JP5881167B2 - アンモニアの精製方法 - Google Patents
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Description
尚、図1、図2は、本発明に使用する装置一式(アンモニアの精製装置)の一例を示す構成図である。図3は、本発明に適用できる気相成長装置の一例を示す構成図である。
また、本発明における窒化ガリウム系化合物半導体の製造工程は、ガリウム、インジウム、アルミニウムから選ばれる1種または2種以上の金属と、窒素との化合物からなる窒化物半導体の結晶成長を行なうための製造工程である。
(アンモニア精製装置の製作)
ニッケル触媒と合成ゼオライトを別々の処理筒に分けたほかは、図1に示すような構成と同様のアンモニア精製装置を製作した。フィルター筒は、目の粗さが互いに異なる3枚のフィルター(ドムニクハンター社製、AOグレード(1μm程度の径を有するオイルミストを除去)、AAグレード(0.01μm程度の径を有するオイルミストを除去)、AXグレード(0.01μm以下の径を有するオイルミストを除去))を設け、粒径の大きなミスト状の油分から順に除去するような構成とした。
工業用として市販されている粗アンモニアを、予め熱伝導度検出器(GC−TCD)、水素炎イオン化検出器(GC−FID)、及びフーリエ変換赤外分光光度計(FT−IR)で分析した結果、不純物として、酸素、二酸化炭素、及び水が、各々4ppm、5ppm、40ppm含まれていた。また、この粗アンモニアには、ミスト状の油分及び気体状の油分が含まれている。
(気相成長装置の製作)
ステンレス製の反応容器の内部に、円板状のサセプタ(SiCコートカーボン製、直径600mm、厚さ20mm、3インチの基板を5枚保持可能)、冷媒を流通する構成を備えたサセプタの対面(カーボン製)、ヒータ、原料ガスの導入部(カーボン製)、反応ガス排出部等を設けて、図3に示すような気相成長装置を製作した。また、3インチサイズのサファイアよりなる5枚の基板を気相成長装置にセットした。尚、冷媒を流通する構成として、配管1本を中心部から周辺部に向かって渦巻き状に配置した。
また、ガスの噴出口の先端と基板との水平面の距離は32.4mmであった。さらに、原料ガス導入部の各々のガス流路に、マスフローコントローラー等を介して、所望の流量及び濃度の各ガスが供給できるように配管を接続した。
工業用のアンモニアを、図1に示すアンモニア精製装置を経由して、前述の気相成長装置に供給できるように設定した。また、その他の原料ガスも、各原料の供給源から各精製装置を経由して、前述の気相成長装置に供給できるように設定した。その後、基板の表面に窒化ガリウム(GaN)の成長を行なった。気相成長は、バッファー層成長後に、基板温度を1050℃まで上昇させ、上層の噴出口からアンモニア(流量:30L/min)、中層の噴出口からTMG(流量:60cc/min)と水素(流量:30L/min)、下層の噴出口から窒素(流量:40L/min)を供給して、窒化ガリウム膜を1時間成長させた。
気相成長実験終了後、温度を下げ、基板を反応容器から取り出した。さらに、このような気相成長実験を合計10回繰返して行なった。その結果、50枚の基板のGaN膜厚の平均値は4.2μmであった。
実施例1のアンモニア精製装置の製作において、活性炭筒を使用しなかったほかは実施例1と同様にしてアンモニア精製装置を製作した。
実施例2の気相成長実験において、このアンモニア精製装置を使用したほかは実施例2と同様にして気相成長実験を行なった。その結果、気相成長実験を合計10回繰返して行なって得られた50枚の基板のGaN膜厚の平均値は3.9μmであった。GaN膜厚の成長速度の低下は、気体状の油分が気相成長に悪影響を及ぼしたことによると考えられる。
実施例1のアンモニア精製装置の製作において、フィルター筒を使用しなかったほかは実施例1と同様にしてアンモニア精製装置を製作した。
実施例2の気相成長実験において、このアンモニア精製装置を使用したほかは実施例2と同様にして気相成長実験を行なった。その結果、気相成長実験を合計5回繰返して行なって得られた25枚の基板のGaN膜厚の平均値は実施例2とほぼ同じであったが、6回目以降は急激にGaN膜厚が低下したので気相成長実験を中止した。活性炭筒を調査した結果、活性炭の表面にミスト状の油分が付着しており、これが原因で活性炭による油分の吸着が妨げられて、油分を含むアンモニアが気相成長装置に供給されたため、GaN膜厚の成長速度が低下したのではないかと考えられる。
2 フィルター筒
3 フィルター
4 活性炭筒
5 活性炭
6 ニッケルを有効成分とする触媒
7 合成ゼオライト
8 精製アンモニアの取出し口
9 基板ホルダー
10 サセプタ
11 サセプタの対面
12 ヒータ
13 反応炉
14 原料ガス導入部
15 反応ガス排出部
16 原料ガス配管
17 冷媒を流通する流路
18 サセプタ回転板
Claims (2)
- 窒化ガリウム系化合物半導体の原料として用いられる、油分と、酸素、二酸化炭素、及び水から選ばれる一種以上の不純物を含む粗アンモニアの精製方法であって、前記粗アンモニアを、フィルターと接触させて該粗アンモニアに含まれるミスト状の油分を除去し、さらに活性炭と接触させて該粗アンモニアに含まれる気体状の油分を除去した後、ニッケルを有効成分とする触媒及び合成ゼオライトと接触させて、油分以外の前記不純物を除去することを特徴とするアンモニアの精製方法。
- 油分を含む粗アンモニアが、工業用として市販されている粗アンモニアである請求項1に記載のアンモニアの精製方法。
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