JP5823334B2

JP5823334B2 - Adsorption system

Info

Publication number: JP5823334B2
Application number: JP2012082003A
Authority: JP
Inventors: 正幸谷野; 貴洋秋山; 理亮川上; 将行河岡
Original assignee: Takasago Thermal Engineering Co Ltd
Current assignee: Takasago Thermal Engineering Co Ltd
Priority date: 2012-03-30
Filing date: 2012-03-30
Publication date: 2015-11-25
Anticipated expiration: 2032-03-30
Also published as: JP2013208598A

Description

本発明は、吸着システムに関する。 The present invention relates to an adsorption system.

工業的設備においては、気体に含まれる蒸気（空気中の湿分や溶剤蒸気等）の除去ないし低減（以下、単に「除去」という）が行われる場合がある。例えば、各種製品の生産ラインでは、製品の品質を保つため、低湿空気を回収し、湿分を除去した空気が利用されている（例えば、特許文献１を参照）。 In industrial facilities, removal (or simply “removal”) of vapor (humidity, solvent vapor, etc.) contained in gas may be performed. For example, in a production line for various products, in order to maintain product quality, air from which low-humidity air is collected and moisture is removed is used (see, for example, Patent Document 1).

気体に含まれる蒸気を除去するシステムには、コンプレッサ方式のものやデシカント方式のもの、また、これらを組み合わせたハイブリッド方式のものが考案されている。デシカント方式の吸着システムには、吸着剤を担持したロータを仕切って吸着領域や再生領域を形成し、ロータを回転させながら吸着や再生を連続的に行うものがある（例えば、特許文献２を参照）。また、デシカント方式の吸着システムには、ロータの再生領域を複数の区域に仕切ったもの（例えば、特許文献３−４を参照）や、ロータの吸着領域を複数の区域に仕切ったもの（例えば、特許文献５を参照）がある。 As a system for removing vapor contained in the gas, a compressor type, a desiccant type, and a hybrid type combining these have been devised. In a desiccant type adsorption system, there is a system in which a rotor carrying an adsorbent is partitioned to form an adsorption region and a regeneration region, and adsorption and regeneration are continuously performed while rotating the rotor (for example, see Patent Document 2). ). Further, in the desiccant type adsorption system, the rotor regeneration area is divided into a plurality of areas (see, for example, Patent Document 3-4), or the rotor adsorption area is divided into a plurality of areas (for example, (See Patent Document 5).

特開２０１０−２１６６８９号公報JP 2010-216689 A 特許第４５００４６１号公報Japanese Patent No. 4500461 特開平６−３４３８１９号公報JP-A-6-343819 特開２０１１−２３００９８号公報JP 2011-230098 A 特許第２６７３３００号公報Japanese Patent No. 2673300

気体に含まれる蒸気を除去するシステムは、各種装置や部屋（低露点室）といった各種の供給先へ、気体に含まれる蒸気を除去した気体を供給するが、供給先から排出される気体の排気が必ずしも蒸気を含んでいるとは限らない。ここで、供給先から排出される排気を還気して再利用することを考える。排気中の蒸気濃度が、除湿装置のような蒸気の除去システムに流入する直前の気体（例えば、外気等）の蒸気濃度よりも小さい場合、供給先から排出される排気を捨てることはエネルギー収支の観点に鑑みると無駄である。 A system for removing vapor contained in gas supplies gas from which vapor contained in gas has been removed to various supply destinations such as various devices and rooms (low dew point chambers). Does not necessarily contain steam. Here, it is considered that the exhaust gas discharged from the supplier is returned and reused. If the vapor concentration in the exhaust gas is smaller than the vapor concentration of the gas (for example, outside air) just before flowing into the vapor removal system such as a dehumidifier, it is important to throw away the exhaust gas discharged from the supply destination. It is useless from the viewpoint.

そこで、システムに流入する直前の気体と、供給先から排出される排気との間で潜熱交換を行うことにより、エネルギー収支を改善することも考えられる。しかし、排気の再利用（以下、「回収」という）を行うシステム、例えば、コンプレッサ方式のシステムにおいては気体に含まれる蒸気の凝縮を目的とする気体の冷却が行われ、また、デシカント方式のシステム（吸着システム）においては吸着剤による吸着を促進する目的で気体の冷却（プレクール）が行われる。よって、潜熱交換を行うと、供給先から排出される排気が高温の場合に、潜熱と共に不可避的に交換される顕熱により、気体の冷却に要する冷却熱量の増大を招く虞がある。このため、潜熱交換によるシステムのエネルギー収支の改善は実用的でない。 Therefore, it is conceivable to improve the energy balance by performing latent heat exchange between the gas immediately before flowing into the system and the exhaust discharged from the supply destination. However, in a system that recycles exhaust gas (hereinafter referred to as “recovery”), for example, in a compressor system, the gas is cooled for the purpose of condensing the vapor contained in the gas, and the desiccant system is used. In the (adsorption system), gas cooling (precooling) is performed for the purpose of promoting adsorption by the adsorbent. Therefore, when the latent heat exchange is performed, when the exhaust gas discharged from the supply destination is at a high temperature, the sensible heat inevitably exchanged with the latent heat may increase the amount of cooling heat required for cooling the gas. For this reason, improving the energy balance of the system by latent heat exchange is not practical.

本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、蒸気を吸着除去した気体を供給した先から排出される排気の有効利用を図ることが可能な吸着システムを提供することを課題とする。 The present invention has been made in view of such problems, and it is an object of the present invention to provide an adsorption system capable of effectively using exhaust gas discharged from a destination to which a gas from which vapor is adsorbed and removed is supplied. To do.

上記課題を解決するため、本発明では、所定の供給先へ供給した気体を回収して吸着剤の再生に用いるにあたり、蒸気濃度が互いに異なる気体を前記所定の供給先の別々の部位から回収し、蒸気濃度が相対的に低い気体を、蒸気濃度が相対的に高い気体を通気した後の吸着剤に通気し、吸着剤を再生することにした。 In order to solve the above problems, in the present invention, when gases supplied to a predetermined supply destination are recovered and used for regeneration of the adsorbent, gases having different vapor concentrations are recovered from different parts of the predetermined supply destination. The gas having a relatively low vapor concentration was passed through the adsorbent after the gas having a relatively high vapor concentration was passed through to regenerate the adsorbent.

詳細には、所定の供給先へ供給する気体に含まれる蒸気を吸着する吸着システムであって、前記蒸気が吸着可能な吸着剤を有し、前記所定の供給先へ供給する気体に含まれる蒸気を吸着除去する吸着除去手段と、前記所定の供給先へ供給された気体を前記所定の供給先の特定の部位から回収し、回収した気体を前記吸着剤に通気して前記吸着剤を再生する第一の再生手段と、前記所定の供給先へ供給された気体のうち、前記第一の再生手段が回収する気体よりも蒸気濃度の低い気体を、前記所定の供給先の前記特定の部位と異なる部位から回収し、回収した気体を、前記第一の再生手段が再生した後の前記吸着剤に通気して前記吸着剤を再生する第二の再生手段と、を備える。 Specifically, the adsorption system adsorbs vapor contained in a gas supplied to a predetermined supply destination, and has an adsorbent capable of adsorbing the vapor and is contained in the gas supplied to the predetermined supply destination. An adsorbing / removing means for adsorbing and removing the gas, and recovering the adsorbent by collecting the gas supplied to the predetermined supply destination from a specific part of the predetermined supply destination and venting the recovered gas through the adsorbent Of the gas supplied to the first supply means and the gas supplied to the predetermined supply destination, a gas having a lower vapor concentration than the gas recovered by the first regeneration means is used as the specific part of the predetermined supply destination. And a second regenerating unit that regenerates the adsorbent by collecting the recovered gas from different parts and venting the recovered gas to the adsorbent after the first regenerating unit regenerates.

デシカント方式などの吸着剤を用いた吸着システムにおいては、蒸気を吸着した吸着剤の再生が行われる。蒸気を吸着した吸着剤を効果的に再生するには、蒸気含有量の少ない気体を供給することが望ましい。ここで、吸着システムが供給した気体の供給先において、蒸気含有量の少ない気体がそのまま排出される場合、この気体を吸着剤の再生に有効利用することが、吸着システムのエネルギー収支の改善に寄与すると考えられる。 In an adsorption system using an adsorbent such as a desiccant method, the adsorbent adsorbing vapor is regenerated. In order to effectively regenerate the adsorbent that has adsorbed the vapor, it is desirable to supply a gas having a low vapor content. Here, when a gas with low vapor content is discharged as it is at the gas supply destination supplied by the adsorption system, the effective use of this gas for regeneration of the adsorbent contributes to the improvement of the energy balance of the adsorption system. I think that.

そこで、上記吸着システムでは、所定の供給先へ供給した気体を前記所定の供給先の特定の部位から回収し、吸着剤の再生に用いる第一の再生手段の他に、前記所定の供給先の前記特定の部位と異なる部位から、前記第一の再生手段が回収する気体よりも蒸気濃度の低い気体を回収し、前記第一の再生手段が再生した後の前記吸着剤の再生に用いる第二の再生手段を設けている。 Therefore, in the adsorption system, the gas supplied to the predetermined supply destination is recovered from a specific part of the predetermined supply destination, and in addition to the first regeneration means used for regeneration of the adsorbent, the predetermined supply destination A gas having a lower vapor concentration than the gas recovered by the first regeneration means is recovered from a part different from the specific part, and used for regeneration of the adsorbent after the first regeneration means regenerates. The reproducing means is provided.

吸着剤は、再生に用いる気体の蒸気濃度が低い程、蒸気の吸着能力を十分に回復させることができる。しかし、再生開始直後の吸着剤は、再生終了直前の吸着剤に比べると多量の蒸気が吸着している。よって、再生開始直後の吸着剤の再生に用いる気体の蒸気濃度は、再生終了直前の吸着剤の再生に用いる気体の蒸気濃度より高くても、吸着剤の再生効果の低下を招くことは無い。そこで、上記吸着システムにおいては、吸着システムが供給した気体の供給先において、蒸気濃度の相対的に低い部位から回収した気体を、他の部位から回収した気体で再生した吸着剤の更なる再生に用いることで、吸着システムのエネルギー収支の改善を図りつつ、吸着剤の再生効果の低下を防いでいる。これにより、蒸気を吸着除去した気体を供給した先から排出される排気の有効利用が実現される。 The adsorbent can sufficiently recover the vapor adsorption capacity as the vapor concentration of the gas used for regeneration is lower. However, the adsorbent immediately after the start of regeneration adsorbs a larger amount of vapor than the adsorbent immediately before the end of regeneration. Therefore, even if the vapor concentration of the gas used for the regeneration of the adsorbent immediately after the start of regeneration is higher than the vapor concentration of the gas used for the regeneration of the adsorbent immediately before the end of regeneration, the regeneration effect of the adsorbent is not reduced. Therefore, in the above adsorption system, the gas recovered from the portion having a relatively low vapor concentration at the gas supply destination supplied by the adsorption system is used for further regeneration of the adsorbent regenerated with the gas recovered from the other portion. By using it, it is possible to improve the energy balance of the adsorption system and prevent the adsorbent regeneration effect from decreasing. Thereby, effective use of the exhaust discharged from the destination to which the gas from which the vapor is adsorbed and removed is supplied is realized.

なお、前記所定の供給先には、複数の設備であって、前記複数の設備のうち何れか一又は複数の設備を擁する第一の設備群と、前記複数の設備のうち前記第一の設備群が擁する設備と異なるタイミングで前記蒸気を発生する何れか一又は複数の設備を擁する第二の設備群と、を有する複数の設備が備わっており、前記第一の再生手段は、前記第一の設備群及び前記第二の設備群のうち、前記蒸気を発生中の設備群から回収した気体を前記吸着剤に通気して前記吸着剤を再生し、前記第二の再生手段は、前記第一の設備群及び前記第二の設備群のうち、前記蒸気を非発生中の設備群から回収した気体を、前記第一の再生手段が再生した後の前記吸着剤に通気して前記吸着剤を再生するものであってもよい。 The predetermined supply destination includes a plurality of facilities, a first facility group having any one or a plurality of facilities among the plurality of facilities, and the first facility among the plurality of facilities. A plurality of facilities having a second facility group including any one or a plurality of facilities that generate the steam at a different timing from the facilities included in the group, and the first regeneration means includes the first regeneration unit Among the equipment group and the second equipment group, the gas recovered from the equipment group that is generating the steam is passed through the adsorbent to regenerate the adsorbent, and the second regeneration means includes the second regeneration means, Of the one equipment group and the second equipment group, the gas recovered from the equipment group in which the steam is not generated is passed through the adsorbent after the first regeneration means regenerates the adsorbent. May be reproduced.

このように構成される吸着システムであれば、蒸気を発生中の設備群から回収した気体による再生が行われた吸着剤が、蒸気を非発生中の設備群から回収した気体により更に再生されるため、吸着システムのエネルギー収支の改善を図りつつ、吸着剤の再生効果の低
下も防止される。これにより、蒸気を吸着除去した気体を供給した先から排出される排気の有効利用が実現される。 In the case of the adsorption system configured as described above, the adsorbent that has been regenerated by the gas recovered from the facility group that is generating steam is further regenerated by the gas that is recovered from the facility group that is not generating steam. Therefore, it is possible to prevent the adsorbent regeneration effect from being lowered while improving the energy balance of the adsorption system. Thereby, effective use of the exhaust discharged from the destination to which the gas from which the vapor is adsorbed and removed is supplied is realized.

また、前記所定の供給先は、前記蒸気を発生する一又は複数の設備を内置した室内空間であり、前記第一の再生手段は、前記一又は複数の設備の排気を前記吸着剤に通気して前記吸着剤を再生し、前記第二の再生手段は、前記室内空間の気体を前記吸着剤に通気して前記吸着剤を再生するものであってもよい。 Further, the predetermined supply destination is an indoor space in which one or a plurality of facilities for generating the steam is installed, and the first regeneration means vents exhaust gas from the one or a plurality of facilities to the adsorbent. The adsorbent may be regenerated, and the second regeneration means may regenerate the adsorbent by venting the gas in the indoor space to the adsorbent.

蒸気を発生する設備を内置した室内空間から回収される気体は、蒸気を発生する設備から回収される気体に比べると、蒸気濃度が低い蓋然性が高い。そこで、一又は複数の設備から回収した気体による再生が行われた吸着剤を、当該設備を内置した室内空間から回収した気体で更に再生することにより、吸着システムのエネルギー収支の改善を図りつつ、吸着剤の再生効果の低下も防止可能である。これにより、蒸気を吸着除去した気体を供給した先から排出される排気の有効利用が実現される。 The gas recovered from the indoor space in which the facility for generating steam is installed is more likely to have a lower vapor concentration than the gas recovered from the facility for generating steam. Therefore, by further regenerating the adsorbent that has been regenerated with the gas recovered from one or a plurality of facilities with the gas recovered from the indoor space in which the facility is installed, while improving the energy balance of the adsorption system, It is also possible to prevent a decrease in the regeneration effect of the adsorbent. Thereby, effective use of the exhaust discharged from the destination to which the gas from which the vapor is adsorbed and removed is supplied is realized.

また、前記吸着除去手段は、前記吸着剤を担持する吸着ロータであって、前記吸着ロータが回転すると、前記吸着ロータの特定の領域が、前記蒸気を吸着除去する吸着状態、前記第一の再生手段によって再生される第一の再生状態、前記第二の再生手段によって再生される第二の再生状態の順に遷移した後、再び前記吸着状態に遷移する吸着ロータを有するものであってもよい。 Further, the adsorption removal means is an adsorption rotor carrying the adsorbent, and when the adsorption rotor rotates, a specific region of the adsorption rotor adsorbs and removes the vapor, the first regeneration It may have an adsorption rotor which makes a transition to the adsorption state again after transitioning in the order of the first regeneration state regenerated by the means and the second regeneration state regenerated by the second regeneration means.

吸着剤をロータ状の担体に担持させた吸着ロータの場合、ロータを回転させることにより連続的な吸着処理および再生処理が実現される。すなわち、吸着ロータの場合、蒸気を吸着する処理領域や、蒸気を吸着した吸着剤を再生する再生領域が同一ロータ上に同時に形成される。よって、上記所定の供給先へ気体を供給しつつ、供給先から回収した気体による吸着剤の再生を同時に行う上記吸着システムに好適である。 In the case of an adsorption rotor in which an adsorbent is supported on a rotor-like carrier, continuous adsorption treatment and regeneration treatment are realized by rotating the rotor. That is, in the case of an adsorption rotor, a treatment area for adsorbing vapor and a regeneration area for regenerating the adsorbent that adsorbed vapor are simultaneously formed on the same rotor. Therefore, it is suitable for the adsorption system that simultaneously regenerates the adsorbent with the gas recovered from the supply destination while supplying the gas to the predetermined supply destination.

蒸気を吸着除去した気体を供給した先から排出される排気の有効利用を図ることが可能である。 It is possible to make effective use of the exhaust discharged from the destination to which the gas from which the vapor is adsorbed and removed is supplied.

実施形態に係る吸着システムの構成図である。It is a lineblock diagram of the adsorption system concerning an embodiment. 吸着システムの各ダンパの開閉状態、及び各装置から排出される排気の温度と湿度との関係を示したタイミングチャートの一例である。It is an example of the timing chart which showed the opening / closing state of each damper of an adsorption | suction system, and the relationship between the temperature and humidity of the exhaust_gas | exhaustion discharged | emitted from each apparatus. 装置Ａが停止しており、装置Ｂが運転している場合の吸着システムの状態を示した図である。It is the figure which showed the state of the adsorption | suction system when the apparatus A has stopped and the apparatus B is drive | operating. 装置Ｂが停止しており、装置Ａが運転している場合の吸着システムの状態を示した図である。It is the figure which showed the state of the adsorption | suction system when the apparatus B has stopped and the apparatus A is drive | operating. 試算を行う箇所を丸数字で示した図である。It is the figure which showed the location which makes trial calculation with the circle number. 実施形態に係る吸着システムに関する試算値の一例を示した表である。It is the table | surface which showed an example of the trial calculation value regarding the adsorption | suction system which concerns on embodiment. 比較例に係る吸着システムに関する試算値の一例を示した表である。It is the table | surface which showed an example of the trial calculation value regarding the adsorption system which concerns on a comparative example. 吸着ロータ周りの変形例を示した図である。It is the figure which showed the modification around an adsorption | suction rotor. 吸着システムの変形例を示した図である。It is the figure which showed the modification of the adsorption | suction system. 装置の排気及び低露点室内の空気の温度および湿度を示したグラフである。It is the graph which showed the temperature and humidity of the air in the exhaust_gas | exhaustion of an apparatus, and a low dew point room | chamber interior.

＜実施形態＞
本発明の実施形態に係る吸着システムの構成を図１に示す。本実施形態に係る吸着シス
テム１は、図１に示すように、吸着ロータ２、吸着ファン３、再生ファン４、プレクーラ５、ヒータ６を備えており、各装置７Ａ，７Ｂ（本願でいう「所定の供給先」の一例である）に給気する空気を除湿する。すなわち、吸着システム１は、空気中の湿分が吸着する吸着ロータ２により、外気に含まれる湿分を除去し、低露点の空気を各装置７Ａ，７Ｂに供給する。よって、吸着システム１は、除湿システムとして捉えることも可能である。 <Embodiment>
A configuration of an adsorption system according to an embodiment of the present invention is shown in FIG. As shown in FIG. 1, the suction system 1 according to the present embodiment includes a suction rotor 2, a suction fan 3, a regeneration fan 4, a precooler 5, and a heater 6. Is dehumidified. That is, the adsorption system 1 removes moisture contained in the outside air by the adsorption rotor 2 that adsorbs moisture in the air, and supplies air having a low dew point to the devices 7A and 7B. Therefore, the adsorption system 1 can also be regarded as a dehumidification system.

装置７Ａ，７Ｂは、低露点の作動環境が要求される装置類である。このような装置類としては、例えば、半導体やディスプレイなどの製造工程のように低湿度環境が要求される生産設備等を挙げることができる。また、装置７Ａ，７Ｂは、湿分の排出を伴う処理を行う装置である。装置７Ａと装置７Ｂは、湿分の排出を伴う処理を互いに異なるタイミングで実行するよう、オペレータによる手動制御あるいはコンピュータ等による自動制御が実現される。 The devices 7A and 7B are devices that require an operating environment with a low dew point. Examples of such devices include production facilities that require a low-humidity environment such as manufacturing processes for semiconductors and displays. In addition, the devices 7A and 7B are devices that perform processing involving moisture discharge. The apparatus 7A and the apparatus 7B are realized by manual control by an operator or automatic control by a computer or the like so that processing involving moisture discharge is performed at different timings.

吸着ロータ２は、円筒状の部材の内部に合成ゼオライトやシリカゲル等を主成分とする吸着剤を担持しており、内部を軸方向に沿って気体が流れるように構成されている。吸着ロータ２の両端面には図示しないセクション分割カセットが配置されており、このカセットによって吸着ロータ２の空気通過域が少なくとも３つのセクションに区画される。吸着ロータ２は、このセクション分割カセットと相対的に回転可能なようになっており、このカセットによって吸着ロータ２に吸着領域Ｋ、第一の再生領域Ｓ１、第二の再生領域Ｓ２が形成される。なお、吸着ロータ２は、３つの領域に区画されるものに限定されるものでなく、例えば、パージ領域や予熱領域が更に区画されていてもよい。吸着ロータ２が図１の矢印が示す方向に回転することにより、吸着ロータ２の特定の領域に担持されている吸着剤が吸着状態、第一の再生状態、第二の再生状態の順に遷移した後、再び吸着状態に遷移する。 The adsorption rotor 2 carries an adsorbent mainly composed of synthetic zeolite, silica gel or the like inside a cylindrical member, and is configured such that gas flows along the axial direction inside. A section dividing cassette (not shown) is arranged on both end faces of the suction rotor 2, and the cassette passes through the air passage area of the suction rotor 2 into at least three sections. The suction rotor 2 is rotatable relative to the section division cassette, and by this cassette, the suction region K, the first regeneration region S1, and the second regeneration region S2 are formed in the suction rotor 2. . The suction rotor 2 is not limited to one divided into three regions, and for example, a purge region or a preheating region may be further divided. As the adsorption rotor 2 rotates in the direction indicated by the arrow in FIG. 1, the adsorbent carried in a specific region of the adsorption rotor 2 transitions in the order of adsorption state, first regeneration state, and second regeneration state. After that, it transitions to the adsorption state again.

吸着領域Ｋには吸着ファン３から送られ、プレクーラ５で冷却された外気が通過する。吸着領域Ｋの吸着剤は、通気される空気中の湿分を吸着し、低露点空気を排出する。排出された低露点空気は、ヒータ６により温度調節がなされた後、給気経路８，８Ａ，８Ｂを通して各装置７Ａ，７Ｂに供給される。 The outside air sent from the suction fan 3 and cooled by the precooler 5 passes through the suction region K. The adsorbent in the adsorption region K adsorbs moisture in the aerated air and discharges low dew point air. The discharged low dew point air is temperature-adjusted by the heater 6 and then supplied to the devices 7A and 7B through the air supply paths 8, 8A and 8B.

吸着領域Ｋの両側のうち吸着ロータ２の回転方向側に隣接する第一の再生領域Ｓ１及び第一の再生領域Ｓ１の両側のうち吸着ロータ２の回転方向側に隣接する第二の再生領域Ｓ２には、第一の再生領域Ｓ１及び第二の再生領域Ｓ２の下流側に配置される再生ファン４の吸引力により各装置７Ａ，７Ｂから回収される、吸着ロータ２の吸着領域Ｋから各装置７Ａ，７Ｂへ供給された空気が通過する。なお、各装置７Ａ，７Ｂがファンを備えるなどして吸着ロータ２の再生に必要な風量の排気を常時排出するものであれば、再生ファン４を省略することも可能である。 Of the both sides of the adsorption region K, the first regeneration region S1 adjacent to the rotation direction side of the adsorption rotor 2 and the second regeneration region S2 adjacent to the rotation direction side of the adsorption rotor 2 out of both sides of the first regeneration region S1. In this case, each device from the suction region K of the suction rotor 2 is recovered from each device 7A, 7B by the suction force of the regeneration fan 4 arranged downstream of the first regeneration region S1 and the second regeneration region S2. The air supplied to 7A and 7B passes through. Note that the regeneration fan 4 may be omitted if each of the devices 7A and 7B is provided with a fan, for example, so as to constantly exhaust the air flow necessary for regeneration of the adsorption rotor 2.

第一の再生領域Ｓ１に繋がる第一の排気経路９−１（本願でいう「第一の再生手段」の一例である）には、装置７Ａと繋がる装置排気経路１０ＡＡ、及び装置７Ｂと繋がる装置排気経路１０ＢＡが接続されている。装置排気経路１０ＡＡにはダンパ１１ＡＡが設けられ、装置排気経路１０ＢＡにはダンパ１１ＢＡが設けられている。よって、ダンパ１１ＡＡ，ダンパ１１ＢＡの開閉状態を制御することにより、第一の再生領域Ｓ１を通過する空気の排気源を、装置７Ａ及び装置７Ｂのうち何れかより選択可能である。 The first exhaust path 9-1 connected to the first regeneration region S1 (which is an example of the “first regeneration means” in the present application) includes the apparatus exhaust path 10AA connected to the apparatus 7A and the apparatus connected to the apparatus 7B. An exhaust path 10BA is connected. The apparatus exhaust path 10AA is provided with a damper 11AA, and the apparatus exhaust path 10BA is provided with a damper 11BA. Therefore, by controlling the opening / closing states of the damper 11AA and the damper 11BA, the exhaust source of the air passing through the first regeneration region S1 can be selected from either the device 7A or the device 7B.

第二の再生領域Ｓ２に繋がる第二の排気経路９−２（本願でいう「第二の再生手段」の一例である）には、装置７Ａと繋がる装置排気経路１０ＡＢ、及び装置７Ｂと繋がる装置排気経路１０ＢＢが接続されている。装置排気経路１０ＡＢにはダンパ１１ＡＢが設けられ、装置排気経路１０ＢＢにはダンパ１１ＢＢが設けられている。よって、ダンパ１１ＡＢ，ダンパ１１ＢＢの開閉状態を制御することにより、第二の再生領域Ｓ２を通過する空
気の排気源を、装置７Ａ及び装置７Ｂのうち何れかより選択可能である。 In the second exhaust path 9-2 connected to the second regeneration region S2 (which is an example of “second regeneration means” in the present application), an apparatus exhaust path 10AB connected to the apparatus 7A and an apparatus connected to the apparatus 7B An exhaust path 10BB is connected. A damper 11AB is provided in the apparatus exhaust path 10AB, and a damper 11BB is provided in the apparatus exhaust path 10BB. Therefore, the exhaust source of the air passing through the second regeneration region S2 can be selected from either the device 7A or the device 7B by controlling the open / close state of the damper 11AB and the damper 11BB.

吸着ファン３は、外気を取り込んで吸着ロータ２の吸着領域Ｋへ供給する電動式の空気ファンである。吸着ファン３の下流側に設けられるプレクーラ５は、吸着ロータ２で除湿させる前段階の処理として、被処理空気の温度を下げる。これに伴い外気は結露して湿分が除かれ、除湿効果も期待できる。 The suction fan 3 is an electric air fan that takes in outside air and supplies it to the suction region K of the suction rotor 2. The precooler 5 provided on the downstream side of the suction fan 3 lowers the temperature of the air to be treated as a process before the dehumidification by the suction rotor 2. Along with this, the outside air is condensed to remove moisture, and a dehumidifying effect can be expected.

吸着剤の性能は、処理空気の温度に大きく左右されるため、本実施形態に係る吸着システム１では、プレクーラ５を設けて処理空気の温度を低くすることで、吸着ロータ２の吸着領域Ｋを通過した空気の露点温度を低くしている。また、各装置７Ａ，７Ｂへ供給する空気の温度を安定的に制御するため、吸着ロータ２の吸着領域Ｋを通過した空気をヒータ６で加温している。ヒータ６は、電気で発熱する電気ヒータであってもよいし、プレクーラ５あるいはその他の機器に供給する冷熱を生成するヒートポンプシステムの凝縮器（コンデンサ）であってもよい。 Since the performance of the adsorbent is greatly influenced by the temperature of the processing air, in the adsorption system 1 according to the present embodiment, the adsorption area K of the adsorption rotor 2 is reduced by providing the precooler 5 to lower the temperature of the processing air. The dew point temperature of the passed air is lowered. Further, the air that has passed through the adsorption region K of the adsorption rotor 2 is heated by the heater 6 in order to stably control the temperature of the air supplied to the devices 7A and 7B. The heater 6 may be an electric heater that generates heat by electricity, or may be a condenser (condenser) of a heat pump system that generates cold heat to be supplied to the precooler 5 or other devices.

このように構成される吸着システム１では、以下のような吸着処理及び再生処理が実現される。吸着システム１が吸着処理及び再生処理を実現する際の、吸着システム１の各ダンパの開閉状態、及び各装置７Ａ，７Ｂから排出される排気の温度と湿度との関係を示したタイミングチャートの一例を図２に示す。吸着システム１を起動し、吸着システム１の各ダンパや各装置７Ａ，７Ｂを、図２に示したタイミングチャートに従って周期的に制御すると、吸着システム１では以下のような吸着処理及び再生処理が実現される。 In the adsorption system 1 configured as described above, the following adsorption process and regeneration process are realized. An example of a timing chart showing the relationship between the open / close state of each damper of the adsorption system 1 and the temperature and humidity of the exhaust gas discharged from each of the devices 7A and 7B when the adsorption system 1 realizes the adsorption process and the regeneration process Is shown in FIG. When the adsorption system 1 is activated and each damper and each of the devices 7A and 7B of the adsorption system 1 are periodically controlled according to the timing chart shown in FIG. 2, the adsorption system 1 realizes the following adsorption processing and regeneration processing. Is done.

ここで、吸着ロータ２の吸着剤を効果的に再生するためには、再生領域に流す空気の相対湿度が低いことが望ましい。特に、第一の再生領域Ｓ１に流した空気よりも低湿の空気を第二の再生領域Ｓ２に流すことが、吸着ロータ２の除湿性能を高めるために効果的である。回転する吸着ロータ２に担持されている吸着剤は、第二の再生状態の次に吸着状態へ遷移するため、第二の再生領域Ｓ２に流す空気の相対湿度を低くしておけば、吸着領域Ｋの吸着剤の除湿性能が高くなるためである。そこで、本実施形態に係る吸着システム１は、次のように運用する。 Here, in order to effectively regenerate the adsorbent of the adsorption rotor 2, it is desirable that the relative humidity of the air flowing through the regeneration region is low. In particular, it is effective to improve the dehumidifying performance of the adsorption rotor 2 by flowing air having a humidity lower than that of the air flowing in the first regeneration region S1 to the second regeneration region S2. Since the adsorbent carried on the rotating adsorption rotor 2 transitions to the adsorption state after the second regeneration state, if the relative humidity of the air flowing to the second regeneration region S2 is kept low, the adsorption region This is because the dehumidifying performance of the K adsorbent is enhanced. Therefore, the adsorption system 1 according to the present embodiment is operated as follows.

装置７Ａが停止しており、装置７Ｂが運転している場合の吸着システム１の状態を図３に示す。例えば、装置７Ａが停止しており、装置７Ｂが運転している場合、装置７Ｂでは湿分の排出が行われ、装置７Ａでは湿分の排出が行われない（この場合、装置７Ｂが本願でいう「特定の部位」に相当し、装置７Ａが本願でいう「特定の部位と異なる部位」に相当することになる）。よって、ダンパ１１ＡＡ，１１ＢＢは閉状態とし、ダンパ１１ＡＢ，１１ＢＡは開状態とする。各ダンパは、装置７Ａ，７Ｂの運転状態に応じた手動操作により開閉してもよいし、装置７Ａ，７Ｂの運転状態を示す信号に基づいて自動的に開閉してもよいし、装置７Ａ，７Ｂから排出される排気の温度や湿度を計測するセンサの出力信号に基づいて自動的に開閉してもよい。 FIG. 3 shows the state of the adsorption system 1 when the apparatus 7A is stopped and the apparatus 7B is operating. For example, when the device 7A is stopped and the device 7B is operating, the device 7B discharges moisture, and the device 7A does not discharge moisture (in this case, the device 7B is used in the present application). The device 7A corresponds to a “part different from the specific part” in the present application). Therefore, the dampers 11AA and 11BB are closed, and the dampers 11AB and 11BA are opened. Each damper may be opened and closed by a manual operation corresponding to the operating state of the devices 7A and 7B, or may be automatically opened and closed based on a signal indicating the operating state of the devices 7A and 7B. You may open and close automatically based on the output signal of the sensor which measures the temperature and humidity of the exhaust gas discharged from 7B.

このような状態の吸着システム１において、吸着領域Ｋで除湿され、装置７Ａに供給された空気は、低露点温度の状態を保ったまま、吸着ロータ２の第一の再生領域Ｓ１を通過する。また、吸着領域Ｋで除湿され、装置７Ｂに供給された空気は、装置７Ｂから排出される湿分を含んだ状態で、吸着ロータ２の第二の再生領域Ｓ２を通過する。よって、吸着能力を中程度に回復する第一の再生領域Ｓ１においては、装置７Ｂから装置排気経路１０ＢＡ及び第一の排気経路９−１を経由して流れる空気による再生処理が行われる。また、吸着能力を高度に、初期状態にまで回復する第二の再生領域Ｓ２においては、装置７Ａから装置排気経路１０ＡＢ及び第二の排気経路９−２を経由して流れる空気による再生処理が行われる。装置７Ａから流れる空気は、装置７Ｂから流れる空気よりも露点温度が低い。これにより、第一の再生領域Ｓ１において予備的に再生された吸着剤は、第二の再生領
域Ｓ２において、少なくとも吸着領域Ｋにおける吸着処理に支障の無い程度にまで再生される。 In the adsorption system 1 in such a state, the air dehumidified in the adsorption region K and supplied to the device 7A passes through the first regeneration region S1 of the adsorption rotor 2 while maintaining a low dew point temperature state. Further, the air dehumidified in the adsorption region K and supplied to the device 7B passes through the second regeneration region S2 of the adsorption rotor 2 in a state including moisture discharged from the device 7B. Therefore, in the first regeneration region S1 in which the adsorption capacity is restored to a medium level, regeneration processing using air flowing from the device 7B via the device exhaust path 10BA and the first exhaust path 9-1 is performed. Further, in the second regeneration region S2 in which the adsorption capacity is restored to the initial state at a high level, regeneration processing by air flowing from the device 7A via the device exhaust path 10AB and the second exhaust path 9-2 is performed. Is called. The air flowing from the device 7A has a lower dew point temperature than the air flowing from the device 7B. As a result, the adsorbent preliminarily regenerated in the first regeneration region S1 is regenerated in the second regeneration region S2 to the extent that there is no problem with the adsorption process in at least the adsorption region K.

装置７Ｂが停止しており、装置７Ａが運転している場合の吸着システム１の状態を図４に示す。例えば、装置７Ｂが停止しており、装置７Ａが運転している場合、装置７Ａでは湿分の排出が行われ、装置７Ｂでは湿分の排出が行われない（この場合、装置７Ａが本願でいう「特定の部位」に相当し、装置７Ｂが本願でいう「特定の部位と異なる部位」に相当することになる）。よって、ダンパ１１ＡＢ，１１ＢＡは閉状態とし、ダンパ１１ＡＡ，１１ＢＢは開状態とする。 FIG. 4 shows the state of the adsorption system 1 when the apparatus 7B is stopped and the apparatus 7A is operating. For example, when the device 7B is stopped and the device 7A is operating, the device 7A discharges moisture, and the device 7B does not discharge moisture (in this case, the device 7A is used in the present application). The device 7B corresponds to a “part different from the specific part” in the present application). Therefore, the dampers 11AB and 11BA are closed, and the dampers 11AA and 11BB are opened.

このような状態の吸着システム１において、吸着領域Ｋで除湿され、装置７Ａに供給された空気は、装置７Ａから排出される湿分を含んだ状態で、吸着ロータ２の第一の再生領域Ｓ１を通過する。また、吸着領域Ｋで除湿され、装置７Ｂに供給された空気は、低露点温度の状態を保ったまま、吸着ロータ２の第二の再生領域Ｓ２を通過する。よって、第一の再生領域Ｓ１においては、装置７Ａから装置排気経路１０ＡＡ及び第一の排気経路９−１を経由して流れる空気による再生処理が行われる。また、第一の再生領域Ｓ１においては、装置７Ｂから装置排気経路１０ＢＢ及び第二の排気経路９−２を経由して流れる空気による再生処理が行われる。装置７Ｂから流れる空気は、装置７Ａから流れる空気よりも露点温度が低い。これにより、第一の再生領域Ｓ１において予備的に再生された吸着剤は、第二の再生領域Ｓ２において、少なくとも吸着領域Ｋにおける吸着処理に支障の無い程度にまで再生される。 In the adsorption system 1 in such a state, the air dehumidified in the adsorption region K and supplied to the device 7A includes moisture discharged from the device 7A, and the first regeneration region S1 of the adsorption rotor 2 is included. Pass through. The air dehumidified in the adsorption region K and supplied to the device 7B passes through the second regeneration region S2 of the adsorption rotor 2 while maintaining the low dew point temperature state. Therefore, in the first regeneration region S1, regeneration processing using air flowing from the device 7A via the device exhaust path 10AA and the first exhaust path 9-1 is performed. In the first regeneration region S1, regeneration processing using air flowing from the device 7B via the device exhaust path 10BB and the second exhaust path 9-2 is performed. The air flowing from the device 7B has a dew point temperature lower than the air flowing from the device 7A. As a result, the adsorbent preliminarily regenerated in the first regeneration region S1 is regenerated in the second regeneration region S2 to the extent that there is no problem with the adsorption process in at least the adsorption region K.

本実施形態に係る吸着システム１であれば、再生領域を本実施形態のように第一の再生領域Ｓ１と第二の再生領域Ｓ２とに分けることなく、装置７Ａから流れる空気と装置７Ｂから流れる空気とを混合した空気で再生処理を行う場合（以下、比較例という）に比べて、吸着ロータ２の吸着剤が効果的に再生される。これにより、装置７Ａ，７Ｂから排出される排気の有効利用が図られ、各装置７Ａ，７Ｂへ供給する空気の露点温度を低くすることが可能である。 In the case of the adsorption system 1 according to the present embodiment, the air flowing from the device 7A and the air flowing from the device 7B are not divided into the first regeneration region S1 and the second regeneration region S2 as in the present embodiment. The adsorbent of the adsorption rotor 2 is effectively regenerated as compared with the case where the regeneration process is performed with air mixed with air (hereinafter referred to as a comparative example). Thereby, the exhaust gas discharged from the devices 7A and 7B can be effectively used, and the dew point temperature of the air supplied to the devices 7A and 7B can be lowered.

また、本実施形態に係る吸着システム１は、装置７Ａ，７Ｂの排気を吸着ロータ２の再生に利用しているため、装置７Ａや装置７Ｂから排出される排気の温度がある程度高い場合に、排気の熱を吸着ロータ２の再生に無駄なく利用することが可能である。 In addition, since the adsorption system 1 according to the present embodiment uses the exhaust of the devices 7A and 7B for the regeneration of the adsorption rotor 2, the exhaust is exhausted when the temperature of the exhaust discharged from the devices 7A and 7B is somewhat high. This heat can be used for the regeneration of the adsorption rotor 2 without waste.

吸着ロータ２を通過する空気の状態の試算値を以下に示す。図５は、試算を行う箇所（以下、試算箇所という）を丸数字で図示したものである。また、図６は、本実施形態に係る吸着ロータ２を通過する空気の状態の試算値の一例を示した表である。また、図７は、比較例として装置Ａと装置Ｂからそれぞれ排気させた空気を合流させて吸着剤の再生に供した場合の、吸着ロータを通過する空気の状態の試算値（装置の配置は図５に同じ）の一例を示した表である。 The estimated value of the state of the air passing through the adsorption rotor 2 is shown below. FIG. 5 illustrates the places where trial calculation is performed (hereinafter referred to as trial calculation sections) with circled numbers. FIG. 6 is a table showing an example of estimated values of the state of air passing through the suction rotor 2 according to the present embodiment. Further, FIG. 7 shows an estimated value of the state of the air passing through the adsorption rotor when the air exhausted from each of the devices A and B is used for regeneration of the adsorbent as a comparative example. It is the table | surface which showed an example of the same as FIG.

本実施形態に係る吸着システム１において、試算箇所Ｎｏ．１（外気）や試算箇所Ｎｏ．２（処理領域入口）、Ｎｏ．３（処理領域出口）、Ｎｏ．５（第二の再生領域Ｓ２の入口）、Ｎｏ．６（第二の再生領域Ｓ２の出口）、Ｎｏ．７（第一の再生領域Ｓ１の入口）、Ｎｏ．８（第一の再生領域Ｓ１の出口）を通過するそれぞれの空気の状態が、例えば、図６の表に示されるような状態であるものと仮定する。この場合、試算箇所Ｎｏ．５（第二の再生領域Ｓ２の入口）の絶対湿度が０．０１５７ｇ／ｋｇＤＡで、試算箇所Ｎｏ．７（第一の再生領域Ｓ１の入口）の絶対湿度が２１．００ｇ／ｋｇＤＡの場合には、試算箇所Ｎｏ．４（装置７Ａ，７Ｂへの給気）の絶対湿度が０．０１５７ｇ／ｋｇＤＡで露点温度が−５３．４４℃と試算できる。 In the adsorption system 1 according to the present embodiment, the trial location No. 1 (outside air) and trial location No. 2 (treatment area entrance), No. 2 3 (treatment area exit), No. 3 5 (entrance to the second reproduction region S2), No. 5 6 (exit of the second reproduction area S2), No. 6 7 (entrance of the first reproduction area S1), No. 7 It is assumed that the state of each air passing through 8 (the exit of the first regeneration region S1) is, for example, as shown in the table of FIG. In this case, the trial location No. 5 (inlet of the second regeneration area S2) has an absolute humidity of 0.0157 g / kgDA, 7 (the inlet of the first regeneration area S1) is 21.00 g / kgDA, the trial location No. 4 (supply air to the devices 7A and 7B) is 0.0157 g / kgDA and the dew point temperature can be estimated to be −53.44 ° C.

一方、比較例において、試算箇所Ｎｏ．１〜３、Ｎｏ．５〜８を通過するそれぞれの空気の状態が、例えば、図７の表に示されるような状態であるものと仮定する。比較例では、装置７Ａから流れる空気と装置７Ｂから流れる空気とを混合した空気が再生領域へ流れるため、試算箇所Ｎｏ．５と試算箇所Ｎｏ．７の空気の状態は同じである。試算箇所Ｎｏ．５，７の絶対湿度が１０．５１ｇ／ｋｇＤＡの場合には、試算箇所Ｎｏ．４（装置７Ａ，７Ｂへの給気）の絶対湿度が０．７１６ｇ／ｋｇＤＡで露点温度が−１８．７５℃と試算できる。 On the other hand, in the comparative example, the trial calculation part No. 1-3, no. It is assumed that the state of each air passing through 5 to 8 is a state as shown in the table of FIG. In the comparative example, since the air mixed from the air flowing from the device 7A and the air flowing from the device 7B flows to the regeneration region, the trial calculation part No. No. 5 and trial calculation part No. The air condition of 7 is the same. Trial point No. When the absolute humidity of 5 and 7 is 10.51 g / kgDA, the trial location No. 4 (supply air to the devices 7A and 7B) is 0.716 g / kgDA and the dew point temperature is -18.75 ° C.

本実施形態に係る吸着システム１と比較例の試算結果より、装置７Ａから流れる空気と装置７Ｂから流れる空気とを混合した空気で吸着剤を再生する場合に比べ、本実施形態に係る吸着システム１のように再生領域を仕切る方が、吸着剤が効果的に再生され、吸着ロータ２の除湿性能を高い状態で維持可能であることが判る。 From the calculation results of the adsorption system 1 according to the present embodiment and the comparative example, the adsorption system 1 according to the present embodiment is compared with the case where the adsorbent is regenerated with the air mixed from the air flowing from the device 7A and the air flowing from the device 7B. It can be seen that the partitioning of the regeneration region as described above can effectively regenerate the adsorbent and maintain the dehumidifying performance of the adsorption rotor 2 in a high state.

＜変形例＞
なお、上記実施形態では、図２に示すように、装置７Ａ，７Ｂの運転状態を周期的に切り替えていたが、上記実施形態は、このようなタイミングチャートに従った運用に限定されるものではない。上記実施形態に係る吸着システム１は、例えば、装置７Ａと装置７Ｂのうち何れか一方の装置の運転状態を維持し、何れか他方の装置の停止状態を維持するように運用してもよい。 <Modification>
In the above embodiment, as shown in FIG. 2, the operating states of the devices 7A and 7B are periodically switched. However, the above embodiment is not limited to the operation according to such a timing chart. Absent. The adsorption system 1 according to the above embodiment may be operated, for example, so as to maintain the operating state of one of the devices 7A and 7B and maintain the stopped state of the other device.

また、上記実施形態では、装置７Ａと装置７Ｂのうち停止中の装置を通過した空気が、第二の再生領域Ｓ２を通過するように構成していたが、上記実施形態は、このような態様に限定されるものではない。上記実施形態に係る吸着システム１は、例えば、装置７Ａと装置７Ｂのうち停止中の装置に空気のバイパス経路を設け、バイパス経路を通過した空気が第二の再生領域Ｓ２に通気されるようにしてもよい。 Moreover, in the said embodiment, although it comprised so that the air which passed the apparatus which has stopped among apparatus 7A and apparatus 7B may pass 2nd reproduction | regeneration area | region S2, the said embodiment is such an aspect. It is not limited to. In the adsorption system 1 according to the embodiment, for example, an air bypass path is provided in a stopped apparatus among the apparatuses 7A and 7B so that air passing through the bypass path is vented to the second regeneration region S2. May be.

また、上記実施形態では、第一の再生領域Ｓ１及び第二の再生領域Ｓ２を通過する空気を、一台のファン（再生ファン４）で吸引するようにしていたが、上記実施形態は、このような態様に限定されるものではない。上記実施形態に係る吸着システム１は、例えば、第一の再生領域Ｓ１を通過する空気を吸引するファンと、第二の再生領域Ｓ２を通過する空気を吸引するファンとを別々に設けてもよい。ファンを別々に設ける場合、各ファンは、各再生領域の上流側に設けることも可能である。 In the above embodiment, the air passing through the first regeneration area S1 and the second regeneration area S2 is sucked by one fan (regeneration fan 4). It is not limited to such an aspect. For example, the adsorption system 1 according to the embodiment may separately include a fan that sucks air that passes through the first regeneration region S1 and a fan that sucks air that passes through the second regeneration region S2. . When fans are provided separately, each fan can be provided upstream of each reproduction area.

また、上記実施形態では、装置７Ａ，７Ｂに供給する空気を除湿していたが、上記実施形態は、このような態様に限定されるものではない。上記実施形態に係る吸着システム１は、例えば、装置７Ａを一又は複数の設備を擁する第一の設備群とし、装置７Ｂを一又は複数の設備を擁する第二の設備群としてもよい。この場合、第二の設備群を、第一の設備群と異なるタイミングで作動させる。多数の設備を擁する設備群に対し、除湿した空気を供給する場合であっても、多数の設備を少なくとも２以上の設備群に分けて運用すれば、上記実施形態に係る吸着システム１を適用することが可能である。 Moreover, in the said embodiment, although the air supplied to apparatus 7A, 7B was dehumidified, the said embodiment is not limited to such an aspect. In the adsorption system 1 according to the above embodiment, for example, the device 7A may be a first facility group having one or more facilities, and the device 7B may be a second facility group having one or more facilities. In this case, the second equipment group is operated at a timing different from that of the first equipment group. Even when supplying dehumidified air to a facility group having a large number of facilities, the adsorption system 1 according to the above embodiment is applied if the large number of facilities are divided into at least two facility groups. It is possible.

また、上記実施形態では、２つの装置７Ａ，７Ｂに適用する場合を例にしていたが、上記実施形態は、このような態様に限定されるものではない。上記実施形態に係る吸着システム１は、例えば、３つ以上の装置に適用してもよい。この場合、吸着ロータ２に形成される再生領域は、上述したように２つの再生領域に仕切ってもよいが、例えば、３つ以上に仕切ってもよい。再生領域を３つ以上に仕切る場合であっても、２つに仕切る場合と同様、吸着ロータ２に担持されている吸着剤が吸着ロータ２の回転により各再生領域を順に通過するに従い、吸着剤を再生する空気が徐々に低湿な空気となるように、各再生領域を流す空気の排出源の装置を適宜選定する。 Moreover, in the said embodiment, although the case where it applies to the two apparatuses 7A and 7B was made into an example, the said embodiment is not limited to such an aspect. The adsorption system 1 according to the above embodiment may be applied to, for example, three or more devices. In this case, the regeneration area formed in the suction rotor 2 may be partitioned into two regeneration areas as described above, but may be partitioned into three or more, for example. Even when the regeneration region is divided into three or more, as in the case of dividing the regeneration region into two, the adsorbent carried on the adsorption rotor 2 passes through each regeneration region in turn due to the rotation of the adsorption rotor 2, and the adsorbent A device for exhausting air flowing through each regeneration region is appropriately selected so that air for regenerating the air gradually becomes low-humidity air.

また、上記実施形態では、空気中の湿分を吸着除去し、除湿を行っていたが、上記実施形態に係る吸着システム１は、このような態様に限定されるものではない。上記実施形態に係る吸着システム１は、例えば、空気以外の気体に含まれる湿分を吸着除去し、除湿を行うようにしてもよいし、湿分以外の各種蒸気（例えば、揮発性溶剤の蒸気）を吸着するようにしてもよい。 Moreover, in the said embodiment, the moisture in the air was adsorbed and removed, and dehumidification was performed, However, The adsorption system 1 which concerns on the said embodiment is not limited to such an aspect. For example, the adsorption system 1 according to the above-described embodiment may be configured to adsorb and remove moisture contained in a gas other than air to perform dehumidification, or various types of vapor other than moisture (for example, vapor of a volatile solvent). ) May be adsorbed.

また、上記実施形態では、吸着領域Ｋを通過した空気をヒータ６で加熱していたが、上記実施形態に係る吸着システム１は、このような態様に限定されるものではない。上記実施形態に係る吸着システム１の吸着ロータ２周りの変形例を図８に示す。 Moreover, in the said embodiment, although the air which passed the adsorption | suction area | region K was heated with the heater 6, the adsorption | suction system 1 which concerns on the said embodiment is not limited to such an aspect. A modification around the suction rotor 2 of the suction system 1 according to the above embodiment is shown in FIG.

上記実施形態に係る吸着システム１は、例えば、図８に示すように、第一の再生領域Ｓ１および第二の再生領域Ｓ２に流入する空気を加熱するヒータ１６を設ける。また、ヒータ６に代わり、吸着領域Ｋを通過した空気を冷却するアフタークーラ１２を設ける。アフタークーラ１２は、ヒータ１６の熱が残っている吸着領域Ｋを通過した高温の空気を冷却する目的で配置される。上記実施形態に係る吸着システム１をこのように変形しても、吸着剤を効果的に再生し、吸着ロータ２の除湿性能を高い状態で維持することが可能である。 For example, as shown in FIG. 8, the adsorption system 1 according to the embodiment includes a heater 16 that heats air flowing into the first regeneration region S1 and the second regeneration region S2. Further, instead of the heater 6, an after cooler 12 that cools the air that has passed through the adsorption region K is provided. The aftercooler 12 is disposed for the purpose of cooling the high-temperature air that has passed through the adsorption region K where the heat of the heater 16 remains. Even if the adsorption system 1 according to the above embodiment is modified in this way, the adsorbent can be effectively regenerated and the dehumidifying performance of the adsorption rotor 2 can be maintained in a high state.

また、上記実施形態では、各装置７Ａ，７Ｂから空気を直接回収していたが、上記実施形態に係る吸着システム１は、このような態様に限定されるものではない。上記実施形態に係る吸着システム１の変形例を図９に示す。 Moreover, in the said embodiment, although air was collect | recovered directly from each apparatus 7A, 7B, the adsorption | suction system 1 which concerns on the said embodiment is not limited to such an aspect. A modification of the adsorption system 1 according to the above embodiment is shown in FIG.

上記実施形態に係る吸着システム１は、例えば、図９に示すように、装置１７を内置した低露点室１３に給気する空気を除湿する場合に適用してもよい。第一の再生領域Ｓ１に繋がる第一の排気経路１９−１は、低露点室１３に内置されている装置１７に繋がっており、吸着ロータ２の吸着領域Ｋから低露点室１３内の空間を経て装置１７へ供給された空気を装置１７から回収し、第一の再生領域Ｓ１に流す。また、第二の再生領域Ｓ２に繋がる第二の排気経路１９−２は、低露点室１３に繋がっており、吸着ロータ２の吸着領域Ｋから低露点室１３内へ供給された空気を低露点室１３から回収し、第二の再生領域Ｓ２に流す。なお、図９では、低露点室１３に装置１７が一つのみ設置されているが、複数の装置が設置されていてもよい。 For example, as shown in FIG. 9, the adsorption system 1 according to the embodiment may be applied to the case where the air supplied to the low dew point chamber 13 in which the apparatus 17 is installed is dehumidified. The first exhaust path 19-1 connected to the first regeneration region S 1 is connected to the device 17 installed in the low dew point chamber 13, and the space in the low dew point chamber 13 from the adsorption region K of the adsorption rotor 2. Then, the air supplied to the device 17 is collected from the device 17 and flows into the first regeneration region S1. Further, the second exhaust path 19-2 connected to the second regeneration region S2 is connected to the low dew point chamber 13, and the air supplied from the adsorption region K of the adsorption rotor 2 into the low dew point chamber 13 is reduced to the low dew point. It collects from the chamber 13 and flows into the second regeneration region S2. In FIG. 9, only one device 17 is installed in the low dew point chamber 13, but a plurality of devices may be installed.

図１０は、本変形例に係る装置１７の排気及び低露点室１３内の空気の温度および湿度を示したグラフである。装置１７が置かれている低露点室１３内の空気の温度や湿度は、装置１７の排気の温度や湿度よりも低い。よって、上述したように、装置１７から排出される空気を第一の排気経路１９−１により第一の再生領域Ｓ１へ流し、装置１７から排出される空気よりも低湿な低露点室１３内の空気を第二の排気経路１９−２により第二の再生領域Ｓ２へ流せば、吸着ロータ２の除湿性能を効果的に高めることが可能であることが判る。 FIG. 10 is a graph showing the temperature and humidity of the exhaust in the apparatus 17 according to this modification and the air in the low dew point chamber 13. The temperature and humidity of the air in the low dew point chamber 13 where the apparatus 17 is placed are lower than the temperature and humidity of the exhaust of the apparatus 17. Therefore, as described above, the air exhausted from the device 17 is caused to flow to the first regeneration region S1 through the first exhaust path 19-1, and the air in the low dew point chamber 13 is lower in humidity than the air exhausted from the device 17. It can be seen that the dehumidifying performance of the adsorption rotor 2 can be effectively enhanced by flowing air to the second regeneration region S2 through the second exhaust path 19-2.

また、上記実施形態では、吸着剤を担持した吸着ロータ２により除湿を行っていたが、上記実施形態に係る吸着システム１は、このような態様に限定されるものではない。上記実施形態に係る吸着システム１は、吸着ロータ２に代わり、例えば、吸着剤を内包した吸着塔により除湿を行うようにしてもよい。この場合、吸着塔は、吸着システム１に少なくとも３以上設ける。そして、各吸着塔が、吸着ファン３から流れる空気を流して吸着状態となった後、第一の排気経路９−１から流れる空気を流して第一の再生状態へ遷移し、次に、第二の排気経路９−２から流れる空気を流して第二の再生状態へ遷移した後、再び吸着状態へ遷移するように、各流路の空気の流れをダンパ類で制御する。上記実施形態に係る吸着システム１の吸着ロータ２を吸着塔に代えても、吸着塔の除湿性能を上記実施形態に係る吸着システム１と同様、効果的に高めることが可能である。 Moreover, in the said embodiment, although the dehumidification was performed with the adsorption | suction rotor 2 which carry | supported the adsorption agent, the adsorption system 1 which concerns on the said embodiment is not limited to such an aspect. The adsorption system 1 according to the above embodiment may be dehumidified by an adsorption tower containing an adsorbent, for example, instead of the adsorption rotor 2. In this case, at least three adsorption towers are provided in the adsorption system 1. Then, after each of the adsorption towers flows into the adsorption state by flowing the air flowing from the adsorption fan 3, the air flowing from the first exhaust path 9-1 is flowed into the first regeneration state. The flow of air in each flow path is controlled by dampers so that the air flowing from the second exhaust path 9-2 flows and transitions to the second regeneration state, and then transitions to the adsorption state again. Even if the adsorption rotor 2 of the adsorption system 1 according to the above embodiment is replaced with an adsorption tower, the dehumidifying performance of the adsorption tower can be effectively enhanced as in the adsorption system 1 according to the above embodiment.

また、低湿空気の供給先は室や装置に限らない。例えば、複数の大型の缶体を洗浄する工程で、洗浄後に高温の乾燥空気を供給する工程にも適用できる。すなわち、洗浄後しばらくは缶外に排気するが、排気の湿度が一定以下になった段階で当該高温排気を吸着剤に再利用できる。更に、ロータ式の除湿機で生成した低湿度の空気を、例えば、圧力スイング式の吸着塔の吸着剤の再生に利用し、吸着塔を交互に再生する場合にも適用することができる。 Moreover, the supply destination of low-humidity air is not limited to a room or an apparatus. For example, the present invention can be applied to a process of cleaning a plurality of large cans and supplying hot dry air after cleaning. That is, the exhaust gas is exhausted outside the can for a while after cleaning, but the high-temperature exhaust gas can be reused as the adsorbent when the humidity of the exhaust gas becomes a certain level or less. Furthermore, the present invention can also be applied to the case where the low-humidity air generated by the rotor-type dehumidifier is used for, for example, regeneration of the adsorbent of the pressure swing type adsorption tower and the adsorption tower is regenerated alternately.

１・・吸着システム：２・・吸着ロータ：Ｋ・・吸着領域：Ｓ１・・第一の再生領域：Ｓ２・・第二の再生領域：３・・吸着ファン：４・・再生ファン：５・・プレクーラ：６，１６・・ヒータ：７Ａ，７Ｂ，１７・・装置：８，８Ａ，８Ｂ・・給気経路：９−１，１９−１・・第一の排気経路：９−２，１９−２・・第二の排気経路：１０ＡＡ，１０ＡＢ，１０ＢＡ，１０ＢＢ・・装置排気経路：１１ＡＡ，１１ＡＢ，１１ＢＡ，１１ＢＢ・・ダンパ：１２・・アフタークーラ：１３・・低露点室 1 ・・ Suction system: 2 ・・ Suction rotor: K ・・ Suction area: S1 ・・ First regeneration area: S2 ・・ Second regeneration area: 3 ・・ Suction fan: 4 ・・ Regeneration fan: 5 ・-Precooler: 6, 16-Heater: 7A, 7B, 17-Apparatus: 8, 8A, 8B-Air supply path: 9-1, 19-1-First exhaust path: 9-2, 19 -Second exhaust path: 10AA, 10AB, 10BA, 10BB ... Equipment exhaust path: 11AA, 11AB, 11BA, 11BB ... Dampers: 12 ... Aftercooler: 13 ... Low dew point chamber

Claims

An adsorption system for adsorbing vapor contained in a gas supplied to a predetermined supply destination,
An adsorption / removal unit that has an adsorbent capable of adsorbing the vapor, and that adsorbs and removes vapor contained in the gas supplied to the predetermined supply destination;
A first regeneration means for recovering the gas supplied to the predetermined supply destination from a specific part of the predetermined supply destination, and venting the recovered gas through the adsorbent to regenerate the adsorbent;
Of the gas supplied to the predetermined supply destination, a gas having a lower vapor concentration than the gas recovered by the first regeneration means is recovered from a part different from the specific part of the predetermined supply destination, and recovered. A second regenerating means for regenerating the adsorbent by passing the gas that has been regenerated to the adsorbent after the first regenerating means has regenerated,
Adsorption system.

The predetermined supply destination includes a plurality of facilities, a first facility group including any one or a plurality of facilities among the plurality of facilities, and the first facility group among the plurality of facilities. A plurality of facilities having a second facility group including any one or a plurality of facilities that generate the steam at a different timing from the facilities that comprise,
The first regeneration means regenerates the adsorbent by ventilating the adsorbent with a gas recovered from the equipment group that is generating the steam among the first equipment group and the second equipment group. ,
The second regeneration unit is configured to regenerate the gas recovered from the facility group in which the steam is not generated out of the first facility group and the second facility group after the first regeneration unit regenerates the gas. Aeration of the adsorbent to regenerate the adsorbent;
The adsorption system according to claim 1.

The predetermined supply destination is an indoor space in which one or a plurality of facilities for generating the steam is installed,
The first regeneration means regenerates the adsorbent by venting exhaust gas of the one or more facilities to the adsorbent,
The second regeneration means regenerates the adsorbent by venting the gas in the indoor space to the adsorbent.
The adsorption system according to claim 1.

The adsorption removal means is an adsorption rotor that carries the adsorbent, and when the adsorption rotor rotates, a specific region of the adsorption rotor is in an adsorption state in which the vapor is adsorbed and removed by the first regeneration means. Having a suction rotor that transitions to the suction state again after transitioning in the order of the first regeneration state to be regenerated and the second regeneration state to be regenerated by the second regeneration means;
The adsorption system according to any one of claims 1 to 3.