JP5790572B2 - 露光装置、計測方法、露光方法、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の第1の観点による露光装置は、照明系(IS)からの露光光を、投影光学系(PL)と液体(w)とを介して基板(W)上に照射することによって前記基板を露光する露光装置(EX)において、前記投影光学系の像面側に配置された光透過部(31、32)を介して、前記投影光学系を通過した露光光を受光する受光器(36、37)を有する計測手段(27)を備え、前記投影光学系と前記光透過部との間に液体がない状態で、前記計測手段の受光器で前記投影光学系を通過した露光光を受光することを特徴としている。
この発明によると、投影光学系の像面側に液体が供給されていない状態で、投影光学系を通過した露光光が投影光学系の像面側に配置された光透過部を介して計測手段の受光器で受光される。
本発明の第2の観点による露光装置は、照明系(IS)からの露光光を、投影光学系(PL)を介して基板(W)上に照射することによって前記基板を露光する露光装置(EX)において、前記投影光学系の像面側に配置され、前記投影光学系からの露光光が入射する光透過部(31、44、56)と、該光透過部からの光を受光器に入射させるための集光部材(41、45、52、57、62、71)とを有する計測手段(40、50、60、70)を備え、前記投影光学系からの露光光が気体中を通過せずに前記集光部材に入射するように、前記集光部材は、前記光透過部と前記受光器との間に配置されていることを特徴としている。
この発明によると、投影光学系からの露光光のうち、光透過部を透過した光は気体中を通過せずに集光部材に入射して集光される。尚、光透過部から集光部材に気体を通過しないように光を導くには、種々の方法があるが、光透過部と集光部材を接合しても良く、或いは、気体以外の媒質であって光透過性の媒質、例えば、液体、超臨界流体、ペースト、固体を光透過部と集光部材との間に、例えば薄膜状に介在させても良い。
本発明の第3の観点による露光装置は、投影光学系(PL)と液体(w)とを介して露光光を基板(W)上に照射することによって前記基板を露光する露光装置(EX)において、前記投影光学系に対向するように一方面が配置され、他方面の一部に光透過部(56)が形成された板状部材(51)と、前記光透過部からの光を受光する受光器(53)とを有する計測手段(50)を備え、前記計測手段の受光器による露光光の受光は、前記投影光学系と前記板状部材との間の液体(w)を介して行われることを特徴としている。
この発明によると、投影光学系からの露光光は液体を介して板状部材に入射し、板状部材に入射した光のうち光透過部を通過した光が計測手段が備える受光器に受光される。それゆえ、液浸露光の状態で露光光を計測することができる。
本発明の第4の観点による露光装置は、照明系(IS)からの露光光を、投影光学系(PL)と液体(w)とを介して基板(W)上に照射することによって前記基板を露光する露光装置(EX)において、前記投影光学系の像面側に配置され、前記投影光学系からの露光光が液体を介して入射する光透過部(31、32、44、56)と、該光透過部からの光を受光器(36、37)に入射させるための光学系(41、45、52、57、62、71、81、86、91、101、111)とを有する計測手段(40、50、60、70、80、85、90、100、110)を備え、前記光透過部からの光が気体中を通過せずに前記光学系に入射するように、前記光学系は、前記光透過部に近接して配置されていることを特徴としている。
この発明によると、投影光学系からの露光光のうち、光透過部を透過した光は計測手段に設けられた光学系によって気体中を通過しないよう導かれて受光器に入射する。それゆえ、受光器は光透過部を透過した光を効率良く受光できる。光透過部から光学系に気体を通過しないように光を導くには、前述のように気体以外の媒質を介在させてもよい。なお、光学系は一つの光学部材であってもよいし、複数の光学部材から構成されていてもよい。
本発明の第5の観点による露光装置は、投影光学系と、該投影光学系の像面側に配置された基板上に供給される液体とを介して前記基板に露光光を照射する露光装置であって、前記投影光学系に対して移動可能なステージと、前記ステージに設けられ、前記投影光学系に対向して配置された状態で前記液体に接する第1面、および前記投影光学系と前記液体とを介して前記第1面から入射した前記露光光を射出させる第2面を有する光学部材と、前記第2面から射出した前記露光光を受光する受光面を有し、該受光面と前記第2面との間に気体を介在させて配置される受光素子と、を備え、前記第2面は、少なくとも1つの曲面が形成された曲面部と、凹凸が形成された凹凸部との少なくとも一方を含む。
本発明の第1の観点によるデバイス製造方法は、上記の何れかの露光装置を用いることを特徴としている。
本発明の第2の観点によるデバイス製造方法は、基板上にマイクロデバイスを形成するデバイス製造方法であって、上記の何れかの露光装置を用いて、前記基板にパターンを転写することと、前記パターンが転写された前記基板を該パターンに基づいて処理することと、を含む。
本発明の第1の観点による計測方法は、投影光学系と、該投影光学系の像面側に配置された基板上に供給される液体とを介して前記基板に照射される露光光を検出する計測方法であって、前記投影光学系に対して移動可能なステージに設けられた光学部材の第1面を、前記投影光学系に対向した状態で前記液体に接触させることと、前記投影光学系と前記液体とを介して前記第1面から前記光学部材に入射した前記露光光を、前記光学部材が有する面のうち、少なくとも1つの曲面が形成された曲面部と凹凸が形成された凹凸部との少なくとも一方を含む第2面から射出させることと、前記第2面から射出した前記露光光を、気体を介して受光することと、を含む。
本発明の第1の観点による露光方法は、投影光学系(PL)と液体とを介して露光光で基板(W)を露光する露光方法であって、前記投影光学系の光射出端の側に、前記露光光を計測する計測装置(27)を設置する設置ステップと、前記投影光学系の光射出端側の光路空間に前記液体を介在させずに前記計測装置で前記露光光を計測する計測ステップ(S14、S15)と、前記計測結果に基づいて、前記光路空間に前記液体を介在させて前記基板を露光する露光ステップ(S19)とを含み、前記投影光学系の光射出端と前記光路空間との界面に入射する前記露光光の入射角が、前記計測ステップと前記露光ステップとで異なることを特徴としている。
この方法によると、計測ステップにおける前記投影光学系の光射出端と前記光路空間との界面に入射する露光光の入射角を、前記露光ステップにおける入射角より小さく調整することによって投影光学系と計測装置との間の光路空間に液体に存在していなくても計測装置は良好に露光光を受光することができ、その受光した光で結像状態や露光光の調整を実行することができる。
本発明の第2の観点による露光方法は、投影光学系(PL)を介して露光光で基板(W)を露光する露光方法であって、前記投影光学系から射出された前記露光光を気体を通過させずに受光器で受光する計測ステップと、前記投影光学系と液体とを介して前記基板上に前記露光光を照射することによって前記基板を露光する露光ステップとを含むことを特徴としている。
この方法によれば、露光光を気体中を通過せずに受光素子に送ることができるため、投影光学系の開口数が大きくなっても、投影光学系を通過した露光光を良好に受光することができる。
本発明の第3の観点による露光方法は、投影光学系と、該投影光学系の像面側に配置された基板上に供給される液体とを介して前記基板に露光光を照射する露光方法であって、上記の計測方法を用いて前記露光光を計測することと、前記露光光の計測結果に基づいて、前記露光光の照射条件を設定することと、を含む。
本発明の第3の観点によるデバイス製造方法は、上記の何れかの露光方法を用いることを特徴としている。
本発明の第4の観点によるデバイス製造方法は、基板上にマイクロデバイスを形成するデバイス製造方法であって、上記何れかの露光方法を用いて、前記基板にパターンを転写することと、前記パターンが転写された前記基板を該パターンに基づいて処理することと、を含む。
例えば、投影光学系の端面に入射する露光光束の角度(最外の光線と光軸とがなす角度)を調整(小さく)することで液体が無い状態でも投影光学系を通過した露光光を受光することができる。
また、本発明によれば、投影光学系の開口数の増大により大きな入射角を有する露光光が光透過部に入射しても光透過部を通過した露光光を確実に受光することができるという効果がある。
更に、本発明によれば、投影光学系と対向する一方面を平坦化でき、その板状部材の一方面への泡の付着や投影光学系と板状部材との間の液体の乱れ等を防止することができる。
また更に、本発明によれば、計測結果に応じて最適化した条件の下でマスクのパターンを基板上に露光転写することで、マスクに形成された微細なパターンを基板上に精確に転写することができる。この結果、高集積度のデバイスを歩留まり良く生産することができるという効果がある。
図1は、本発明の第1実施形態による露光装置の概略構成を示す図である。尚、図1に示す露光装置EXは、投影光学系PLとウェハWとの間の液体(純水)wを介して露光を行う液浸式の露光装置であって、半導体素子の回路パターンDPが形成されたレチクルRを用い、ステップ・アンド・リピート方式により、上記回路パターンDPの像をウェハWに転写する露光装置である。
σ=NAi/NAr
また、投影光学系PLの開口数NAは、通常ウェハW側の開口数NAwを示し、レチクル側の開口数NArは、投影光学系PLの倍率Mより、NAr=NAw/Mとして求められる。
シャーシ30は熱伝導率の高い金属、例えばアルミによって形成される筐体であって、その上面33には光透過部としてのピンホール31及び開口32が形成されている。
次に、本発明の第2実施形態による露光装置について説明する。本実施形態の露光装置の全体構成は図1に示す露光装置とほぼ同様の構成であるが、露光光センサ27の構成が相違する。尚、第1実施形態においては、露光光センサ27は、投影光学系PLの像面側に液体wなしに計測動作(露光光の受光)を行ったが、以下の説明においては、露光光センサ27は投影光学系PLの像面側の液体wを介して計測動作を行う。また、図3に示す通り、第1実施形態で説明した露光光センサ27は照度むらセンサ36と照射量センサ37とを備えているが、以下では説明の簡単のため、主として露光光センサ27に設けられる照度むらセンサについて説明する。
次に、本発明の第3実施形態による露光装置について説明する。上述した第2実施形態と同様に、本実施形態の露光装置の全体構成は図1に示す露光装置とほぼ同様の構成であるが、露光光センサ27の構成が相違する。尚、本実施形態においても主として露光光センサ27に設けられる照度むらセンサについて説明する。
この平行平板54の一方の面には、中央部を除いた全面にCr(クロム)等の金属を蒸着して遮光部55が形成されており、Cr(クロム)等の金属が蒸着されていない中央部が円形の光透過部56となっている。また、平凸レンズ52は図5に示す平凸レンズ41と同様に、平坦部52aと所定の曲率を有する曲面部52bが形成された合成石英又は蛍石からなる光学レンズである。
次に、本発明の第4実施形態による露光装置について説明する。上述した第2,第3実施形態と同様に、本実施形態の露光装置の全体構成は図1に示す露光装置とほぼ同様の構成であるが、露光光センサ27の構成が相違する。尚、本実施形態においても主として露光光センサ27に設けられる照度むらセンサについて説明する。図9は、本発明の第4実施形態による露光装置に設けられる照度むらセンサの概略構成を示す断面図である。図9に示す通り、本実施形態の露光装置に設けられる照度むらセンサ60は、平行平板61、平凸レンズ62、及び受光素子63を含んで構成される。
次に、本発明の第5実施形態による露光装置について説明する。上述した第2〜第4実施形態と同様に、本実施形態の露光装置の全体構成は図1に示す露光装置とほぼ同様の構成であるが、露光光センサ27の構成が相違する。尚、本実施形態においても主として露光光センサ27に設けられる照度むらセンサについて説明する。図10は、本発明の第5実施形態による露光装置に設けられる照度むらセンサの概略構成を示す断面図である。図10に示す通り、本実施形態の露光装置に設けられる照度むらセンサ70は、平凸レンズ71及び受光素子72を含んで構成される。
次に、本発明の第6実施形態による露光装置について説明する。本実施形態の露光装置も全体構成は図1に示す露光装置とほぼ同様の構成であるが、露光光センサ27の構成が相違する。尚、本実施形態の露光装置が備える露光光センサ27は、上述した第2〜第5実施形態と同様に、投影光学系PLの像面側の液体wを介して計測動作を行うものである。但し、本実施形態においては、主として露光光センサ27に設けられる照射量センサについて説明する。
尚、本実施形態では図3に示すNDフィルタ34は設けられていない。尚、マイクロレンズアレイ83をNDフィルタ34に貼り付けた構成、又はマイクロレンズアレイ83と受光素子82との間にNDフィルタを設けた構成としても良い。集光板81とシャーシ30との間は、投影光学系PLの像面側に供給される液体wがシャーシ30内に浸入しないようシール材等によって防水対策が施されている。
次に、本発明の第7実施形態による露光装置について説明する。本実施形態の露光装置の全体構成は図1に示す露光装置とほぼ同様の構成であるが、露光光センサ27の構成が相違する。尚、本実施形態の露光装置が備える露光光センサ27は、上述した第2〜第5実施形態と同様に、投影光学系PLの像面側の液体wを介して計測動作を行うものである。但し、本実施形態においては、主として露光光センサ27に設けられる照射量センサについて説明する。
次に、本発明の第8実施形態による露光装置について説明する。本実施形態の露光装置の全体構成は図1に示す露光装置とほぼ同様の構成であるが、露光光センサ27の構成が相違する。尚、本実施形態の露光装置が備える露光光センサ27は、上述した第2〜第5実施形態と同様に、投影光学系PLの像面側の液体wを介して計測動作を行うものである。但し、本実施形態においては、主として露光光センサ27に設けられる照射量センサについて説明する。
受光素子92は、露光光の波長とは異なる波長領域(例えば、可視領域)を受光する特性を有している。この受光素子92は、受光面92aのほぼ中心が蛍光板91の中央部のほぼ中心の真下(−Z方向)に位置し、且つ蛍光板91に近接した位置に配置されている。
受光素子92の受光面92aには蛍光及び燐光を含む可視領域の光に対するARコートが施されている。
次に、本発明の第9実施形態による露光装置について説明する。本実施形態の露光装置の全体構成は図1に示す露光装置とほぼ同様の構成であるが、露光光センサ27の構成が相違する。尚、本実施形態の露光装置が備える露光光センサ27は、上述した第2〜第5実施形態と同様に、投影光学系PLの像面側の液体wを介して計測動作を行うものであって、主に露光光センサ27に設けられる照度むらセンサについて説明する。
次に、本発明の第10実施形態による露光装置について説明する。本実施形態の露光装置の全体構成は図1に示す露光装置とほぼ同様の構成であるが、露光光センサ27の構成が相違する。尚、本実施形態の露光装置が備える露光光センサ27は、上述した第2〜第5実施形態と同様に、投影光学系PLの像面側の液体wを介して計測動作を行うものであって、主に露光光センサ27に設けられる照度むらセンサについて説明する。
また、上記第2〜第5実施形態では、露光光を集光する集光部材として1つの平凸レンズ41,45,52,57,62,71を備える場合を例に挙げて説明し、上記第6〜第10実施形態では露光光を受光素子に入射させるための光学系として、集光板81、拡散板86、蛍光板91、導波部材101、及び積分球111を含む構成について説明した。
しかしながら、平凸レンズ41,45,52,57,62,71と受光素子との間、並びに、集光板81、拡散板86、蛍光板91、導波部材101、及び積分球111と受光素子との間に複数のレンズを設けて露光光等を受光素子に導く構成が望ましい。
しかしながら、これらは、露光光の波長に応じて、フッ化マグネシウム(MgF2)等のフッ化物結晶又はこれらの混晶、又フッ素や水素等の物質をドープした石英硝子等の真空紫外光を透過する光学材料から選択される。尚、所定の物質をドープした石英硝子は、露光光の波長が150nm程度より短くなると透過率が低下するため、波長が150nm程度以下の真空紫外光を露光光として用いる場合には、光学素子の光学材料としては、蛍石(フッ化カルシウム)、フッ化マグネシウム等のフッ化物結晶又はこれらの混晶が使用される。
31 ピンホール(光透過部)
32 開口(光透過部)
34 NDフィルタ(光透過部)
36 照度むらセンサ(受光器)
37 照射量センサ(受光器)
40 照度むらセンサ(計測手段)
41 平凸レンズ(集光部材、光学部材)
44 光透過部
45 平凸レンズ(集光部材、光学部材)
45a平坦部
50 照度むらセンサ(計測手段)
51 開口板(板状部材)
52 平凸レンズ(集光部材、光学部材)
53 受光素子
56 光透過部
57 平凸レンズ(集光部材、光学部材)
60 照度むらセンサ(計測手段)
62 平凸レンズ(集光部材、光学部材)
70 照度むらセンサ(計測手段)
71 平凸レンズ(集光部材、光学部材)
80 照射量センサ(計測手段)
81 集光板(光学系、集光部材、光学部材)
82 受光素子
83 マイクロレンズアレイ(波面分割素子、マイクロレンズアレイ素子)
85 照射量センサ(計測手段)
86 拡散板(光学系、拡散部材、光学部材)
87 受光素子
90 照射量センサ(計測手段)
91 蛍光板(光学系、波長変換手段)
92 受光素子
100照度むらセンサ(計測手段)
101導波部材(光学系)
102受光素子
110照度むらセンサ(計測手段)
111積分球(光学系、導波部材)
112受光素子
121レンズ(光学素子)
122レンズ(光学素子)
EX 露光装置
IS 照明光学系(照明系)
PL 投影光学系
W ウェハ(基板)
w 液体
Claims (38)
- 投影光学系と、該投影光学系下に供給される液体とを介して基板に露光光を照射する露光装置であって、
前記投影光学系に対して移動可能なステージと、
前記ステージに設けられ、該ステージによって前記投影光学系に対向して配置された状態で前記液体に接する第1面、および気体に接する第2面を有し、前記液体を介して前記第1面から入射した前記投影光学系からの前記露光光を前記第2面から前記気体中に射出させる光学部材と、
前記第2面から前記気体中に射出した前記露光光を受光する受光素子と、を備え、
前記第2面は、前記液体を介して前記第1面から前記光学部材内に入射する前記投影光学系からの前記露光光を前記気体中に射出させるための非平坦部を含み、
前記光学部材は、前記第2面から射出した前記露光光を前記受光素子へ導く導光部材を含むことを特徴とする露光装置。 - 請求項1に記載の露光装置において、
前記非平坦部は、前記気体側に凸状に湾曲した面を含むことを特徴とする露光装置。 - 請求項1に記載の露光装置において、
前記非平坦部は、凹凸が形成された面を含むことを特徴とする露光装置。 - 請求項1に記載の露光装置において、
前記非平坦部は、前記露光光を拡散する面を含むことを特徴とする露光装置。 - 請求項1に記載の露光装置において、
前記非平坦部は、前記露光光を回折する面を含むことを特徴とする露光装置。 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記第1面は、平坦面であることを特徴とする露光装置。 - 請求項1に記載の露光装置において、
前記光学部材は、前記第1面から該光学部材に入射した前記露光光を前記受光素子に対して集光する集光部材を含み、
前記第2面は、前記集光部材に設けられていることを特徴とする露光装置。 - 請求項7に記載の露光装置において、
前記集光部材は、レンズを含むことを特徴とする露光装置。 - 請求項7に記載の露光装置において、
前記集光部材は、複数のレンズ要素を含むことを特徴とする露光装置。 - 請求項7〜9のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記集光部材は、平凸レンズ、レンズアレイおよびフレネルレンズの少なくとも1つを含むことを特徴とする露光装置。 - 請求項7〜10のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記第1面から前記光学部材に入射した前記露光光は、前記光学部材によって平行光に変換されることを特徴とする露光装置。 - 請求項7に記載の露光装置において、
前記集光部材は、前記露光光を回折する回折光学素子を含むことを特徴とする露光装置。 - 請求項1に記載の露光装置において、
前記光学部材は、前記第1面から該光学部材に入射した前記露光光を拡散する拡散部材を含み、
前記第2面は、前記拡散部材に設けられていることを特徴とする露光装置。 - 請求項1に記載の露光装置において、
前記光学部材は、前記第1面から該光学部材に入射した前記露光光を回折する回折部材を含み、
前記第2面は、前記回折部材に設けられていることを特徴とする露光装置。 - 請求項1または2に記載の露光装置において、
前記光学部材は、前記第1面から該光学部材に入射した前記露光光を反射する反射面を含み、
前記第1面から前記光学部材に入射した前記露光光は、前記反射面を介して前記第2面へ導かれることを特徴とする露光装置。 - 請求項1〜15のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記導光部材は、少なくとも1つのレンズを含むことを特徴とする露光装置。 - 請求項1〜16のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記導光部材は、前記第2面から射出した前記露光光を平行光にすることを特徴とする露光装置。 - 請求項1〜17のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記光学部材は、前記第1面と前記第2面との間における前記露光光の光路に気体を含まないことを特徴とする露光装置。 - 請求項1または2に記載の露光装置において、
前記光学部材は、前記第1面を有する第1光学部材と、前記第2面を有する第2光学部材とを含むことを特徴とする露光装置。 - 請求項19に記載の露光装置において、
前記第1光学部材と前記第2光学部材とは、前記第1面と前記第2面との間における前記露光光の光路に気体を介在させないように配置されることを特徴とする露光装置。 - 請求項19に記載の露光装置において、
前記第1光学部材と前記第2光学部材とは、前記第1面と前記第2面との間における前記露光光の光路に気体を介在させないように接合されることを特徴とする露光装置。 - 請求項1〜21のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記光学部材は、前記露光光を遮光する遮光部が前記第1面の周囲に設けられることを特徴とする露光装置。 - 請求項22に記載の露光装置において、
前記遮光部は、ピンホールを形成し、前記第1面は、前記ピンホール内に設けられることを特徴とする露光装置。 - 請求項1〜23のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記光学部材は、前記第1面と前記ステージの上面との高さが一致するように該ステージに設けられることを特徴とする露光装置。 - 請求項1〜23のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記光学部材を保持し、該光学部材の前記第1面と前記ステージの上面との高さが一致するように前記ステージに取り付けられる保持部材をさらに備えることを特徴とする露光装置。 - 請求項25に記載の露光装置において、
前記光学部材は、前記第1面と前記保持部材の上面との高さが一致するように該保持部材に保持され、
前記保持部材は、該保持部材の上面と前記ステージの上面との高さが一致するように該ステージに取り付けられることを特徴とする露光装置。 - 請求項1〜26のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記ステージは、前記基板を保持して前記投影光学系に対して移動することを特徴とする露光装置。 - 請求項1〜27のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記ステージは、前記基板を保持するホルダを含み、
前記ホルダは、前記ステージの上面と前記基板の上面との高さが一致するように該基板を保持することを特徴とする露光装置。 - デバイスを形成するデバイス製造方法であって、
パターンを介した露光光を請求項1〜28のいずれか一項に記載の露光装置を用いて基板に照射し、前記基板に前記パターンを転写することと、
前記パターンが転写された前記基板を現像することと、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。 - 投影光学系から照射される露光光を該投影光学系下に供給される液体を介して検出する検出方法であって、
前記投影光学系に対して移動可能なステージに設けられ光学部材を前記投影光学系の下方に移動させることと、
前記光学部材が前記投影光学系に対向して配置された状態で前記液体に接する前記光学部材の第1面から前記光学部材に入射する前記露光光を、前記光学部材の第2面から該第2面に接する気体中に射出させることと、
前記第2面から前記気体中に射出させた前記露光光を受光素子で検出することと、
を含み、
前記液体を介して前記第1面から前記光学部材内に入射する前記投影光学系からの前記露光光は、前記第2面に形成された非平坦部から前記気体中に射出され、
前記第2面からの前記露光光は、導光部材を介して前記受光素子へ導かれることを特徴とする検出方法。 - 請求項30に記載の検出方法において、
前記非平坦部から前記気体中に射出される前記露光光は、前記投影光学系を通過した前記露光光の最外光線を含むことを特徴とする検出方法。 - 請求項30または31に記載の検出方法において、
前記第1面から前記光学部材に入射した前記露光光は、前記非平坦部により回折されて前記気体中に射出されることを特徴とする検出方法。 - 請求項30または31に記載の検出方法において、
前記第1面から前記光学部材に入射した前記露光光は、前記非平坦部により拡散されて前記気体中に射出されることを特徴とする検出方法。 - 請求項30または31に記載の検出方法において、
前記第1面から前記光学部材に入射した前記露光光は、前記非平坦部により集光されて前記気体中に射出されることを特徴とする検出方法。 - 請求項30または31に記載の検出方法において、
前記第1面から前記光学部材に入射した前記露光光は、前記光学部材内で反射された後、前記非平坦部から前記気体中に射出されることを特徴とする検出方法。 - 投影光学系と該投影光学系下に供給される液体とを介して基板に露光光を照射する露光方法であって、
請求項30〜35のいずれか一項に記載の検出方法を用いて前記露光光を検出することと、
前記露光光の検出結果に基づいて、前記露光光の照射条件を設定することと、
を含むことを特徴とする露光方法。 - 請求項36に記載の露光方法であって、
前記ステージによって前記基板保持することと、
前記ステージによって前記基板を前記投影光学系に対向する位置に移動させることと、
前記投影光学系に対向する位置に移動された前記基板に前記投影光学系および前記液体を介して前記露光光を照射することと、
を含むことを特徴とする露光方法。 - デバイスを形成するデバイス製造方法であって、
パターンを介した露光光を請求項36または37に記載の露光方法を用いて基板に照射し、前記基板に前記パターンを転写することと、
前記パターンが転写された前記基板を現像することと、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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