JP5885452B2 - 露光装置 - Google Patents
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Description
図1はタンデム方式のカラープリンタ(画像形成装置)100の概略構成を説明するための図である。
続いて、本実施例の回転する多面鏡としてのポリゴンミラーを収容したユニットとしてのレーザースキャナ単体について詳しく説明する。
図2は本実施例のレーザースキャナ110内部を説明するための概略図である。レーザースキャナ110は光源としての半導体レーザ112、光偏向器としての回転可能するポリゴンミラー114、レンズ115やミラー116などの光学素子と、これらを収納する筐体としての光学箱111から成る。
図3は本実施例に係るレーザースキャナの配置を説明するための図である。図3の(A)は、複数のレーザースキャナの配置を説明するための平面図である。また、図3の(B)は、図3の(A)中のA−A’断面でレーザースキャナを切断した断面図である。
図4は伝熱部材151の取付け図を示す。図4の(A)はレーザースキャナ同士を連結するために伝熱部材151を一つ用いた例を示す。伝熱部材151は110の筺体側面に設けられた取付け部152に対しネジで固定されている。また、伝熱部材151、取付け部152、筺体側面のそれぞれの接触面は熱伝導グリース153が均一に塗布されており、二物体間の熱伝導性を高めている。
前述の通り、本実施例の露光装置は隣り合うレーザースキャナの高温部と低温部を伝熱部材で連結する構成を採用した。上述の構成においてどのような熱伝導率の部材を用いることによりレーザースキャナ内部の温度差をどの程度低減できるかについてシミュレーション結果を用いて説明する。なお下記結果はレーザースキャナの筐体を0.5mm間隔の点で区切り有限要素法を用いて解析した。
伝熱部材151は、熱伝導率の高い金属板(例えば純アルミ等)や沸騰熱伝達を利用したヒートパイプ等の熱輸送手段を用いることが望ましい。この場合、伝熱部材151の各筺体側面との接触面積は、二物体間を高熱伝導グリース153で介していれば小さくてもよく、例えば、幅30mm、厚さ10mm程度の接触面積でも十分な均熱効果が得られる。なお、ヒートパイプを用いることでさらに各筺体間の温度差を約0.1℃以下に低減させることができる。
110 レーザースキャナ (露光装置)
111 光学箱 (筺体)
114 ポリゴンミラー (光偏向器/回転多面鏡)
151 熱伝導板 (伝熱部材)
152 連結突起 (取付部)
161 冷却ファン (冷却手段)
171 ヒータ (加熱手段)
Claims (3)
- 回転可能なミラーと、前記ミラーを収容する筐体を備え、前記ミラーの回転中心に対して前記筐体の第一面までの距離が前記第一面と対向する前記第二面までの距離よりも近いユニットを複数備える露光装置であって、
前記複数のユニットのうち、互いに隣り合うユニットの第一面と第二面は前記筐体よりも熱伝導率の高い伝熱部材で連結されていることを特徴とする露光装置。 - 前記複数のユニットのうち、隣りのユニットと対向しない第二面は加熱手段により加熱されると共に、
前記複数のユニットのうち、隣り合うユニットと対向しない第一面は冷却手段により冷却されることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。 - 前記ユニットには、前記ミラーで反射した光を集光するレンズを備え、前記レンズは前記ミラーよりも第二面に近い側に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
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