JP5879255B2 - ステージで搬送される基板上の液滴被着 - Google Patents
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Description
2 基板
2a,55 カット基板
3,31 プリントヘッド
4 ステージ
5,5' 検出器
6 基準マーク
7 巻出ローラー
8 巻取ローラー
9 制御ユニット
21 フレーム
22 リニアモーター
51 カッター
52a,52b 第1のピンチローラー
53a,53b 排出ピンチローラー
54 スタック
Claims (32)
- 液滴を被着するための装置において、
基板の一領域上に液滴を射出するように構成されたヘッド、
前記ヘッドが前記基板の前記領域上に液滴を射出している間、前記基板を保持するように構成されたステージ、
前記基板を輸送方向で前記ステージ上に移動させるように構成された第1の輸送装置、
前記基板を前記輸送方向で前記ステージから放して移動させるように構成された第2の輸送装置、
及び
前記基板を受け取るためのスタック、
を備え、
前記ステージ、前記スタック及び前記第1の輸送装置と前記第2の輸送装置の内の少なくとも一方が、前記輸送方向に一緒に移動可能である、
ことを特徴とする装置。 - 液滴を被着するための装置において、
基板の一領域上に液滴を射出するように構成されたヘッド、
前記ヘッドが前記基板の前記領域上に液滴を射出している間、前記基板を保持するように構成されたステージ、
前記基板を輸送方向で前記ステージ上に移動させるように構成された第1の輸送装置、
前記基板を前記輸送方向で前記ステージから放して移動させるように構成された第2の輸送装置、
及び
前記基板を切断するためのカッター、
を備え、
前記ステージ、前記カッター及び前記第1の輸送装置と前記第2の輸送装置の内の少なくとも一方が、前記輸送方向に一緒に移動可能である、
ことを特徴とする装置。 - 液滴を被着するための装置において、
基板の一領域上に液滴を射出するように構成されたヘッド、
前記ヘッドが前記基板の前記領域上に液滴を射出している間、前記基板を保持するように構成されたステージ、
前記基板を輸送方向で前記ステージ上に移動させるように構成された、巻出ローラを備えた第1の輸送装置、及び
前記基板を前記輸送方向で前記ステージから放して移動させるように構成された第2の輸送装置、
を備え、
前記基板が連続ウェブからなり、
前記ステージ、前記連続ウェブからなる基板及び前記巻出ローラが、前記輸送方向に一緒に移動可能である、
ことを特徴とする装置。 - 液滴を被着するための装置において、
基板の一領域上に液滴を射出するように構成されたヘッド、
前記ヘッドが前記基板の前記領域上に液滴を射出している間、前記基板を保持するように構成されたステージ、
前記基板を輸送方向で前記ステージ上に移動させるように構成された、巻出ローラを備えた第1の輸送装置、及び
前記基板を前記輸送方向で前記ステージから放して移動させるように構成された第2の輸送装置、
を備え、
前記ステージ及び前記第2の輸送装置が、前記輸送方向に一緒に移動可能であり、前記巻出ローラが前記輸送方向に一緒に移動可能でないことを特徴とする装置。 - 前記ヘッド、前記ステージ、前記第1の輸送装置及び前記第2の輸送装置に動作可能な態様で接続された制御ユニットをさらに備え、前記ステージが前記輸送方向に移動している間、前記ヘッドに液滴を射出させるように前記制御ユニットが構成されることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の装置。
- 前記ヘッドが行と列からなるアレイを定める複数のノズルを有することを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の装置。
- 前記ヘッドが前記輸送方向に直交する走査方向に移動可能であることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の装置。
- 前記基板が連続であることを特徴とする請求項1、2または4に記載の装置。
- 前記ステージが前記基板の前記領域より大きいことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の装置。
- 前記基板を切断するためのカッターをさらに備えることを特徴とする請求項1、3または4に記載の装置。
- 前記基板上の基準マークを検出するための検出器をさらに備えることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の装置。
- 前記輸送方向に直交する方向に前記ステージを移動させるモーターをさらに備えることを特徴とする請求項11に記載の装置。
- 前記ステージを回転させるためのモーターをさらに備えることを特徴とする請求項11に記載の装置。
- 前記基板を受け取るためのスタックをさらに備えることを特徴とする請求項2から4のいずれか1項に記載の装置。
- 前記スタックと前記ステージが前記輸送方向に一緒に移動可能であることを特徴とする請求項14に記載の装置。
- 前記第1の輸送装置が巻出ローラーであることを特徴とする請求項1または2に記載の装置。
- 前記第1の輸送装置がピンチローラーであることを特徴とする請求項1または2に記載の装置。
- 前記第2の輸送装置が巻取ローラーであることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の装置。
- 前記第2の輸送装置がピンチローラーであることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の装置。
- 前記ステージ及び前記第1の輸送装置と前記第2の輸送装置の内の少なくとも一方を移動させるリニアモーターをさらに備えることを特徴とする請求項1または2に記載の装置。
- 液滴を被着するための方法において、
基板を第1の輸送装置によって輸送方向でステージ上に移動させる工程、
前記基板を前記ステージ上に保持する工程、
ヘッドが前記基板の一領域上に液滴を射出している間、前記ステージ及び前記第1の輸送装置と第2の輸送装置の内の少なくとも一方を前記輸送方向に一緒に移動させる工程、
前記ステージにより前記基板を放す工程、
前記基板を前記第2の輸送装置によって前記ステージから前記輸送方向に移動させる工程、及び
前記基板を受け取るためのスタックを前記輸送方向に移動させる工程であって、前記スタックと前記ステージが前記輸送方向に一緒に移動可能である工程、
を含むことを特徴とする方法。 - 液滴を被着するための方法において、
基板を第1の輸送装置によって輸送方向でステージ上に移動させる工程、
前記基板を前記ステージ上に保持する工程、
ヘッドが前記基板の一領域上に液滴を射出している間、前記ステージ、前記基板を切断するためのカッター及び前記第1の輸送装置と第2の輸送装置の内の少なくとも一方を前記輸送方向に一緒に移動させる工程、
前記カッターにより前記基板を切断する工程、
前記ステージにより前記基板を放す工程、及び
前記基板を前記第2の輸送装置によって前記ステージから前記輸送方向に移動させる工程、
を含むことを特徴とする方法。 - 液滴を被着するための方法において、
連続ウェブからなる基板を巻出ローラを備えた第1の輸送装置によって輸送方向でステージ上に移動させる工程、
前記連続ウェブからなる基板を前記ステージ上に保持する工程、
ヘッドが前記基板の一領域上に液滴を射出している間、前記ステージ、前記連続ウェブからなる基板及び前記巻出ローラを前記輸送方向に一緒に移動させる工程、
前記ステージにより前記連続ウェブからなる基板を放す工程、及び
前記連続ウェブからなる基板を第2の輸送装置によって前記ステージから前記輸送方向に移動させる工程、
を含むことを特徴とする方法。 - 液滴を被着するための方法において、
基板を巻出ローラを備えた第1の輸送装置によって輸送方向でステージ上に移動させる工程であって、前記巻出ローラが前記輸送方向に一緒に移動可能でない工程、
前記基板を前記ステージ上に保持する工程、
ヘッドが前記基板の一領域上に液滴を射出している間、前記ステージ及び第2の輸送装置を前記輸送方向に一緒に移動させる工程、
前記ステージにより前記基板を放す工程、及び
前記基板を前記第2の輸送装置によって前記ステージから前記輸送方向に移動させる工程、
を含むことを特徴とする方法。 - 検出器による前記基板上の基準マークの検出に応答して前記基板を位置決めする工程をさらに含むことを特徴とする請求項21から24のいずれか1項に記載の方法。
- 前記ヘッドが、前記基板の前記領域上に液滴を射出する前に、前記基板に近づくことを特徴とする請求項21から24のいずれか1項に記載の方法。
- 前記ヘッドが前記基板の前記領域上に液滴を射出する前に前記ステージが前記ヘッドに近づくことを特徴とする請求項21から24のいずれか1項に記載の方法。
- 前記ヘッドが、前記基板の前記領域上に液滴を射出した後に、前記基板から離れることを特徴とする請求項21から24のいずれか1項に記載の方法。
- 前記ヘッドが前記基板の前記領域上に液滴を射出した後に前記ステージが前記ヘッドから離れることを特徴とする請求項21から24のいずれか1項に記載の方法。
- 前記ヘッドが前記基板の前記領域上に液滴を射出する前に前記基板を切断する工程をさらに含むことを特徴とする請求項21から24のいずれか1項に記載の方法。
- 前記ヘッドが前記基板の前記領域上に液滴を射出した後に前記基板を切断する工程をさらに含むことを特徴とする請求項21から24のいずれか1項に記載の方法。
- 前記基板を受け取るスタックを前記輸送方向に移動させる工程をさらに含むことを特徴とする請求項22から24のいずれか1項に記載の方法。
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