JP5746065B2 - Method and apparatus for darkening dark spot defects in liquid crystal display devices - Google Patents

Method and apparatus for darkening dark spot defects in liquid crystal display devices Download PDF

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この発明は、液晶表示装置の画素に発生した輝点欠陥に光を照射して暗点化する方法及び装置に関するものである。   The present invention relates to a method and an apparatus for darkening a light spot defect generated in a pixel of a liquid crystal display device by irradiating light.

液晶パネルには、製造工程における異物混入などによって、輝点欠陥と呼ばれる欠陥が発生することがある。輝点欠陥は、例えば黒のような暗い色を表示しようとした際に、所望の色を表示することができずに明るい点として視認される欠陥のことである。このような輝点欠陥は目立ちやすいので、輝点欠陥が発生するとその液晶パネルは不良品として廃棄されることが多く、液晶パネルの製造における歩留まり低下の原因となっている。   In a liquid crystal panel, a defect called a bright spot defect may occur due to contamination of foreign matters in the manufacturing process. The bright spot defect is a defect that cannot be displayed as a desired color when a dark color such as black is displayed, and is visually recognized as a bright spot. Since such bright spot defects are conspicuous, when a bright spot defect occurs, the liquid crystal panel is often discarded as a defective product, which causes a decrease in yield in the manufacture of the liquid crystal panel.

従来、輝点欠陥を有する画素のカラーフィルタにレーザ光を照射することにより、カラーフィルタを変質させてバックライトからの光を透過させないようにし、輝点欠陥を暗点化して目立たなくする技術があった。この技術において、レーザ光は、スリット等を使用することによって画素よりも小さいスポットサイズに整形される。そして、レーザ光を画素内で走査することによってカラーフィルタを変質させて輝点欠陥を暗点化する。(例えば、特許文献1参照)   Conventionally, by irradiating a color filter of a pixel having a bright spot defect with laser light, the color filter is altered so that light from the backlight is not transmitted, and the bright spot defect is darkened to make it inconspicuous. there were. In this technique, laser light is shaped into a spot size smaller than that of a pixel by using a slit or the like. Then, the color filter is altered by scanning laser light within the pixel to darken the bright spot defect. (For example, see Patent Document 1)

特開2006−227621号公報(第18〜20頁、図7〜13)JP 2006-227621 A (pages 18 to 20, FIGS. 7 to 13)

上記のような輝点欠陥の暗点化方法にあってはレーザ光を照射する対象はカラーフィルタであるが、カラーフィルタは厚みが数μm以下の比較的薄い膜である。また、レーザ光の光路上には、カラーフィルタ以外にも例えば配向膜等が配置されており、配向膜等も同様に厚みが数μm以下の膜である。レーザ光のエネルギーを、カラーフィルタを変質させて黒化するために最適な値に設定して、レーザ光の照射及び走査を開始すると、画素内の特にレーザ光の照射及び走査を開始した地点において、カラーフィルタ等の膜が破損することがあった。そして、これらの膜が破損すると、破損した膜が液晶中に散乱して新たな輝点欠陥を発生させることがあるという問題があった。   In the bright spot defect darkening method as described above, the object to be irradiated with laser light is a color filter, but the color filter is a relatively thin film having a thickness of several μm or less. In addition to the color filter, for example, an alignment film is disposed on the optical path of the laser light, and the alignment film is also a film having a thickness of several μm or less. When the laser light irradiation and scanning are started by setting the energy of the laser light to an optimum value for blackening by changing the color filter, particularly at the point where the laser light irradiation and scanning are started in the pixel. In some cases, films such as color filters were damaged. When these films are broken, there is a problem that the broken films may be scattered in the liquid crystal to generate new bright spot defects.

この発明は、上述のような問題を解決するためになされたもので、カラーフィルタ等の膜の破損を抑えることができる液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化方法及び暗点化装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and provides a dark spot darkening method and a dark spot darkening device for a bright spot defect of a liquid crystal display device capable of suppressing damage to a film such as a color filter. The purpose is to do.

この発明に係る液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化方法は、カラーフィルタ基板と薄膜トランジスタアレイ基板との間に液晶が封入された液晶表示装置の画素のうちの輝点欠陥を有する画素に対して光を照射して、少なくともカラーフィルタ基板の一部を変質させて光透過率を低下させる液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化方法であって、輝点欠陥を有する画素に輝点欠陥を有する画素よりも小さいスポットサイズで光を照射する工程と、光を液晶表示装置に対して相対的に移動させて、輝点欠陥を有する画素内で光を走査する工程と、を備え、光を走査する工程は、照射対象となる輝点欠陥を有する画素上の単位面積当たりに照射される光のエネルギーを走査開始時よりも走査しながら連続して大きくし、所定のエネルギーに達したらそのエネルギーを維持しながら残りの画素の領域を走査する工程を有するものである。 The method of darkening a bright spot defect of a liquid crystal display device according to the present invention is for a pixel having a bright spot defect among pixels of a liquid crystal display device in which liquid crystal is sealed between a color filter substrate and a thin film transistor array substrate. This is a method for darkening a bright spot defect in a liquid crystal display device, in which at least a part of the color filter substrate is altered to reduce light transmittance by irradiating light, and the bright spot defect is applied to a pixel having a bright spot defect. Irradiating light with a spot size smaller than that of a pixel having light, and scanning the light within a pixel having a bright spot defect by moving the light relative to the liquid crystal display device. the step of scanning, the After increasing the energy of light irradiated per unit area on a pixel having a luminance point defect as the irradiation target continuously while scanning than at the scanning start, reaches a predetermined energy Energy While maintaining the ghee and has a step of scanning a region of the remaining pixels.

また、この発明に係る液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化装置は、カラーフィルタ基板と薄膜トランジスタアレイ基板との間に液晶が封入された液晶表示装置の画素のうちの輝点欠陥を有する画素に対して光を照射して、少なくともカラーフィルタ基板の一部を変質させて光透過率を低下させる液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化装置であって、光源と、光源から出射された光を、輝点欠陥を有する画素よりも小さいスポットサイズに整形して輝点欠陥を有する画素に照射するスポット整形装置と、輝点欠陥を有する画素に照射された光を、輝点欠陥を有する画素内で走査するために、輝点欠陥を有する画素に照射された光を液晶表示装置に対して相対的に移動させる移動装置と、輝点欠陥を有する画素に照射された光を走査中に、照射対象となる輝点欠陥を有する画素上の単位面積当たりに照射される光のエネルギーが走査開始時よりも走査しながら連続して大きくし、所定のエネルギーに達したら一定のエネルギーで維持するように制御する制御装置と、を備えたものである。 Also, the bright spot defect darkening device for a liquid crystal display device according to the present invention is a pixel having a bright spot defect among pixels of a liquid crystal display device in which liquid crystal is sealed between a color filter substrate and a thin film transistor array substrate. A light spot defect darkening device for a liquid crystal display device that lowers light transmittance by irradiating light to at least a part of a color filter substrate, the light source and a light source emitted from the light source A spot shaping device for shaping light into a spot size smaller than that of a pixel having a bright spot defect and irradiating the pixel having a bright spot defect, and a light irradiated to the pixel having a bright spot defect has a bright spot defect In order to scan within the pixel, a moving device that moves the light irradiated to the pixel having the bright spot defect relative to the liquid crystal display device, and the light irradiated to the pixel having the bright spot defect during scanning , Subject to irradiation Increased energy of light emitted per unit area on a pixel having a luminance point defect is continuously while scanning than at the scanning start, control for controlling so as to maintain a constant energy reaches the predetermined energy And a device.

この発明に係る液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化方法によれば、カラーフィルタ等の膜の破損を抑えることができ、輝点欠陥の暗点化処理によって新たな輝点欠陥が発生してしまうことを抑えることができる。   According to the dark spot defect darkening method for a liquid crystal display device according to the present invention, damage to a film such as a color filter can be suppressed, and a new bright spot defect is generated by the dark spot darkening process. Can be suppressed.

また、この発明に係る液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化装置によれば、カラーフィルタ等の膜の破損を抑えることができ、輝点欠陥の暗点化処理によって新たな輝点欠陥が発生してしまうことを抑えることができる。   Further, according to the bright spot defect darkening device of the liquid crystal display device according to the present invention, damage to a film such as a color filter can be suppressed, and a new bright spot defect is generated by the dark spot darkening process. It is possible to suppress the occurrence.

この発明の実施の形態1における液晶モジュールを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the liquid crystal module in Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態1における液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化装置を示す側面図である。It is a side view which shows the dark spot darkening apparatus of the bright spot defect of the liquid crystal display device in Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態1におけるレーザ光が可変開口装置の開口部を通過する様子を示す断面図であり、(a)はレーザ光のビーム径が小さい場合を示す断面図、(b)はレーザ光のビーム径が大きい場合を示す断面図である。It is sectional drawing which shows a mode that the laser beam in Embodiment 1 of this invention passes the opening part of a variable aperture apparatus, (a) is sectional drawing which shows the case where the beam diameter of a laser beam is small, (b) is a laser. It is sectional drawing which shows the case where the beam diameter of light is large. この発明の実施の形態1における輝点欠陥を有する画素内でレーザ光を走査する様子を示す上面図である。It is a top view which shows a mode that a laser beam is scanned within the pixel which has the luminescent spot defect in Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態1における輝点欠陥を有する画素に照射されるレーザ光のスポットサイズを変化させる工程を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the process of changing the spot size of the laser beam irradiated to the pixel which has the luminescent spot defect in Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態2における液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化装置を示す側面図である。It is a side view which shows the dark spot darkening apparatus of the bright spot defect of the liquid crystal display device in Embodiment 2 of this invention. この発明の実施の形態2におけるレーザ発振器から出射されるレーザ光の単位時間当たりのエネルギーを変化させる工程を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the process of changing the energy per unit time of the laser beam radiate | emitted from the laser oscillator in Embodiment 2 of this invention. この発明の実施の形態3における液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化装置を示す側面図である。It is a side view which shows the dark spot darkening apparatus of the bright spot defect of the liquid crystal display device in Embodiment 3 of this invention. この発明の実施の形態4における液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化装置を示す側面図である。It is a side view which shows the dark spot darkening apparatus of the bright spot defect of the liquid crystal display device in Embodiment 4 of this invention. この発明の実施の形態4における輝点欠陥を有する画素に照射されるレーザ光を走査する速さを変化させる工程を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the process of changing the speed which scans the laser beam irradiated to the pixel which has the luminescent spot defect in Embodiment 4 of this invention. この発明の実施の形態5における液晶パネルの一部を示す断面図である。It is sectional drawing which shows a part of liquid crystal panel in Embodiment 5 of this invention.

実施の形態1.
まず、この発明の実施の形態1における液晶モジュール16の構成を説明する。図1は、この発明の実施の形態1における液晶モジュール16を示す断面図である。尚、図1では、液晶モジュール16における各構成要素の厚みは、説明のため実際の比率とは異なって図示している。
Embodiment 1 FIG.
First, the configuration of the liquid crystal module 16 according to Embodiment 1 of the present invention will be described. 1 is a cross-sectional view showing a liquid crystal module 16 according to Embodiment 1 of the present invention. In FIG. 1, the thickness of each component in the liquid crystal module 16 is illustrated differently from the actual ratio for the sake of explanation.

図1において、液晶パネル15の背面側にバックライト12が配置され、駆動制御基板17が液晶パネル15及びバックライト12と電気的に接続されている。そして、液晶パネル15及びバックライト12の動作は駆動制御基板17によって制御される。   In FIG. 1, the backlight 12 is disposed on the back side of the liquid crystal panel 15, and the drive control board 17 is electrically connected to the liquid crystal panel 15 and the backlight 12. The operations of the liquid crystal panel 15 and the backlight 12 are controlled by the drive control board 17.

次に、液晶パネル15の構成について説明する。液晶パネル15は、カラーフィルタ基板13aと薄膜トランジスタ(以下「TFT」という。TFT:Thin Film Transistor)アレイ基板14との間に液晶7が封入された構造となっている。尚、バックライト12は、TFTアレイ基板14側に配置される。   Next, the configuration of the liquid crystal panel 15 will be described. The liquid crystal panel 15 has a structure in which the liquid crystal 7 is sealed between a color filter substrate 13 a and a thin film transistor (hereinafter referred to as “TFT”, TFT: Thin Film Transistor) array substrate 14. The backlight 12 is disposed on the TFT array substrate 14 side.

カラーフィルタ基板13aは、ガラス基板3を有し、このガラス基板3の一方の面上、即ち、液晶7側の面上にカラーフィルタ36が配置されている。カラーフィルタ36上には共通電極5が配置され、共通電極5上には配向膜6が配置されている。そして、ガラス基板3の他方の面上、即ち、外側の面上には偏光板2が配置されている。   The color filter substrate 13a has a glass substrate 3, and a color filter 36 is disposed on one surface of the glass substrate 3, that is, on the surface on the liquid crystal 7 side. A common electrode 5 is disposed on the color filter 36, and an alignment film 6 is disposed on the common electrode 5. And the polarizing plate 2 is arrange | positioned on the other surface of the glass substrate 3, ie, an outer surface.

カラーフィルタ36は、赤(R)、緑(G)、青(B)に相当する特定の波長域の光を透過するカラーフィルタ色材1と、これら隣接するRGBの各画素間に配置されて光を遮るブラックマトリクス4と、を有する。カラーフィルタ色材1としては、例えばポリイミドやアクリル系、エポキシ系の樹脂に着色したもの等が用いられ、厚みは例えば1.2μm程度である。ブラックマトリクスは、遮光性に優れた膜であって、樹脂にカーボンを加えて黒くしたものや金属のクロム膜等が用いられ、厚みは例えば0.1μm程度である。   The color filter 36 is disposed between the color filter colorant 1 that transmits light in a specific wavelength range corresponding to red (R), green (G), and blue (B), and the adjacent RGB pixels. A black matrix 4 that blocks light. As the color filter color material 1, for example, a colored material such as polyimide, acrylic or epoxy resin is used, and the thickness is, for example, about 1.2 μm. The black matrix is a film excellent in light-shielding properties, and a black film obtained by adding carbon to a resin, a metal chrome film, or the like is used, and the thickness is, for example, about 0.1 μm.

共通電極5は、液晶7に電圧を印加するためのものであり、例えばITO(Indium Tin Oxide)のような透明導電膜で形成される。共通電極5の厚みは、例えば50〜150nm程度である。   The common electrode 5 is used to apply a voltage to the liquid crystal 7 and is formed of a transparent conductive film such as ITO (Indium Tin Oxide). The thickness of the common electrode 5 is, for example, about 50 to 150 nm.

配向膜6は、液晶7の分子を所定の向きに配向させるためのものであり、例えばポリイミド等で形成される。厚みは、例えば50nm程度である。   The alignment film 6 is for aligning the molecules of the liquid crystal 7 in a predetermined direction, and is formed of, for example, polyimide. The thickness is, for example, about 50 nm.

TFTアレイ基板14は、ガラス基板10を有し、このガラス基板3の一方の面上、即ち、液晶7側の面上にTFTアレイ9が形成され、TFTアレイ9上に配向膜8が配置されている。そして、ガラス基板10の他方の面、即ち、外側の面上には偏光板11が配置されている。   The TFT array substrate 14 includes a glass substrate 10, a TFT array 9 is formed on one surface of the glass substrate 3, that is, a surface on the liquid crystal 7 side, and an alignment film 8 is disposed on the TFT array 9. ing. And the polarizing plate 11 is arrange | positioned on the other surface of the glass substrate 10, ie, an outer surface.

TFTアレイ9には、液晶7に電圧を印加するための画素電極や、印加する電圧を制御するためのTFTのアレイ等が含まれる。駆動制御基板17は、このTFTアレイ9と電気的に接続されている。   The TFT array 9 includes a pixel electrode for applying a voltage to the liquid crystal 7, an array of TFTs for controlling the applied voltage, and the like. The drive control board 17 is electrically connected to the TFT array 9.

配向膜8としては、カラーフィルタ基板13a側の配向膜8と同じものが使用される。   As the alignment film 8, the same film as the alignment film 8 on the color filter substrate 13a side is used.

次に、バックライト12について説明する。バックライト12としては、例えば発光ダイオードや蛍光管といった点光源や線光源から面光源を形成したものや、エレクトロルミネッセンス素子による面光源等が使用可能である。   Next, the backlight 12 will be described. As the backlight 12, for example, a surface light source formed from a point light source or a line light source such as a light emitting diode or a fluorescent tube, a surface light source using an electroluminescence element, or the like can be used.

次に、駆動制御基板17について説明する。駆動制御基板17は制御用のIC等を含み、液晶パネル15のTFTアレイ9の動作を制御することによって液晶7を駆動する。また、バックライト12の動作の制御も行う。   Next, the drive control board 17 will be described. The drive control board 17 includes a control IC and the like, and drives the liquid crystal 7 by controlling the operation of the TFT array 9 of the liquid crystal panel 15. The operation of the backlight 12 is also controlled.

以上のような液晶モジュール16において、液晶パネル15の製造時等に液晶パネル15に輝点欠陥が発生することがある。輝点欠陥とは、上述のとおり、例えば黒のような暗い色を表示しようとした際に、所望の色を表示することができずに明るい点として視認される欠陥のことである。   In the liquid crystal module 16 as described above, a bright spot defect may occur in the liquid crystal panel 15 when the liquid crystal panel 15 is manufactured. As described above, the bright spot defect is a defect that cannot be displayed as a desired color when a dark color such as black is displayed, and is visually recognized as a bright spot.

次に、この発明の実施の形態1における液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化装置37aの構成を説明する。ここで、「輝点欠陥の暗点化」とは、輝点欠陥を完全に黒化することだけでなく、完全に黒化されるに至らなくても輝点欠陥の輝度を下げて暗くすることによって目立ちにくくすることも含むものとする。図2は、この発明の実施の形態1における液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化装置37aを示す側面図である。   Next, the configuration of the dark spot defect darkening device 37a of the liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention will be described. Here, “darkening of bright spot defects” means not only that the bright spot defects are completely blackened, but also the brightness of the bright spot defects is lowered and darkened even if the bright spot defects are not completely blackened. This also includes making it inconspicuous. FIG. 2 is a side view showing a bright spot defect darkening device 37a of the liquid crystal display device according to Embodiment 1 of the present invention.

液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化装置37aは、レーザ照射・観察部18、液晶パネル設置部19及び暗点化装置用制御装置38を有する。   The bright spot defect darkening device 37 a of the liquid crystal display device includes a laser irradiation / observation unit 18, a liquid crystal panel installation unit 19, and a dark spotting device control device 38.

レーザ照射・観察部18は、レーザ光の発生、整形、集光等と、液晶パネル15の観察という機能を有し、液晶パネル設置部19は、レーザ照射・観察部18で発生されたレーザ光を照射する対象である液晶パネル15を載置する機能を有する。そして、レーザ照射・観察部18で発生されたレーザ光を、液晶パネル設置部19に設置された液晶パネル15の輝点欠陥を有する画素に対して照射することによって、液晶パネル15の輝点欠陥を暗点化する。   The laser irradiation / observation unit 18 has functions of generating, shaping, condensing laser light, and the like, and observing the liquid crystal panel 15. The liquid crystal panel installation unit 19 is a laser beam generated by the laser irradiation / observation unit 18. Has a function of placing the liquid crystal panel 15 to be irradiated. Then, the laser beam generated by the laser irradiation / observation unit 18 is irradiated to the pixel having the bright spot defect of the liquid crystal panel 15 installed in the liquid crystal panel installation unit 19, thereby causing the bright spot defect of the liquid crystal panel 15. To darken.

まず、レーザ照射・観察部18について説明する。レーザ照射・観察部18では、輝点欠陥の暗点化用の光源の一例であるレーザ発振器20にレーザ駆動電源21から電力を供給してレーザ光を発生させる。レーザ発振器20としては、半導体レーザ、固体レーザ、ガスレーザ等を使用することができる。   First, the laser irradiation / observation unit 18 will be described. In the laser irradiation / observation unit 18, power is supplied from a laser driving power source 21 to a laser oscillator 20, which is an example of a light source for dark spot defects, and laser light is generated. As the laser oscillator 20, a semiconductor laser, a solid-state laser, a gas laser, or the like can be used.

レーザ発振器20から出射されたレーザ光は、レーザ照射・観察部18のスポット整形装置の一例である調整光学系22、可変開口装置23及び対物レンズ24によって、調整、整形、集光されて、画素よりも小さいスポットサイズで液晶パネル15に照射される。   Laser light emitted from the laser oscillator 20 is adjusted, shaped, and condensed by the adjusting optical system 22, the variable aperture device 23, and the objective lens 24, which is an example of a spot shaping device of the laser irradiation / observation unit 18. The liquid crystal panel 15 is irradiated with a smaller spot size.

遮光装置の一例である可変開口装置23は、例えば略円形や略矩形の開口部39を有し、開口部39の大きさを変化させることができる機構を有する。ここで、「開口部39の大きさ」とは、開口部39が円形の場合はその直径を指し、開口部39が正方形の場合はその一辺の長さを指すこととする。レーザ発振器20から出射されて可変開口装置23にまで達したレーザ光は、一部は可変開口装置23によって遮られ、一部は開口部39を通過する。開口部39の大きさを変化させることによって、レーザ発振器20から出射されたレーザ光を遮る量を、言い換えると開口部39を通過するレーザ光のパワー(単位時間当たりのエネルギー)を変化させることができる。   The variable aperture device 23, which is an example of a light shielding device, has a substantially circular or substantially rectangular opening 39, for example, and has a mechanism that can change the size of the opening 39. Here, the “size of the opening 39” indicates the diameter when the opening 39 is circular, and indicates the length of one side when the opening 39 is square. A part of the laser beam emitted from the laser oscillator 20 and reaching the variable aperture device 23 is blocked by the variable aperture device 23, and a part thereof passes through the opening 39. By changing the size of the opening 39, the amount of the laser beam emitted from the laser oscillator 20 can be blocked, in other words, the power (energy per unit time) of the laser beam passing through the opening 39 can be changed. it can.

可変開口装置23としては、開口部39が円形の場合は例えば虹彩絞り、矩形の場合は例えばスリットを使用することができる。虹彩絞りは羽の重なり具合を調整することで開口部39の径を調整可能である。スリットは互いに略直交するように配置された二対のスリットで構成され、スリット間の距離を調整することで開口部39の幅を調整可能である。   As the variable aperture device 23, for example, an iris diaphragm can be used when the opening 39 is circular, and a slit can be used when the aperture 39 is rectangular. The iris diaphragm can adjust the diameter of the opening 39 by adjusting the degree of overlap of the wings. The slit is composed of two pairs of slits arranged so as to be substantially orthogonal to each other, and the width of the opening 39 can be adjusted by adjusting the distance between the slits.

液晶パネル15上でのレーザ光のスポットサイズは、可変開口装置23の開口部39の大きさと対物レンズ24の倍率によって決まる。ここで、レーザ光の「スポットサイズ」とは、スポットの形状が円形の場合はその直径を指し、正方形の場合はその一辺の長さを指すこととする。例えば、開口部39の大きさを一辺が200μmの正方形、対物レンズ24の倍率を40倍とすると、液晶パネル15上でのレーザ光のスポットサイズは、200μm×1/40=5μmとなる。可変開口装置23の開口部39の大きさを調整することで、液晶パネル15上でのレーザ光のスポットサイズを制御することが可能である。   The spot size of the laser beam on the liquid crystal panel 15 is determined by the size of the opening 39 of the variable aperture device 23 and the magnification of the objective lens 24. Here, the “spot size” of the laser beam indicates the diameter when the spot shape is circular, and indicates the length of one side when the spot shape is square. For example, if the size of the opening 39 is a square having a side of 200 μm and the magnification of the objective lens 24 is 40 times, the spot size of the laser light on the liquid crystal panel 15 is 200 μm × 1/40 = 5 μm. The spot size of the laser beam on the liquid crystal panel 15 can be controlled by adjusting the size of the opening 39 of the variable aperture device 23.

可変開口装置23でのレーザ光のビーム径は調整光学系22によって調整が可能である。調整光学系22は、例えばレンズ、プリズム、回折光学素子等の光学素子で構成される。可変開口装置23でのレーザ光のビーム径を変えると、可変開口装置23の開口部39を通過するレーザ光のパワーが変わる。   The beam diameter of the laser beam in the variable aperture device 23 can be adjusted by the adjusting optical system 22. The adjustment optical system 22 is configured by an optical element such as a lens, a prism, or a diffractive optical element. When the beam diameter of the laser beam at the variable aperture device 23 is changed, the power of the laser beam passing through the opening 39 of the variable aperture device 23 is changed.

図3は、この発明の実施の形態1におけるレーザ光が可変開口装置23の開口部39を通過する様子を示す断面図であり、(a)は入射するレーザ光31のビーム径が小さい場合を示す断面図、(b)は入射するレーザ光31のビーム径が大きい場合を示す断面図である。図3において、レーザ光31の進行方向Cは、図3における左から右へ向かう方向であり、図3中に矢印で方向を示している。   FIG. 3 is a cross-sectional view showing a state in which the laser light in the first embodiment of the present invention passes through the opening 39 of the variable aperture device 23, and FIG. 3A shows a case where the beam diameter of the incident laser light 31 is small. FIG. 4B is a sectional view showing a case where the beam diameter of the incident laser beam 31 is large. In FIG. 3, the traveling direction C of the laser beam 31 is a direction from left to right in FIG. 3, and the direction is indicated by an arrow in FIG.

図3において、可変開口装置23の開口部39の大きさAよりも大きいビーム径でレーザ光31が可変開口装置23に入射する。尚、開口部39の大きさAと、図3(a)におけるビーム径B1、図3(b)におけるビーム径B2とは、B2>B1>Aの関係となっている。   In FIG. 3, a laser beam 31 is incident on the variable aperture device 23 with a beam diameter larger than the size A of the opening 39 of the variable aperture device 23. The size A of the opening 39, the beam diameter B1 in FIG. 3A, and the beam diameter B2 in FIG. 3B have a relationship of B2> B1> A.

ここで、開口部39の大きさAを一辺が150μmの正方形、ビーム径B1を直径300μm、ビーム径B2を直径1mmとした例で説明する。   Here, an example in which the size A of the opening 39 is a square having a side of 150 μm, the beam diameter B1 is 300 μm, and the beam diameter B2 is 1 mm is described.

図3(a)において、調整光学系22によって可変開口装置23に入射するレーザ光31のビーム径B1を300μm、可変開口装置23の開口部39の大きさAを150μmと設定すると、開口部39を通過したレーザ光40のパワーは、可変開口装置23の直前の約25%となる。   3A, when the adjustment optical system 22 sets the beam diameter B1 of the laser light 31 incident on the variable aperture device 23 to 300 μm and the size A of the aperture 39 of the variable aperture device 23 to 150 μm, the aperture 39 The power of the laser beam 40 that has passed through is about 25% immediately before the variable aperture device 23.

また、図3(b)において、調整光学系22によって可変開口装置23に入射するレーザ光31のビーム径B2を1mm、可変開口装置23の開口部39の大きさAを150μmと設定すると、開口部39を通過したレーザ光40のパワーは、可変開口装置23の直前の約2%となる。   3B, when the adjustment optical system 22 sets the beam diameter B2 of the laser light 31 incident on the variable aperture device 23 to 1 mm and the size A of the aperture 39 of the variable aperture device 23 to 150 μm, the aperture The power of the laser beam 40 that has passed through the portion 39 is about 2% immediately before the variable aperture device 23.

つまり、可変開口装置23の開口部39の大きさAに対して、入射するレーザ光31のビーム径を大きくすると、開口部39を通過するレーザ光40のパワーは小さくなる。逆に開口部30の大きさAに対して、入射するレーザ光31のビーム径を小さくすると、開口部39を通過するレーザ光40のパワーは大きくなる。したがって、輝点欠陥の暗点化に必要なレーザ光のパワーが、レーザ発振器20から出射するレーザ光のパワーの何%であるかを考慮して、可変開口装置23に入射するレーザ光31のビーム径と、可変開口装置23の開口部39の大きさAの調整を行う。   That is, when the beam diameter of the incident laser beam 31 is increased with respect to the size A of the opening 39 of the variable aperture device 23, the power of the laser beam 40 passing through the opening 39 is decreased. Conversely, when the beam diameter of the incident laser beam 31 is reduced with respect to the size A of the opening 30, the power of the laser beam 40 passing through the opening 39 is increased. Therefore, in consideration of what percentage of the power of the laser beam emitted from the laser oscillator 20 is necessary for the dark spot of the bright spot defect, the laser beam 31 incident on the variable aperture device 23 The beam diameter and the size A of the opening 39 of the variable aperture device 23 are adjusted.

尚、開口部39の大きさAよりも入射するレーザ光31のビーム径が小さくなると、可変開口装置23によるレーザ光のスポット整形効果はなくなる。   If the beam diameter of the incident laser beam 31 is smaller than the size A of the opening 39, the spot shaping effect of the laser beam by the variable aperture device 23 is lost.

レーザ照射・観察部18において、液晶パネル15を観察する部分は、対物レンズ24、ミラー25及びカメラ26を有する。液晶パネル15側から対物レンズ24に入射した光は、ミラー25によって反射してカメラ26へ入射する。カメラ26に入射した光は、画像としてディスプレイ(図示せず)に表示される。   In the laser irradiation / observation unit 18, the part that observes the liquid crystal panel 15 includes an objective lens 24, a mirror 25, and a camera 26. Light incident on the objective lens 24 from the liquid crystal panel 15 side is reflected by the mirror 25 and enters the camera 26. The light incident on the camera 26 is displayed as an image on a display (not shown).

この液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化装置37aにおいて、観察のための光路と輝点欠陥の暗点化のためのレーザ光の光路とは対物レンズ24上で一致するようになっている。よって、ミラー25は、輝点欠陥の暗点化用のレーザ光に対しては透過率が高く、液晶パネル15の観察用の光に対しては反射率が高いことが望ましい。光の透過率の高低の選択は、光の波長や偏光によって行うとよい。つまり、輝点欠陥の暗点化用のレーザ光と液晶パネル15の観察用の光とで、波長や偏光が異なるようにしておき、輝点欠陥の暗点化用のレーザ光の波長に対しては透過率が高く、他の波長に対しては反射率が高いミラーや、輝点欠陥の暗点化用のレーザ光の偏光に対しては透過率が高く、それと直交する偏光に対しては反射率が高いミラーを使用するとよい。   In the bright spot defect darkening device 37a of the liquid crystal display device, the optical path for observation and the optical path of the laser beam for dark spot of the bright spot defect coincide with each other on the objective lens 24. . Therefore, it is desirable that the mirror 25 has a high transmittance with respect to the laser beam for dark spot defect dark spot defect and a high reflectance with respect to the light for observation of the liquid crystal panel 15. The selection of the light transmittance level may be made according to the wavelength or polarization of the light. In other words, the wavelength and polarization of the laser light for dark spot defect darkening and the light for observation of the liquid crystal panel 15 are made different from each other, and the wavelength of the laser light for dark spot defect darkening is set. The transmittance is high for mirrors with high transmittance and high reflectivity for other wavelengths, and the polarization of laser light for dark spot darkening of bright spot defects. Use a mirror with high reflectivity.

また、レーザ照射・観察部18には、輝点欠陥の暗点化用のレーザ光を照射する際や液晶パネル15を観察する際に液晶パネル15にフォーカスを合わせるための、Zステージ27が設置されている。Zステージ27は、レーザ照射・観察部18と液晶パネル15との距離を調整可能であり、図2における上下方向にレーザ照射・観察部18を移動させて輝点欠陥の暗点化用のレーザ光や観察用の光のフォーカスを調整する。   Further, the laser irradiation / observation unit 18 is provided with a Z stage 27 for focusing on the liquid crystal panel 15 when irradiating the laser light for dark spot defect dark spot irradiation or observing the liquid crystal panel 15. Has been. The Z stage 27 can adjust the distance between the laser irradiation / observation unit 18 and the liquid crystal panel 15, and moves the laser irradiation / observation unit 18 in the vertical direction in FIG. Adjust the focus of light and light for observation.

次に、液晶パネル設置部19について説明する。液晶パネル設置部19は、XYテーブル28、観察用光源29及び駆動制御装置41を有する。   Next, the liquid crystal panel installation unit 19 will be described. The liquid crystal panel installation unit 19 includes an XY table 28, an observation light source 29, and a drive control device 41.

XYテーブル28は、その上面に液晶パネル15を載置し、液晶パネル15に入射するレーザ光に対して略垂直な面内で略直交する2方向に移動可能である。これにより、液晶パネル15上の任意の場所にレーザ光を照射することができる。XYテーブル28には透過穴30が設けられており、XYテーブル28の液晶パネル15を載置した面の反対の面側に設置された観察用光源29から出射された光が、透過穴30を通って液晶パネル15に照射されるようになっている。   The XY table 28 has the liquid crystal panel 15 mounted on the upper surface thereof, and can move in two directions substantially orthogonal to each other within a plane substantially perpendicular to the laser light incident on the liquid crystal panel 15. Thereby, a laser beam can be irradiated to an arbitrary place on the liquid crystal panel 15. The XY table 28 is provided with a transmission hole 30, and light emitted from an observation light source 29 installed on the opposite side of the surface on which the liquid crystal panel 15 of the XY table 28 is placed passes through the transmission hole 30. The liquid crystal panel 15 is irradiated therethrough.

観察用光源29としては、例えば、発光ダイオードやランプなどが使用される。また、観察用光源29から出射した光を集光するレンズ等も備えていることが好ましい。   As the observation light source 29, for example, a light emitting diode or a lamp is used. Further, it is preferable that a lens for collecting the light emitted from the observation light source 29 is also provided.

駆動制御装置41は、液晶パネル15と電気的に接続され、液晶パネル15のTFTアレイ9の動作を制御することによって液晶7を駆動する。尚、駆動制御装置41の機能は基本的に液晶モジュール16の駆動制御基板17と同様であるため、液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化装置37aに駆動制御装置41を設ける代わりに、液晶モジュール16の駆動制御基板17を使用してもよい。   The drive control device 41 is electrically connected to the liquid crystal panel 15 and drives the liquid crystal 7 by controlling the operation of the TFT array 9 of the liquid crystal panel 15. Since the function of the drive control device 41 is basically the same as that of the drive control board 17 of the liquid crystal module 16, instead of providing the drive control device 41 in the bright spot defect darkening device 37a of the liquid crystal display device, liquid crystal The drive control board 17 of the module 16 may be used.

液晶パネル15を観察するときは、駆動制御装置41によって液晶パネル15を動作させて全黒表示とすることが好ましい。全黒表示にすることによって、輝点欠陥以外の部分は黒表示となる一方で、輝点欠陥の部分では観察用光源29から出射された観察光が漏れて輝点となり、輝点欠陥として判別がしやすくなる。   When observing the liquid crystal panel 15, it is preferable to operate the liquid crystal panel 15 by the drive control device 41 to display all black. By displaying all black, the portion other than the bright spot defect is displayed in black, while in the bright spot defect portion, the observation light emitted from the observation light source 29 leaks to become a bright spot, and is identified as a bright spot defect. It becomes easy to do.

次に、暗点化装置用制御装置38について説明する。暗点化装置用制御装置38は、可変開口装置23に接続されており、可変開口装置23の開口部39の大きさが所望の大きさになるように制御する。つまり、暗点化装置用制御装置38が可変開口装置23の開口部39の大きさを制御することによって、液晶パネル15に照射されるレーザ光のスポットサイズが制御されることとなる。そして、レーザ光のスポットサイズを制御することによって、液晶パネル15に照射されるレーザ光の単位時間当たりのエネルギーを制御することができる。   Next, the dark spot control device 38 will be described. The dark spot device controller 38 is connected to the variable aperture device 23 and controls the size of the opening 39 of the variable aperture device 23 to a desired size. In other words, the spot size of the laser beam irradiated to the liquid crystal panel 15 is controlled by the control device 38 for the dark spot device controlling the size of the opening 39 of the variable aperture device 23. Then, by controlling the spot size of the laser beam, the energy per unit time of the laser beam irradiated on the liquid crystal panel 15 can be controlled.

以上で説明した液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化装置37aによって、液晶パネル15の輝点欠陥が暗点化処理される。具体的には、液晶パネル15の輝点欠陥を有する画素に対してレーザ光を照射し、カラーフィルタ基板13aの一部を変質させて光透過率を低下させることによって、輝点欠陥を暗点化する。   The bright spot defects of the liquid crystal panel 15 are darkened by the bright spot defect darkening device 37a of the liquid crystal display device described above. Specifically, a pixel having a bright spot defect of the liquid crystal panel 15 is irradiated with laser light, and a part of the color filter substrate 13a is altered to reduce light transmittance, thereby reducing the bright spot defect to a dark spot. Turn into.

ここで、「カラーフィルタ基板13aの一部」とは、カラーフィルタ基板13aを構成する構成物を指し、例えば、配向膜6、共通電極5、カラーフィルタ色材1、ガラス基板3、偏光板2等である。これらは、全てが変質される必要はなく、少なくとも1つが変質されて光透過率が低下すればよい。   Here, “a part of the color filter substrate 13a” refers to a component constituting the color filter substrate 13a. For example, the alignment film 6, the common electrode 5, the color filter color material 1, the glass substrate 3, and the polarizing plate 2 are used. Etc. All of these need not be altered, and at least one of them may be altered to reduce the light transmittance.

次に、この発明の実施の形態1における液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化装置37aを用いた液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化方法について説明する。尚、ここでは、輝点欠陥を完全に黒化する場合を例に説明する。   Next, a bright spot defect darkening method for a liquid crystal display device using the bright spot defect dark spot darkening device 37a of the liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention will be described. Here, a case where the bright spot defect is completely blackened will be described as an example.

まず、液晶パネル15をXYテーブル28上に設置する。ここで、観察用光源29から出射される観察光が液晶パネル15に照射されるように、液晶パネル15は、XYテーブル28の透過穴30の上に設置される。また、液晶パネル15は、TFTアレイ基板14側からレーザ光が入射するように設置される。   First, the liquid crystal panel 15 is set on the XY table 28. Here, the liquid crystal panel 15 is installed on the transmission hole 30 of the XY table 28 so that the observation light emitted from the observation light source 29 is irradiated onto the liquid crystal panel 15. Further, the liquid crystal panel 15 is installed so that laser light enters from the TFT array substrate 14 side.

次に、駆動制御装置41と液晶パネル15を接続し、駆動制御装置41から液晶パネル15へ全黒表示の信号を送って液晶パネル15を全黒表示状態とする。そして、観察用光源29から観察光を液晶パネル15へ照射し、液晶パネル15から漏れる光をカメラ26で受光して液晶パネル15の輝点欠陥を観察する。ここで、XYテーブル28によって、液晶パネル15を移動させて、液晶パネル15の全画素について観察を行う。   Next, the drive control device 41 and the liquid crystal panel 15 are connected, and an all black display signal is sent from the drive control device 41 to the liquid crystal panel 15 to place the liquid crystal panel 15 in the all black display state. Then, the observation light source 29 emits observation light to the liquid crystal panel 15, and light leaking from the liquid crystal panel 15 is received by the camera 26 to observe the bright spot defect of the liquid crystal panel 15. Here, the liquid crystal panel 15 is moved by the XY table 28 and all the pixels of the liquid crystal panel 15 are observed.

尚、液晶パネル15の観察を行う際に輝点欠陥が発見された部位を記憶しておいて、全画素又は全画素中の一部のエリアの観察が終了した後に、輝点欠陥の黒化処理を行なってもよいし、観察中に輝点欠陥が発見されるたびに輝点欠陥の黒化処理を行なってもよい。ここでは、全画素を観察後に黒化処理を行う場合について説明する。   It should be noted that when the observation of the liquid crystal panel 15 is performed, the site where the bright spot defect is found is stored, and after the observation of all the pixels or a part of the entire area is finished, the bright spot defect is blackened. Processing may be performed, or a bright spot defect blackening process may be performed every time a bright spot defect is discovered during observation. Here, a case where the blackening process is performed after observing all the pixels will be described.

まず、液晶パネル15の観察によって発見された輝点欠陥を有する画素にレーザ光を照射できるように、XYテーブル28によって液晶パネル15を移動させる。   First, the liquid crystal panel 15 is moved by the XY table 28 so that a pixel having a bright spot defect discovered by observing the liquid crystal panel 15 can be irradiated with laser light.

次に、輝点欠陥を有する画素に輝点欠陥を有する画素よりも小さいスポットサイズでレーザ光を照射する工程について説明する。   Next, a process of irradiating a pixel having a bright spot defect with laser light with a spot size smaller than that of a pixel having a bright spot defect will be described.

まず、レーザ駆動電源21によってレーザ発振器20に電力を供給し、レーザ発振器20からレーザ光を出射する。出射されたレーザ光は、調整光学系22でビーム径等を調整され、可変開口装置23に入射する。可変開口装置23に入射したレーザ光は、可変開口装置23によって一部は遮られ、一部は可変開口装置23の開口部39を通過して対物レンズ24に入射する。対物レンズ24に入射したレーザ光は、対物レンズ24によって集光されて、輝点欠陥を有する画素よりも小さいスポットサイズで液晶パネル15の輝点欠陥を有する画素に対して照射される。   First, power is supplied to the laser oscillator 20 by the laser driving power source 21, and laser light is emitted from the laser oscillator 20. The emitted laser light is adjusted in beam diameter and the like by the adjusting optical system 22 and enters the variable aperture device 23. A part of the laser light incident on the variable aperture device 23 is blocked by the variable aperture device 23, and part of the laser light passes through the opening 39 of the variable aperture device 23 and enters the objective lens 24. The laser light incident on the objective lens 24 is condensed by the objective lens 24 and is irradiated to the pixel having the bright spot defect of the liquid crystal panel 15 with a spot size smaller than that of the pixel having the bright spot defect.

次に、輝点欠陥を有する画素32内でレーザ光を走査する工程について説明する。図4は、この発明の実施の形態1における輝点欠陥を有する画素32内でレーザ光を走査する様子を示す上面図である。   Next, a process of scanning a laser beam in the pixel 32 having a bright spot defect will be described. FIG. 4 is a top view showing a state in which laser light is scanned in the pixel 32 having a bright spot defect according to Embodiment 1 of the present invention.

液晶パネル15の画素は、例えば一辺が数十μm〜数百μmの矩形や矩形に近い形状である。図4に示すように、このような輝点欠陥を有する画素32よりも小さいスポットサイズ、例えば数μm〜数十μmのスポットサイズで、輝点欠陥を有する画素32を隙間無く黒化するために、レーザ光を画素内で走査する。レーザ光の走査は、液晶パネル15を載置したXYテーブル28を移動させることによって行う。   The pixels of the liquid crystal panel 15 are, for example, a rectangle having a side of several tens of μm to several hundreds of μm or a shape close to a rectangle. As shown in FIG. 4, in order to blacken the pixel 32 having a bright spot defect without a gap with a spot size smaller than the pixel 32 having such a bright spot defect, for example, a spot size of several μm to several tens of μm. The laser beam is scanned in the pixel. The laser beam scanning is performed by moving the XY table 28 on which the liquid crystal panel 15 is placed.

図4には、レーザ光の走査経路の一例を示している。ここでは、輝点欠陥を有する画素32の角部に走査開始点33を設定し、レーザ光の走査を開始する。レーザ光は、走査開始点33からジグザグ状に隙間無く輝点欠陥を有する画素32内を走査され、輝点欠陥を有する画素32の走査開始点33と異なる角部に設定した走査終了点34に到達した時点で走査を終了する。尚、この走査経路は、図4に示したものには限られず、輝点欠陥を有する画素32内を隙間無く走査する経路であれば、どのような経路でも構わない。   FIG. 4 shows an example of a laser beam scanning path. Here, the scanning start point 33 is set at the corner of the pixel 32 having the bright spot defect, and the laser beam scanning is started. The laser beam is scanned from the scanning start point 33 in a zigzag-shaped pixel 32 having a bright spot defect without a gap, and is set at a scanning end point 34 set at a different corner from the scanning start point 33 of the pixel 32 having a bright spot defect. When it reaches, the scanning is finished. Note that this scanning path is not limited to that shown in FIG. 4, and any path may be used as long as it scans the pixel 32 having the bright spot defect without any gap.

ここで、レーザ光の照射によって黒化されるのは、主に、液晶パネル15のカラーフィルタ基板13aの一部であるカラーフィルタ色材1や配向膜6、共通電極5等である。このように、黒化対象となる構成物は、厚みが数μm以下の薄膜である。レーザ光を照射すると、これらの構成物がレーザ光を吸収した熱によって変質して黒化する。   Here, what is blackened by laser light irradiation is mainly the color filter color material 1, the alignment film 6, the common electrode 5, and the like which are part of the color filter substrate 13 a of the liquid crystal panel 15. Thus, the composition to be blackened is a thin film having a thickness of several μm or less. When the laser beam is irradiated, these components are altered and blackened by the heat absorbed by the laser beam.

このような薄膜の構成物を黒化する際には、黒化対象となる薄膜の単位面積当たりに照射されるレーザ光のエネルギーが大きいと、これらの薄膜が破損してしまう。これは、レーザ光の照射時に、薄膜が急加熱されて急激に熱膨張するために、薄膜に対して応力が働くからであると考えられる。液晶パネル15内でこれらの薄膜が破損すると、液晶7中に異物が散乱して、黒化処理をした画素の周辺の画素に新たな輝点欠陥を生じさせることがある。   When blackening such a thin film component, if the energy of the laser beam irradiated per unit area of the thin film to be blackened is large, these thin films are damaged. This is presumably because stress is applied to the thin film because the thin film is rapidly heated and rapidly expands during laser light irradiation. If these thin films are damaged in the liquid crystal panel 15, foreign matter may be scattered in the liquid crystal 7 and a new bright spot defect may be generated in the pixels around the blackened pixels.

一方、これらの薄膜が破損しないように単位面積当たりに照射されるレーザ光のエネルギーを小さく設定すると、薄膜の破損を抑えることはできるが、黒化対象となる薄膜に与えるエネルギーが不足して、輝点欠陥を黒化するのに充分な黒化レベルを得ることができない。   On the other hand, if the energy of the laser light irradiated per unit area is set small so that these thin films are not damaged, the thin film can be prevented from being damaged, but the energy given to the thin film to be blackened is insufficient, A blackening level sufficient to blacken the bright spot defect cannot be obtained.

また、黒化処理中、液晶パネル15のカラーフィルタ色材1や配向膜6、共通電極5等といった薄膜に最も応力が加わるのは、薄膜の温度変化が最も急激である走査開始点33である。よって、走査開始点33で薄膜の破損が生じやすい。   Further, during the blackening process, the stress is most applied to the thin film such as the color filter coloring material 1, the alignment film 6, and the common electrode 5 of the liquid crystal panel 15 at the scanning start point 33 where the temperature change of the thin film is the most rapid. . Therefore, the thin film is easily damaged at the scanning start point 33.

この発明の実施の形態1では、上記のような問題点を解決するために、輝点欠陥を有する画素内でレーザ光を走査する工程において、輝点欠陥を有する画素の単位面積当たりに照射されるレーザ光のエネルギーを走査開始時よりも大きくする工程を備えている。この発明の実施の形態1では、輝点欠陥を有する画素の単位面積当たりに照射されるレーザ光のエネルギーを走査開始時よりも大きくする工程は、レーザ発振器20から出射されたレーザ光の一部を遮り、かつ、レーザ発振器20から出射されたレーザ光を遮る量を変化させることにより輝点欠陥を有する画素に照射されるレーザ光のスポットサイズを変化させる工程によって実現される。   In the first embodiment of the present invention, in order to solve the above-described problems, the laser beam is scanned per unit area of the pixel having the bright spot defect in the step of scanning the laser light within the pixel having the bright spot defect. A step of making the energy of the laser light larger than that at the start of scanning. In the first embodiment of the present invention, the step of increasing the energy of the laser beam irradiated per unit area of the pixel having the bright spot defect is larger than that at the start of scanning. A part of the laser beam emitted from the laser oscillator 20 is used. This is realized by a step of changing the spot size of the laser beam irradiated to the pixel having the bright spot defect by changing the amount of blocking the laser beam emitted from the laser oscillator 20.

次に、レーザ発振器20から出射されたレーザ光の一部を遮り、かつ、レーザ発振器20から出射されたレーザ光を遮る量を変化させることにより輝点欠陥を有する画素に照射されるレーザ光のスポットサイズを変化させる工程について説明する。図5は、この発明の実施の形態1における輝点欠陥を有する画素に照射されるレーザ光のスポットサイズを変化させる工程を説明するための図である。図5において、横軸は時刻tを示し、縦軸は液晶パネル15上におけるレーザ光のスポットサイズSを示す。   Next, a part of the laser beam emitted from the laser oscillator 20 is blocked, and the amount of the laser beam emitted from the laser oscillator 20 is changed to change the amount of the laser beam irradiated to the pixel having the bright spot defect. A process of changing the spot size will be described. FIG. 5 is a diagram for explaining a process of changing the spot size of the laser light irradiated to the pixel having the bright spot defect in the first embodiment of the present invention. In FIG. 5, the horizontal axis indicates time t, and the vertical axis indicates the laser beam spot size S on the liquid crystal panel 15.

図5に示すように、時刻t0において、初期スポットサイズS0でレーザ光を照射し、走査を開始する。即ち、走査開始点33におけるスポットサイズが初期スポットサイズS0となる。走査開始と同時にレーザ光のスポットサイズを走査開始時よりも大きくしていき、時刻t1において、最終スポットサイズS1とする。ここで、S0<S1である。スポットサイズの拡大に要する時間、即ち、t1−t0をスポットサイズ拡大時間Δt1とする。スポットサイズが最終スポットサイズS1にまで拡大された後は、レーザ光が走査終了点34に達して走査が終了する時刻t2まで、最終スポットサイズS1のままで走査される。   As shown in FIG. 5, at time t0, the laser beam is irradiated with the initial spot size S0, and scanning is started. That is, the spot size at the scanning start point 33 becomes the initial spot size S0. The spot size of the laser beam is made larger than that at the start of scanning simultaneously with the start of scanning, and is set to the final spot size S1 at time t1. Here, S0 <S1. The time required for enlarging the spot size, that is, t1-t0 is defined as the spot size enlarging time Δt1. After the spot size is expanded to the final spot size S1, scanning is performed with the final spot size S1 until the time t2 when the laser beam reaches the scanning end point 34 and the scanning ends.

尚、図5においては、レーザ光のスポットサイズを時間に対して直線状に変化させたが、時間に対して曲線状やステップ状に変化させても同様の効果がある。   In FIG. 5, the spot size of the laser beam is changed linearly with respect to time, but the same effect can be obtained by changing the spot size of the laser beam with a curve or step with respect to time.

ここで、スポットサイズの調整は、暗点化装置用制御装置38によって可変開口装置23の開口部39の大きさを制御することによって行う。レーザ発振器20から出射されたレーザ光は、可変開口装置23によって一部は遮られ、一部は開口部39を通過するので、開口部39の大きさを変化させることによって、輝点欠陥を有する画素に照射されるレーザ光のスポットサイズを変化させることができる。このように可変開口装置23を用いてスポットサイズを変化させることによって、輝点欠陥を有する画素に照射されるレーザ光のパワー(単位時間当たりのエネルギー)を変化させることができる。そして、このレーザ光を一定の速さで走査するので、レーザ光のパワーが変化することによって、輝点欠陥を有する画素の単位面積当たりに照射されるレーザ光のエネルギーも変化することになる。   Here, the spot size is adjusted by controlling the size of the opening 39 of the variable aperture device 23 by the dark spot control device 38. The laser light emitted from the laser oscillator 20 is partially blocked by the variable aperture device 23 and partially passes through the opening 39, and thus has a bright spot defect by changing the size of the opening 39. The spot size of the laser light irradiated to the pixel can be changed. Thus, by changing the spot size using the variable aperture device 23, it is possible to change the power (energy per unit time) of the laser light applied to the pixel having the bright spot defect. Since this laser beam is scanned at a constant speed, the energy of the laser beam irradiated per unit area of a pixel having a bright spot defect also changes as the power of the laser beam changes.

これらの初期スポットサイズS0、最終スポットサイズS1、スポットサイズ拡大時間Δt1は、レーザ発振器20から出射するレーザ光のパワー、レーザ光を走査する速さ、レーザ光を走査する経路、といった他のパラメータと同様に、対象となる液晶パネル15の機種や画素の色ごとに設定しておき、レシピとして登録しておく。そして、液晶パネル15の機種や画素の色によってレシピを呼び出して輝点欠陥の暗点化処理を実施する。   These initial spot size S0, final spot size S1, and spot size expansion time Δt1 are other parameters such as the power of the laser beam emitted from the laser oscillator 20, the scanning speed of the laser beam, and the scanning path of the laser beam. Similarly, it is set for each model and pixel color of the target liquid crystal panel 15 and registered as a recipe. Then, the recipe is called according to the model of the liquid crystal panel 15 and the color of the pixel, and the dark spot darkening process of the bright spot defect is performed.

最終スポットサイズS1は、輝点欠陥を有する画素の黒化に最適なレーザ光のパワーが得られるスポットサイズに設定しておく。初期スポットサイズS0は、例えば最終スポットサイズS1の約半分とすることにより、レーザ光のパワーが最終スポットサイズS1の時と比較して約4分の1となるようにするのがよい。   The final spot size S1 is set to a spot size at which the power of laser light optimal for blackening a pixel having a bright spot defect is obtained. For example, the initial spot size S0 is preferably about a half of the final spot size S1, so that the power of the laser beam is about a quarter of that of the final spot size S1.

最終スポットサイズS1としては、例えば3〜5μm程度で、この時の輝点欠陥を有する画素に照射されるレーザ光のパワーは、例えば20〜100mW程度で、40mW程度とするのが好ましい。初期スポットサイズS0としては、例えば1.5〜2.5μm程度で、この時の輝点欠陥を有する画素に照射されるレーザ光のパワーは、例えば5〜25mW程度で、10mW程度とするのが好ましい。レーザ光を走査する速さ、即ち、XYテーブル28を移動させる速さは、例えば40μm/s程度が好ましく、スポットサイズ拡大時間Δt1は、1秒程度とするのが好ましい。   The final spot size S1 is, for example, about 3 to 5 μm, and the power of the laser light applied to the pixel having the bright spot defect at this time is, for example, about 20 to 100 mW, preferably about 40 mW. The initial spot size S0 is, for example, about 1.5 to 2.5 μm, and the power of the laser light applied to the pixel having the bright spot defect at this time is, for example, about 5 to 25 mW, and about 10 mW. preferable. The scanning speed of the laser beam, that is, the moving speed of the XY table 28 is preferably about 40 μm / s, for example, and the spot size expansion time Δt1 is preferably about 1 second.

この発明の実施の形態1では、以上のように輝点欠陥を有する画素に輝点欠陥を有する画素よりも小さいスポットサイズでレーザ光を照射する工程と、レーザ光を液晶パネル15に対して相対的に移動させて、輝点欠陥を有する画素内でレーザ光を走査する工程と、を備え、レーザ光を走査する工程が、輝点欠陥を有する画素の単位面積当たりに照射されるレーザ光のエネルギーを走査開始時よりも大きくする工程を有することにより、走査開始点33付近においては、輝点欠陥を有する画素の単位面積当たりに照射されるレーザ光のエネルギーを小さくしつつ、レーザ光の走査の途中からは、輝点欠陥を有する画素の単位面積当たりに照射されるレーザ光のエネルギーを輝点欠陥の暗点化に適した大きさにすることができる。これにより、輝点欠陥の暗点化処理中に、液晶パネル15のカラーフィルタ色材1や配向膜6、共通電極5等といった薄膜が破損しやすい走査開始点33付近においては、これら薄膜の破損を抑制することができ、レーザ光の走査の途中からは、輝点欠陥の暗点化に適したエネルギーによって、充分な暗点化を行うことができるという効果がある。つまり、暗点化処理時に、液晶パネル15内の薄膜の破損抑制と充分な暗点化とを両立することができる。   In the first embodiment of the present invention, the process of irradiating a pixel having a bright spot defect with a laser beam with a spot size smaller than that of the pixel having a bright spot defect as described above and the laser light relative to the liquid crystal panel 15 And scanning the laser light within the pixel having the bright spot defect, and the step of scanning the laser light includes a step of scanning the laser light irradiated per unit area of the pixel having the bright spot defect. By having a step of making the energy larger than that at the start of scanning, in the vicinity of the scanning start point 33, the scanning of the laser light is performed while reducing the energy of the laser light irradiated per unit area of the pixel having the bright spot defect. From the middle, the energy of the laser beam irradiated per unit area of the pixel having the bright spot defect can be set to a size suitable for dark spot defect. Thereby, in the vicinity of the scanning start point 33 where the thin films such as the color filter coloring material 1, the alignment film 6, the common electrode 5 and the like of the liquid crystal panel 15 are easily damaged during the dark spot processing of the bright spot defect, these thin films are damaged. From the middle of the scanning of the laser beam, there is an effect that the dark spot can be sufficiently darkened with the energy suitable for dark spot of the bright spot defect. That is, at the time of dark spot processing, it is possible to achieve both suppression of damage to the thin film in the liquid crystal panel 15 and sufficient dark spot processing.

尚、走査開始点33付近における輝点欠陥を有する画素の単位面積当たりに照射されるレーザ光のエネルギーを小さく抑えることによって、走査開始点33付近では暗点化が充分でないことがある。しかし、このように暗点化が充分でない領域は、画素内の狭い領域であるため、暗点化処理後に目視検査を行うと、差が見えないことが多い。充分に暗点化された領域と不充分な領域との差が大きい場合は、暗点化が不充分な領域だけ、レーザ光を2回走査すると暗点化が充分となる。   It should be noted that dark spots may not be sufficient in the vicinity of the scanning start point 33 by suppressing the energy of the laser light irradiated per unit area of the pixel having the bright spot defect in the vicinity of the scanning start point 33. However, such an area where dark spots are not sufficiently dark is a narrow area within a pixel, and therefore, when a visual inspection is performed after dark spot processing, the difference is often not visible. When there is a large difference between a sufficiently darkened area and an insufficiently darkened area, the dark spotting becomes sufficient when the laser beam is scanned twice only in an area where the darkened area is insufficiently darkened.

また、輝点欠陥を有する画素の単位面積当たりに照射されるレーザ光のエネルギーを走査開始時よりも大きくする工程が、レーザ発振器20から出射されたレーザ光の一部を遮り、かつ、レーザ発振器20から出射されたレーザ光を遮る量を変化させることにより輝点欠陥を有する画素に照射されるレーザ光のスポットサイズを変化させる工程を有することにより、レーザ光を遮る量を変化させてレーザ光のスポットサイズを変化させることによって、輝点欠陥を有する画素に照射するレーザ光のエネルギーを調整することができる。レーザ光を遮る量を変化させているだけなので、レーザ光のパワー密度は変化させずに輝点欠陥を有する画素に照射するレーザ光のエネルギーを調整することができる。レーザ光のパワー密度が変化せずにレーザ光のスポットサイズが小さくなることになるので、レーザ光の照射による液晶パネル15内の薄膜の温度変化が抑制できるだけでなく、レーザ光によって加熱される面積も小さくなる。加熱される面積が小さくなることにより、薄膜に加わる応力も小さくなり、薄膜の破損をより抑制することができる。   Further, the step of increasing the energy of the laser beam irradiated per unit area of the pixel having the bright spot defect than that at the start of scanning blocks part of the laser beam emitted from the laser oscillator 20, and the laser oscillator By changing the spot size of the laser beam irradiated to the pixel having the bright spot defect by changing the amount of blocking the laser beam emitted from 20, the laser beam can be changed by changing the amount of blocking the laser beam. By changing the spot size, it is possible to adjust the energy of the laser light applied to the pixel having the bright spot defect. Since only the amount of blocking the laser beam is changed, the energy of the laser beam applied to the pixel having the bright spot defect can be adjusted without changing the power density of the laser beam. Since the spot size of the laser beam is reduced without changing the power density of the laser beam, not only the temperature change of the thin film in the liquid crystal panel 15 due to the laser beam irradiation can be suppressed, but also the area heated by the laser beam. Becomes smaller. By reducing the area to be heated, the stress applied to the thin film is also reduced, and damage to the thin film can be further suppressed.

レーザ発振器20と、レーザ発振器20から出射されたレーザ光を、輝点欠陥を有する画素よりも小さいスポットサイズに整形して輝点欠陥を有する画素に照射するスポット整形装置である可変開口装置23等と、輝点欠陥を有する画素に照射されたレーザ光を、輝点欠陥を有する画素内で走査するために、輝点欠陥を有する画素に照射されたレーザ光を液晶パネル15に対して相対的に移動させるXYテーブル28と、輝点欠陥を有する画素に照射されたレーザ光を走査中に、輝点欠陥を有する画素の単位面積当たりに照射されるレーザ光のエネルギーが走査開始時よりも大きくなるように制御する暗点化装置用制御装置38と、を備えたことにより、走査開始点33付近においては、輝点欠陥を有する画素の単位面積当たりに照射されるレーザ光のエネルギーを小さくしつつ、レーザ光の走査の途中からは、輝点欠陥を有する画素の単位面積当たりに照射されるレーザ光のエネルギーを輝点欠陥の暗点化に適した大きさにすることができる。これにより、輝点欠陥の暗点化処理中に、液晶パネル15のカラーフィルタ色材1や配向膜6、共通電極5等といった薄膜が破損しやすい走査開始点33付近においては、これら薄膜の破損を抑制することができ、レーザ光の走査の途中からは、輝点欠陥の暗点化に適したエネルギーによって、充分な暗点化を行うことができるという効果がある。つまり、暗点化処理時に、液晶パネル15内の薄膜の破損抑制と充分な暗点化とを両立することができる。   Laser oscillator 20 and variable aperture device 23 that is a spot shaping device that shapes laser light emitted from laser oscillator 20 into a spot size smaller than a pixel having a bright spot defect and irradiates the pixel having a bright spot defect, etc. In order to scan the laser beam irradiated to the pixel having the bright spot defect within the pixel having the bright spot defect, the laser beam irradiated to the pixel having the bright spot defect is relatively to the liquid crystal panel 15. The XY table 28 to be moved to and the laser beam irradiated to the pixel having the bright spot defect during scanning with the laser light irradiated per unit area of the pixel having the bright spot defect is larger than that at the start of scanning. And the dark spot darkening device control device 38 for controlling so that the light is emitted per unit area of the pixel having the bright spot defect in the vicinity of the scanning start point 33. -While reducing the energy of the laser beam, from the middle of the scanning of the laser beam, the energy of the laser beam irradiated per unit area of the pixel having the bright spot defect is a size suitable for dark spot of the bright spot defect. Can be. Thereby, in the vicinity of the scanning start point 33 where the thin films such as the color filter coloring material 1, the alignment film 6, the common electrode 5 and the like of the liquid crystal panel 15 are easily damaged during the dark spot processing of the bright spot defect, these thin films are damaged. From the middle of the scanning of the laser beam, there is an effect that the dark spot can be sufficiently darkened with the energy suitable for dark spot of the bright spot defect. That is, at the time of dark spot processing, it is possible to achieve both suppression of damage to the thin film in the liquid crystal panel 15 and sufficient dark spot processing.

スポット整形装置が、光源から出射された光の一部を遮る遮光装置の一例である可変開口装置23を有し、暗点化装置用制御装置38が、可変開口装置23がレーザ発振器20から出射されたレーザ光を遮る量を変化させることによって輝点欠陥を有する画素に照射されるレーザ光のスポットサイズを変化させることにより、レーザ光を遮る量を変化させてレーザ光のスポットサイズを変化させることによって、輝点欠陥を有する画素に照射するレーザ光のエネルギーを調整することができる。レーザ光を遮る量を変化させているだけなので、レーザ光のパワー密度は変化させずに輝点欠陥を有する画素に照射するレーザ光のエネルギーを調整することができる。レーザ光のパワー密度が変化せずにレーザ光のスポットサイズが小さくなることになるので、レーザ光の照射による液晶パネル15内の薄膜の温度変化が抑制できるだけでなく、レーザ光によって加熱される面積も小さくなる。加熱される面積が小さくなることにより、薄膜に加わる応力も小さくなり、薄膜の破損をより抑制することができる。   The spot shaping device has a variable aperture device 23 that is an example of a light shielding device that blocks a part of the light emitted from the light source, the dark spot device control device 38 emits the variable aperture device 23 from the laser oscillator 20. The spot size of the laser beam is changed by changing the spot size of the laser beam irradiated to the pixel having the bright spot defect by changing the amount of blocking the emitted laser beam, thereby changing the spot size of the laser beam. Thereby, the energy of the laser beam irradiated to the pixel having the bright spot defect can be adjusted. Since only the amount of blocking the laser beam is changed, the energy of the laser beam applied to the pixel having the bright spot defect can be adjusted without changing the power density of the laser beam. Since the spot size of the laser beam is reduced without changing the power density of the laser beam, not only the temperature change of the thin film in the liquid crystal panel 15 due to the laser beam irradiation can be suppressed, but also the area heated by the laser beam. Becomes smaller. By reducing the area to be heated, the stress applied to the thin film is also reduced, and damage to the thin film can be further suppressed.

尚、この発明の実施の形態1では、輝点欠陥の暗点化処理に使用する光としてレーザ光を使用し、光源としてレーザ発振器20を用いた。しかし、使用する光は、レーザ光に限らない。よって、光源としては、発光ダイオードやランプ等を使用してもよい。   In the first embodiment of the present invention, laser light is used as the light used for the dark spot darkening process of the bright spot defect, and the laser oscillator 20 is used as the light source. However, the light used is not limited to laser light. Therefore, a light emitting diode, a lamp, or the like may be used as the light source.

また、この発明の実施の形態1では、XYテーブル28を使用して液晶パネル15を移動させることによって、レーザ光を走査した。しかし、XYテーブル28を移動させて液晶パネル15を移動させる代わりに、レーザ照射・観察部18を移動させてレーザ光を走査してもよい。   In the first embodiment of the present invention, the laser beam is scanned by moving the liquid crystal panel 15 using the XY table 28. However, instead of moving the XY table 28 and moving the liquid crystal panel 15, the laser irradiation / observation unit 18 may be moved to scan the laser beam.

この発明の実施の形態1では、可変開口装置23の開口部39の形状を円形又は正方形としたが、これに限ることはなく、長方形やその他の多角形等どのような形状であってもよい。   In Embodiment 1 of the present invention, the shape of the opening 39 of the variable opening device 23 is circular or square. However, the shape is not limited to this, and any shape such as a rectangle or other polygons may be used. .

また、可変開口装置23としてスリットを使用する場合、スリットは互いに略直交するように配置された二対のスリットで構成されるものを用いたが、これに限ることはない。つまり、一対のスリットでもよいし、より多くの三対以上のスリットとしてもよい。また、一対でもなく、一枚のスリットによってレーザ光を遮ってもよい。   Further, when a slit is used as the variable opening device 23, the slit is composed of two pairs of slits arranged so as to be substantially orthogonal to each other. However, the present invention is not limited to this. That is, a pair of slits or more than three pairs of slits may be used. Further, the laser beam may be blocked by a single slit instead of a pair.

この発明の実施の形態1では、輝点欠陥を有する画素内でレーザ光を隙間なく走査するとしたが、多少の隙間があっても一定の効果が得られる。また、輝点欠陥を有する画素全体を走査することとしたが、必ずしも全体を走査しなくともよい。これは、輝点欠陥が、画素全体に生じる場合と、画素の一部だけに生じる場合とがあるからである。画素の一部だけに輝点欠陥が生じている場合は、輝点欠陥が生じている部分のみをレーザ光で走査して暗点化処理してもよい。   In Embodiment 1 of the present invention, laser light is scanned without gaps within a pixel having a bright spot defect, but a certain effect can be obtained even with some gaps. In addition, although the entire pixel having the bright spot defect is scanned, it is not always necessary to scan the entire pixel. This is because the bright spot defect may occur in the entire pixel or only in a part of the pixel. When a luminescent spot defect occurs only in a part of the pixel, only the part where the luminescent spot defect occurs may be scanned with a laser beam to perform dark spot processing.

この発明の実施の形態1では、液晶パネル15を、TFTアレイ基板14側からレーザ光が入射するように設置した。しかし、カラーフィルタ基板13a側からレーザ光が入射するように設置してもよい。但し、TFTアレイ基板14側からレーザ光を入射した方が、レーザ光の照射時に不純物やイオン等の異物が飛散することを抑制することができる。   In Embodiment 1 of the present invention, the liquid crystal panel 15 is installed so that laser light is incident from the TFT array substrate 14 side. However, you may install so that a laser beam may inject from the color filter board | substrate 13a side. However, when the laser beam is incident from the TFT array substrate 14 side, foreign matters such as impurities and ions can be prevented from being scattered during the laser beam irradiation.

この発明の実施の形態1では、偏光板2及び偏光板11を取り付けた後の液晶パネル15を輝点欠陥の暗点化処理の対象としたが、偏光板2と偏光板11の両方または一方を取り付ける前の液晶パネルを対象としてもよい。   In the first embodiment of the present invention, the liquid crystal panel 15 after the polarizing plate 2 and the polarizing plate 11 are attached is the target of the dark spot processing of the bright spot defect. The liquid crystal panel before mounting may be targeted.

また、液晶パネルに限らず、バックライト12等を取り付けた液晶モジュール16の状態で輝点欠陥の暗点化処理をしてもよい。液晶モジュール16を対象とする場合は、バックライト12が取り付けられているので、観察用光源29を省略してもよい。また、レーザ光を入射する方向は、バックライト12が取り付けられた状態では、カラーフィルタ基板13a側から入射することが好ましい。   Further, not only the liquid crystal panel, but also the dark spot defect darkening process may be performed in the state of the liquid crystal module 16 to which the backlight 12 or the like is attached. When the liquid crystal module 16 is a target, the backlight 12 is attached, and therefore the observation light source 29 may be omitted. The direction in which the laser light is incident is preferably incident from the color filter substrate 13a side in the state where the backlight 12 is attached.

また、レーザ光を照射した際に変質させる対象としては、カラーフィルタ基板13aの一部である、偏光板2、ガラス基板3、カラーフィルタ色材1、共通電極5、配向膜6のいずれでもよく、これらの少なくとも一つが変質して光の透過率が低下すれば一定の効果が得られる。また、カラーフィルタ基板13aだけに限ることもなく、TFTアレイ基板14の一部である、偏光板11、ガラス基板10、TFTアレイ9、配向膜8のうちの少なくとも一つが変質して光の透過率が低下しても一定の効果が得られる。   Further, as a target to be altered when irradiated with laser light, any of the polarizing plate 2, the glass substrate 3, the color filter color material 1, the common electrode 5, and the alignment film 6 which are part of the color filter substrate 13a may be used. If at least one of these changes in quality and the light transmittance decreases, a certain effect can be obtained. Further, the present invention is not limited to the color filter substrate 13a, and at least one of the polarizing plate 11, the glass substrate 10, the TFT array 9, and the alignment film 8 which are a part of the TFT array substrate 14 is altered to transmit light. Even if the rate decreases, a certain effect can be obtained.

尚、この発明の実施の形態1では、輝点欠陥の暗点化処理の対象を、カラーフィルタ基板13a側に共通電極5が配置された液晶パネル15としたが、これに限ることはなく、共通電極5がTFTアレイ基板14側に配置された液晶パネル、例えば、IPS(In Plane Switching)方式の液晶パネルでもよい。つまり、液晶パネルの機種によって限定されるものではない。   In Embodiment 1 of the present invention, the dark spot defect darkening process target is the liquid crystal panel 15 in which the common electrode 5 is disposed on the color filter substrate 13a side. However, the present invention is not limited to this. A liquid crystal panel in which the common electrode 5 is disposed on the TFT array substrate 14 side, for example, an IPS (In Plane Switching) type liquid crystal panel may be used. That is, it is not limited by the type of liquid crystal panel.

実施の形態2.
図6は、この発明の実施の形態2における液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化装置37bを示す側面図である。図6において、図2と同じ符号を付けたものは、同一または対応する構成を示しており、その説明を省略する。この発明の実施の形態1とは、暗点化装置用制御装置38とレーザ駆動電源21とを接続し、レーザ発振器20に供給する電力を制御できるようにした構成が相違している。
Embodiment 2. FIG.
FIG. 6 is a side view showing a dark spot defect darkening device 37b of the liquid crystal display device according to the second embodiment of the present invention. In FIG. 6, the same reference numerals as those in FIG. 2 denote the same or corresponding components, and the description thereof is omitted. The first embodiment of the present invention is different from the first embodiment in that the dark spot controller 38 is connected to the laser drive power source 21 so that the power supplied to the laser oscillator 20 can be controlled.

暗点化装置用制御装置38によってレーザ駆動電源21を制御して、レーザ発振器20に供給する電力を制御することにより、レーザ発振器20から出射されるレーザ光のパワー(単位時間当たりのエネルギー)を変化させることができる。   The laser driving power source 21 is controlled by the dark spot control device 38 and the power supplied to the laser oscillator 20 is controlled, whereby the power (energy per unit time) of the laser beam emitted from the laser oscillator 20 is controlled. Can be changed.

次に、この発明の実施の形態2における液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化装置37bを用いた液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化方法について説明する。この発明の実施の形態1と同様の工程については、その説明を省略する。この発明の実施の形態1とは、レーザ発振器20から出射されたレーザ光の一部を遮り、かつ、レーザ発振器20から出射されたレーザ光を遮る量を変化させることにより輝点欠陥を有する画素に照射されるレーザ光のスポットサイズを変化させる工程の代わりに、レーザ発振器20から出射されるレーザ光の単位時間当たりのエネルギーを変化させる工程を有する点が相違している。   Next, a bright spot defect darkening method of a liquid crystal display device using the bright spot defect dark spot darkening device 37b of the liquid crystal display device according to the second embodiment of the present invention will be described. The description of the same steps as those in Embodiment 1 of the present invention will be omitted. The first embodiment of the present invention is a pixel having a bright spot defect by blocking a part of the laser beam emitted from the laser oscillator 20 and changing the amount of blocking the laser beam emitted from the laser oscillator 20. The difference is that instead of the step of changing the spot size of the laser beam irradiated on the laser beam, the step of changing the energy per unit time of the laser beam emitted from the laser oscillator 20 is different.

レーザ発振器20から出射されるレーザ光の単位時間当たりのエネルギーを変化させる工程について説明する。図7は、この発明の実施の形態2におけるレーザ発振器20から出射されるレーザ光の単位時間当たりのエネルギーを変化させる工程を説明するための図である。図7において、横軸は時刻tを示し、縦軸はレーザ発振器20から出射されるレーザ光のパワーPを示す。   A process of changing the energy per unit time of the laser light emitted from the laser oscillator 20 will be described. FIG. 7 is a diagram for explaining a process of changing the energy per unit time of the laser light emitted from the laser oscillator 20 according to the second embodiment of the present invention. In FIG. 7, the horizontal axis indicates time t, and the vertical axis indicates the power P of laser light emitted from the laser oscillator 20.

図7に示すように、時刻t0において、初期パワーP0でレーザ発振器20からレーザ光を出射し、走査を開始する。即ち、走査開始点33におけるレーザ発振器20から出射するレーザ光のパワーが初期パワーP0となる。走査開始と同時にレーザ光のパワーを走査開始時よりも大きくしていき、時刻t3において、最終パワーP1とする。ここで、P0<P1である。パワーの増加に要する時間、即ち、t3−t0をパワー増加時間Δt2とする。レーザ光のパワーが最終パワーP1にまで増加された後は、レーザ光が走査終了点34に達して走査が終了する時刻t2まで、最終パワーP1のままで走査される。   As shown in FIG. 7, at time t0, laser light is emitted from the laser oscillator 20 with the initial power P0, and scanning is started. That is, the power of the laser beam emitted from the laser oscillator 20 at the scanning start point 33 becomes the initial power P0. Simultaneously with the start of scanning, the power of the laser beam is made larger than that at the start of scanning, and is set to the final power P1 at time t3. Here, P0 <P1. The time required for the power increase, that is, t3-t0 is set as the power increase time Δt2. After the power of the laser beam is increased to the final power P1, scanning is performed with the final power P1 until the time t2 when the laser beam reaches the scanning end point 34 and the scanning is completed.

尚、図7においては、レーザ光のパワーを時間に対して直線状に変化させたが、時間に対して曲線状やステップ状に変化させても同様の効果がある。   In FIG. 7, the power of the laser beam is changed linearly with respect to time, but the same effect can be obtained by changing the power of the laser light into a curve or step with respect to time.

ここで、レーザ発振器20から出射するレーザ光のパワーの調整は、暗点化装置用制御装置38によってレーザ駆動電源21からレーザ発振器20へ供給する電力の大きさを制御することによって行う。レーザ発振器20から出射するレーザ光のパワーを変化させることにより、輝点欠陥を有する画素に照射されるレーザ光のパワーを変化させることができる。そして、このレーザ光を一定の速さで走査するので、レーザ光のパワーが変化することによって、輝点欠陥を有する画素の単位面積当たりに照射されるレーザ光のエネルギーも変化することになる。   Here, the adjustment of the power of the laser light emitted from the laser oscillator 20 is performed by controlling the magnitude of the power supplied from the laser drive power supply 21 to the laser oscillator 20 by the dark spot control device 38. By changing the power of the laser beam emitted from the laser oscillator 20, the power of the laser beam irradiated to the pixel having the bright spot defect can be changed. Since this laser beam is scanned at a constant speed, the energy of the laser beam irradiated per unit area of a pixel having a bright spot defect also changes as the power of the laser beam changes.

これらの初期パワーP0、最終パワーP1、パワー増加時間Δt2は、可変開口装置23の開口部39の大きさ、レーザ光を走査する速さ、レーザ光を走査する経路、といった他のパラメータと同様に、対象となる液晶パネル15の機種や画素の色ごとに設定しておき、レシピとして登録しておく。そして、液晶パネル15の機種や画素の色によってレシピを呼び出して輝点欠陥の暗点化処理を実施する。   These initial power P0, final power P1, and power increase time Δt2 are the same as other parameters such as the size of the opening 39 of the variable aperture device 23, the scanning speed of the laser beam, and the path of scanning the laser beam. The target liquid crystal panel 15 is set for each model and pixel color and registered as a recipe. Then, the recipe is called according to the model of the liquid crystal panel 15 and the color of the pixel, and the dark spot darkening process of the bright spot defect is performed.

最終パワーP1は、輝点欠陥を有する画素の黒化に最適なレーザ光のパワーが得られるパワーに設定しておく。初期パワーP0は、例えば最終パワーP1の約4分の1とするのがよい。   The final power P1 is set to a power that can obtain the power of laser light that is optimal for blackening a pixel having a bright spot defect. The initial power P0 is preferably set to about one quarter of the final power P1, for example.

最終パワーP1としては、輝点欠陥を有する画素に照射されるレーザ光のパワーが例えば20〜100mW程度となるように設定することが好ましく、輝点欠陥を有する画素に照射されるレーザ光のパワーが40mW程度となるのが特に好ましい。初期パワーP0としては、輝点欠陥を有する画素に照射されるレーザ光のパワーが例えば5〜25mW程度となるように設定することが好ましく、輝点欠陥を有する画素に照射されるレーザ光のパワーが10mW程度となるのが特に好ましい。パワー増加時間Δt2は、1秒程度とするのが好ましい。   The final power P1 is preferably set so that the power of the laser light irradiated to the pixel having the bright spot defect is, for example, about 20 to 100 mW, and the power of the laser light irradiated to the pixel having the bright spot defect. Is particularly preferably about 40 mW. The initial power P0 is preferably set so that the power of the laser light applied to the pixel having the bright spot defect is, for example, about 5 to 25 mW, and the power of the laser light applied to the pixel having the bright spot defect is set. Is particularly preferably about 10 mW. The power increase time Δt2 is preferably about 1 second.

この発明の実施の形態2では、暗点化装置用制御装置38とレーザ駆動電源21とを接続し、レーザ発振器20に供給する電力を制御できるようにし、レーザ発振器20から出射されるレーザ光の単位時間当たりのエネルギーを変化させることにより、また、レーザ発振器20から出射されるレーザ光の単位時間当たりのエネルギーを変化させる工程を有することにより、輝点欠陥を有する画素に照射されるレーザ光のパワーを容易に制御することができ、暗点化処理時に、液晶パネル15内の薄膜の破損抑制と充分な暗点化とを両立することができる。   In the second embodiment of the present invention, the dark spot controller 38 is connected to the laser drive power source 21 so that the power supplied to the laser oscillator 20 can be controlled, and the laser light emitted from the laser oscillator 20 is controlled. By changing the energy per unit time and by changing the energy per unit time of the laser light emitted from the laser oscillator 20, the laser light irradiated to the pixel having the bright spot defect can be obtained. Power can be easily controlled, and at the time of darkening treatment, it is possible to achieve both suppression of damage to the thin film in the liquid crystal panel 15 and sufficient darkening.

尚、レーザ発振器20として半導体レーザを使用している場合、特に効果的である。固体レーザやガスレーザの場合は、レーザ駆動電源21にから供給する電力を変えることによってレーザ発振器20の状態が変化してしまうことがあるが、一定の効果は得られる。   This is particularly effective when a semiconductor laser is used as the laser oscillator 20. In the case of a solid-state laser or a gas laser, the state of the laser oscillator 20 may be changed by changing the power supplied from the laser drive power supply 21, but a certain effect can be obtained.

尚、この発明の実施の形態2では、この発明の実施の形態1と相違する部分について説明し、同一または対応する部分についての説明は省略した。   In the second embodiment of the present invention, portions different from the first embodiment of the present invention are described, and descriptions of the same or corresponding portions are omitted.

実施の形態3.
図8は、この発明の実施の形態3における液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化装置37cを示す側面図である。図8において、図6と同じ符号を付けたものは、同一または対応する構成を示しており、その説明を省略する。この発明の実施の形態2とは、対物レンズ24と液晶パネル15との間に可変減衰器42を設け、暗点化装置用制御装置38と可変減衰器42とを接続し、可変減衰器42によるレーザ光の減衰量を制御できるようにした構成が相違している。
Embodiment 3 FIG.
FIG. 8 is a side view showing a bright spot defect darkening device 37c of the liquid crystal display device according to Embodiment 3 of the present invention. In FIG. 8, the same reference numerals as those in FIG. 6 denote the same or corresponding components, and the description thereof is omitted. In the second embodiment of the present invention, a variable attenuator 42 is provided between the objective lens 24 and the liquid crystal panel 15, the dark spot control device 38 is connected to the variable attenuator 42, and the variable attenuator 42. The configuration is such that the amount of attenuation of the laser beam due to can be controlled.

暗点化装置用制御装置38によって可変減衰器42を制御し、対物レンズ24から出射して液晶パネル15へ照射されるレーザ光の減衰量を制御することにより、液晶パネル15へ照射されるレーザ光のパワー(単位時間当たりのエネルギー)を変化させることができる。   The laser irradiated to the liquid crystal panel 15 is controlled by controlling the variable attenuator 42 by the control device 38 for the dark spot device and controlling the attenuation amount of the laser light emitted from the objective lens 24 and irradiated to the liquid crystal panel 15. Light power (energy per unit time) can be changed.

次に、この発明の実施の形態3における液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化装置37cを用いた液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化方法について説明する。この発明の実施の形態2と同様の工程については、その説明を省略する。この発明の実施の形態2とは、レーザ発振器20から出射されるレーザ光の単位時間当たりのエネルギーを変化させる工程の代わりに、レーザ発振器20から液晶パネル15までの間の光路上に設置された可変減衰器42によって、レーザ発振器20から出射されたレーザ光の減衰量を変化させる工程を有する点が相違している。   Next, a bright spot defect darkening method for a liquid crystal display device using the bright spot defect dark spot darkening device 37c of the liquid crystal display device according to Embodiment 3 of the present invention will be described. The description of the same steps as those in Embodiment 2 of the present invention is omitted. The second embodiment of the present invention is provided on the optical path between the laser oscillator 20 and the liquid crystal panel 15 instead of the step of changing the energy per unit time of the laser light emitted from the laser oscillator 20. The difference is that the variable attenuator 42 includes a step of changing the attenuation amount of the laser light emitted from the laser oscillator 20.

レーザ発振器20から液晶パネル15までの間の光路上に設置された可変減衰器42によって、レーザ発振器20から出射されたレーザ光の減衰量を変化させる工程について説明する。   A process of changing the attenuation amount of the laser light emitted from the laser oscillator 20 by the variable attenuator 42 installed on the optical path between the laser oscillator 20 and the liquid crystal panel 15 will be described.

この工程では、レーザ光の走査開始時、つまり走査開始点33では、レーザ光の減衰量を大きくしておき、走査開始とともに減衰量を小さくして液晶パネル15に照射されるレーザ光のパワーを大きくしていく。所望のパワーまで大きくなった後は、レーザ光が走査終了点34に達して走査が終了するまで、そのままの減衰量で走査される。レーザ光のパワーの変化の様子は図7と同様となる。   In this step, at the start of scanning of the laser beam, that is, at the scanning start point 33, the attenuation amount of the laser beam is increased, and the attenuation amount is decreased with the start of the scanning to reduce the power of the laser beam irradiated to the liquid crystal panel 15. Make it bigger. After reaching the desired power, scanning is performed with the same amount of attenuation until the laser beam reaches the scanning end point 34 and the scanning is completed. The state of change in the power of the laser beam is the same as in FIG.

この発明の実施の形態3では、レーザ発振器20から出射されたレーザ光の、レーザ発振器20から液晶パネル15までの間の光路上に設置された可変減衰器42を備え、暗点化装置用制御装置38が可変減衰器42におけるレーザ光の減衰量を変化させることにより、また、レーザ発振器20から液晶パネル15までの間の光路上に設置された可変減衰器42によって、レーザ発振器20から出射されたレーザ光の減衰量を変化させる工程を有することにより、輝点欠陥を有する画素に照射されるレーザ光のパワーを容易に制御することができ、暗点化処理時に、液晶パネル15内の薄膜の破損抑制と充分な暗点化とを両立することができる。   The third embodiment of the present invention includes a variable attenuator 42 installed on the optical path between the laser oscillator 20 and the liquid crystal panel 15 for the laser light emitted from the laser oscillator 20, and controls the dark spot device. The apparatus 38 changes the amount of attenuation of the laser light in the variable attenuator 42 and is emitted from the laser oscillator 20 by the variable attenuator 42 installed on the optical path between the laser oscillator 20 and the liquid crystal panel 15. By having the step of changing the amount of attenuation of the laser beam, the power of the laser beam irradiated to the pixel having the bright spot defect can be easily controlled, and the thin film in the liquid crystal panel 15 is subjected to the dark spot processing. It is possible to achieve both suppression of damage and sufficient darkening.

また、レーザ発振器20として固体レーザやガスレーザを使用する場合、この発明の実施の形態2のようにレーザ駆動電源21から供給する電力を変えるとレーザ発振器20の状態が変化することがあるが、この発明の実施の形態3では、レーザ駆動電源21から供給する電力は一定のままで、可変減衰器42によってレーザ光のパワーを変化させることができ、レーザ発振器20の状態を変化させずに照射するレーザ光のパワーを変化させることができ、特に有用である。   When a solid laser or a gas laser is used as the laser oscillator 20, the state of the laser oscillator 20 may change when the power supplied from the laser drive power supply 21 is changed as in the second embodiment of the present invention. In the third embodiment of the present invention, the power supplied from the laser drive power supply 21 remains constant, the power of the laser light can be changed by the variable attenuator 42, and irradiation is performed without changing the state of the laser oscillator 20. The power of the laser beam can be changed, which is particularly useful.

尚、この発明の実施の形態3では、この発明の実施の形態2と相違する部分について説明し、同一または対応する部分についての説明は省略した。   In the third embodiment of the present invention, portions different from the second embodiment of the present invention are described, and descriptions of the same or corresponding portions are omitted.

実施の形態4.
図9は、この発明の実施の形態4における液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化装置37dを示す側面図である。図9において、図2と同じ符号を付けたものは、同一または対応する構成を示しており、その説明を省略する。この発明の実施の形態1とは、暗点化装置用制御装置38とXYテーブル28とを接続し、XYテーブル28を移動させる速さを制御できるようにした構成が相違している。
Embodiment 4 FIG.
FIG. 9 is a side view showing a bright spot defect darkening device 37d of the liquid crystal display device according to Embodiment 4 of the present invention. 9, the same reference numerals as those in FIG. 2 indicate the same or corresponding components, and the description thereof is omitted. The first embodiment of the present invention is different from the first embodiment in that the dark spot control device 38 is connected to the XY table 28 so that the speed at which the XY table 28 is moved can be controlled.

暗点化装置用制御装置38によってXYテーブル28を移動させる速さを制御することにより、輝点欠陥を有する画素の単位面積当たりに照射されるレーザ光のエネルギーを変化させることができる。   By controlling the speed at which the XY table 28 is moved by the dark spot device controller 38, the energy of the laser beam irradiated per unit area of the pixel having the bright spot defect can be changed.

次に、この発明の実施の形態4における液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化装置37dを用いた液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化方法について説明する。この発明の実施の形態1と同様の工程については、その説明を省略する。この発明の実施の形態1とは、レーザ発振器20から出射されたレーザ光の一部を遮り、かつ、レーザ発振器20から出射されたレーザ光を遮る量を変化させることにより輝点欠陥を有する画素に照射されるレーザ光のスポットサイズを変化させる工程の代わりに、輝点欠陥を有する画素に照射されるレーザ光を走査する速さを変化させる工程を有する点が相違している。   Next, a bright spot defect darkening method for a liquid crystal display device using the bright spot defect dark spot darkening device 37d for the liquid crystal display device according to Embodiment 4 of the present invention will be described. The description of the same steps as those in Embodiment 1 of the present invention will be omitted. The first embodiment of the present invention is a pixel having a bright spot defect by blocking a part of the laser beam emitted from the laser oscillator 20 and changing the amount of blocking the laser beam emitted from the laser oscillator 20. The difference is that instead of the step of changing the spot size of the laser beam irradiated to the pixel, the step of changing the scanning speed of the laser beam irradiated to the pixel having the bright spot defect is different.

輝点欠陥を有する画素に照射されるレーザ光を走査する速さを変化させる工程について説明する。図10は、この発明の実施の形態4における輝点欠陥を有する画素に照射されるレーザ光を走査する速さを変化させる工程を説明するための図である。図10において、横軸は時刻tを示し、縦軸はXYテーブル28を走査する速さv、即ち、レーザ光を走査する速さvを示す。   A process of changing the scanning speed of the laser beam irradiated to the pixel having the bright spot defect will be described. FIG. 10 is a diagram for explaining a process of changing the scanning speed of the laser beam irradiated to the pixel having the bright spot defect according to the fourth embodiment of the present invention. In FIG. 10, the horizontal axis indicates time t, and the vertical axis indicates the speed v at which the XY table 28 is scanned, that is, the speed v at which the laser beam is scanned.

図10に示すように、時刻t0において、初期走査速さv0でレーザ光の照射と走査を開始する。即ち、走査開始点33におけるレーザ光を走査する速さが初期走査速さv0となる。走査開始と同時に走査する速さを走査開始時よりも遅くしていき、時刻t4において、最終走査速さv1とする。ここで、v0>v1である。走査する速さを減速するために要する時間、即ち、t4−t0を走査速さ減速時間Δt3とする。レーザ光を走査する速さが最終走査速さv1にまで減速された後は、レーザ光が走査終了点34に達して走査が終了する時刻t5まで、最終走査速さv1のままで走査される。   As shown in FIG. 10, at time t0, laser light irradiation and scanning are started at the initial scanning speed v0. That is, the scanning speed of the laser beam at the scanning start point 33 is the initial scanning speed v0. The scanning speed at the same time as the start of scanning is made slower than that at the start of scanning, and the final scanning speed v1 is set at time t4. Here, v0> v1. The time required to decelerate the scanning speed, that is, t4-t0 is set as the scanning speed deceleration time Δt3. After the scanning speed of the laser beam is reduced to the final scanning speed v1, scanning is performed with the final scanning speed v1 until the time t5 when the laser beam reaches the scanning end point 34 and the scanning ends. .

尚、図10においては、レーザ光を走査する速さを時間に対して直線状に変化させたが、時間に対して曲線状やステップ状に変化させても同様の効果がある。   In FIG. 10, the scanning speed of the laser beam is changed linearly with respect to time, but the same effect can be obtained by changing the speed of the laser light into a curve or step with respect to time.

ここで、XYテーブル28を走査する速さ、即ち、レーザ光を走査する速さの調整は、暗点化装置用制御装置38によって行う。レーザ光を走査する速さを変化させることにより、輝点欠陥を有する画素の単位面積当たりに照射されるレーザ光のエネルギーを変化させることができる。   Here, the adjustment of the scanning speed of the XY table 28, that is, the scanning speed of the laser beam is performed by the dark spot control device controller 38. By changing the scanning speed of the laser beam, the energy of the laser beam irradiated per unit area of the pixel having the bright spot defect can be changed.

これらの初期走査速さv0、最終走査速さv1、走査速さ減速時間Δt3は、可変開口装置23の開口部39の大きさ、レーザ発振器20から出射されるレーザ光のパワー、レーザ光を走査する経路、といった他のパラメータと同様に、対象となる液晶パネル15の機種や画素の色ごとに設定しておき、レシピとして登録しておく。そして、液晶パネル15の機種や画素の色によってレシピを呼び出して輝点欠陥の暗点化処理を実施する。   These initial scanning speed v0, final scanning speed v1, and scanning speed deceleration time Δt3 are the size of the opening 39 of the variable aperture device 23, the power of the laser light emitted from the laser oscillator 20, and the scanning of the laser light. Similar to other parameters such as the route to be performed, it is set for each model and pixel color of the target liquid crystal panel 15 and registered as a recipe. Then, the recipe is called according to the model of the liquid crystal panel 15 and the color of the pixel, and the dark spot darkening process of the bright spot defect is performed.

最終走査速さv1は、輝点欠陥を有する画素の黒化に最適なエネルギーが輝点欠陥を有する画素に供給されるような速さに設定しておく。初期走査速さv0は、例えば最終走査速さの約4分の1とするのがよい。   The final scanning speed v1 is set to a speed at which energy optimal for blackening a pixel having a bright spot defect is supplied to the pixel having a bright spot defect. The initial scanning speed v0 is preferably set to about one quarter of the final scanning speed, for example.

最終走査速さv1としては、例えば40〜200μm/s程度が好ましい。初期走査速さv0としては、例えば10〜50μm/s程度が好ましい。走査速さ減速時間Δt3は、1秒程度とするのが好ましい。   The final scanning speed v1 is preferably about 40 to 200 μm / s, for example. The initial scanning speed v0 is preferably about 10 to 50 μm / s, for example. The scanning speed deceleration time Δt3 is preferably about 1 second.

この発明の実施の形態4では、暗点化装置用制御装置38とXYテーブル28とを接続し、XYテーブル28を走査する速さ、即ち、レーザ光を走査する速さを制御できるようにしたことにより、また、輝点欠陥を有する画素に照射されるレーザ光を走査する速さを変化させる工程を有することにより、輝点欠陥を有する画素の単位面積当たりに照射されるレーザ光のエネルギーを容易に制御することができ、暗点化処理時に、液晶パネル15内の薄膜の破損抑制と充分な暗点化とを両立することができる。   In Embodiment 4 of the present invention, the dark spot control device 38 and the XY table 28 are connected so that the scanning speed of the XY table 28, that is, the scanning speed of the laser beam can be controlled. In addition, the step of changing the scanning speed of the laser beam irradiated to the pixel having the bright spot defect can change the energy of the laser light irradiated per unit area of the pixel having the bright spot defect. It can be easily controlled, and at the time of darkening treatment, it is possible to achieve both suppression of damage to the thin film in the liquid crystal panel 15 and sufficient darkening.

尚、この発明の実施の形態4では、この発明の実施の形態1と相違する部分について説明し、同一または対応する部分についての説明は省略した。   In the fourth embodiment of the present invention, portions different from the first embodiment of the present invention are described, and descriptions of the same or corresponding portions are omitted.

以上で説明したこの発明の実施の形態1〜4は互いに組み合わせることができる。例えばこの発明の実施の形態1と2とを組み合わせて、可変開口装置23によるレーザ光のパワーの調整と、レーザ駆動電源21からレーザ発振器20への電力の供給を調整することによるレーザ光のパワーの調整と、を組み合わせると、レーザ光のパワーをより細かに調整することができ、より効果的である。同様に、この発明の実施の形態1〜4のうちのいずれか2つの組み合わせや3つの組み合わせ、さらには全ての組み合わせるとより効果的である。   The first to fourth embodiments of the present invention described above can be combined with each other. For example, by combining the first and second embodiments of the present invention, the laser beam power is adjusted by adjusting the power of the laser beam by the variable aperture device 23 and adjusting the power supply from the laser driving power source 21 to the laser oscillator 20. In combination with the above adjustment, the power of the laser beam can be finely adjusted, which is more effective. Similarly, it is more effective to use any two combinations, three combinations, or all combinations of the first to fourth embodiments of the present invention.

実施の形態5.
図11は、この発明の実施の形態5における液晶パネル15の一部を示す断面図である。図11において、図1と同じ符号を付けたものは、同一または対応する構成を示しており、その説明を省略する。この発明の実施の形態1とは、カラーフィルタ36と共通電極5との間に保護膜35を設けたカラーフィルタ基板13bを用いた構成が相違している。保護膜35としては、例えばアクリル系の樹脂が用いられる。
Embodiment 5 FIG.
FIG. 11 is a cross-sectional view showing a part of liquid crystal panel 15 according to Embodiment 5 of the present invention. In FIG. 11, the same reference numerals as those in FIG. 1 denote the same or corresponding components, and the description thereof is omitted. The first embodiment of the present invention is different from the first embodiment in that the color filter substrate 13b in which the protective film 35 is provided between the color filter 36 and the common electrode 5 is used. As the protective film 35, for example, an acrylic resin is used.

この発明の実施の形態1〜4の構成及び方法では、液晶パネル15内のカラーフィルタ色材1、共通電極5、配向膜8等の薄膜の破損を抑制することができた。しかし、低確率ではあるが、暗点化処理をした輝点欠陥を有する画素の周辺の画素で、新たな輝点欠陥が生じることがあった。これは、液晶パネル15内の薄膜は破損していないものの、薄膜を変質させたときに不純物やイオンが発生して液晶7中に拡散することがあるからである。   In the configurations and methods of Embodiments 1 to 4 of the present invention, damage to thin films such as the color filter color material 1, the common electrode 5, and the alignment film 8 in the liquid crystal panel 15 can be suppressed. However, although there is a low probability, a new bright spot defect may occur in a pixel around a pixel having a bright spot defect that has been darkened. This is because although the thin film in the liquid crystal panel 15 is not damaged, impurities and ions may be generated and diffused into the liquid crystal 7 when the thin film is altered.

この発明の実施の形態5では、カラーフィルタ36の液晶7側に保護膜35を設けたことにより、輝点欠陥の暗点化処理時に、特にカラーフィルタ色材1から発生する不純物やイオンが、液晶7中に拡散しないように閉じ込めることができる。これにより、輝点欠陥の暗点化処理によって、周辺の画素に新たに輝点欠陥が生じることをさらに抑制することができる。   In Embodiment 5 of the present invention, by providing the protective film 35 on the liquid crystal 7 side of the color filter 36, impurities and ions generated particularly from the color filter color material 1 during the dark spot processing of the bright spot defect are The liquid crystal 7 can be confined so as not to diffuse. Thereby, it is possible to further suppress the occurrence of a bright spot defect in peripheral pixels due to the dark spot darkening process of the bright spot defect.

また、保護膜35には、大きく分けて紫外線硬化のものと熱硬化のものとがあるが、熱硬化のものは耐熱性が高く、暗点化処理時にレーザ光を照射しても破損しにくく、より効果的である。さらに、保護膜35の耐熱温度がカラーフィルタ色材1と比較して高い場合、特に効果的である。   In addition, the protective film 35 is roughly divided into an ultraviolet curing type and a thermosetting type, but the thermal curing type has high heat resistance and is not easily damaged even when irradiated with laser light during the darkening process. Is more effective. Furthermore, it is particularly effective when the heat-resistant temperature of the protective film 35 is higher than that of the color filter color material 1.

カラーフィルタ36上に保護膜35を有する場合、TFTアレイ基板14側からではなく、カラーフィルタ基板13b側から液晶パネル15にレーザ光を照射した方が、レーザ光の照射時に不純物やイオン等の異物を拡散させないという観点からより効果的である。   In the case where the protective film 35 is provided on the color filter 36, it is more effective to irradiate the liquid crystal panel 15 with laser light from the color filter substrate 13b side than from the TFT array substrate 14 side. It is more effective from the viewpoint of not spreading.

また、レーザ光を照射した際に保護膜35を変質させることによって輝点欠陥を暗点化してもよい。   Further, the bright spot defect may be darkened by altering the protective film 35 when the laser beam is irradiated.

尚、この発明の実施の形態5では、カラーフィルタ基板13b側に共通電極5が配置された液晶パネル15としたが、これに限ることはなく、共通電極5がTFTアレイ基板14側に配置された液晶パネル、例えば、IPS方式の液晶パネルでもよい。この場合は、保護膜35は、カラーフィルタ36と配向膜6との間に配置されることになる。   In Embodiment 5 of the present invention, the liquid crystal panel 15 has the common electrode 5 disposed on the color filter substrate 13b side. However, the present invention is not limited to this, and the common electrode 5 is disposed on the TFT array substrate 14 side. A liquid crystal panel such as an IPS liquid crystal panel may also be used. In this case, the protective film 35 is disposed between the color filter 36 and the alignment film 6.

尚、この発明の実施の形態5では、この発明の実施の形態1と相違する部分について説明し、同一または対応する部分についての説明は省略した。また、この発明の実施の形態5は、この発明の実施の形態2〜4と組み合わせることも可能である。   In the fifth embodiment of the present invention, portions different from the first embodiment of the present invention are described, and descriptions of the same or corresponding portions are omitted. The fifth embodiment of the present invention can be combined with the second to fourth embodiments of the present invention.

3 ガラス基板
6 配向膜
7 液晶
13a、13b カラーフィルタ基板
14 薄膜トランジスタアレイ基板
15 液晶パネル
16 液晶モジュール
20 レーザ発振器
23 可変開口装置
28 XYテーブル
32 輝点欠陥を有する画素
36 カラーフィルタ
37a〜37d 液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化装置
38 暗点化装置用制御装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 3 Glass substrate 6 Alignment film 7 Liquid crystal 13a, 13b Color filter substrate 14 Thin film transistor array substrate 15 Liquid crystal panel 16 Liquid crystal module 20 Laser oscillator 23 Variable aperture device 28 XY table 32 Pixel with a bright spot defect 36 Color filters 37a-37d Liquid crystal display device Bright spot defect darkening device 38 Control device for darkening device

Claims (16)

カラーフィルタ基板と薄膜トランジスタアレイ基板との間に液晶が封入された液晶表示装置の画素のうちの輝点欠陥を有する画素に対して光を照射して、少なくとも前記カラーフィルタ基板の一部を変質させて光透過率を低下させる液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化方法であって、
前記輝点欠陥を有する画素に前記輝点欠陥を有する画素よりも小さいスポットサイズで前記光を照射する工程と、
前記光を前記液晶表示装置に対して相対的に移動させて、前記輝点欠陥を有する画素内で前記光を走査する工程と、を備え、
前記光を走査する工程は、照射対象となる輝点欠陥を有する画素上の単位面積当たりに照射される光のエネルギーを走査開始時よりも走査しながら連続して大きくし、所定のエネルギーに達したらそのエネルギーを維持しながら残りの画素の領域を走査する工程を有する液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化方法。
Among the pixels of the liquid crystal display device in which liquid crystal is sealed between the color filter substrate and the thin film transistor array substrate, light is irradiated to pixels having a bright spot defect, and at least a part of the color filter substrate is altered. A method of darkening a bright spot defect of a liquid crystal display device that reduces light transmittance,
Irradiating the pixel having the bright spot defect with the light with a smaller spot size than the pixel having the bright spot defect;
Scanning the light in a pixel having the bright spot defect by moving the light relative to the liquid crystal display device, and
The step of scanning with light continuously increases the energy of light irradiated per unit area on a pixel having a bright spot defect to be irradiated while scanning from the start of scanning , and reaches a predetermined energy. Then , a method of darkening a luminescent spot defect in a liquid crystal display device, comprising a step of scanning the remaining pixel region while maintaining the energy .
照射対象となる輝点欠陥を有する画素上の単位面積当たりに照射される光のエネルギーを走査開始時よりも走査しながら連続して大きくし、所定のエネルギーに達したらそのエネルギーを維持しながら残りの画素の領域を走査する工程は、
光源から出射された光の一部を遮り、かつ、前記光源から出射された光を遮る量を変化させることにより前記輝点欠陥を有する画素に照射される光のスポットサイズを変化させる工程を有することを特徴とする請求項1記載の液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化方法。
The energy of light irradiated per unit area on a pixel having a bright spot defect to be irradiated is continuously increased while scanning from the start of scanning, and when the energy reaches a predetermined energy, the energy is maintained and maintained. The step of scanning the pixel area of
A step of changing a spot size of light irradiated on the pixel having the bright spot defect by changing a quantity of blocking light emitted from the light source and blocking light emitted from the light source. The method for darkening a bright spot defect in a liquid crystal display device according to claim 1.
照射対象となる輝点欠陥を有する画素上の単位面積当たりに照射される光のエネルギーを走査開始時よりも走査しながら連続して大きくし、所定のエネルギーに達したらそのエネルギーを維持しながら残りの画素の領域を走査する工程は、
光源から出射される光の単位時間当たりのエネルギーを変化させる工程を有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化方法。
The energy of light irradiated per unit area on a pixel having a bright spot defect to be irradiated is continuously increased while scanning from the start of scanning, and when the energy reaches a predetermined energy, the energy is maintained and maintained. The step of scanning the pixel area of
The method for darkening a bright spot defect in a liquid crystal display device according to claim 1 or 2, further comprising a step of changing energy per unit time of light emitted from the light source.
照射対象となる輝点欠陥を有する画素上の単位面積当たりに照射される光のエネルギーを走査開始時よりも走査しながら連続して大きくし、所定のエネルギーに達したらそのエネルギーを維持しながら残りの画素の領域を走査する工程は、
光源から液晶表示装置までの間の光路上に設置された可変減衰器によって、前記光源から出射された光の減衰量を変化させる工程を有することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化方法。
The energy of light irradiated per unit area on a pixel having a bright spot defect to be irradiated is continuously increased while scanning from the start of scanning, and when the energy reaches a predetermined energy, the energy is maintained and maintained. The step of scanning the pixel area of
4. The method according to claim 1, further comprising a step of changing an attenuation amount of light emitted from the light source by a variable attenuator installed on an optical path between the light source and the liquid crystal display device. A method for darkening a bright spot defect in a liquid crystal display device according to claim 1.
照射対象となる輝点欠陥を有する画素上の単位面積当たりに照射される光のエネルギーを走査開始時よりも走査しながら連続して大きくし、所定のエネルギーに達したらそのエネルギーを維持しながら残りの画素の領域を走査する工程は、
前記輝点欠陥を有する画素に照射される光を走査する速さを変化させる工程を有することを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化方法。
The energy of light irradiated per unit area on a pixel having a bright spot defect to be irradiated is continuously increased while scanning from the start of scanning, and when the energy reaches a predetermined energy, the energy is maintained and maintained. The step of scanning the pixel area of
5. The bright spot defect of a liquid crystal display device according to claim 1, further comprising a step of changing a scanning speed of light applied to the pixel having the bright spot defect. 6. Darkening method.
カラーフィルタ基板は、ガラス基板と、前記ガラス基板上に配置されたカラーフィルタと、前記カラーフィルタ上に配置された配向膜と、を有し、
光を照射することによって、前記ガラス基板、前記カラーフィルタ及び前記配向膜のうちの少なくとも一つを変質させて光透過率を低下させることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化方法。
The color filter substrate has a glass substrate, a color filter disposed on the glass substrate, and an alignment film disposed on the color filter,
6. The light transmittance is lowered by irradiating light to change at least one of the glass substrate, the color filter, and the alignment film. 4. A method for darkening a bright spot defect in a liquid crystal display device according to the item.
カラーフィルタ基板は、ガラス基板と、前記ガラス基板上に配置されたカラーフィルタと、前記カラーフィルタ上に配置されて保護膜と、前記保護膜上に配置された配向膜と、を有し、
光を照射することによって、前記ガラス基板、前記カラーフィルタ、前記保護膜及び前記配向膜のうちの少なくとも一つを変質させて光透過率を低下させることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化方法。
The color filter substrate has a glass substrate, a color filter disposed on the glass substrate, a protective film disposed on the color filter, and an alignment film disposed on the protective film,
6. The light transmittance is lowered by irradiating light to change at least one of the glass substrate, the color filter, the protective film, and the alignment film. The method for darkening a bright spot defect in a liquid crystal display device according to any one of the above.
輝点欠陥を有する画素に照射される光の光源は、レーザ、発光ダイオード又はランプであることを特徴とする請求項1ないし請求項7のいずれか1項に記載の液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化方法。   8. The bright spot defect of a liquid crystal display device according to claim 1, wherein a light source of light irradiated to a pixel having a bright spot defect is a laser, a light emitting diode, or a lamp. Darkening method. カラーフィルタ基板と薄膜トランジスタアレイ基板との間に液晶が封入された液晶表示装置の画素のうちの輝点欠陥を有する画素に対して光を照射して、少なくとも前記カラーフィルタ基板の一部を変質させて光透過率を低下させる液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化装置であって、
光源と、
前記光源から出射された光を、前記輝点欠陥を有する画素よりも小さいスポットサイズに整形して前記輝点欠陥を有する画素に照射するスポット整形装置と、
前記輝点欠陥を有する画素に照射された光を、前記輝点欠陥を有する画素内で走査するために、前記輝点欠陥を有する画素に照射された光を前記液晶表示装置に対して相対的に移動させる移動装置と、
前記輝点欠陥を有する画素に照射された光を走査中に、照射対象となる輝点欠陥を有する画素上の単位面積当たりに照射される光のエネルギーが走査開始時よりも走査しながら連続して大きくし、所定のエネルギーに達したら一定のエネルギーで維持するように制御する制御装置と、
を備えた液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化装置。
Among the pixels of the liquid crystal display device in which liquid crystal is sealed between the color filter substrate and the thin film transistor array substrate, light is irradiated to pixels having a bright spot defect, and at least a part of the color filter substrate is altered. A light spot defect darkening device for a liquid crystal display device that reduces the light transmittance,
A light source;
A spot shaping device for shaping the light emitted from the light source into a spot size smaller than the pixel having the bright spot defect and irradiating the pixel having the bright spot defect;
In order to scan the light irradiated to the pixel having the bright spot defect within the pixel having the bright spot defect, the light irradiated to the pixel having the bright spot defect is relative to the liquid crystal display device. A moving device to be moved to,
While scanning the light irradiated to the pixel having the bright spot defect, the energy of the light irradiated per unit area on the pixel having the bright spot defect to be irradiated is more continuously scanned than at the start of scanning. A control device that controls to maintain a constant energy when a predetermined energy is reached ;
Bright spot defect darkening device for liquid crystal display devices.
スポット整形装置は、光源から出射された光の一部を遮る遮光装置を有し、
制御装置は、前記遮光装置が前記光源から出射された光を遮る量を変化させることによって輝点欠陥を有する画素に照射される光のスポットサイズを変化させることを特徴とする請求項9記載の液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化装置。
The spot shaping device has a light shielding device that blocks a part of the light emitted from the light source,
10. The control device according to claim 9, wherein the control unit changes a spot size of light applied to a pixel having a bright spot defect by changing an amount of blocking the light emitted from the light source. 10. Bright spot defect darkening device for liquid crystal display devices.
制御装置は、光源から出射される光の単位時間当たりのエネルギーを変化させることを特徴とする請求項9又は請求項10に記載の液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化装置。   11. The dark spot defect darkening device for a liquid crystal display device according to claim 9, wherein the control device changes the energy per unit time of the light emitted from the light source. 光源から出射された光の、前記光源から液晶表示装置までの間の光路上に設置された可変減衰器を備え、
制御装置は、前記可変減衰器における前記光の減衰量を変化させることを特徴とする請求項9ないし請求項11のいずれか1項に記載の液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化装置。
A variable attenuator installed on the optical path between the light source and the liquid crystal display device of the light emitted from the light source;
The bright spot defect darkening device for a liquid crystal display device according to any one of claims 9 to 11, wherein the control device changes the attenuation amount of the light in the variable attenuator.
制御装置は、輝点欠陥を有する画素に照射される光を走査する速さを変化させることを特徴とする請求項9ないし請求項12のいずれか1項に記載の液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化装置。   13. The bright spot defect of a liquid crystal display device according to claim 9, wherein the control device changes a scanning speed of light applied to a pixel having a bright spot defect. Darkening device. カラーフィルタ基板は、ガラス基板と、前記ガラス基板上に配置されたカラーフィルタと、前記カラーフィルタ上に配置された配向膜と、を有し、
光を照射することによって、前記ガラス基板、前記カラーフィルタ及び前記配向膜のうちの少なくとも一つを変質させて光透過率を低下させることを特徴とする請求項9ないし請求項13のいずれか1項に記載の液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化装置。
The color filter substrate has a glass substrate, a color filter disposed on the glass substrate, and an alignment film disposed on the color filter,
The light transmittance is lowered by irradiating with light to change at least one of the glass substrate, the color filter, and the alignment film. The dark spot darkening device for bright spot defects of the liquid crystal display device according to the item.
カラーフィルタ基板は、ガラス基板と、前記ガラス基板上に配置されたカラーフィルタと、前記カラーフィルタ上に配置されて保護膜と、前記保護膜上に配置された配向膜と、を有し、
光を照射することによって、前記ガラス基板、前記カラーフィルタ、前記保護膜及び前記配向膜のうちの少なくとも一つを変質させて光透過率を低下させることを特徴とする請求項9ないし請求項13のいずれか1項に記載の液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化装置。
The color filter substrate has a glass substrate, a color filter disposed on the glass substrate, a protective film disposed on the color filter, and an alignment film disposed on the protective film,
14. The light transmittance is lowered by irradiating light to change at least one of the glass substrate, the color filter, the protective film, and the alignment film. The dark spot darkening device for bright spot defects of the liquid crystal display device according to any one of the above.
光源は、レーザ、発光ダイオード又はランプであることを特徴とする請求項9ないし請求項15のいずれか1項に記載の液晶表示装置の輝点欠陥の暗点化装置。   The bright spot defect darkening device for a liquid crystal display device according to any one of claims 9 to 15, wherein the light source is a laser, a light emitting diode, or a lamp.
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