JP5776588B2 - Semiconductor device - Google Patents

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Description

本発明は、半導体装置に関するものである。   The present invention relates to a semiconductor device.

特許文献1において電力半導体素子が開示されている。詳しくは、放熱部の上に正側導体と第1の導体とが対向するように設けられ、その間に第1の半導体チップが接合されている。放熱部の上に負側導体と第2の導体とが対向するように設けられ、その間に第2の半導体チップが接合されている。   Patent Document 1 discloses a power semiconductor element. Specifically, the positive conductor and the first conductor are provided on the heat radiating portion so as to face each other, and the first semiconductor chip is bonded therebetween. A negative conductor and a second conductor are provided on the heat radiating portion so as to face each other, and a second semiconductor chip is bonded therebetween.

特開2007−67220号公報JP 2007-67220 A

ところで、トランジスタ等の能動素子においては制御端子を有しており、制御端子に対する信号線の取り出しが必要となってくる。
本発明の目的は、信号線を容易に取り出すことができる半導体装置を提供することにある。
Incidentally, an active element such as a transistor has a control terminal, and it is necessary to take out a signal line from the control terminal.
An object of the present invention is to provide a semiconductor device from which a signal line can be easily taken out.

請求項1に記載の発明では、第1の電極ブロックと、前記第1の電極ブロックに対向するように設けられた共通電極ブロックと、前記第1の電極ブロックの側面と前記共通電極ブロックの側面との間に配置され、前記第1の電極ブロックと前記共通電極ブロックに接合された第1の半導体素子と、前記共通電極ブロックに対向するように設けられた第2の電極ブロックと、前記共通電極ブロックの側面と前記第2の電極ブロックの側面との間に配置され、前記共通電極ブロックと前記第2の電極ブロックに接合された第2の半導体素子と、を備えた半導体装置において、前記第1の半導体素子の信号線用の電極パッドが前記共通電極ブロックと対向しない位置になるように前記第1の電極ブロックと前記共通電極ブロックとをオフセットして配置し、該配置によって前記共通電極ブロックと対向しなくなった前記第1の電極ブロックの位置では、前記電極パッドのみが前記第1の半導体素子に接続されており、前記第1の電極ブロック、前記共通電極ブロックおよび前記第2の電極ブロックは、放熱部材に固定されており、前記第1の電極ブロック、前記共通電極ブロックおよび前記第2の電極ブロックのそれぞれにおいて、前記側面は前記放熱部材への固定面から立設する面であることを要旨とする。 In the first aspect of the present invention, the first electrode block, the common electrode block provided so as to face the first electrode block, the side surface of the first electrode block, and the side surface of the common electrode block A first semiconductor element that is disposed between the first electrode block and the common electrode block, a second electrode block that is provided to face the common electrode block, and the common In a semiconductor device comprising: a second semiconductor element disposed between a side surface of an electrode block and a side surface of the second electrode block, and joined to the common electrode block and the second electrode block; The first electrode block and the common electrode block are offset so that the electrode pad for the signal line of the first semiconductor element is positioned not to face the common electrode block. Location and, in the position of the first electrode blocks that no longer face the common electrode block by the arrangement, the only electrode pad is connected to said first semiconductor element, the first electrode block, wherein The common electrode block and the second electrode block are fixed to a heat dissipation member, and in each of the first electrode block, the common electrode block, and the second electrode block, the side surface is connected to the heat dissipation member. The gist is that the surface is erected from the fixed surface.

請求項1に記載の発明によれば、第1の半導体素子の信号線用の電極パッドが共通電極ブロックと対向しない位置になるように第1の電極ブロックと共通電極ブロックとがオフセットして配置されているので、信号線を容易に取り出すことができる。また、第1の電極ブロック、共通電極ブロックおよび第2の電極ブロックを介して放熱部材により放熱することができる。 According to the first aspect of the present invention, the first electrode block and the common electrode block are offset from each other so that the signal line electrode pad of the first semiconductor element does not face the common electrode block. Therefore, the signal line can be easily taken out. Further, heat can be radiated by the heat radiating member through the first electrode block, the common electrode block, and the second electrode block.

請求項2に記載の発明では、請求項1に記載の半導体装置において、前記第2の半導体素子の信号線用の電極パッドが前記第2の電極ブロックと対向しない位置になるように前記共通電極ブロックと前記第2の電極ブロックとをオフセットして配置したことを要旨とする。   According to a second aspect of the present invention, in the semiconductor device according to the first aspect, the common electrode is arranged such that a signal line electrode pad of the second semiconductor element is not opposed to the second electrode block. The gist is that the block and the second electrode block are arranged offset.

請求項2に記載の発明によれば、第2の半導体素子の信号線用の電極パッドが第2の電極ブロックと対向しない位置になるように共通電極ブロックと第2の電極ブロックとがオフセットして配置されているので、信号線を容易に取り出すことができる。   According to the second aspect of the present invention, the common electrode block and the second electrode block are offset so that the electrode pad for the signal line of the second semiconductor element is positioned not to face the second electrode block. Therefore, the signal lines can be easily taken out.

求項に記載の発明では、請求項1又は2に記載の半導体装置において、前記第1の半導体素子の信号線用の配線材を樹脂でモールドした第1の半導体素子用の配線ブロックを備え、当該第1の半導体素子用の配線ブロックの信号線用の配線材と前記第1の半導体素子の信号線用の電極パッドが電気的に接続されていることを要旨とする。 In the invention described in Motomeko 3, in the semiconductor device according to claim 1 or 2, a wiring block for the first semiconductor element wiring material for the signal line of the first semiconductor element is molded with resin The wiring line material for signal lines of the wiring block for the first semiconductor element and the electrode pads for signal lines of the first semiconductor element are electrically connected.

請求項に記載の発明によれば、第1の半導体素子用の配線ブロックの信号線用の配線材と第1の半導体素子の信号線用の電極パッドが電気的に接続され、容易に信号線を引き出すことができる。 According to the third aspect of the present invention, the signal line wiring material of the first semiconductor element wiring block and the signal line electrode pad of the first semiconductor element are electrically connected, and the signal can be easily obtained. The line can be pulled out.

請求項に記載の発明では、請求項1〜のいずれか1項に記載の半導体装置において、前記第2の半導体素子の信号線用の配線材を樹脂でモールドした第2の半導体素子用の配線ブロックを備え、当該第2の半導体素子用の配線ブロックの信号線用の配線材と前記第2の半導体素子の信号線用の電極パッドが電気的に接続されていることを要旨とする。 According to a fourth aspect of the present invention, in the semiconductor device according to any one of the first to third aspects, the wiring material for the signal line of the second semiconductor element is molded with a resin. The wiring block for the signal line of the wiring block for the second semiconductor element and the electrode pad for the signal line of the second semiconductor element are electrically connected to each other. .

請求項に記載の発明によれば、第2の半導体素子用の配線ブロックの信号線用の配線材と第2の半導体素子の信号線用の電極パッドが電気的に接続され、容易に信号線を引き出すことができる。 According to the fourth aspect of the present invention, the signal line wiring material of the second semiconductor element wiring block and the signal line electrode pad of the second semiconductor element are electrically connected, so that the signal can be easily transmitted. The line can be pulled out.

請求項に記載の発明では、請求項1又は2に記載の半導体装置において、前記第1の電極ブロックの前記共通電極ブロックに対するオフセット方向側に、前記第1の半導体素子の信号線用の配線材を樹脂でモールドした第1の半導体素子用の配線ブロックを備え、当該第1の半導体素子用の配線ブロックの信号線用の配線材と前記第1の半導体素子の信号線用の電極パッドが電気的に接続され、前記共通電極ブロックの前記オフセット方向側であって前記第1の半導体素子の信号線用の電極パッドと対向する位置に、前記第2の半導体素子の信号線用の配線材を樹脂でモールドした第2の半導体素子用の配線ブロックを備え、当該第2の半導体素子用の配線ブロックの信号線用の配線材と前記第2の半導体素子の信号線用の電極パッドが電気的に接続されており、前記第2の半導体素子用の配線ブロックは、前記第1の半導体素子の信号線用の電極パッドに対する部位に開口する凹部を有することを要旨とする。 According to a fifth aspect of the present invention, in the semiconductor device according to the first or second aspect , the signal line wiring of the first semiconductor element is on the offset direction side of the first electrode block with respect to the common electrode block. A wiring block for a first semiconductor element in which a material is molded with a resin, a wiring material for a signal line of the wiring block for the first semiconductor element, and an electrode pad for a signal line of the first semiconductor element A wiring material for the signal line of the second semiconductor element, which is electrically connected and located on the offset direction side of the common electrode block and opposite to the electrode pad for the signal line of the first semiconductor element. A wiring block for a second semiconductor element molded with resin, and a wiring material for a signal line of the wiring block for the second semiconductor element and an electrode pad for the signal line of the second semiconductor element are electrically connected. Are connected, the wiring block for the second semiconductor element, and summarized in that a recess which opens at a site against toward the electrode pad of the signal line of the first semiconductor element.

請求項に記載の発明によれば、第2の半導体素子用の配線ブロックにおける凹部により第1の半導体素子の信号線用の電極パッドから容易に信号線を引き出すことができる。
また、第1の半導体素子用の配線ブロックの信号線用の配線材と第1の半導体素子の信号線用の電極パッドが電気的に接続され、容易に信号線を引き出すことができる。第2の半導体素子用の配線ブロックの信号線用の配線材と第2の半導体素子の信号線用の電極パッドが電気的に接続され、容易に信号線を引き出すことができる。
According to the fifth aspect of the present invention, the signal line can be easily drawn out from the electrode pad for the signal line of the first semiconductor element by the recess in the wiring block for the second semiconductor element.
In addition, the signal line wiring material of the first semiconductor element wiring block and the signal line electrode pad of the first semiconductor element are electrically connected, and the signal line can be easily drawn out. The signal line wiring material of the wiring block for the second semiconductor element and the electrode pad for the signal line of the second semiconductor element are electrically connected, and the signal line can be easily drawn out.

本発明によれば、信号線を容易に取り出すことができる。   According to the present invention, the signal line can be easily taken out.

(a)は実施形態における半導体装置の平面図、(b)は半導体装置の正面図、(c)は半導体装置の右側面図。(A) is a top view of the semiconductor device in the embodiment, (b) is a front view of the semiconductor device, and (c) is a right side view of the semiconductor device. 半導体装置の斜視図。The perspective view of a semiconductor device. 半導体装置における要部を示す斜視図。The perspective view which shows the principal part in a semiconductor device. 半導体装置の電気回路図。FIG. 7 is an electric circuit diagram of a semiconductor device.

以下、本発明を具体化した一実施形態を図面に従って説明する。
なお、図面において、水平面を、直交するX,Y方向で規定するとともに、上下方向をZ方向で規定している。
DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, an embodiment of the invention will be described with reference to the drawings.
In the drawings, the horizontal plane is defined by the orthogonal X and Y directions, and the vertical direction is defined by the Z direction.

図1に示す半導体装置10は、図4に示すインバータにおける上下のアーム100,101を構成している。他の上下のアーム102,103および、上下のアーム104,105についても図1に示す半導体装置10と同様に構成されている。   A semiconductor device 10 shown in FIG. 1 constitutes upper and lower arms 100 and 101 in the inverter shown in FIG. The other upper and lower arms 102 and 103 and the upper and lower arms 104 and 105 are configured in the same manner as the semiconductor device 10 shown in FIG.

図4において、インバータは、U相用の上下のアーム100,101と、V相用の上下のアーム102,103と、W相用の上下のアーム104,105とを備えている。各アーム100,101,102,103,104,105は、並列接続したIGBTとダイオードにより構成されている。IGBTは制御端子としてのゲート端子(ゲート電極)を有している。   In FIG. 4, the inverter includes upper and lower arms 100 and 101 for the U phase, upper and lower arms 102 and 103 for the V phase, and upper and lower arms 104 and 105 for the W phase. Each arm 100, 101, 102, 103, 104, 105 is configured by an IGBT and a diode connected in parallel. The IGBT has a gate terminal (gate electrode) as a control terminal.

図1,2に示すように、半導体装置10は、放熱部材としての放熱板20と、銅製の第1の電極ブロック30と、銅製の共通電極ブロック40と、銅製の第2の電極ブロック50と、ゲート配線ブロック60と、ゲート配線ブロック70を備えている。さらに、半導体装置10は、上アーム100を構成するトランジスタチップ80およびダイオードチップ81と、下アーム101を構成するトランジスタチップ90およびダイオードチップ91を備えている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the semiconductor device 10 includes a heat dissipation plate 20 as a heat dissipation member, a first electrode block 30 made of copper, a common electrode block 40 made of copper, and a second electrode block 50 made of copper. A gate wiring block 60 and a gate wiring block 70 are provided. Further, the semiconductor device 10 includes a transistor chip 80 and a diode chip 81 that constitute the upper arm 100, and a transistor chip 90 and a diode chip 91 that constitute the lower arm 101.

第1の電極ブロック30と共通電極ブロック40と第2の電極ブロック50とは、導電体よりなり、断面長方形の四角柱状をなし、4つの側面を有している。3つの電極ブロック30,40,50は断面の形状および断面の寸法が同一となっている。   The first electrode block 30, the common electrode block 40, and the second electrode block 50 are made of a conductor, have a rectangular column shape with a rectangular cross section, and have four side surfaces. The three electrode blocks 30, 40, 50 have the same cross-sectional shape and cross-sectional dimensions.

放熱板20の上面には第1の電極ブロック30の一側面(下面)と、共通電極ブロック40の一側面(下面)と、第2の電極ブロック50の一側面(下面)が絶縁層を介して固定されている。第1の電極ブロック30と共通電極ブロック40と第2の電極ブロック50とは並設されている。つまり、四角棒状をなす第1の電極ブロック30はX方向に延びるように配置され、この第1の電極ブロック30に対しY方向に離間した位置において、四角棒状をなす共通電極ブロック40がX方向に延びるように配置されている。この共通電極ブロック40に対しY方向に離間した位置において、四角棒状をなす第2の電極ブロック50がX方向に延びるように配置されている。   On the upper surface of the heat sink 20, one side surface (lower surface) of the first electrode block 30, one side surface (lower surface) of the common electrode block 40, and one side surface (lower surface) of the second electrode block 50 are interposed via an insulating layer. Is fixed. The first electrode block 30, the common electrode block 40, and the second electrode block 50 are arranged in parallel. That is, the first electrode block 30 having a square bar shape is disposed so as to extend in the X direction, and the common electrode block 40 having a square bar shape is disposed in the X direction at a position spaced from the first electrode block 30 in the Y direction. It is arrange | positioned so that it may extend. At a position spaced in the Y direction with respect to the common electrode block 40, a second electrode block 50 having a square bar shape is disposed so as to extend in the X direction.

また、第1の電極ブロック30の立側面(立設面)31と、共通電極ブロック40の立側面(立設面)41とが対向し、この間に上アーム100用のトランジスタチップ80とダイオードチップ81が配置されている。   Further, the rising side (standing surface) 31 of the first electrode block 30 and the rising side (standing surface) 41 of the common electrode block 40 face each other, and the transistor chip 80 and the diode chip for the upper arm 100 are interposed therebetween. 81 is arranged.

第1の電極ブロック30の立側面31には上アーム100用のトランジスタチップ80のコレクタおよびダイオードチップ81のカソードがはんだ付け等により接合されている。また、共通電極ブロック40の立側面41には上アーム100用のトランジスタチップ80のエミッタおよびダイオードチップ81のアノードが導電性接着剤等で接合されている。   The collector of the transistor chip 80 for the upper arm 100 and the cathode of the diode chip 81 are joined to the vertical surface 31 of the first electrode block 30 by soldering or the like. Further, the emitter of the transistor chip 80 for the upper arm 100 and the anode of the diode chip 81 are joined to the vertical side surface 41 of the common electrode block 40 with a conductive adhesive or the like.

共通電極ブロック40の立側面(立設面)42と第2の電極ブロック50の立側面(立設面)51とが対向し、この間に下アーム101用のトランジスタチップ90とダイオードチップ91が配置されている。   The standing side (standing surface) 42 of the common electrode block 40 and the standing side (standing surface) 51 of the second electrode block 50 face each other, and the transistor chip 90 and the diode chip 91 for the lower arm 101 are disposed therebetween. Has been.

共通電極ブロック40の立側面42には下アーム101用のトランジスタチップ90のコレクタおよびダイオードチップ91のカソードがはんだ付け等により接合されている。第2の電極ブロック50の立側面51には下アーム101用のトランジスタチップ90のエミッタおよびダイオードチップ91のアノードが導電性接着剤等で接合されている。   The collector of the transistor chip 90 for the lower arm 101 and the cathode of the diode chip 91 are joined to the vertical side surface 42 of the common electrode block 40 by soldering or the like. The emitter of the transistor chip 90 for the lower arm 101 and the anode of the diode chip 91 are joined to the vertical side surface 51 of the second electrode block 50 with a conductive adhesive or the like.

並設された3つの電極ブロック30,40,50について、左側の端面はY方向において面一となっている(揃えられている)。3つの電極ブロック30,40,50は長さが異なり、電極ブロック50が最も短く、次に電極ブロック40が長く、次に電極ブロック30が長い。   For the three electrode blocks 30, 40, 50 arranged side by side, the left end faces are flush (aligned) in the Y direction. The three electrode blocks 30, 40, and 50 have different lengths, the electrode block 50 being the shortest, the electrode block 40 being next long, and then the electrode block 30 being long.

図3に示すように、上アーム100用のトランジスタチップ80におけるゲートパッド(ゲート電極)85は共通電極ブロック40の右端面から出た位置に設けられている。つまり、信号線が出る部分はオフセットして配置され、共通電極ブロック40が信号線の部分に覆いかぶさらないようにずれている。このようにして、トランジスタチップ80の信号線用の電極パッドとしてのゲートパッド85が共通電極ブロック40と対向しない位置になるように第1の電極ブロック30と共通電極ブロック40とがオフセットして配置されている。   As shown in FIG. 3, the gate pad (gate electrode) 85 in the transistor chip 80 for the upper arm 100 is provided at a position protruding from the right end surface of the common electrode block 40. That is, the part where the signal line exits is offset and is shifted so that the common electrode block 40 does not cover the signal line part. In this way, the first electrode block 30 and the common electrode block 40 are offset from each other so that the gate pad 85 as the signal line electrode pad of the transistor chip 80 is positioned not to face the common electrode block 40. Has been.

第1の電極ブロック30の右端面にはゲート配線ブロック60が配置されている。ゲート配線ブロック60は、ゲート配線材61を樹脂62で封止することにより構成したものであり、直方体をなしている。このように、第1の半導体素子の信号線用の配線材61を樹脂62でモールドした第1の半導体素子用の配線ブロックとしてのゲート配線ブロック60を備えている。   A gate wiring block 60 is disposed on the right end surface of the first electrode block 30. The gate wiring block 60 is configured by sealing a gate wiring material 61 with a resin 62, and forms a rectangular parallelepiped. As described above, the gate wiring block 60 is provided as a wiring block for the first semiconductor element in which the wiring material 61 for the signal line of the first semiconductor element is molded with the resin 62.

このゲート配線ブロック60は放熱板20に固定されている。ゲート配線材61の一端のパッド61aは樹脂製直方体の一側面に露出している。ゲート配線材61の他端側は樹脂製直方体の上面から3本に分岐して突出し、上方に延びている。信号線引出用ゲートパッド61aはトランジスタチップ80のゲートパッド(素子側ゲートパッド)85と接近して位置している。   The gate wiring block 60 is fixed to the heat sink 20. The pad 61a at one end of the gate wiring member 61 is exposed on one side surface of the resin rectangular parallelepiped. The other end side of the gate wiring member 61 projects from the top surface of the resin rectangular parallelepiped into three branches and extends upward. The signal line drawing gate pad 61a is located close to the gate pad (element-side gate pad) 85 of the transistor chip 80.

上アーム100用のトランジスタチップ80におけるゲートパッド85とゲート配線ブロック60のゲート配線材61のパッド61aとはワイヤW1によりボンディングされている。そして、トランジスタチップ80のゲートはワイヤW1を介してゲート配線ブロック60のゲート配線材61に接続され、ゲート配線材61により上方に延設されている。このように、ゲート配線ブロック60の配線材61とゲートパッド85が電気的に接続されている。   The gate pad 85 in the transistor chip 80 for the upper arm 100 and the pad 61a of the gate wiring material 61 of the gate wiring block 60 are bonded by a wire W1. The gate of the transistor chip 80 is connected to the gate wiring material 61 of the gate wiring block 60 via the wire W 1, and extends upward by the gate wiring material 61. Thus, the wiring material 61 of the gate wiring block 60 and the gate pad 85 are electrically connected.

図3に示すように、下アーム101用のトランジスタチップ90におけるゲートパッド(ゲート電極)95は第2の電極ブロック50の右端面から出た位置に設けられている。つまり、信号線が出る部分はオフセットして配置され、第2の電極ブロック50が信号線の部分に覆いかぶさらないようにずれている。このようにして、第2の半導体素子の信号線用の電極パッドとしてのゲートパッド95が第2の電極ブロック50と対向しない位置になるように共通電極ブロック40と第2の電極ブロック50とがオフセットして配置されている。   As shown in FIG. 3, the gate pad (gate electrode) 95 in the transistor chip 90 for the lower arm 101 is provided at a position protruding from the right end surface of the second electrode block 50. That is, the portion where the signal line exits is offset and is displaced so that the second electrode block 50 does not cover the signal line portion. In this way, the common electrode block 40 and the second electrode block 50 are arranged so that the gate pad 95 as the electrode pad for the signal line of the second semiconductor element is in a position not facing the second electrode block 50. It is arranged with an offset.

図2に示すように、共通電極ブロック40の右端面にはゲート配線ブロック70が配置されている。ゲート配線ブロック70は、ゲート配線材71を樹脂72で封止することにより構成したものであり、直方体をなしている。このように、第2の半導体素子の信号線用の配線材71を樹脂72でモールドした第2の半導体素子用の配線ブロックとしてのゲート配線ブロック70を備えている。   As shown in FIG. 2, a gate wiring block 70 is disposed on the right end surface of the common electrode block 40. The gate wiring block 70 is configured by sealing a gate wiring material 71 with a resin 72, and forms a rectangular parallelepiped. Thus, the gate wiring block 70 is provided as a wiring block for the second semiconductor element in which the wiring material 71 for the signal line of the second semiconductor element is molded with the resin 72.

このゲート配線ブロック70は放熱板20に固定されている。ゲート配線材71の一端のパッド71aは樹脂製直方体の一側面に露出している。ゲート配線材71の他端側は樹脂製直方体の上面から3本に分岐して突出し、上方に延びている。信号線引出用ゲートパッド71aはトランジスタチップ90のゲートパッド(素子側ゲートパッド)95と接近して位置している。   The gate wiring block 70 is fixed to the heat sink 20. The pad 71a at one end of the gate wiring material 71 is exposed on one side surface of the resin rectangular parallelepiped. The other end side of the gate wiring member 71 projects from the top surface of the resin rectangular parallelepiped into three branches and extends upward. The signal line drawing gate pad 71 a is located close to the gate pad (element side gate pad) 95 of the transistor chip 90.

また、ゲート配線ブロック70におけるブロック30,60と対向する面には凹部75(図1参照)が形成され、この凹部75の内部にワイヤW1が配置している。よって、凹部75によりワイヤW1がゲート配線ブロック70に接触するが回避されている。つまり、ゲート配線ブロック70は、ゲートパッド85に対応する部位に開口する凹部75を有する。   Further, a recess 75 (see FIG. 1) is formed on the surface of the gate wiring block 70 facing the blocks 30 and 60, and the wire W1 is disposed inside the recess 75. Therefore, the concave portion 75 prevents the wire W1 from contacting the gate wiring block 70. That is, the gate wiring block 70 has a recess 75 that opens at a portion corresponding to the gate pad 85.

下アーム101用のトランジスタチップ90におけるゲートパッド95とゲート配線ブロック70のゲート配線材71のパッド71aとはワイヤW2によりボンディングされている。そして、トランジスタチップ90のゲートはワイヤW2を介してゲート配線ブロック70のゲート配線材71に接続され、ゲート配線材71により上方に延設されている。このように、ゲート配線ブロック70の配線材71とゲートパッド95が電気的に接続されている。   The gate pad 95 in the transistor chip 90 for the lower arm 101 and the pad 71a of the gate wiring material 71 of the gate wiring block 70 are bonded by a wire W2. The gate of the transistor chip 90 is connected to the gate wiring material 71 of the gate wiring block 70 via the wire W2, and extends upward by the gate wiring material 71. Thus, the wiring material 71 of the gate wiring block 70 and the gate pad 95 are electrically connected.

電極ブロック30の上面における左側の部位には、L字状の帯板よりなる外部接続端子35の一方の辺が接合され、他の辺は上方に延びている。同様に、電極ブロック40の上面における左側の部位には、L字状の帯板よりなる外部接続端子45の一方の辺が接合され、他の辺は上方に延びている。電極ブロック50の上面における左側の部位には、L字状の帯板よりなる外部接続端子55の一方の辺が接合され、他の辺は上方に延びている。   One side of the external connection terminal 35 made of an L-shaped strip is joined to the left side portion of the upper surface of the electrode block 30, and the other side extends upward. Similarly, one side of the external connection terminal 45 made of an L-shaped strip is joined to the left part of the upper surface of the electrode block 40, and the other side extends upward. One side of the external connection terminal 55 made of an L-shaped strip is joined to the left portion of the upper surface of the electrode block 50, and the other side extends upward.

次に、このように構成した半導体装置10の作用について説明する。
放熱板20の上に3つの電極ブロック30,40,50が並設されている。第1の電極ブロック30と共通電極ブロック40との間に上アーム100を構成する素子(トランジスタチップ80、ダイオードチップ81)が接合されているとともに共通電極ブロック40と第2の電極ブロック50との間に下アーム101を構成する素子(トランジスタチップ90、ダイオードチップ91)が接合されている。また、第1の電極ブロック30と共通電極ブロック40と第2の電極ブロック50とは右端がずらされており、この部位にゲートパッド85,95が配置され、ワイヤW1,W2によりゲート配線ブロック60,70のゲート配線材61,71と接続されている。
Next, the operation of the semiconductor device 10 configured as described above will be described.
Three electrode blocks 30, 40, 50 are arranged side by side on the heat sink 20. Elements (transistor chip 80, diode chip 81) constituting the upper arm 100 are joined between the first electrode block 30 and the common electrode block 40, and the common electrode block 40 and the second electrode block 50 are connected to each other. Elements (transistor chip 90 and diode chip 91) constituting the lower arm 101 are joined between them. Further, the first electrode block 30, the common electrode block 40, and the second electrode block 50 are shifted from each other at the right end, and gate pads 85 and 95 are disposed at these portions, and the gate wiring block 60 is formed by wires W1 and W2. , 70 are connected to gate wiring members 61, 71.

そして、トランジスタチップ80の駆動に伴いトランジスタチップ80およびダイオードチップ81が発熱する。その熱は電極ブロック30,40に伝わる。さらに、電極ブロック30,40の下面から放熱板20に伝わる。そして、放熱板20から逃がされる。   As the transistor chip 80 is driven, the transistor chip 80 and the diode chip 81 generate heat. The heat is transferred to the electrode blocks 30 and 40. Further, the heat is transmitted from the lower surfaces of the electrode blocks 30 and 40 to the heat sink 20. And it escapes from the heat sink 20.

同様に、トランジスタチップ90の駆動に伴いトランジスタチップ90およびダイオードチップ91が発熱する。その熱は電極ブロック40,50に伝わる。さらに、電極ブロック40,50の下面から放熱板20に伝わる。そして、放熱板20から逃がされる。   Similarly, the transistor chip 90 and the diode chip 91 generate heat as the transistor chip 90 is driven. The heat is transmitted to the electrode blocks 40 and 50. Further, the heat is transmitted from the lower surfaces of the electrode blocks 40 and 50 to the heat sink 20. And it escapes from the heat sink 20.

このようにして、上下2つの素子としてのチップ80,81およびチップ90,91に挟み込まれた共通電極ブロック40が厚みを持ち、素子が接合された面とは異なる面(下面)にて放熱することができる。   In this way, the common electrode block 40 sandwiched between the chips 80 and 81 and the chips 90 and 91 as the two upper and lower elements has a thickness and radiates heat on a surface (lower surface) different from the surface where the elements are joined. be able to.

また、上下のアームを構成するIGBTであるスイッチング素子を使用する際、電極ブロック30,40,50がオフセットして配置されてゲートパッド85,95が電極ブロック40,50で覆われないようにしている。これにより、信号線(ゲート信号線)が取り出せる。   In addition, when using switching elements which are IGBTs constituting the upper and lower arms, the electrode blocks 30, 40, 50 are arranged offset so that the gate pads 85, 95 are not covered with the electrode blocks 40, 50. Yes. Thereby, a signal line (gate signal line) can be taken out.

上記実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
(1)半導体装置10の構成として、第1の電極ブロック30と、共通電極ブロック40と、第1の半導体素子としてのトランジスタチップ80およびダイオードチップ81と、第2の電極ブロック50と、第2の半導体素子としてのトランジスタチップ90およびダイオードチップ91を備える。共通電極ブロック40は、第1の電極ブロック30に対向するように設けられ、第1の電極ブロック30と共通電極ブロック40との間にトランジスタチップ80およびダイオードチップ81が配置され、第1の電極ブロック30と共通電極ブロック40に接合されている。第2の電極ブロック50は、共通電極ブロック40に対向するように設けられ、共通電極ブロック40と第2の電極ブロック50との間にトランジスタチップ90およびダイオードチップ91が配置され、共通電極ブロック40と第2の電極ブロック50に接合されている。また、トランジスタチップ80の信号線用の電極パッドとしてのゲートパッド85が共通電極ブロック40と対向しない位置になるように第1の電極ブロック30と共通電極ブロック40とがオフセットして配置されている。
According to the above embodiment, the following effects can be obtained.
(1) As the configuration of the semiconductor device 10, the first electrode block 30, the common electrode block 40, the transistor chip 80 and the diode chip 81 as the first semiconductor element, the second electrode block 50, and the second The transistor chip 90 and the diode chip 91 are provided as semiconductor elements. The common electrode block 40 is provided to face the first electrode block 30, and the transistor chip 80 and the diode chip 81 are disposed between the first electrode block 30 and the common electrode block 40, so that the first electrode The block 30 and the common electrode block 40 are joined. The second electrode block 50 is provided so as to face the common electrode block 40, and the transistor chip 90 and the diode chip 91 are disposed between the common electrode block 40 and the second electrode block 50. Are joined to the second electrode block 50. In addition, the first electrode block 30 and the common electrode block 40 are offset from each other so that the gate pad 85 as the signal line electrode pad of the transistor chip 80 does not face the common electrode block 40. .

よって、トランジスタチップ80のゲートパッド85が共通電極ブロック40と対向しない位置になるように第1の電極ブロック30と共通電極ブロック40とがオフセットして配置されているので、信号線を容易に取り出すことができる。   Therefore, since the first electrode block 30 and the common electrode block 40 are offset so that the gate pad 85 of the transistor chip 80 does not face the common electrode block 40, the signal line can be easily taken out. be able to.

(2)第2の半導体素子の信号線用の電極パッドとしてのゲートパッド95が第2の電極ブロック50と対向しない位置になるように共通電極ブロック40と第2の電極ブロック50とをオフセットして配置したので、信号線を容易に取り出すことができる。   (2) The common electrode block 40 and the second electrode block 50 are offset so that the gate pad 95 as the electrode pad for the signal line of the second semiconductor element is positioned not to face the second electrode block 50. Therefore, the signal line can be easily taken out.

(3)第1の電極ブロック30、共通電極ブロック40および第2の電極ブロック50は、放熱部材としての放熱板20に固定されているので、放熱性に優れている。詳しくは、電極ブロック30,40,50における素子が接合された面とは異なる面にて放熱することにより、放熱性に優れる。   (3) Since the 1st electrode block 30, the common electrode block 40, and the 2nd electrode block 50 are being fixed to the heat sink 20 as a heat radiating member, it is excellent in heat dissipation. Specifically, heat dissipation is excellent by radiating heat on a surface different from the surface where the elements in the electrode blocks 30, 40, 50 are joined.

(4)第1の半導体素子の信号線用の配線材61を樹脂62でモールドした第1の半導体素子用の配線ブロックとしてのゲート配線ブロック60を備え、ゲート配線ブロック60の配線材61とゲートパッド85が電気的に接続されているので、信号線を容易に引き出せる。   (4) A gate wiring block 60 as a wiring block for a first semiconductor element obtained by molding a wiring material 61 for a signal line of the first semiconductor element with a resin 62, and the wiring material 61 and the gate of the gate wiring block 60 are provided. Since the pad 85 is electrically connected, the signal line can be easily pulled out.

(5)第2の半導体素子の信号線用の配線材71を樹脂72でモールドした第2の半導体素子用の配線ブロックとしてのゲート配線ブロック70を備え、ゲート配線ブロック70の配線材71とゲートパッド95が電気的に接続されているので、信号線を容易に引き出せる。   (5) A gate wiring block 70 as a wiring block for a second semiconductor element obtained by molding a wiring material 71 for a signal line of the second semiconductor element with a resin 72, and the wiring material 71 and the gate of the gate wiring block 70 are provided. Since the pad 95 is electrically connected, the signal line can be easily pulled out.

(6)ゲート配線ブロック70は、ゲートパッド85に対応する部位に開口する凹部75を有するので、凹部75によりトランジスタチップ80から容易に信号線を引き出すことができる。つまり、信号線の引き出しにゲート配線ブロック70が邪魔することを回避することができる。   (6) Since the gate wiring block 70 has the recess 75 opened at the portion corresponding to the gate pad 85, the signal line can be easily drawn from the transistor chip 80 by the recess 75. That is, it is possible to avoid the gate wiring block 70 from interfering with the drawing of the signal line.

実施形態は前記に限定されるものではなく、例えば、次のように具体化してもよい。
・半導体素子はIGBTであったが、これに限ることなく、他にも例えば、パワーMOSFET等であってもよい。
The embodiment is not limited to the above, and may be embodied as follows, for example.
-Although the semiconductor element was IGBT, it is not restricted to this, For example, power MOSFET etc. may be sufficient.

・放熱板20に代わり、放熱部材として冷却器(例えば水冷式冷却器)を用いてもよい。
・インバータに具体化したが、他の電子機器でもよい。
-Instead of the heat sink 20, you may use a cooler (for example, a water cooling type cooler) as a heat radiating member.
-Although embodied in an inverter, other electronic devices may be used.

10…半導体装置、20…放熱板、30…第1の電極ブロック、40…共通電極ブロック、50…第2の電極ブロック、60…ゲート配線ブロック、70…ゲート配線ブロック、80…トランジスタチップ、81…ダイオードチップ、85…ゲートパッド、90…トランジスタチップ、91…ダイオードチップ、95…ゲートパッド。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Semiconductor device, 20 ... Heat sink, 30 ... 1st electrode block, 40 ... Common electrode block, 50 ... 2nd electrode block, 60 ... Gate wiring block, 70 ... Gate wiring block, 80 ... Transistor chip, 81 ... Diode chip, 85 ... Gate pad, 90 ... Transistor chip, 91 ... Diode chip, 95 ... Gate pad.

Claims (5)

第1の電極ブロックと、
前記第1の電極ブロックに対向するように設けられた共通電極ブロックと、
前記第1の電極ブロックの側面と前記共通電極ブロックの側面との間に配置され、前記第1の電極ブロックと前記共通電極ブロックに接合された第1の半導体素子と、
前記共通電極ブロックに対向するように設けられた第2の電極ブロックと、
前記共通電極ブロックの側面と前記第2の電極ブロックの側面との間に配置され、前記共通電極ブロックと前記第2の電極ブロックに接合された第2の半導体素子と、
を備えた半導体装置において、
前記第1の半導体素子の信号線用の電極パッドが前記共通電極ブロックと対向しない位置になるように前記第1の電極ブロックと前記共通電極ブロックとをオフセットして配置し、該配置によって前記共通電極ブロックと対向しなくなった前記第1の電極ブロックの位置では、前記電極パッドのみが前記第1の半導体素子に接続されており、
前記第1の電極ブロック、前記共通電極ブロックおよび前記第2の電極ブロックは、放熱部材に固定されており、
前記第1の電極ブロック、前記共通電極ブロックおよび前記第2の電極ブロックのそれぞれにおいて、前記側面は前記放熱部材への固定面から立設する面であることを特徴とする半導体装置。
A first electrode block;
A common electrode block provided to face the first electrode block;
A first semiconductor element disposed between a side surface of the first electrode block and a side surface of the common electrode block, and joined to the first electrode block and the common electrode block;
A second electrode block provided to face the common electrode block;
A second semiconductor element disposed between a side surface of the common electrode block and a side surface of the second electrode block, and joined to the common electrode block and the second electrode block;
In a semiconductor device comprising:
The first electrode block and the common electrode block are arranged so as to be offset so that an electrode pad for a signal line of the first semiconductor element does not face the common electrode block, and the common electrode block is arranged by the arrangement. At the position of the first electrode block that is no longer opposed to the electrode block, only the electrode pad is connected to the first semiconductor element,
The first electrode block, the common electrode block, and the second electrode block are fixed to a heat dissipation member,
In each of the first electrode block, the common electrode block, and the second electrode block, the side surface is a surface erected from a fixed surface to the heat dissipation member.
前記第2の半導体素子の信号線用の電極パッドが前記第2の電極ブロックと対向しない位置になるように前記共通電極ブロックと前記第2の電極ブロックとをオフセットして配置したことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。   The common electrode block and the second electrode block are offset and arranged so that an electrode pad for a signal line of the second semiconductor element does not face the second electrode block. The semiconductor device according to claim 1. 前記第1の半導体素子の信号線用の配線材を樹脂でモールドした第1の半導体素子用の配線ブロックを備え、当該第1の半導体素子用の配線ブロックの信号線用の配線材と前記第1の半導体素子の信号線用の電極パッドが電気的に接続されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置。 A wiring block for a first semiconductor element in which a wiring material for a signal line of the first semiconductor element is molded with a resin, the wiring material for a signal line of the wiring block for the first semiconductor element, and the first the semiconductor device according to claim 1 or 2 electrode pads for the signal lines of the first semiconductor device is characterized in that it is electrically connected. 前記第2の半導体素子の信号線用の配線材を樹脂でモールドした第2の半導体素子用の配線ブロックを備え、当該第2の半導体素子用の配線ブロックの信号線用の配線材と前記第2の半導体素子の信号線用の電極パッドが電気的に接続されていることを特徴とする請求項1〜のいずれか1項に記載の半導体装置。 A wiring block for a second semiconductor element in which a wiring material for a signal line of the second semiconductor element is molded with a resin, the wiring material for a signal line of the wiring block for the second semiconductor element, and the first the semiconductor device according to any one of claims 1 to 3, the electrode pad for signal lines of the second semiconductor element is characterized by being electrically connected. 前記第1の電極ブロックの前記共通電極ブロックに対するオフセット方向側に、前記第1の半導体素子の信号線用の配線材を樹脂でモールドした第1の半導体素子用の配線ブロックを備え、当該第1の半導体素子用の配線ブロックの信号線用の配線材と前記第1の半導体素子の信号線用の電極パッドが電気的に接続され、
前記共通電極ブロックの前記オフセット方向側であって前記第1の半導体素子の信号線用の電極パッドと対向する位置に、前記第2の半導体素子の信号線用の配線材を樹脂でモールドした第2の半導体素子用の配線ブロックを備え、当該第2の半導体素子用の配線ブロックの信号線用の配線材と前記第2の半導体素子の信号線用の電極パッドが電気的に接続されており、
前記第2の半導体素子用の配線ブロックは、前記第1の半導体素子の信号線用の電極パッドに対する部位に開口する凹部を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置。
A first semiconductor element wiring block in which a signal line wiring material of the first semiconductor element is molded with a resin on an offset direction side of the first electrode block with respect to the common electrode block; A wiring member for a signal line of the wiring block for the semiconductor element and an electrode pad for the signal line of the first semiconductor element are electrically connected;
A wiring material for a signal line of the second semiconductor element is molded with a resin at a position opposite to the electrode pad for the signal line of the first semiconductor element on the offset direction side of the common electrode block. A wiring block for signal lines of the second semiconductor element and a signal line electrode pad of the second semiconductor element are electrically connected to each other. ,
The second wiring blocks for a semiconductor device, a semiconductor according to claim 1 or 2, characterized in that a recess which opens at a site against toward the electrode pad of the signal line of the first semiconductor element apparatus.
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