率の向上がみられた。
さらに、500時間の高温高湿試験後において初期全光束量の変化はなく、また、電気特性についてはも初期状態から変化がなく、導電性粒子の変色及びマイグレーションが発生していないことを確認した。
<実施例4>
銀:金:ハフニウム=80:10:10からなる光反射性金属層を形成した実施例4の異方性導電接着剤を用いた樹脂硬化物は、反射率が50%を示すとともに、LED実装サンプルの全光束量は360mlmを示した。これは、金からなる光反射性金属層を樹脂粒子表面に形成した導電性粒子を用いた比較例1のものより高い値を示し、LED実装サンプルからの光の取り出し効率の向上がみられた。
さらに、500時間の高温高湿試験後において初期全光束量の変化はなく、また、電気特性についてはも初期状態から変化がなく、導電性粒子の変色及びマイグレーションが発生していないことを確認した。
<実施例5>
ニッケルめっきを施した樹脂粒子表面に銀:金:ハフニウム=60:30:20からなる光反射性金属層を形成した実施例5の異方性導電接着剤を用いた樹脂硬化物は、反射率が50%を示すとともに、LED実装サンプルの全光束量は370mlmを示した。これは、金からなる光反射性金属層を樹脂粒子表面に形成した導電性粒子を用いた比較例1のものより高い値を示し、LED実装サンプルからの光の取り出し効率の向上がみられた。
さらに、500時間の高温高湿試験後において初期全光束量の変化はなく、また、電気特性についてはも初期状態から変化がなく、導電性粒子の変色及びマイグレーションが発生していないことを確認した。
<比較例1>
樹脂粒子の表面に金からなる光反射性金属層を形成した導電性粒子を用いた比較例1の異方性導電接着剤を用いた樹脂硬化物は、反射率が8%を示すとともに、LED実装サンプルの全光束量は200mlmを示し、LEDチップからの光の取り出し効率が実施例1〜5のものと比較して小さかった。これは、LEDチップから発生した光が導電性粒子表面の金に吸収されるためであると考えられる。
<比較例2>
樹脂粒子の表面に銀からなる光反射性金属層を形成した比較例2のものは、反射率が55%を示すとともに、LED実装サンプルの全光束量は390mlmを示し、LEDチップからの光の取り出し効率は大きかった。
しかし、500時間の高温高湿試験後における全光束量が20%減少した。さらに、同試験後において軽度のリーク(短絡)が発生するとともに、顕微鏡による外観観察において、導電性粒子の変色を確認した。
<比較例3>
光反射性金属層の組成比を銀:金:ハフニウム=98:1:1とした比較例3のものは、反射率が52%を示すとともに、LED実装サンプルの全光束量は370mlmを示しLEDチップからの光の取り出し効率は大きかった。
しかし、500時間の高温高湿試験後における全光束量が15%減少した。さらに、同試験後において軽度のリーク(短絡)が発生するとともに、顕微鏡による外観観察において、導電性粒子の変色を確認した。
<比較例4>
光反射性金属層の組成比を銀:金:ハフニウム=30:5:65とした比較例4のものは、反射率が35%を示すとともに、LED実装サンプルの全光束量は280mlmを示しLEDチップからの光の取り出し効率は実施例3のものと同等であった。
しかし、初期及び500時間の高温高湿試験後において、導通抵抗が大きくなることを確認した。
<比較例5>
光反射性金属層の組成比を銀:金:ハフニウム=30:62:8とした比較例5のものは、反射率が15%を示すとともに、LED実装サンプルの全光束量は230mlmを示し、LEDチップからの光の取り出し効率が実施例1〜5のものと比較して小さかった。
図3は、異方導電性接着剤の入射光の波長に対する反射率の関係を示すグラフであり、上述した全光束量測定システムを用いて測定したものである。
図3におけるグラフの曲線aは、上記実施例5の異方性導電接着剤の反射率を示すものであり、図3のグラフの曲線bは、上記比較例1の異方性導電接着剤の反射率を示すものである。
図3から理解されるように、ニッケルめっきを施した樹脂粒子表面に銀:金:ハフニウム=60:30:20からなる光反射性金属層を形成した実施例5のものは、樹脂粒子の表面に金からなる光反射性金属層を形成した比較例1のものと比較して、360nm以上500nm以下の範囲においても、反射率が30%以上と大きな値になっている。
以上の結果より、本発明によれば、光反射率が高く、しかも優れた耐マイグレーション性を有する発光素子用の異方性導電接着剤が得られることを実証することができた。
1…異方性導電接着剤
2…絶縁性接着剤樹脂
3…導電性粒子
10…発光装置
20…配線基板
21…第1の接続電極
22…第2の接続電極
30…樹脂粒子
31…光反射性金属層
32…下地めっき層
40…発光素子
41…第1の接続電極
42…第2の接続電極

Claims (4)

  1. 絶縁性接着剤樹脂中に光反射性の導電性粒子を含有する異方性導電接着剤であって、
    前記導電性粒子が、核となる樹脂粒子の表面に、銀と、金と、ハフニウムとを含有する合金からなる光反射性金属層が形成されてなるものであり、前記導電性粒子における光反射性金属層の組成比が、銀が50重量%以上80重量%以下、金が10重量%以上45重量%以下、ハフニウムが10重量%以上40重量%以下で、全体として100重量%を超えない範囲である異方性導電接着剤。
  2. 請求項1記載の異方性導電接着剤を製造する方法であって、
    前記光反射性金属層を、スパッタリング法によって形成する工程を有する異方性導電接着剤の製造方法。
  3. 対となる接続電極を有する配線基板と、
    前記配線基板の対となる接続電極にそれぞれ対応する接続電極を有する発光素子とを備え、
    請求項1記載の異方性導電接着剤によって前記発光素子が前記配線基板上に接着され、かつ、当該発光素子の接続電極が、当該異方性導電接着剤の導電性粒子を介して当該配線基板の対応する接続電極に対しそれぞれ電気的に接続されている発光装置。
  4. 対となる接続電極を有する配線基板と、前記配線基板の接続電極にそれぞれ対応する接続電極を有する発光素子とを用意し、
    前記配線基板の接続電極と前記発光素子の接続電極を対向する方向に配置した状態で、当該発光素子と当該発光素子との間に請求項1記載の異方性導電接着剤を配置し、
    前記配線基板に対して前記発光素子を熱圧着する工程を有する発光装置の製造方法。
JP2012094141A 2012-04-17 2012-04-17 異方性導電接着剤及びその製造方法、発光装置及びその製造方法 Active JP5965199B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012094141A JP5965199B2 (ja) 2012-04-17 2012-04-17 異方性導電接着剤及びその製造方法、発光装置及びその製造方法
PCT/JP2013/061318 WO2013157552A1 (ja) 2012-04-17 2013-04-16 異方性導電接着剤及びその製造方法、発光装置及びその製造方法
KR1020147031743A KR20150002805A (ko) 2012-04-17 2013-04-16 이방성 도전 접착제 및 그의 제조 방법, 발광 장치 및 그의 제조 방법
TW102113581A TWI579366B (zh) 2012-04-17 2013-04-17 異向性導電接著劑及其製造方法、發光裝置及其製造方法
US14/515,648 US20150034989A1 (en) 2012-04-17 2014-10-16 Anisotropic conductive adhesive and method for manufacturing same, light-emitting device and method for manufacturing same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012094141A JP5965199B2 (ja) 2012-04-17 2012-04-17 異方性導電接着剤及びその製造方法、発光装置及びその製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013221104A JP2013221104A (ja) 2013-10-28
JP5965199B2 true JP5965199B2 (ja) 2016-08-03

Family

ID=49383508

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012094141A Active JP5965199B2 (ja) 2012-04-17 2012-04-17 異方性導電接着剤及びその製造方法、発光装置及びその製造方法

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20150034989A1 (ja)
JP (1) JP5965199B2 (ja)
KR (1) KR20150002805A (ja)
TW (1) TWI579366B (ja)
WO (1) WO2013157552A1 (ja)

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015122487A (ja) * 2013-11-19 2015-07-02 デクセリアルズ株式会社 発光装置、発光装置製造方法
JP2015153981A (ja) * 2014-02-18 2015-08-24 日亜化学工業株式会社 発光装置
CN107078199B (zh) * 2014-09-26 2019-11-08 首尔伟傲世有限公司 发光器件及其制造方法
US9633883B2 (en) 2015-03-20 2017-04-25 Rohinni, LLC Apparatus for transfer of semiconductor devices
DE102016106387A1 (de) * 2016-04-07 2017-10-12 Osram Opto Semiconductors Gmbh Lichtemittierendes bauelement
US10141215B2 (en) 2016-11-03 2018-11-27 Rohinni, LLC Compliant needle for direct transfer of semiconductor devices
KR20180055549A (ko) 2016-11-17 2018-05-25 엘지전자 주식회사 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조방법
US10504767B2 (en) 2016-11-23 2019-12-10 Rohinni, LLC Direct transfer apparatus for a pattern array of semiconductor device die
US10471545B2 (en) 2016-11-23 2019-11-12 Rohinni, LLC Top-side laser for direct transfer of semiconductor devices
KR102555383B1 (ko) * 2016-12-07 2023-07-12 엘지디스플레이 주식회사 유기발광소자를 이용한 조명장치 및 그 제조방법
US10062588B2 (en) 2017-01-18 2018-08-28 Rohinni, LLC Flexible support substrate for transfer of semiconductor devices
US20180248090A1 (en) * 2017-02-27 2018-08-30 Rohinni, LLC Semiconductor Device Circuit Apparatus Bonded with Anisotropic Conductive Film and Method of Direct Transfer for Making the Same
JP6919811B2 (ja) * 2017-11-21 2021-08-18 トヨタ自動車株式会社 密閉型電池
US10410905B1 (en) 2018-05-12 2019-09-10 Rohinni, LLC Method and apparatus for direct transfer of multiple semiconductor devices
JP6772401B2 (ja) * 2018-07-10 2020-10-21 日本化学工業株式会社 被覆粒子
US11094571B2 (en) 2018-09-28 2021-08-17 Rohinni, LLC Apparatus to increase transferspeed of semiconductor devices with micro-adjustment
KR102258524B1 (ko) * 2018-12-11 2021-05-28 안성룡 마이크로led를 이용한 전자 장치 제조방법
EP4048942B1 (en) * 2019-10-22 2023-07-26 Signify Holding B.V. Improved heat management and efficiency for high intensity laser pumped light source
US12009459B2 (en) * 2020-08-14 2024-06-11 Lite-On Technology Corporation Light-emitting device, light-emitting assembly, and integrated circuit flip-chip
EP4318616A1 (en) * 2021-03-26 2024-02-07 Dexerials Corporation Method for manufacturing display device

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5247968B2 (ja) * 2003-12-02 2013-07-24 日立化成株式会社 回路接続材料、及びこれを用いた回路部材の接続構造
JP2006111670A (ja) * 2004-10-13 2006-04-27 Sanyo Chem Ind Ltd エポキシ樹脂微粒子
JP4951937B2 (ja) * 2005-10-28 2012-06-13 日亜化学工業株式会社 発光装置
JP4802666B2 (ja) * 2005-11-08 2011-10-26 住友金属鉱山株式会社 エポキシ樹脂接着組成物及びそれを用いた光半導体用接着剤
JP4978286B2 (ja) * 2007-04-16 2012-07-18 ソニー株式会社 銀系薄膜合金
JP5617210B2 (ja) * 2009-09-14 2014-11-05 デクセリアルズ株式会社 光反射性異方性導電接着剤及び発光装置
JP5914987B2 (ja) * 2010-06-09 2016-05-11 デクセリアルズ株式会社 光反射性異方性導電ペースト及び発光装置
JP5583613B2 (ja) * 2011-02-04 2014-09-03 株式会社日本触媒 導電性微粒子
JP2012209148A (ja) * 2011-03-30 2012-10-25 Sony Corp 導電性粒子、導電性ペースト、及び、回路基板
JP5916334B2 (ja) * 2011-10-07 2016-05-11 デクセリアルズ株式会社 異方性導電接着剤及びその製造方法、発光装置及びその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR20150002805A (ko) 2015-01-07
JP2013221104A (ja) 2013-10-28
WO2013157552A1 (ja) 2013-10-24
TWI579366B (zh) 2017-04-21
US20150034989A1 (en) 2015-02-05
TW201348401A (zh) 2013-12-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5965199B2 (ja) 異方性導電接着剤及びその製造方法、発光装置及びその製造方法
JP5916334B2 (ja) 異方性導電接着剤及びその製造方法、発光装置及びその製造方法
JP5985414B2 (ja) 異方性導電接着剤、発光装置及び異方性導電接着剤の製造方法
JP5526698B2 (ja) 光反射性導電粒子、異方性導電接着剤及び発光装置
KR102159992B1 (ko) 이방성 도전 접착제
JP6292808B2 (ja) 接着剤、及び発光装置
JP6066643B2 (ja) 異方性導電接着剤
JP6347635B2 (ja) 異方性導電接着剤
TWI517456B (zh) Light reflective conductive particles, anisotropic conductive adhesives and light-emitting devices
JP2014160708A (ja) 異方性導電接着剤、発光装置及び異方性導電接着剤の製造方法
WO2015141342A1 (ja) 異方性導電接着剤
JP2014065765A (ja) 異方性導電接着剤
JP2014030026A (ja) 異方性導電接着剤及び発光装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150209

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160112

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160311

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20160311

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160628

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160701

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5965199

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250