JP5768537B2 - 塗工液の評価方法 - Google Patents
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Description
本明細書において、「塗工液」とは、各種デバイスの製造時に塗工される液体のことを意味する。したがって、本発明の評価方法では、各種デバイスの製造時に塗工されるあらゆる液体を適宜選択して用いることができ、この要件以外について何ら限定されるものではない。例えば、有機溶液であってもよく、無機溶液であってもよい。なお、微細加工が要求されるデバイス分野では、塗工液中の微小な異物の存在が最終製品に大きな影響を与えることから、本発明の評価方法は、微細加工が要求されるデバイス分野に用いられる塗工液、例えば、レジスト液等が正常であるか否かの評価をする際に特に好適である。
本明細書において、「マイクロ流路」とは、塗工液に含まれる所定の大きさ以上の異物が、トラップされるような形状寸法に形成された流路をいう。より具体的には、塗工液中に所定の大きさ以上の異物が含まれている場合に、所定の大きさ以上の異物以外は通過させ、所定の大きさ以上の異物が通過することができない形状寸法に形成された流路をいう。
2…第2の基材
3…貫通孔
10…マイクロ流路
Claims (3)
- 塗工液の評価方法であって、
マイクロ流路に、塗工液を通過させ、
前記マイクロ流路を通過した前記塗工液の総量と、前記マイクロ流路にトラップされた異物の総量とから、前記塗工液に含まれる異物の含有量を測定することを特徴とする塗工液の評価方法。 - 前記塗工液の評価を、塗工液を搬送するメインライン中で行うことを特徴とする請求項1に記載の塗工液の評価方法。
- 前記塗工液の評価を、塗工液を搬送するメインラインから分岐されたサブライン中で行うことを特徴とする請求項1に記載の塗工液の評価方法。
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