JP5917559B2 - 音響放射が低減されたmems光変調器アレイのためのシステムおよび方法 - Google Patents
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Description
以下に、本願出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
[1] 基板と、
前記基板上に形成される開口アレイと、
前記開口アレイに空間的に対応して形成されるMEMS光変調器アレイとを備え、前記MEMS光変調器アレイが、
第1の方向の移動により、遮光状態から光透過状態に駆動されるように構成された第1のMEMS光変調器グループと、
第2の方向の移動により、遮光状態から光透過状態に駆動されるように構成された第2のMEMS光変調器グループであって、前記第2の方向が、前記第1の方向とは実質的に異なる、第2のMEMS光変調器グループとを含む、ディスプレイ。
[2] 前記第1の方向および前記第2の方向が平面上の反対方向である、[1]に記載のディスプレイ。
[3] 前記第2の方向が、前記第1の方向に相対して約90度回転される、[1]に記載のディスプレイ。
[4] 前記第2の方向が、前記第1の方向に相対して約60度回転される、[1]に記載のディスプレイ。
[5] 前記第2の方向が、前記第1の方向に関して約45度回転される、[1]に記載のディスプレイ。
[6] 前記光変調器アレイが、前記第1および第2の光変調器グループの交替行グループを含み、各グループが1つまたは複数の行を含む、[1]に記載のディスプレイ。
[7] 前記2つの光変調器グループの間の交替の空間的周期が、前記基板の大体の厚さよりも小さい、[6]に記載のディスプレイ。
[8] 前記光変調器アレイが、前記第1および第2の光変調器グループの交替列グループを含み、各グループが1つまたは複数の列を含む、[1]に記載のディスプレイ。
[9] 前記2つの光変調器グループの間の交替の空間的周期が、前記基板の大体の厚さよりも小さい、[8]に記載のディスプレイ。
[10] 前記光変調器アレイが、前記第1および第2の光変調器グループの交替クラスタを含み、各クラスタが少なくとも1つの光変調器を備える、[1]に記載のディスプレイ。
[11] 前記光変調器アレイが、前記第1および第2の光変調器グループのランダム化配列を含む、[1]に記載のディスプレイ。
[12] 前記アレイ中の各MEMS光変調器がシャッターを含む、[1]に記載のディスプレイ。
[13] 前記第1および第2の光変調器グループが、対応する開口に部分的に光を通させる第3の状態を含む、[1]に記載のディスプレイ。
[14] 前記光変調器アレイにデータおよび作動電圧を送信するための、ドライバチップと、コントローラマトリクスとを含むコントローラをさらに含む、[1]に記載のディスプレイ。
[15] 前記コントローラマトリクスが、前記光変調器を前記遮光状態から前記光透過状態に移すための制御信号に応答して、前記第1の光変調器グループを前記第1の方向に、前記第2の光変調器グループを前記第2の方向に作動させるように構成される、[14]に記載のディスプレイ。
[16] 前記コントローラが、前記アレイ中の各光変調器について、前記第1および第2の移動方向のどちらが、前記光透過状態に達するのに適しているかをメモリに記憶する、[14]に記載のディスプレイ。
[17] 前記基板が透明基板である、[1]に記載のディスプレイ。
[18] ディスプレイを製造するための方法であって、
基板上に開口アレイを形成することと、
前記第1のMEMS光変調器グループ中の前記光変調器が、第1の方向の移動により、遮光状態から光透過状態に作動するように構成されるように、前記開口アレイに空間的に対応して、前記基板上に第1のMEMS光変調器グループを組み立てることと、
前記第2のMEMS光変調器グループ中の前記光変調器が、第2の方向の移動により、遮光状態から光透過状態に作動するように構成されるように、前記開口アレイに空間的に対応して、前記基板上に第2のMEMS光変調器グループを組み立てることであって、前記第2の方向が前記第1の方向とは実質的に異なる、組み立てることとを備える方法。
[19] 前記第1および第2のMEMS光変調器グループを組み立てることが、前記第1の方向および前記第2の方向が平面上の反対方向になるように前記光変調器を組み立てることを含む、[18]に記載の方法。
[20] 前記第1および第2のMEMS光変調器グループを製造することが、前記第2の方向が前記第1の方向に相対して約90度回転されるように前記光変調器を組み立てることを含む、[18]に記載の方法。
[21] 前記第1および第2のMEMS光変調器グループを組み立てることが、前記第2の方向が前記第1の方向に相対して約60度回転されるように前記光変調器を組み立てることを含む、[18]に記載の方法。
[22] 前記第1および第2のMEMS光変調器グループを組み立てることが、前記第2の方向が前記第1の方向に相対して約45度回転されるように前記光変調器を組み立てることを含む、[18]に記載の方法。
[23] 前記第1および第2のMEMS光変調器グループを組み立てることが、前記第1および第2の光変調器グループの交替行グループを組み立てることを含み、各グループが1つまたは複数の行を含む、[18]に記載の方法。
[24] 前記2つの光変調器グループの間の交替の空間的周期が、前記基板の大体の厚さよりも小さい、[23]に記載の方法。
[25] 前記第1および第2のMEMS光変調器グループを組み立てることが、前記第1および第2の光変調器グループの交替列グループを組み立てることを含み、各グループが1つまたは複数の列を含む、[18]に記載の方法。
[26] 前記2つの光変調器グループの間の交替の空間的周期が、前記基板の大体の厚さよりも小さい、[25]に記載の方法。
[27] 前記第1および第2のMEMS光変調器グループを組み立てることが、前記第1および第2の光変調器グループの交替クラスタを組み立てることを含み、各クラスタが少なくとも1つの光変調器を備える、[18]に記載の方法。
[28] 前記第1および第2のMEMS光変調器グループを組み立てることが、前記第1および第2の光変調器グループのランダム化配列を組み立てることを含む、[18]に記載の方法。
[29] 前記光変調器アレイにデータおよび作動電圧を送信するための制御マトリクスを前記基板上に組み立てることと、前記制御マトリクスにコントローラを電気結合することとをさらに備え、前記コントローラが、前記アレイ中の各MEMS光変調器について、前記第1および第2の移動方向のどちらが前記光透過状態に達するのに適しているかを記憶するためのメモリを含む、[18]に記載の方法。
[30] 前記基板が透明基板である、[18]に記載の方法。
[31] 光を変調して、基板上の開口アレイと、前記開口アレイに空間的に対応して配列されたMEMS光変調器アレイとを含むディスプレイ上に画像を形成するためのシステムであって、
第1の方向での前記MEMS光変調器の移動を開始することによって、前記MEMS光変調器アレイ中の第1のMEMS光変調器グループを、遮光状態から光透過状態に作動させるための手段と、
第2の方向での前記MEMS光変調器の移動を開始することによって、前記MEMS光変調器アレイ中の第2のMEMS光変調器グループを、遮光状態から光透過状態に作動させるための手段であって、前記第2の方向が前記第1の方向とは実質的に異なる手段とを備えるシステム。
[32] 前記第1の方向および前記第2の方向が平面上の反対方向である、[31]に記載のシステム。
[33] 前記第2の方向が、前記第1の方向に相対して約90度回転される、[31]に記載のシステム。
[34] 前記第2の方向が、前記第1の方向に関して約45度回転される、[31]に記載のシステム。
[35] 前記アレイ中の各MEMS光変調器について、前記第1および第2の移動方向のどちらが、前記光透過状態に達するのに適しているか判断するための手段と、前記MEMS光変調器アレイにデータおよび作動電圧を送信するための手段とをさらに備える、[31]に記載のシステム。
[36] 前記基板が透明基板である、[31]に記載のシステム。
Claims (26)
- 基板と、
前記基板上に形成される開口アレイと、
前記開口アレイに空間的に対応して形成されるMEMS光変調器アレイとを備え、前記MEMS光変調器アレイが、
第1の方向の移動により、遮光状態から光透過状態に駆動されるように構成された第1のMEMS光変調器グループと、
前記第1の方向とは異なる第2の方向の移動により、遮光状態から光透過状態に駆動されるように構成された第2のMEMS光変調器グループとを含み、
前記第2の方向は、前記第1の方向に相対して、約45度、約60度、または約90度のうちの一つで配向され、
前記光変調器アレイが、前記第1および前記第2の光変調器グループの交替行グループを含み、各行グループが1つまたは複数の行を含む、ディスプレイ。 - 前記2つの光変調器グループの間の交替の空間的周期が、前記基板の厚さよりも小さい、請求項1に記載のディスプレイ。
- 前記光変調器アレイが、前記第1および前記第2の光変調器グループの交替列グループを含み、各列グループが1つまたは複数の列を含む、請求項1に記載のディスプレイ。
- 前記2つの光変調器グループの間の交替の空間的周期が、前記基板の厚さよりも小さい、請求項3に記載のディスプレイ。
- 基板と、
前記基板上に形成される開口アレイと、
前記開口アレイに空間的に対応して形成されるMEMS光変調器アレイとを備え、前記MEMS光変調器アレイが、
第1の方向の移動により、遮光状態から光透過状態に駆動されるように構成された第1のMEMS光変調器グループと、
前記第1の方向とは異なる第2の方向の移動により、遮光状態から光透過状態に駆動されるように構成された第2のMEMS光変調器グループとを含み、
前記第2の方向は、前記第1の方向に相対して、約45度、約60度、または約90度のうちの一つで配向され、
前記光変調器アレイが、前記第1および前記第2の光変調器グループの交替クラスタを含み、各クラスタが前記第1のMEMS光変調器グループまたは第2のMEMS光変調器グループのうちの1つのみからの少なくとも4つの光変調器を備える、ディスプレイ。 - 基板と、
前記基板上に形成される開口アレイと、
前記開口アレイに空間的に対応して形成されるMEMS光変調器アレイとを備え、前記MEMS光変調器アレイが、
第1の方向の移動により、遮光状態から光透過状態に駆動されるように構成された第1のMEMS光変調器グループと、
前記第1の方向とは異なる第2の方向の移動により、遮光状態から光透過状態に駆動されるように構成された第2のMEMS光変調器グループとを含み、
前記第2の方向は、前記第1の方向に相対して、約45度、約60度、または約90度のうちの一つで配向され、
前記光変調器アレイが、前記第1および前記第2の光変調器グループのランダム化配列を含む、ディスプレイ。 - 前記アレイ中の各MEMS光変調器がシャッターを含む、請求項1、請求項5または請求項6のうちの何れか1つに記載のディスプレイ。
- 前記第1および前記第2の光変調器グループにおける光変調器の各々が、対応する開口に部分的に光を通させる第3の状態を含む、請求項1、請求項5または請求項6のうちの何れか1つに記載のディスプレイ。
- 前記光変調器アレイにデータおよび作動電圧を送信するための、ドライバチップと、コントローラマトリクスとを含むコントローラをさらに含む、請求項1、請求項5または請求項6のうちの何れか1つに記載のディスプレイ。
- 前記コントローラマトリクスが、光変調器を前記遮光状態から前記光透過状態に移すための制御信号に応答して、前記第1の光変調器グループを前記第1の方向に、前記第2の光変調器グループを前記第2の方向に作動させるように構成される、請求項9に記載のディスプレイ。
- 前記コントローラが、前記アレイ中の各光変調器について、前記第1および第2の移動方向のどちらが、前記光透過状態に達するのに適しているかをメモリに記憶する、請求項9に記載のディスプレイ。
- 前記基板が透明基板である、請求項1、請求項5または請求項6のうちの何れか1つに記載のディスプレイ。
- ディスプレイを製造するための方法であって、
基板上に開口アレイを形成することと、
第1のMEMS光変調器グループ中の光変調器が、第1の方向の移動により、遮光状態から光透過状態に作動するように構成されるように、前記開口アレイに空間的に対応して、前記基板上に前記第1のMEMS光変調器グループを組み立てることと、
第2のMEMS光変調器グループ中の光変調器が、前記第1の方向とは異なる第2の方向の移動により、遮光状態から光透過状態に作動するように構成されるように、前記開口アレイに空間的に対応して、前記基板上に前記第2のMEMS光変調器グループを組み立てることとを含み、
前記第2の方向は、前記第1の方向に相対して、約45度、約60度、または約90度のうちの一つで配向され、
前記第1および前記第2のMEMS光変調器グループを組み立てることが、前記第1および前記第2の光変調器グループの交替行グループを組み立てることを含み、各行グループが1つまたは複数の行を含む、方法。 - 前記2つの光変調器グループの間の交替の空間的周期が、前記基板の厚さよりも小さい、請求項13に記載の方法。
- 前記第1および前記第2のMEMS光変調器グループを組み立てることが、前記第1および前記第2の光変調器グループの交替列グループを組み立てることを含み、各列グループが1つまたは複数の列を含む、請求項13に記載の方法。
- 前記2つの光変調器グループの間の交替の空間的周期が、前記基板の厚さよりも小さい、請求項15に記載の方法。
- ディスプレイを製造するための方法であって、
基板上に開口アレイを形成することと、
第1のMEMS光変調器グループ中の光変調器が、第1の方向の移動により、遮光状態から光透過状態に作動するように構成されるように、前記開口アレイに空間的に対応して、前記基板上に前記第1のMEMS光変調器グループを組み立てることと、
第2のMEMS光変調器グループ中の光変調器が、前記第1の方向とは異なる第2の方向の移動により、遮光状態から光透過状態に作動するように構成されるように、前記開口アレイに空間的に対応して、前記基板上に前記第2のMEMS光変調器グループを組み立てることとを含み、
前記第2の方向は、前記第1の方向に相対して、約45度、約60度、または約90度のうちの一つで配向され、
前記第1および前記第2のMEMS光変調器グループを組み立てることが、前記第1および前記第2の光変調器グループの交替クラスタを組み立てることを含み、各クラスタが前記第1のMEMS光変調器グループまたは第2のMEMS光変調器グループのうちの1つのみからの少なくとも4つの光変調器を備える、方法。 - ディスプレイを製造するための方法であって、
基板上に開口アレイを形成することと、
第1のMEMS光変調器グループ中の光変調器が、第1の方向の移動により、遮光状態から光透過状態に作動するように構成されるように、前記開口アレイに空間的に対応して、前記基板上に前記第1のMEMS光変調器グループを組み立てることと、
第2のMEMS光変調器グループ中の光変調器が、前記第1の方向とは異なる第2の方向の移動により、遮光状態から光透過状態に作動するように構成されるように、前記開口アレイに空間的に対応して、前記基板上に前記第2のMEMS光変調器グループを組み立てることとを含み、
前記第2の方向は、前記第1の方向に相対して、約45度、約60度、または約90度のうちの一つで配向され、
前記第1および前記第2のMEMS光変調器グループを組み立てることが、前記第1および前記第2の光変調器グループのランダム化配列を組み立てることを含む、方法。 - 前記光変調器アレイにデータおよび作動電圧を送信するための制御マトリクスを前記基板上に組み立てることと、前記制御マトリクスにコントローラを電気結合することとをさらに備え、前記コントローラが、前記アレイ中の各MEMS光変調器について、前記第1および第2の移動方向のどちらが前記光透過状態に達するのに適しているかを記憶するためのメモリを含む、請求項13、請求項17または請求項18のうちの何れか1つに記載の方法。
- 前記基板が透明基板である、請求項13、請求項17または請求項18のうちの何れか1つに記載の方法。
- 光を変調して、基板上の開口アレイと、前記開口アレイに空間的に対応して配列されたMEMS光変調器アレイとを含むディスプレイ上に画像を形成するためのシステムであって、
第1の方向での前記MEMS光変調器の移動を開始することによって、前記MEMS光変調器アレイ中の第1のMEMS光変調器グループを、遮光状態から光透過状態に作動させるための手段と、
前記第1の方向とは異なる第2の方向での前記MEMS光変調器の移動を開始することによって、前記MEMS光変調器アレイ中の第2のMEMS光変調器グループを、遮光状態から光透過状態に作動させるための手段とを備え、
前記第2の方向は、前記第1の方向に相対して、約45度、約60度、または約90度のうちの一つで配向され、
前記MEMS光変調器アレイが、
交替行グループであって、各行グループが1つまたは複数の行を含む、交替行グループか、
前記第1および前記第2の光変調器グループの交替クラスタであって、各クラスタが前記第1のMEMS光変調器グループまたは第2のMEMS光変調器グループのうちの1つのみからの少なくとも4つの光変調器を備える、交替クラスタか、または、
前記第1および前記第2のMEMS光変調器グループのランダム化配列か
のうちの1つを含む、
システム。 - 前記2つの光変調器グループの間の交替の空間的周期が、前記基板の厚さよりも小さい、請求項21に記載のシステム。
- 前記光変調器アレイが、前記第1および前記第2の光変調器グループの交替列グループを含み、各列グループが1つまたは複数の列を含む、請求項21に記載のシステム。
- 前記2つの光変調器グループの間の交替の空間的周期が、前記基板の厚さよりも小さい、請求項23に記載のシステム。
- 前記アレイ中の各MEMS光変調器について、前記第1および第2の移動方向のどちらが、前記光透過状態に達するのに適しているか判断するための手段と、前記MEMS光変調器アレイにデータおよび作動電圧を送信するための手段とをさらに備える、請求項21に記載のシステム。
- 前記基板が透明基板である、請求項21に記載のシステム。
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---|---|---|---|---|
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JP2013088510A (ja) * | 2011-10-14 | 2013-05-13 | Japan Display East Co Ltd | 表示装置およびその駆動方法 |
JP2013134275A (ja) * | 2011-12-26 | 2013-07-08 | Japan Display East Co Ltd | 表示装置およびその駆動方法 |
US9225972B2 (en) | 2012-08-10 | 2015-12-29 | Pixtronix, Inc. | Three dimensional (3D) image generation using electromechanical display elements |
CN103852885B (zh) * | 2012-12-06 | 2016-12-28 | 联想(北京)有限公司 | 一种显示装置及电子设备 |
US9213182B2 (en) * | 2013-01-18 | 2015-12-15 | Pixtronix, Inc. | Asymmetric overlap and suspended shutter structure |
US9170421B2 (en) | 2013-02-05 | 2015-10-27 | Pixtronix, Inc. | Display apparatus incorporating multi-level shutters |
US9769365B1 (en) | 2013-02-15 | 2017-09-19 | Red.Com, Inc. | Dense field imaging |
US20140254007A1 (en) * | 2013-03-11 | 2014-09-11 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. (Qmt) | Parallax Shutter Barrier For Temporally Interlaced Autostereoscopic Three Dimensional (3D) Display Apparatus |
US9176317B2 (en) | 2013-03-13 | 2015-11-03 | Pixtronix, Inc. | Display apparatus incorporating dual-level shutters |
US9134530B2 (en) | 2013-03-13 | 2015-09-15 | Pixtronix, Inc. | Display apparatus incorporating dual-level shutters |
US9195051B2 (en) | 2013-03-15 | 2015-11-24 | Pixtronix, Inc. | Multi-state shutter assembly for use in an electronic display |
US20140327948A1 (en) * | 2013-05-06 | 2014-11-06 | Pixtronix, Inc. | Display elements incorporating asymmetric apertures |
US20150055205A1 (en) * | 2013-08-22 | 2015-02-26 | Pixtronix, Inc. | Mems display incorporating extended height actuators |
CN105445944B (zh) * | 2014-06-24 | 2018-08-10 | 联想(北京)有限公司 | 引导光的传输的导光装置、导光方法和显示设备 |
US20160035314A1 (en) * | 2014-08-01 | 2016-02-04 | Pixtronix, Inc. | Display with field sequential color (fsc) for optical communication |
CN104464632B (zh) * | 2014-12-24 | 2017-01-11 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种像素结构及其制备方法、像素显示方法和阵列基板 |
US20170092183A1 (en) * | 2015-09-24 | 2017-03-30 | Pixtronix, Inc. | Display apparatus including pixel circuits for controlling light modulators |
CN105607247B (zh) * | 2016-01-04 | 2019-02-19 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种光阀、阵列基板及显示装置 |
US10453372B2 (en) * | 2017-10-31 | 2019-10-22 | Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Method for driving display panel and a display thereof |
CN107818752B (zh) * | 2017-10-31 | 2020-05-05 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种显示面板驱动方法和显示面板 |
EP3531213B1 (en) * | 2018-02-22 | 2022-11-16 | IMEC vzw | An optical device, a system and a method for forming a distribution of a three-dimensional light field |
US11573304B2 (en) * | 2018-04-27 | 2023-02-07 | Liturex (Guangzhou) Co. Ltd | LiDAR device with a dynamic spatial filter |
US10867538B1 (en) * | 2019-03-05 | 2020-12-15 | Facebook Technologies, Llc | Systems and methods for transferring an image to an array of emissive sub pixels |
CN110930953A (zh) * | 2019-11-22 | 2020-03-27 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | mini-LED背光模组及液晶显示面板 |
KR102612096B1 (ko) | 2021-02-04 | 2023-12-12 | 대한민국 | 돼지 고기 원산지 판별용 키트 및 이를 이용한 돼지고기 원산지 판별 방법 |
Family Cites Families (105)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH641315B (fr) | 1981-07-02 | Centre Electron Horloger | Dispositif d'affichage miniature a volets. | |
US5096279A (en) | 1984-08-31 | 1992-03-17 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator and method |
JPS61121002A (ja) | 1984-11-17 | 1986-06-09 | Nissan Motor Co Ltd | 遮光板 |
US4728936A (en) | 1986-04-11 | 1988-03-01 | Adt, Inc. | Control and display system |
US5835255A (en) | 1986-04-23 | 1998-11-10 | Etalon, Inc. | Visible spectrum modulator arrays |
DE3842900C1 (ja) | 1988-12-16 | 1990-05-10 | Krone Ag, 1000 Berlin, De | |
US5142405A (en) | 1990-06-29 | 1992-08-25 | Texas Instruments Incorporated | Bistable dmd addressing circuit and method |
US5319491A (en) | 1990-08-10 | 1994-06-07 | Continental Typographics, Inc. | Optical display |
US5062689A (en) | 1990-08-21 | 1991-11-05 | Koehler Dale R | Electrostatically actuatable light modulating device |
US5233459A (en) | 1991-03-06 | 1993-08-03 | Massachusetts Institute Of Technology | Electric display device |
JPH05107514A (ja) | 1991-10-18 | 1993-04-30 | Minolta Camera Co Ltd | 光シヤツタアレイ |
US5339179A (en) | 1992-10-01 | 1994-08-16 | International Business Machines Corp. | Edge-lit transflective non-emissive display with angled interface means on both sides of light conducting panel |
US6674562B1 (en) | 1994-05-05 | 2004-01-06 | Iridigm Display Corporation | Interferometric modulation of radiation |
US5517347A (en) | 1993-12-01 | 1996-05-14 | Texas Instruments Incorporated | Direct view deformable mirror device |
US6680792B2 (en) | 1994-05-05 | 2004-01-20 | Iridigm Display Corporation | Interferometric modulation of radiation |
US7123216B1 (en) | 1994-05-05 | 2006-10-17 | Idc, Llc | Photonic MEMS and structures |
FR2726135B1 (fr) | 1994-10-25 | 1997-01-17 | Suisse Electronique Microtech | Dispositif de commutation |
US5835256A (en) | 1995-06-19 | 1998-11-10 | Reflectivity, Inc. | Reflective spatial light modulator with encapsulated micro-mechanical elements |
US6969635B2 (en) | 2000-12-07 | 2005-11-29 | Reflectivity, Inc. | Methods for depositing, releasing and packaging micro-electromechanical devices on wafer substrates |
US6046840A (en) | 1995-06-19 | 2000-04-04 | Reflectivity, Inc. | Double substrate reflective spatial light modulator with self-limiting micro-mechanical elements |
JP3799092B2 (ja) | 1995-12-29 | 2006-07-19 | アジレント・テクノロジーズ・インク | 光変調装置及びディスプレイ装置 |
US5691695A (en) | 1996-07-24 | 1997-11-25 | United Technologies Automotive Systems, Inc. | Vehicle information display on steering wheel surface |
JP4050802B2 (ja) | 1996-08-02 | 2008-02-20 | シチズン電子株式会社 | カラー表示装置 |
US5781331A (en) | 1997-01-24 | 1998-07-14 | Roxburgh Ltd. | Optical microshutter array |
US6214633B1 (en) | 1997-08-28 | 2001-04-10 | Mems Optical Inc. | System for controlling light including a micromachined foucault shutter array and a method of manufacturing the same |
IL123579A0 (en) | 1998-03-06 | 1998-10-30 | Heines Amihai | Apparatus for producing high contrast imagery |
JP3428446B2 (ja) | 1998-07-09 | 2003-07-22 | 富士通株式会社 | プラズマディスプレイパネル及びその製造方法 |
JP2000214393A (ja) * | 1999-01-20 | 2000-08-04 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光変調素子及びアレイ型光変調素子並びに平面表示装置 |
US6288829B1 (en) * | 1998-10-05 | 2001-09-11 | Fuji Photo Film, Co., Ltd. | Light modulation element, array-type light modulation element, and flat-panel display unit |
US6323834B1 (en) | 1998-10-08 | 2001-11-27 | International Business Machines Corporation | Micromechanical displays and fabrication method |
US6031656A (en) * | 1998-10-28 | 2000-02-29 | Memsolutions, Inc. | Beam-addressed micromirror direct view display |
US6034807A (en) | 1998-10-28 | 2000-03-07 | Memsolutions, Inc. | Bistable paper white direct view display |
US6288824B1 (en) | 1998-11-03 | 2001-09-11 | Alex Kastalsky | Display device based on grating electromechanical shutter |
US6827456B2 (en) | 1999-02-23 | 2004-12-07 | Solid State Opto Limited | Transreflectors, transreflector systems and displays and methods of making transreflectors |
US6195195B1 (en) | 1999-03-11 | 2001-02-27 | Lockheed Martin Corporation | Opto-mechanical controlled variable RF/microwave delay element and method |
US6201633B1 (en) | 1999-06-07 | 2001-03-13 | Xerox Corporation | Micro-electromechanical based bistable color display sheets |
KR20010050623A (ko) | 1999-10-04 | 2001-06-15 | 모리시타 요이찌 | 고계조도 표시기술 |
US6583915B1 (en) | 1999-10-08 | 2003-06-24 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Display device using a micro light modulator and fabricating method thereof |
JP3618066B2 (ja) | 1999-10-25 | 2005-02-09 | 株式会社日立製作所 | 液晶表示装置 |
KR100679095B1 (ko) | 1999-12-10 | 2007-02-05 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 미세 광변조기를 이용한 투과형 표시소자 |
US6407851B1 (en) | 2000-08-01 | 2002-06-18 | Mohammed N. Islam | Micromechanical optical switch |
EP1128201A1 (en) | 2000-02-25 | 2001-08-29 | C.S.E.M. Centre Suisse D'electronique Et De Microtechnique Sa | Switching device, particularly for optical switching |
US6775048B1 (en) | 2000-10-31 | 2004-08-10 | Microsoft Corporation | Microelectrical mechanical structure (MEMS) optical modulator and optical display system |
JP2004524550A (ja) | 2000-11-22 | 2004-08-12 | フリクセル リミテッド | マイクロエレクトロメカニカルディスプレイデバイス |
US6643065B1 (en) | 2001-01-18 | 2003-11-04 | Donn Michael Silberman | Variable spacing diffraction grating |
US6671078B2 (en) | 2001-05-23 | 2003-12-30 | Axsun Technologies, Inc. | Electrostatic zipper actuator optical beam switching system and method of operation |
JP3909812B2 (ja) | 2001-07-19 | 2007-04-25 | 富士フイルム株式会社 | 表示素子及び露光素子 |
US6980177B2 (en) | 2001-08-03 | 2005-12-27 | Waterstrike Incorporated | Sequential inverse encoding apparatus and method for providing confidential viewing of a fundamental display image |
US6701039B2 (en) | 2001-10-04 | 2004-03-02 | Colibrys S.A. | Switching device, in particular for optical applications |
JP4032696B2 (ja) | 2001-10-23 | 2008-01-16 | 日本電気株式会社 | 液晶表示装置 |
CN1608221A (zh) | 2001-12-03 | 2005-04-20 | 弗利克赛尔公司 | 显示装置 |
JP4013562B2 (ja) | 2002-01-25 | 2007-11-28 | 豊田合成株式会社 | 照明装置 |
EP1478974B1 (en) | 2002-02-19 | 2012-03-07 | Samsung LCD Netherlands R&D Center B.V. | Display device |
EP1478972A1 (en) | 2002-02-19 | 2004-11-24 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Subtractive display device |
US7283112B2 (en) * | 2002-03-01 | 2007-10-16 | Microsoft Corporation | Reflective microelectrical mechanical structure (MEMS) optical modulator and optical display system |
JP4247987B2 (ja) | 2002-03-26 | 2009-04-02 | ディーコン エーエス | 微細光変調器配列 |
DE10244850A1 (de) | 2002-09-24 | 2004-04-01 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Einstellbares Pinhole |
KR20050086917A (ko) | 2002-12-16 | 2005-08-30 | 이 잉크 코포레이션 | 전기-광학 디스플레이용 백플레인 |
US20040136680A1 (en) | 2003-01-09 | 2004-07-15 | Teraop Ltd. | Single layer MEMS based variable optical attenuator with transparent shutter |
US7180677B2 (en) | 2003-01-31 | 2007-02-20 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Display device |
US7417782B2 (en) | 2005-02-23 | 2008-08-26 | Pixtronix, Incorporated | Methods and apparatus for spatial light modulation |
DE10323923A1 (de) | 2003-05-22 | 2004-12-16 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Einstellbares Pinhole, insbesondere für ein Laser-Scanning-Mikroskop |
JP4039314B2 (ja) | 2003-05-29 | 2008-01-30 | セイコーエプソン株式会社 | 省電力モードを有するイメージ読取装置 |
US7123796B2 (en) | 2003-12-08 | 2006-10-17 | University Of Cincinnati | Light emissive display based on lightwave coupling |
JP2005221917A (ja) | 2004-02-09 | 2005-08-18 | Fuji Photo Film Co Ltd | 電気機械式光シャッター素子及び光シャッターアレイ |
US7706050B2 (en) | 2004-03-05 | 2010-04-27 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Integrated modulator illumination |
US6912082B1 (en) * | 2004-03-11 | 2005-06-28 | Palo Alto Research Center Incorporated | Integrated driver electronics for MEMS device using high voltage thin film transistors |
TWI244535B (en) | 2004-03-24 | 2005-12-01 | Yuan Lin | A full color and flexible illuminating strap device |
US7158278B2 (en) | 2004-04-12 | 2007-01-02 | Alexander Kastalsky | Display device based on bistable electrostatic shutter |
WO2006017129A2 (en) | 2004-07-09 | 2006-02-16 | University Of Cincinnati | Display capable electrowetting light valve |
US7944599B2 (en) * | 2004-09-27 | 2011-05-17 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Electromechanical device with optical function separated from mechanical and electrical function |
US20080158635A1 (en) * | 2005-02-23 | 2008-07-03 | Pixtronix, Inc. | Display apparatus and methods for manufacture thereof |
CN101151207B (zh) * | 2005-02-23 | 2012-01-04 | 皮克斯特罗尼克斯公司 | 显示装置和形成图像的方法 |
US7755582B2 (en) | 2005-02-23 | 2010-07-13 | Pixtronix, Incorporated | Display methods and apparatus |
US7405852B2 (en) | 2005-02-23 | 2008-07-29 | Pixtronix, Inc. | Display apparatus and methods for manufacture thereof |
US7616368B2 (en) | 2005-02-23 | 2009-11-10 | Pixtronix, Inc. | Light concentrating reflective display methods and apparatus |
US20060209012A1 (en) | 2005-02-23 | 2006-09-21 | Pixtronix, Incorporated | Devices having MEMS displays |
US8310442B2 (en) | 2005-02-23 | 2012-11-13 | Pixtronix, Inc. | Circuits for controlling display apparatus |
US7304786B2 (en) | 2005-02-23 | 2007-12-04 | Pixtronix, Inc. | Methods and apparatus for bi-stable actuation of displays |
US9229222B2 (en) | 2005-02-23 | 2016-01-05 | Pixtronix, Inc. | Alignment methods in fluid-filled MEMS displays |
US9158106B2 (en) * | 2005-02-23 | 2015-10-13 | Pixtronix, Inc. | Display methods and apparatus |
US7742016B2 (en) | 2005-02-23 | 2010-06-22 | Pixtronix, Incorporated | Display methods and apparatus |
US8159428B2 (en) | 2005-02-23 | 2012-04-17 | Pixtronix, Inc. | Display methods and apparatus |
US7304785B2 (en) * | 2005-02-23 | 2007-12-04 | Pixtronix, Inc. | Display methods and apparatus |
US20070205969A1 (en) | 2005-02-23 | 2007-09-06 | Pixtronix, Incorporated | Direct-view MEMS display devices and methods for generating images thereon |
US7271945B2 (en) * | 2005-02-23 | 2007-09-18 | Pixtronix, Inc. | Methods and apparatus for actuating displays |
US7675665B2 (en) | 2005-02-23 | 2010-03-09 | Pixtronix, Incorporated | Methods and apparatus for actuating displays |
US7502159B2 (en) | 2005-02-23 | 2009-03-10 | Pixtronix, Inc. | Methods and apparatus for actuating displays |
EP1734502A1 (en) | 2005-06-13 | 2006-12-20 | Sony Ericsson Mobile Communications AB | Illumination in a portable communication device |
JP4913479B2 (ja) | 2006-05-31 | 2012-04-11 | 株式会社 日立ディスプレイズ | 画像表示装置 |
US7876489B2 (en) | 2006-06-05 | 2011-01-25 | Pixtronix, Inc. | Display apparatus with optical cavities |
JP4924941B2 (ja) | 2006-10-13 | 2012-04-25 | Nltテクノロジー株式会社 | 光学素子、照明光学装置、表示装置および電子機器。 |
US7920314B2 (en) | 2006-11-30 | 2011-04-05 | Nerden John D | Variable opacity or translucency of a through-vision panel |
JP2008275985A (ja) | 2007-05-01 | 2008-11-13 | Tokai Rika Co Ltd | 表示装置 |
US7859740B2 (en) | 2008-07-11 | 2010-12-28 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Stiction mitigation with integrated mech micro-cantilevers through vertical stress gradient control |
KR101573508B1 (ko) * | 2008-11-10 | 2015-12-01 | 삼성전자 주식회사 | 마이크로 셔터 디바이스 및 그 제조방법 |
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