JP5701804B2 - Magnetic head slider inspection method, inspection program, and magnetic head manufacturing method - Google Patents

Magnetic head slider inspection method, inspection program, and magnetic head manufacturing method Download PDF

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実施形態は、磁気ヘッド用スライダの検査方法、検査プログラムおよび磁気ヘッドの製造方法に関する。   Embodiments described herein relate generally to a magnetic head slider inspection method, an inspection program, and a magnetic head manufacturing method.
ハードディスク(Hard disk drive:HDD)は,磁気ヘッドと、記憶メディアと、を含む。そして、HDDの製造過程では、磁気ヘッドの特性と、記憶メディアの特性と、を適正に組み合わせることにより、所望の記憶容量を得る。このため、磁気ヘッドは、その製造過程において実施される動特性試験の結果に基づいてランク分けされる。   A hard disk drive (HDD) includes a magnetic head and a storage medium. In the manufacturing process of the HDD, a desired storage capacity is obtained by appropriately combining the characteristics of the magnetic head and the characteristics of the storage medium. For this reason, the magnetic heads are ranked based on the result of a dynamic characteristic test performed in the manufacturing process.
例えば、磁気ヘッドの先端には、記憶メディアへデータの書き込み・読み出しを行うスライダが取り付けられる。そして、そのスライダの性能により、磁気ヘッドの動特性が決まる。一方、スライダは、所定の基板を用いたウェーハプロセスにより製作される。したがって、基板上に形成された複数のスライダを、個々のチップに分割する前にランク分けすることが効率的であり、製造コストの低減につながる。   For example, a slider for writing / reading data to / from a storage medium is attached to the tip of the magnetic head. The performance of the slider determines the dynamic characteristics of the magnetic head. On the other hand, the slider is manufactured by a wafer process using a predetermined substrate. Therefore, it is efficient to rank the plurality of sliders formed on the substrate before dividing them into individual chips, leading to a reduction in manufacturing cost.
しかしながら、磁気ヘッドの動特性試験は、スライダをアームに取り付けた状態で実施される。そして、その検査には多大なコストを要する。そこで、基板上に形成された複数のスライダをその製造過程において分類し、動特性試験の負荷を軽減できるスライダの検査方法および磁気ヘッドの製造方法が必要とされている。   However, the dynamic characteristic test of the magnetic head is performed with the slider attached to the arm. And the inspection requires a great cost. Accordingly, there is a need for a slider inspection method and a magnetic head manufacturing method that can classify a plurality of sliders formed on a substrate in the manufacturing process and reduce the load of a dynamic characteristic test.
特開2011−123935号公報JP 2011-123935 A
実施形態は、複数のスライダをその製造過程において分類し、動特性試験の負荷を軽減できるスライダの検査方法、検査プログラムおよび磁気ヘッドの製造方法を提供する。   Embodiments provide a slider inspection method, an inspection program, and a magnetic head manufacturing method capable of classifying a plurality of sliders in the manufacturing process and reducing the load of a dynamic characteristic test.
実施形態は、m行n列のマトリックス状に複数配置され、類似した動的特性を有するものが方向に分布する傾向にある複数のスライダを、m×t個(tは予め定められた整数)ごとに分類する磁気ヘッド用スライダの検査方法であって、前記マトリックス状に配置された複数のスライダS[i、j](1≦i≦m、1≦j≦n:i、jは整数)のうちの第1行に配置されたスライダS[1、j]の動的特性を検査する第1のステップと、前記スライダS[1、1]〜S[1、n]のそれぞれを前記動的特性に基づいて複数のランクのいずれかに分類し、そのランクに対応づけた係数A(j)を付与する第2のステップと、を備える。そして、前記スライダS[1、1]〜S[1、n]に付与されたA(1)〜A(n)のうちのk列目のA(k)からk+t−1列目のA(k+t−1)(1≦k+t−1≦n:kは整数)までを用いた演算の結果に基づいて、スライダS[1、s](k≦s≦k+t−1:sは整数)を複数のグループのうちの1つに分類する第3のステップと、前記スライダS[1、s]の分類に基づいて、S[r、s](2≦r≦m、k≦s≦k+t−1)を、複数のグループの1つに分類する第4のステップと、を備える。 In the embodiment, a plurality of sliders arranged in a matrix of m rows and n columns and having similar dynamic characteristics tend to be distributed in the row direction, m × t (t is a predetermined integer) ), A plurality of sliders S [i, j] (1 ≦ i ≦ m, 1 ≦ j ≦ n: i, j are integers) arranged in a matrix. ) Of the slider S [1, j] arranged in the first row of the first step, and each of the sliders S [1, 1] to S [1, n] A second step of classifying the rank into one of a plurality of ranks based on the dynamic characteristics and assigning a coefficient A (j) associated with the rank. Then, among A (1) to A (n) given to the sliders S [1,1] to S [1, n], A (k) in the kth column to A (k) in the k + t−1 column. k + t−1) (1 ≦ k + t−1 ≦ n: k is an integer), and a plurality of sliders S [1, s] (k ≦ s ≦ k + t−1: s is an integer) are used. S [r, s] (2 ≦ r ≦ m, k ≦ s ≦ k + t−1) based on the third step of classifying into one of these groups and the classification of the slider S [1, s]. ) Is classified into one of a plurality of groups.
実施形態に係るスライダの検査方法を表すブロック図である。It is a block diagram showing the inspection method of the slider concerning an embodiment. 実施形態に係る磁気ヘッドの製造過程を表す模式図である。It is a schematic diagram showing the manufacturing process of the magnetic head concerning an embodiment. 実施形態に係るスライダブロックを表す模式図である。It is a schematic diagram showing the slider block which concerns on embodiment. スライダの特性分布の一例を表すグラフである。It is a graph showing an example of the characteristic distribution of a slider. スライダブロックの特性分布の一例を表す模式図である。It is a schematic diagram showing an example of the characteristic distribution of a slider block. 実施形態に係るスライダの検査過程を表す模式図である。It is a schematic diagram showing the inspection process of the slider which concerns on embodiment. 図6に続く検査過程を表す模式図である。FIG. 7 is a schematic diagram illustrating an inspection process subsequent to FIG. 6. 図7に続く検査過程を表す模式図である。FIG. 8 is a schematic diagram illustrating an inspection process subsequent to FIG. 7. 図8に続く検査過程を表す模式図である。FIG. 9 is a schematic diagram illustrating an inspection process subsequent to FIG. 8. 図9に続く検査過程を表す模式図である。FIG. 10 is a schematic diagram illustrating an inspection process subsequent to FIG. 9. 端数スライダの第1の処理方法を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the 1st processing method of a fraction slider. 端数スライダの第2の処理方法を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the 2nd processing method of a fraction slider. 端数スライダの第3の処理方法を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the 3rd processing method of a fraction slider. 端数スライダの第4の処理方法を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the 4th processing method of a fraction slider.
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。なお、図面中の同一部分には同一番号を付してその詳しい説明は適宜省略し、異なる部分について説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, the same number is attached | subjected to the same part in drawing, the detailed description is abbreviate | omitted suitably, and a different part is demonstrated.
図1は、実施形態に係るスライダの検査方法を表すブロック図である。本実施形態に係る検査方法では、m行n列のマトリックス状に配置された磁気ヘッド用スライダを検査する。   FIG. 1 is a block diagram illustrating a slider inspection method according to the embodiment. In the inspection method according to this embodiment, magnetic head sliders arranged in a matrix of m rows and n columns are inspected.
まず、複数の前記スライダS[i、j](1≦i≦m、1≦j≦n:i、jは整数)のうちの第1行に配置されたスライダS[1、j]の特性を検査する(S01)。この試験は、スライダS[1、j]をアームに取り付け、例えば、書き込み幅(Magnetic Write Width:MWW)などの動的特性を測定する。ここで、S[1、j]は、第1行目に配置されたスライダS[1、1]〜S[1、n]のうちのj列目のスライダを意味する。   First, the characteristics of the slider S [1, j] arranged in the first row among the plurality of sliders S [i, j] (1 ≦ i ≦ m, 1 ≦ j ≦ n: i and j are integers). Is inspected (S01). In this test, a slider S [1, j] is attached to an arm, and dynamic characteristics such as a write width (Magnetic Write Width: MWW) are measured. Here, S [1, j] means the slider in the jth column among the sliders S [1,1] to S [1, n] arranged in the first row.
例えば、第1行に配置されたスライダS[1、j]の全数を測定しても良いし、そのうちの一部を測定しても良い。また、第1行目に配置されたスライダS[1、j]の全数を測定しない場合、未測定のスライダの特性は、測定済みのスライダの特性に基づいて、例えば、線形補間を行うことにより推定する。   For example, the total number of sliders S [1, j] arranged in the first row may be measured, or some of them may be measured. Further, when the total number of sliders S [1, j] arranged in the first row is not measured, the characteristics of the unmeasured sliders are obtained by performing, for example, linear interpolation based on the measured slider characteristics. presume.
次に、スライダS[1、1]〜S[1、n]のそれぞれを、その動的特性に基づいて複数のランクのいずれかに分類する(S02)。そして、スライダS[1、j]にそのランクに対応づけた係数A(j)を付与する(S03)。   Next, each of the sliders S [1,1] to S [1, n] is classified into one of a plurality of ranks based on the dynamic characteristics (S02). Then, a coefficient A (j) associated with the rank is assigned to the slider S [1, j] (S03).
続いて、スライダS[1、1]〜S[1、n]に付与されたA(1)〜A(n)のうちのk列目のA(k)からk+t−1列目のA(k+t−1)(1≦k+t−1≦n:tは整数)までを用いて演算を行い(S04)、その結果に基づいて、スライダS[1、s](k≦s≦k+t−1:sは整数)を複数のグループのうちの1つに分類する(S05)。   Subsequently, of A (1) to A (n) assigned to the sliders S [1,1] to S [1, n], A (k) in the kth column to A (k in the k + t−1 column). k + t−1) (1 ≦ k + t−1 ≦ n: t is an integer) (S04). Based on the result, slider S [1, s] (k ≦ s ≦ k + t−1: s is an integer) is classified into one of a plurality of groups (S05).
図2は、実施形態に係る磁気ヘッドの製造方法を表す模式図である。具体的には、磁気ヘッド用スライダの製造過程を示している。   FIG. 2 is a schematic view illustrating the method for manufacturing the magnetic head according to the embodiment. Specifically, the manufacturing process of the magnetic head slider is shown.
磁気ヘッドの先端に取り付けられるスライダは、例えば、シリコン基板と、その上に設けられた磁気回路を含む。そして、スライダは、ウェーハプロセスを用いて製作される。図2(a)に示すウェーハプロセスを完了した基板10には、複数のスライダが形成されている。   The slider attached to the tip of the magnetic head includes, for example, a silicon substrate and a magnetic circuit provided thereon. The slider is manufactured using a wafer process. A plurality of sliders are formed on the substrate 10 that has completed the wafer process shown in FIG.
次に、図2(b)に示すように、基板10を複数のスライダブロック(Slider Block)20に分割する。続いて、それぞれのスライダブロック20(以下、ブロック20)に含まれる複数のスライダの静的特性を測定する(試験1)。具体的には、個々のスライダの読み取り特性を測定する。   Next, as shown in FIG. 2B, the substrate 10 is divided into a plurality of slider blocks 20. Subsequently, static characteristics of a plurality of sliders included in each slider block 20 (hereinafter, block 20) are measured (Test 1). Specifically, the reading characteristic of each slider is measured.
次に、図2(c)に示すように、ブロック20を、小ブロック(Small Block)30にさらに分割する。続いて、それぞれの小ブロック30の表面を研磨する。具体的には、例えば、スライダの磁気回路に含まれる磁性体の先端を、CMP(Chemical Mechanical Polish)法を用いて研磨し平坦化する。   Next, as shown in FIG. 2C, the block 20 is further divided into small blocks 30. Subsequently, the surface of each small block 30 is polished. Specifically, for example, the tip of the magnetic body included in the magnetic circuit of the slider is polished and planarized by using a CMP (Chemical Mechanical Polish) method.
次に、図2(d)に示すように、小ブロック30の長辺側の端に並んだ1列のスライダ(Row bar31)を切り離す。そして、Row−bar31から分割された個々のスライダをアームに取り付け、動的特性を測定する(試験2)。   Next, as shown in FIG. 2D, one row of sliders (Row bar 31) arranged at the long side end of the small block 30 is cut off. Then, the individual sliders divided from the Row-bar 31 are attached to the arm, and the dynamic characteristics are measured (Test 2).
次に、残りの小ブロック33に含まれるスライダを、Row−bar31に含まれる個々のスライダの動的特性に基づいて複数のグループに分類する。そして、図2(e)に示すように、小ブロック33を、それぞれのグループに対応する部分33a、33bおよび33cに分割する。   Next, the sliders included in the remaining small blocks 33 are classified into a plurality of groups based on the dynamic characteristics of the individual sliders included in the Row-bar 31. Then, as shown in FIG. 2 (e), the small block 33 is divided into portions 33a, 33b and 33c corresponding to the respective groups.
図3は、実施形態に係るスライダブロックを模式的に表す平面図である。図3(a)および図3(b)は、個々のスライダの平面配置を模式的に示している。   FIG. 3 is a plan view schematically showing the slider block according to the embodiment. FIG. 3A and FIG. 3B schematically show the planar arrangement of individual sliders.
図3(a)に示すように、ブロック20は、8つの小ブロック30を含む。小ブロック30は、例えば、研磨に適したサイズに分割される。   As shown in FIG. 3A, the block 20 includes eight small blocks 30. The small block 30 is divided into a size suitable for polishing, for example.
図3(b)に示すように、小ブロック30に含まれる個々のスライダの配置は、m行n列のマトリックスと見なすことができる。Row−bar31に含まれるスライダは、第1行に配置されたスライダS[1、j](1≦j≦n)である。残りの小ブロック33に含まれるスライダは、スライダS[r、s](2≦r≦m、k≦s≦k+t−1:sは整数)である。   As shown in FIG. 3B, the arrangement of the individual sliders included in the small block 30 can be regarded as a matrix of m rows and n columns. The slider included in the Row-bar 31 is a slider S [1, j] (1 ≦ j ≦ n) arranged in the first row. The sliders included in the remaining small blocks 33 are sliders S [r, s] (2 ≦ r ≦ m, k ≦ s ≦ k + t−1: s is an integer).
上記の製造過程では、スライダS[1、1]〜S[1、n]のそれぞれを動的特性に基づいて複数のランクのいずれかに分類する。続いて、スライダS[1、j]に、そのランクに対応づけた係数A(j)を付与し、そのランクを数値化する。   In the above manufacturing process, each of the sliders S [1, 1] to S [1, n] is classified into one of a plurality of ranks based on the dynamic characteristics. Subsequently, a coefficient A (j) associated with the rank is assigned to the slider S [1, j], and the rank is digitized.
スライダS[1、1]〜S[1、n]に付与されたA(1)〜A(n)のうちのk列目のA(k)からk+t−1列目のA(k+t−1)(1≦k+t−1≦n)までを用いた演算を行う。そして、その演算の結果に基づいて、小ブロック33に含まれるスライダS[r、s](2≦r≦m、k≦s≦k+t−1)を、複数のグループの1つに分類する。例えば、動的特性の全数検査を要するグループ、または、それ以外のグループに分類する。   Of the A (1) to A (n) given to the sliders S [1,1] to S [1, n], A (k) in the kth column to A (k + t−1) in the k + t−1 column. ) (1 ≦ k + t−1 ≦ n). Based on the result of the calculation, the sliders S [r, s] (2 ≦ r ≦ m, k ≦ s ≦ k + t−1) included in the small block 33 are classified into one of a plurality of groups. For example, the group is classified into a group that requires 100% inspection of dynamic characteristics, or another group.
次に、小ブロック33は、分類されたグループごとに分割される。このうち、例えば、動的特性の全数検査を要するグループに含まれるスライダS[r、s]は、アームに取り付けられた後、全数、動的特性を検査する。   Next, the small block 33 is divided for each classified group. Among these, for example, the sliders S [r, s] included in the group requiring the total inspection of the dynamic characteristics are inspected for the total characteristics and the dynamic characteristics after being attached to the arm.
図4は、スライダの特性分布の一例を表すグラフである。横軸は、スライダの列番号であり、縦軸は、MWW(W〜W)を示している。同図では、WよりもWの方が大きな値でありMWWが広がる。また、グラフの上方には小ブロック30を模式的に表し、スライダのMWW特性と、そのスライダの小ブロック30の中の位置と、を対応させている。 FIG. 4 is a graph showing an example of the characteristic distribution of the slider. The horizontal axis represents the column number of the slider, and the vertical axis represents MWW (W 1 to W 4 ). In the figure, W 4 is larger than W 1 and MWW spreads. A small block 30 is schematically shown above the graph, and the MWW characteristic of the slider is associated with the position of the slider in the small block 30.
図4に示す例では、小ブロック30の左端から右端方向にMWWが減少する。また、MWWは、W〜Wの範囲において、3つのランクに分けられている。例えば、MWWの最も狭いスライダは、W〜Wの範囲にありSランクに分類され、MWWの広がりに対応してAランク(W〜W)およびBランク(W〜W)に分類される。 In the example shown in FIG. 4, the MWW decreases from the left end of the small block 30 toward the right end. The MWW is divided into three ranks in the range of W 1 to W 4 . For example, the narrowest slider of MWW is in the range of W 1 to W 2 and is classified as S rank, and A rank (W 2 to W 3 ) and B rank (W 3 to W 4 ) corresponding to the spread of MWW. are categorized.
図4において、縦方向に示した一点鎖線は、本実施形態に係るスライダの検査方法により分類されたグループの境界である。結果として、小ブロック30は、No.1〜No.7の7つの部分に分類されている。   In FIG. 4, the alternate long and short dash lines in the vertical direction are the boundaries of the groups classified by the slider inspection method according to this embodiment. As a result, the small block 30 is no. 1-No. 7 is divided into 7 parts.
図4に示すように、No.1の部分は、Bランクのスライダを含む。また、No.2の部分およびNo.6の部分は、Aランクのスライダを含む。さらに、No.7の部分は、Sランクのスライダを含む。そして、これらの部分に含まれるスライダは、例えば、動的特性の検査を実施せずに、それぞれの部分に対応するランクのスライダとして使用することができる。   As shown in FIG. Part 1 includes a B-rank slider. No. 2 and No. 2 Part 6 includes an A-rank slider. Furthermore, no. Section 7 includes an S-rank slider. And the slider contained in these parts can be used as a slider of the rank corresponding to each part, for example, without inspecting a dynamic characteristic.
例えば、No.1の部分に含まれるAランクのスライダDは、分布の特異点に該当するが、このスライダをBランクとして使用しても磁気ヘッドの動作に不具合は生じず、また、記憶容量が低下することもない。 For example, no. The slider D X of A rank contained in one part, but corresponds to the singular point of distribution produced no trouble in operation of the magnetic head be used as a B rank this slider also, the storage capacity is reduced There is nothing.
一方、No.3の部分、No.4の部分およびNo.5の部分は、それぞれの部分に含まれるスライダの数が、他の部分よりも少ない。すなわち、第1行目に配置されたスライダおける係数A(j)の演算単位(t=10)よりも列数が小さい部分である。本実施形態に係る検査方法では、動的特性の分布が大きい部分において、このような列数の少ないグループが生じる。したがって、列数が演算単位tよりも小さい部分は、動的特性の全数検査の対象とされる。   On the other hand, no. No. 3, No. 3 4 and No. 4 In the portion 5, the number of sliders included in each portion is smaller than in the other portions. That is, it is a portion where the number of columns is smaller than the calculation unit (t = 10) of the coefficient A (j) in the slider arranged in the first row. In the inspection method according to the present embodiment, such a group with a small number of columns occurs in a portion where the distribution of dynamic characteristics is large. Therefore, a portion where the number of columns is smaller than the operation unit t is subjected to a total number inspection of the dynamic characteristics.
図4に示す例では、No.3〜No.5に対応する部分に含まれるスライダを全数検査することにより、Aランクのスライダと、Sランクのスライダと、を分別することができ、相互の混入を減らすことができる。そして、小ブロック30に含まれるスライダの全数に占めるNo.3〜No.5の部分に含まれるスライダの数の割合は小さいので、動的特性の試験工程における負荷を軽減することができる。   In the example shown in FIG. 3-No. By inspecting all the sliders included in the portion corresponding to 5, the A-rank slider and the S-rank slider can be separated, and mutual mixing can be reduced. And No. occupies the total number of sliders included in the small block 30. 3-No. Since the ratio of the number of sliders included in the portion 5 is small, the load in the dynamic characteristic test process can be reduced.
例えば、本実施形態とは異なる検査方法として、ブロック20の全体から動的特性を検査する複数のスライダを抽出し、その特性の分布に基づいて、そのブロック20の全数検査を行うか否かを決定する方法が考えられる。この方法は、検査工程が簡便であり、ブロック20に含まれるスライダの動的特性の分布が小さい場合に有効である。しかしながら、動的特性は、ウェーハプロセスおよび研磨工程のバラツキに起因し、その分布を小さくすることは難しい。このため、ブロック20が、全数検査の対象となる頻度は高く、多大な検査コストが発生する。また、全数検査の対象とならないブロック20において、ランク外のスライダが混入する割合が大きい。   For example, as an inspection method different from the present embodiment, a plurality of sliders for inspecting dynamic characteristics are extracted from the entire block 20, and whether or not 100% inspection of the block 20 is to be performed based on the distribution of the characteristics is determined. A method of determination can be considered. This method is effective when the inspection process is simple and the distribution of the dynamic characteristics of the slider included in the block 20 is small. However, the dynamic characteristics are caused by variations in the wafer process and the polishing process, and it is difficult to reduce the distribution thereof. For this reason, the frequency with which the block 20 is subject to 100% inspection is high, resulting in a great inspection cost. Further, in the block 20 that is not subject to 100% inspection, the ratio of sliders that are not ranked is high.
これに対し、本実施形態に係る検査方法では、小ブロック30の分布に対応したスライダのグループ分けが可能であり、動的特性の検査の対象となるスライダの数を大幅に削減することが可能である。また、ランク外のスライダの混入を低減することもできる。   On the other hand, in the inspection method according to the present embodiment, slider grouping corresponding to the distribution of the small blocks 30 is possible, and the number of sliders to be inspected for dynamic characteristics can be greatly reduced. It is. In addition, it is possible to reduce mixing of sliders out of rank.
また、図1に示す検査フローを記述したプログラムを記憶したマイクロプロセッサを備えた検査装置、または、データ処理装置を用いることにより、本検査方法は、容易に実施することができる。   Further, the present inspection method can be easily implemented by using an inspection apparatus or a data processing apparatus including a microprocessor storing a program describing the inspection flow shown in FIG.
図5は、スライダブロックの特性分布の一例を表す模式図である。図5(a)は、基板10の分割例を示す平面図である。図5(b)は、基板10に含まれるブロック20aおよび20bにおけるスライダの特性分布を示すマップである。 FIG. 5 is a schematic diagram illustrating an example of the characteristic distribution of the slider block. FIG. 5A is a plan view showing an example of division of the substrate 10. FIG. 5B is a map showing the slider characteristic distribution in the blocks 20 a and 20 b included in the substrate 10.
図5(a)に示す例では、基板10に形成されたスライダは、8個のブロック20に分割される。   In the example shown in FIG. 5A, the slider formed on the substrate 10 is divided into eight blocks 20.
図5(b)に示すマップは、複数の基板に設けられた同一座標のスライダのMWWの平均値を、ランクごとに色分けして示している。色の濃い部分は、Sランクのスライダを示し、色の薄い部分は、AランクおよびBランクのスライダを示している。 The map shown in FIG. 5 (b ) shows the MWW average values of the sliders of the same coordinates provided on a plurality of substrates in different colors for each rank. The dark portion indicates the S-rank slider, and the light portion indicates the A-rank and B-rank sliders.
図5(b)から、ブロック20におけるSランクのスライダは、Y方向に連続して分布する方向性を有することがわかる。また、ランク毎に纏まって偏在する傾向が見られる。そして、基板10の全体における各ランクの分布は、連続したものではなく、ブロック毎に区々である。すなわち、各ブロック20におけるMWWの分布は、基板10として一括して処理されるウェーハプロセスに起因するのではなく、各ブロックに分割した後の処理である研磨工程に起因するものと推測される。 FIG 5 (b) or al, slider S rank in block 20 is found to have a directional distributed continuously in the Y direction. Moreover, the tendency which is unevenly distributed collectively for every rank is seen. And the distribution of each rank in the whole board | substrate 10 is not continuous, but is different for every block. That is, it is estimated that the distribution of MWW in each block 20 is not caused by a wafer process processed as a substrate 10 as a whole, but is caused by a polishing process that is a process after being divided into blocks.
このように、Y方向に同じランクのスライダが連続して分布する傾向があれば、例えば、X方向に並ぶ1行のスライダの分布を測定することにより、Y方向に並ぶスライダの特性を予測することが可能である。さらに、各ランクのスライダが偏在している場合には、それぞれのランクのスライダが多く偏在する部分をグループ分けする。これにより、動的特性の検査数を削減することができ、且つ、無検査のスライダに混入するランク外のスライダの割合を下げることができる。   Thus, if there is a tendency that sliders of the same rank are continuously distributed in the Y direction, for example, the characteristics of the sliders aligned in the Y direction are predicted by measuring the distribution of one row of sliders aligned in the X direction. It is possible. Further, when the sliders of each rank are unevenly distributed, the portions where the sliders of each rank are unevenly distributed are grouped. As a result, the number of inspections for dynamic characteristics can be reduced, and the proportion of out-of-rank sliders mixed in uninspected sliders can be reduced.
また、ブロック20を分割した小ブロック30のサイズを好適に選択することにより、スライダのグループ分けの精度を向上させることができる。すなわち、小ブロック30に含まれるスライダをm行n列のマトリックスセルに対応させるとすれば、小ブロック30の縦横比n/mをブロック20におけるスライダの分布に適合させることが望ましい。例えば、ブロック20におけるスライダの分布がY方向(列方向)への方向性を強く有する場合、n/mを大きくすることができる。一方、スライダの分布に方向性が無い場合には、n/mを小さくすることにより、クレープ分けの精度を向上させることが可能である。このように、n/mを好適に選択することにより、全数検査の対象となるスライダの数を減らし、無検査のグループにおけるランク外のスライダの混入を抑制することができる。   In addition, by appropriately selecting the size of the small block 30 obtained by dividing the block 20, the accuracy of slider grouping can be improved. That is, if the slider included in the small block 30 is made to correspond to the matrix cell of m rows and n columns, it is desirable to adapt the aspect ratio n / m of the small block 30 to the slider distribution in the block 20. For example, when the slider distribution in the block 20 has a strong directivity in the Y direction (column direction), n / m can be increased. On the other hand, when the slider distribution has no directionality, it is possible to improve the accuracy of crepe separation by reducing n / m. Thus, by suitably selecting n / m, it is possible to reduce the number of sliders that are subject to 100% inspection, and to suppress the inclusion of sliders outside the rank in the uninspected group.
次に、図6〜図10を参照して、実施形態に係るスライダの検査方法を具体的に説明する。図6(a)〜図10(b)は、実施形態に係るスライダの検査過程を表す模式図である。   Next, a method for inspecting a slider according to the embodiment will be specifically described with reference to FIGS. FIG. 6A to FIG. 10B are schematic views showing the inspection process of the slider according to the embodiment.
まず、図6(a)に示すように、動的特性の検査結果に基づいて、小ブロック30の第1行目に含まれるスライダS[1、1]〜S[1、n]のランク分けを行う。例えば、MWWの幅W〜Wの間に、MWWが狭い方からS、A、B、Cの4つのランクに対応する範囲を設定する。そして、スライダS[1、1]〜S[1、n]をそれぞれのMWW値に基づいて、各ランクに分類する。図4では、W〜Wの範囲を3つに分割し、それぞれにS、A、Bのランクを割り当てる例を示したが、実施形態はこれに限定される訳ではない。例えば、第1行目のMWWの分布に基づいて好適に分類することができる。また、それぞれのランクにおいて、MWW値が相互に重複する範囲を設定することもできる。 First, as shown in FIG. 6A, the ranks of the sliders S [1,1] to S [1, n] included in the first row of the small block 30 based on the dynamic characteristic inspection result. I do. For example, a range corresponding to four ranks S, A, B, and C is set from the narrower MWW between the widths W 1 to W 4 of the MWW. Then, the sliders S [1,1] to S [1, n] are classified into respective ranks based on the respective MWW values. Although FIG. 4 illustrates an example in which the range of W 1 to W 4 is divided into three and the ranks S, A, and B are assigned to the respective ranges, the embodiment is not limited to this. For example, it can be suitably classified based on the distribution of MWW in the first row. In each rank, a range in which the MWW values overlap each other can be set.
ここで、第1行目の分布に異常値がある場合、適宜、除去または変換等を実施し、異常値を除去することが望ましい。例えば、MWW≧Wのデータは、全てWに変換し、MWW≦Wのデータは、全てWに変換するしても良い。さらに、データの無い部分(スライダが形成されていない部分、または、検査されていない部分)に対し線形補間を行うことが好ましい。 Here, if there is an abnormal value in the distribution in the first row, it is desirable to remove or convert it appropriately to remove the abnormal value. For example, all the data of MWW ≧ W 4 may be converted to W 4 , and all the data of MWW ≦ W 1 may be converted to W 1 . Furthermore, it is preferable to perform linear interpolation on a portion without data (a portion where a slider is not formed or a portion which is not inspected).
次に、各ランクを数値化し、各スライダS[1、j]にそのランクに対応する数値を係数A[j]として付与する。例えば、Sランクのスライダに4、Aランクのスライダに3、Bランクのスライダに2およびCランクのスライダに1をそれぞれ付与し数値化する。   Next, each rank is digitized, and a numerical value corresponding to the rank is assigned to each slider S [1, j] as a coefficient A [j]. For example, 4 is assigned to the S rank slider, 3 is assigned to the A rank slider, 2 is assigned to the B rank slider, and 1 is assigned to the C rank slider.
次に、図6(b)に示すように、k=1からk=n+t−1までk値を1ずつ増加させて、k列目のA(k)からk+t−1列目のA(k+t−1)(1≦k+t−1≦n)まで、t個の係数A(j)を用いた演算を行う。   Next, as shown in FIG. 6B, the k value is incremented by 1 from k = 1 to k = n + t−1, and A (k + t−1) A (k + t−1) from A (k) in the kth column -1) Calculations using t coefficients A (j) are performed up to (1 ≦ k + t−1 ≦ n).
図7は、A(k)からA(k+t−1)までを用いた演算の結果を第1の基準に基づいて判定し、その基準に適合した場合に、スライダS[1、s]を第1のグループに分類するステップを示す模式図である。ここでは、例えば、t=10として、A(k)からA(k+9)まで、10個の係数の総和を求める。   FIG. 7 shows the result of calculation using A (k) to A (k + t−1) based on the first criterion, and when the criterion is met, the slider S [1, s] It is a schematic diagram which shows the step which classify | categorizes into a 1st group. Here, for example, assuming t = 10, the sum of 10 coefficients from A (k) to A (k + 9) is obtained.
図7(a)に示すように、k=2の時、総和は33、k=3の時、総和は36、k=4の時、総和は39、k=5の時、総和は39となる。さらにk値を増やして演算すると、k=6の時、総和は39、k=7の時、総和は39、k=8の時、総和は38となる。   As shown in FIG. 7A, when k = 2, the sum is 33, when k = 3, the sum is 36, when k = 4, the sum is 39, when k = 5, the sum is 39. Become. When the calculation is further performed by increasing the k value, the sum is 39 when k = 6, the sum is 39 when k = 7, the sum is 39 when k = 8, and the sum is 38.
続いて、Sランクのスライダを含むSグループ(第1のグループ)を分類する。具体的には、第1の基準に従って、A(k)からA(k+t−1)までの総和を判定する。例えば、第1の基準値を39として、総和が39以上であればグループに含まれるスライダS[1、s](k≦s≦k+9)をSグループに分類する。   Subsequently, the S group (first group) including the S rank slider is classified. Specifically, the sum from A (k) to A (k + t−1) is determined according to the first criterion. For example, if the first reference value is 39 and the total sum is 39 or more, the slider S [1, s] (k ≦ s ≦ k + 9) included in the group is classified into the S group.
図7(a)に示す例では、k=4〜7の時、総和が39となり第1の基準に適合する。したがって、図7(b)に示すように、A(4)〜A(16)に対応するスライダS[1、4]〜S[1、16]がSグループに分類される。   In the example shown in FIG. 7A, when k = 4 to 7, the sum is 39, which satisfies the first criterion. Therefore, as shown in FIG. 7B, the sliders S [1, 4] to S [1, 16] corresponding to A (4) to A (16) are classified into S groups.
図8は、第1のグループに分類されなかったスライダS[1、j]のうちの連続してt個以上が並ぶ部分について、その部分に含まれるp列目のA(p)からp+t−1列目のA(p+t−1)までを用いた演算の結果を第2の基準に基づいて判定し、その基準に適合するスライダS[1、u](p≦u≦p+t:p、uは整数)を第2のグループに分類するステップを示す模式図である。   FIG. 8 shows a portion of the slider S [1, j] that is not classified into the first group, where t or more are continuously arranged, from A (p) in the p-th column included in that portion to p +. The result of calculation using A (p + t−1) up to the (t−1) -th column is determined based on the second criterion, and the slider S [1, u] (p ≦ u ≦ p + t) that meets the criterion. : P and u are integers) are schematic diagrams showing steps for classifying them into a second group.
ここでもt=10として、A(p)からA(p+9)まで、10個の係数の総和を求める。すなわち、Sグループに分類されていないスライダS[1、1]〜S[1、3]、S[1、17]〜S[1、n]のうちの連続した10個に付与された係数A(j)の総和を、p値を1ずつ増加させながら算出する。   Again, t = 10, and the sum of 10 coefficients from A (p) to A (p + 9) is obtained. That is, the coefficient A given to 10 consecutive sliders S [1,1] to S [1,3], S [1,17] to S [1, n] that are not classified into the S group. The sum of (j) is calculated while increasing the p value by one.
具体的には、スライダS[1、1]〜S[1、3]は、連続した10個の条件に該当せず、S[1、17]〜S[1、n]のスライダについて演算が順次実行される。   Specifically, the sliders S [1,1] to S [1,3] do not satisfy the ten consecutive conditions, and the calculation is performed on the sliders S [1,17] to S [1, n]. It is executed sequentially.
第2の基準は、例えば、Cランクのスライダを含むCグループ(第2グループ)を分類する基準である。具体的には、第2の基準値を18とし、総和が18未満のグループに含まれるスライダをCグループに分類する。   The second standard is a standard for classifying a C group (second group) including a C rank slider, for example. Specifically, the second reference value is set to 18, and the sliders included in the group having the sum less than 18 are classified into the C group.
図8(a)に示すように、A(17)〜A(26)の総和は29である。続いて、p値を17から1ずつ増加させながら、A(p)からA(p+9)までの総和を求める。そして、図8(b)に示すように、p値が28の時、A(28)〜A(37)の総和が17となり、第2の基準に適合する。さらに、p値を増やしてゆくと、A(p)からA(p+9)の総和は18以上となる(図9参照)。したがって、スライダS[1、28]〜S[1、37]は、Cグループに分類される。   As shown in FIG. 8A, the sum of A (17) to A (26) is 29. Subsequently, the sum from A (p) to A (p + 9) is obtained while increasing the p value from 17 by one. As shown in FIG. 8B, when the p value is 28, the sum of A (28) to A (37) is 17, which meets the second standard. Further, when the p value is increased, the sum of A (p) to A (p + 9) becomes 18 or more (see FIG. 9). Therefore, the sliders S [1, 28] to S [1, 37] are classified into the C group.
図9(a)に示すように、上記のデータ処理により、第1行目のスライダS[1、1]〜S[1、n]のうちの、SグループおよびCグループに属するものが分類される。   As shown in FIG. 9A, among the sliders S [1,1] to S [1, n] in the first row, those belonging to the S group and the C group are classified by the above data processing. The
次に、例えば、Aランクのスライダを含むAグループ(第3グループ)に属するスライダを分類する。具体的には、SグループおよびCグループに分類されたスライダを除き、連続した10個のスライダに付与された係数A(j)の総和を求める。Aグループに属するスライダを分類する第3の基準では、例えば、第3の基準値を28とする。そして、10個のスライダの総和が28以上となるグループに含まれるスライダをAグループに分類する。すなわち、総和が28以上38以下のグループに属するスライダが、Aグループに分類される。   Next, for example, sliders belonging to group A (third group) including sliders of rank A are classified. Specifically, the sum of the coefficients A (j) given to 10 consecutive sliders is obtained except for the sliders classified into the S group and the C group. In the third standard for classifying the sliders belonging to the A group, for example, the third standard value is 28. Then, the sliders included in the group in which the total of the 10 sliders is 28 or more are classified into the A group. That is, sliders belonging to a group having a sum total of 28 or more and 38 or less are classified into the A group.
図9(a)に示すように、SグループおよびCグループに分類されていないスライダにおいて、A(17)〜A(26)の総和は29であり、A(18)〜A(27)の総和は30である。さらに、A(38)〜A(47)の総和は、26である。したがって、図9(b)に示すように、スライダS[1、17]〜S[1、27]がAグループに分類される。   As shown in FIG. 9A, in the sliders not classified into the S group and the C group, the sum of A (17) to A (26) is 29, and the sum of A (18) to A (27). Is 30. Furthermore, the sum total of A (38) to A (47) is 26. Therefore, as shown in FIG. 9B, the sliders S [1,17] to S [1,27] are classified into the A group.
次に、例えば、Bランクのスライダを含むBグループ(第4グループ)に属するスライダを分類する。具体的には、Sグループ、CグループおよびAグループに分類されたスライダを除き、連続した10個のスライダに付与された係数A(j)の総和を求める。Bグループに属するスライダを分類する第4の基準では、例えば、第3の基準値を18とする。そして、10個のスライダの総和が18以上となるグループに含まれるスライダをBグループに分類する。すなわち、総和が18以上27以下のグループに属するスライダが、Bグループに分類される。   Next, for example, the sliders belonging to the B group (fourth group) including the B rank sliders are classified. Specifically, the sum of the coefficients A (j) given to 10 consecutive sliders is obtained except for the sliders classified into the S group, the C group, and the A group. In the fourth standard for classifying the sliders belonging to the B group, for example, the third standard value is 18. Then, the sliders included in the group in which the total of the 10 sliders is 18 or more are classified into the B group. That is, sliders belonging to a group having a sum total of 18 to 27 are classified into the B group.
図9(a)に示すように、Sグループ、CグループおよびAグループに分類されたスライダを除く、残りのスライダのA(38)〜A(47)の総和は、26である。したがって、図9(c)に示すように、スライダS[1、38]〜S[1、47]は、Bグループに分類される。   As shown in FIG. 9A, the total of A (38) to A (47) of the remaining sliders excluding the sliders classified into the S group, the C group, and the A group is 26. Therefore, as shown in FIG. 9C, the sliders S [1, 38] to S [1, 47] are classified into the B group.
さらに、図10(a)に示すように、上記の分類では、Sグループに分類されたスライダS[1、4]〜S[1、16]のうちの端に位置するスライダS[1、16]の動的特性がAランクとなっている。このような場合には、図10(b)に示すように、スライダS[1、16]を隣接するグループに移す処理を行う。すなわち、スライダS[1、16]をAグループに含める修正を行う。これにより、Sグループへの分類の精度を向上させることができる。   Further, as shown in FIG. 10A, in the above classification, the sliders S [1, 16 located at the end of the sliders S [1, 4] to S [1, 16] classified into the S group. ] Is A rank. In such a case, as shown in FIG. 10B, a process of moving the slider S [1, 16] to an adjacent group is performed. That is, correction is performed to include the slider S [1, 16] in the A group. Thereby, the accuracy of classification into S groups can be improved.
次に、端数スライダの処理方法を説明する。例えば、各グループへの分類が終了した後に、どのグループにも分類されない端数スライダが残る場合がある。これらの端数スライダは、以下の3つの方法で分類することが好ましい。
(1)隣接するグループのうちのランクの低い方のグループに分類する。
(2)隣接するグループのスライダの一部を加えて新しいグループとし、例えば、全数検査の対象とする。
(3)隣接する2つのグループが同ランクの場合、そのグループに加える。
以下、図11〜図14を参照して、端数スライダの分類方法について、具体的に説明する。
Next, a fraction slider processing method will be described. For example, after classification into each group is completed, there may be a fraction slider that is not classified into any group. These fractional sliders are preferably classified by the following three methods.
(1) Classify into groups with lower ranks among adjacent groups.
(2) A part of the sliders of the adjacent groups is added to form a new group, for example, a complete inspection target.
(3) If two adjacent groups have the same rank, add them to that group.
Hereinafter, the fraction slider classification method will be described in detail with reference to FIGS.
図11は、端数スライダの第1の処理方法を示す模式図である。図11(a)に示すように、Sグループ、Aグループ、BグループおよびCグループのいずれかに分類された2つのグループの間に、未分類のスライダS[1、x]がある場合、隣接する2つのグループのうちのランクの低いグループに分類にする。上記の例の場合、グループのランクは、高い方からSグループ、Aグループ、Bグループ、Cグループの順とする。   FIG. 11 is a schematic diagram showing a first processing method of the fraction slider. As shown in FIG. 11A, when there is an unclassified slider S [1, x] between two groups classified into any one of the S group, the A group, the B group, and the C group, Of the two groups to be classified into a lower rank group. In the case of the above example, the group ranks are in the order of S group, A group, B group, and C group from the highest.
図11(b)に示すように、SグループおよびAグループに挟まれたスライダS[1、x]は、Aグルーブに分類される。   As shown in FIG. 11B, the slider S [1, x] sandwiched between the S group and the A group is classified into the A group.
また、隣接するグループのランクが同じ場合、隣接しているグループからそれぞれ2つのスライダS[1、x−2]、S[1、x−1]、および、S[1、x+1]、S[1、x+2]を加え、S[1、x−2]〜S[1、x+2]で構成される新しいグループを形成し、全数検査の対象とする。隣接するグループが1つの場合は、その隣接するグループに加える。   When adjacent groups have the same rank, two sliders S [1, x-2], S [1, x-1], and S [1, x + 1], S [ 1, x + 2] is added to form a new group composed of S [1, x−2] to S [1, x + 2], and is subject to 100% inspection. When there is one adjacent group, it is added to the adjacent group.
図12は、端数スライダの第2の処理方法を示す模式図である。図12(a)に示すように、Sグループ、Aグループ、BグループおよびCグループのいずれかに分類された2つのグループの間に、未分類の2つのスライダS[1、x]、S[1、x+1]がある場合、隣接する2つのグループのうちのランクの低いグループに分類にする。   FIG. 12 is a schematic diagram showing a second processing method of the fraction slider. As shown in FIG. 12A, two unclassified sliders S [1, x], S [between two groups classified into one of the S group, the A group, the B group, and the C group. 1, x + 1], it is classified into a lower rank group of two adjacent groups.
図12(b)に示すように、例えば、Sグループと、Aグループと、に挟まれたスライダS[1、x]、S[1、x+1]は、Aグループに分類する。   As shown in FIG. 12B, for example, sliders S [1, x] and S [1, x + 1] sandwiched between the S group and the A group are classified into the A group.
また、図12(c)に示すように、隣接するグループのランクが同じ場合、隣接しているそれぞれのグループの2個のスライダを加えて新しいグループを形成し、全数検査の対象とする。   Further, as shown in FIG. 12C, when adjacent groups have the same rank, two sliders of the adjacent groups are added to form a new group, which is subjected to 100% inspection.
図12(d)に示すように、例えば、両側のAグループからそれぞれ2つのスライダS[1、x−2]、S[1、x−1]、および、S[1、x+2]、S[1、x+3]を加え、S[1、x−2]〜S[1、x+3]で構成されるグループを形成し、全数検査の対象とする。   As shown in FIG. 12D, for example, two sliders S [1, x-2], S [1, x-1], and S [1, x + 2], S [ 1, x + 3] is added to form a group composed of S [1, x-2] to S [1, x + 3], which is the object of 100% inspection.
図13は、端数スライダの第3の処理方法を示す模式図である。図13(a)に示すように、Sグループ、Aグループ、BグループおよびCグループのいずれかに分類された2つのグループの間に、未分類の3つまたは4つのスライダがある場合、隣接する2つのグループのうちのランクの低いグループに分類にする。   FIG. 13 is a schematic diagram showing a third processing method of the fraction slider. As shown in FIG. 13A, when there are three or four unclassified sliders between two groups classified into any one of the S group, the A group, the B group, and the C group, they are adjacent to each other. The group is classified into the lower rank group of the two groups.
図13(b)に示すように、例えば、Sグループと、Aグループと、に挟まれた3つのスライダS[1、x]〜S[1、x+2]は、Aグループに分類する。   As shown in FIG. 13B, for example, the three sliders S [1, x] to S [1, x + 2] sandwiched between the S group and the A group are classified into the A group.
また、図13(c)に示すように、隣接するグループのランクが同じ場合、隣接しているそれぞれのグループの1個のスライダを加えたグループを形成し、全数検査の対象とする。   As shown in FIG. 13C, when the ranks of adjacent groups are the same, a group obtained by adding one slider of each adjacent group is formed and subjected to 100% inspection.
図13(d)に示すように、例えば、両側のAグループからそれぞれ1つのスライダS[1、x−1]およびS[1、x+3]を加え、S[1、x−1]〜S[1、x+3]で構成されるグループを形成し、全数検査の対象とする。   As shown in FIG. 13D, for example, one slider S [1, x-1] and S [1, x + 3] is added from each of the A groups on both sides, and S [1, x-1] to S [ 1, x + 3] is formed, and is subjected to 100% inspection.
図14は、端数スライダの第4の処理方法を示す模式図である。図14(a)に示すように、Sグループ、Aグループ、BグループおよびCグループのいずれかに分類された2つのグループの間に、未分類の5つ以上のスライダがある場合、それらを1つのグループとして、全数検査の対象とする。   FIG. 14 is a schematic diagram showing a fourth processing method of the fraction slider. As shown in FIG. 14 (a), if there are five or more unclassified sliders between two groups classified into one of the S group, the A group, the B group, and the C group, they are designated as 1 One group will be subject to 100% inspection.
図14(b)に示すように、例えば、Sグループと、Aグループと、に挟まれた6つのスライダS[1、x]〜S[1、x+5]は、1つのグループとして全数検査の対象となる。   As shown in FIG. 14B, for example, six sliders S [1, x] to S [1, x + 5] sandwiched between the S group and the A group are subject to 100% inspection as one group. It becomes.
上記のように、Sグループ、Aグループ、BグループおよびCグループのいずれにも分類されないスライダS[1、j]は、全数検査の対象となるグループに分類される。これにより、動的特性の検査対象となるスライダの数を大幅に削減し、検査コストを低減することができる。さらに、低ランクのBグループおよびCグループの少なくともいずれかを全数検査の対象としても、SグループおよびAグループに属するスライダが無検査となるので、動的特性の検査工程の負荷を低減できる。   As described above, the slider S [1, j] that is not classified into any of the S group, the A group, the B group, and the C group is classified into a group that is subject to 100% inspection. Thereby, the number of sliders to be inspected for dynamic characteristics can be greatly reduced, and the inspection cost can be reduced. Furthermore, even if at least one of the low-ranked B group and C group is subjected to 100% inspection, the sliders belonging to the S group and the A group are not inspected, so that the load of the dynamic characteristic inspection process can be reduced.
上記の検査方法を用いたスライダの製造過程において、1つの小ブロック30におけるグループ数が多くなると、個々のスライダスライダS[1、s]の分類が煩雑となり、例えば、選別装置が対応できない場合が生じる。このため、例えば、1つの小ブロック30におけるグループ数が、最大で8つとなるように調整しても良い。すなわち、グループ数が9以上になる場合は、その小ブロック30に対して分類の基準値を変更する。または、グループA〜グループCのうちの全数検査の対象となっていないグループを、全数検査のグループに変更するといった処理を行う。   In the slider manufacturing process using the above inspection method, if the number of groups in one small block 30 increases, the classification of the individual slider sliders S [1, s] becomes complicated, and for example, the sorting device may not be compatible. Arise. For this reason, for example, the number of groups in one small block 30 may be adjusted to a maximum of eight. That is, when the number of groups is 9 or more, the classification reference value is changed for the small block 30. Alternatively, a process of changing a group that is not subject to 100% inspection among the groups A to C to a group for 100% inspection is performed.
また、上記の検査方法では、Sランクに4、Aランクに3、Bランクに2およびCランクに1を付与して数値化しているが、これに限られる訳ではない。例えば、Sランクに1、Aランクに2、Bランクに3およびCランクに4を付与し、それぞれのランクに対応する基準値を設けても良い。また、演算は、A(k)からA(k+t−1)までの総和に限られない。例えば、Sランクに1、Aランクに0.9、Bランクに0.8およびCランクに0.7を付与して数値化し、A(k)からA(k+t−1)までの積に基づいて分類を行っても良い。   In the inspection method described above, the S rank is 4, the A rank is 3, the B rank is 2 and the C rank is 1, and the numerical value is not limited thereto. For example, 1 may be assigned to the S rank, 2 to the A rank, 3 to the B rank, and 4 to the C rank, and a reference value corresponding to each rank may be provided. Further, the calculation is not limited to the total from A (k) to A (k + t−1). For example, 1 is assigned to the S rank, 0.9 is assigned to the A rank, 0.8 is assigned to the B rank, and 0.7 is assigned to the C rank. Based on the product from A (k) to A (k + t−1) Classification may be performed.
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。   Although several embodiments of the present invention have been described, these embodiments are presented by way of example and are not intended to limit the scope of the invention. These novel embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, and changes can be made without departing from the scope of the invention. These embodiments and modifications thereof are included in the scope and gist of the invention, and are included in the invention described in the claims and the equivalents thereof.
10・・・基板、 20、20a、20b、20c、20d・・・ブロック、 30、33・・・小ブロック、 31・・・Row−bar、 33a、33b、33c・・・小ブロックの部分、 S[i、j]・・・スライダ   10 ... substrate, 20, 20a, 20b, 20c, 20d ... block, 30, 33 ... small block, 31 ... Row-bar, 33a, 33b, 33c ... small block part, S [i, j] ... Slider

Claims (5)

  1. m行n列のマトリックス状に配置され、類似した動的特性を有するものが方向に分布する傾向にある複数のスライダを、m×t個(tは予め定められた整数)ごとに分類する磁気ヘッド用スライダの検査方法であって、
    前記マトリックス状に配置された複数のスライダS[i、j](1≦i≦m、1≦j≦n:i、jは整数)のうちの第1行に配置されたスライダS[1、j]の動的特性を検査する第1のステップと、
    前記スライダS[1、1]〜S[1、n]のそれぞれを前記動的特性に基づいて複数のランクのいずれかに分類し、前記スライダS[1、j]にそのランクに対応づけた係数A(j)を付与する第2のステップと、
    前記スライダS[1、1]〜S[1、n]に付与されたA(1)〜A(n)のうちのk列目のA(k)からk+t−1列目のA(k+t−1)(1≦k+t−1≦n:kは整数)までを用いた演算の結果に基づいて、スライダS[1、s](k≦s≦k+t−1:sは整数)を複数のグループのうちの1つに分類する第3のステップと、
    前記スライダS[1、s]の分類に基づいて、S[r、s](2≦r≦m、k≦s≦k+t−1)を、複数のグループの1つに分類する第4のステップと、
    を備えた磁気ヘッド用スライダの検査方法。
    A plurality of sliders arranged in a matrix of m rows and n columns and having similar dynamic characteristics tend to be distributed in the row direction are classified by m × t (t is a predetermined integer). A method for inspecting a slider for a magnetic head,
    Among the plurality of sliders S [i, j] (1 ≦ i ≦ m, 1 ≦ j ≦ n: i, j are integers) arranged in a matrix, the sliders S [1, j] the first step of examining the dynamic properties of
    Each of the sliders S [1,1] to S [1, n] is classified into one of a plurality of ranks based on the dynamic characteristics, and the slider S [1, j] is associated with the rank. A second step of applying a coefficient A (j);
    Of the A (1) to A (n) given to the sliders S [1,1] to S [1, n], A (k) of the kth column to A (k + t−) of the k + t−1 column. 1) Slider S [1, s] (k ≦ s ≦ k + t−1: where s is an integer) based on the result of calculation using up to (1 ≦ k + t−1 ≦ n: k is an integer) A third step for classifying it into one of the following:
    A fourth step of classifying S [r, s] (2 ≦ r ≦ m, k ≦ s ≦ k + t−1) into one of a plurality of groups based on the classification of the slider S [1, s]. When,
    Inspection method for a magnetic head slider.
  2. 前記k値を1ずつ増加させてk=1からk=n−t+1まで前記第3のステップを実行し、前記スライダS[1、s]を前記複数のグループのうちの1つに分類する請求項1記載の磁気ヘッド用スライダの検査方法。   The k value is incremented by 1 and the third step is executed from k = 1 to k = nt + 1 to classify the slider S [1, s] into one of the plurality of groups. Item 2. A magnetic head slider inspection method according to Item 1.
  3. 前記第3のステップは、前記A(k)から前記A(k+t−1)までを用いた前記演算の結果を第1の総和を基準値とした第1の基準に基づいて判定し、その基準に適合した場合に、前記スライダS[1、s]を前記第1のグループに分類するステップと、
    前記第1のグループに分類されなかった前記スライダS[1、j]のうちの連続してt個以上が並ぶ部分について、その部分に含まれるp列目のA(p)からp+t−1列目のA(p+t−1)までを用いた演算の結果を第2の総和を基準値とした第2の基準に基づいて判定し、その基準に適合した場合に、スライダS[1、u](p≦u≦p+t−1:p、uは整数)を前記第2のグループに分類するステップと、を含む請求項1または2に記載の磁気ヘッド用スライダの検査方法。
    The third step determines the result of the calculation using A (k) to A (k + t−1) based on a first reference with a first sum as a reference value , Classifying the slider S [1, s] into the first group if it meets the criteria;
    Of the sliders S [1, j] that have not been classified into the first group, with respect to the portion where t or more are continuously arranged, the p + t−1 columns from A (p) in the p-th column included in the portion. The result of the calculation using up to A (p + t−1) of the eye is determined based on the second reference with the second sum as the reference value, and when the reference is met, the slider S [1, u] 3. A method for inspecting a slider for a magnetic head according to claim 1, further comprising: classifying (p ≦ u ≦ p + t−1: p, u is an integer) into the second group.
  4. m行n列のマトリックス状に複数配置され、類似した動的特性を有するものが方向に分布する傾向にある複数のスライダS[i、j](1≦i≦m、1≦j≦n:i、jは整数)のうちの第1行に配置されたスライダS[1、j]の前記動的特性の検査データに基づいて、前記スライダS[1、1]〜S[1、n]のそれぞれを複数のランクのいずれかに分類するステップと、
    前記ランクに対応づけた係数A(j)を、前記スライダS[1、1]〜S[1、n]のうちの前記スライダS[1、j]に付与するステップと、
    前記スライダS[1、1]〜S[1、n]に付与されたA(1)〜A(n)のうちのk列目のA(k)からk+t−1列目のA(k+t−1)(1≦k+t−1≦n:kは整数、tは予め定められた整数)までを用いた演算の結果基づいて、スライダS[1、s](k≦s≦k+t−1:sは整数)を複数のグループのうちの1つに分類するステップと、を備えた磁気ヘッド用スライダの検査プログラム。
    A plurality of sliders S [i, j] (1 ≦ i ≦ m, 1 ≦ j ≦ n) arranged in a matrix of m rows and n columns and having similar dynamic characteristics tend to be distributed in the row direction. : I, j are integers), based on the inspection data of the dynamic characteristics of the slider S [1, j] arranged in the first row, the sliders S [1, 1] to S [1, n In each of the plurality of ranks,
    Applying a coefficient A (j) associated with the rank to the slider S [1, j] among the sliders S [1, 1] to S [1, n];
    Of the A (1) to A (n) given to the sliders S [1,1] to S [1, n], A (k) of the kth column to A (k + t−) of the k + t−1 column. 1) Slider S [1, s] (k ≦ s ≦ k + t−1: s) based on the result of calculation using up to (1 ≦ k + t−1 ≦ n: k is an integer, t is a predetermined integer) Is an integer) and is classified into one of a plurality of groups, and a magnetic head slider inspection program.
  5. m行n列のマトリックス状に複数配置され、類似した動的特性を有するものが方向に分布する傾向にある複数のスライダS[i、j](1≦i≦m、1≦j≦n:i、jは整数)のうちの第1行に配置されたスライダS[1、j]の前記動的特性を検査する工程と、
    前記スライダS[1、1]〜S[1、n]のそれぞれを前記動的特性に基づいて複数のランクのいずれかに分類し、前記スライダS[1、j]にそのランクに対応づけた係数A(j)を付与し、前記スライダS[1、1]〜S[1、n]に付与されたA(1)〜A(n)のうちのk列目のA(k)からk+t−1列目のA(k+t−1)(1≦k+t−1≦n:kは整数、tは予め定められた整数)までを用いた演算の結果に基づいて、スライダS[r、s](2≦r≦m、k≦s≦k+t−1:r、sは整数)を、前記特性の全数検査を要するグループ、または、それ以外のグループに分類する工程と、
    前記全数検査を要するグループに含まれる前記スライダ[r、s]の前記特性を全数検査する工程と、
    を備えた磁気ヘッドの製造方法。
    A plurality of sliders S [i, j] (1 ≦ i ≦ m, 1 ≦ j ≦ n) arranged in a matrix of m rows and n columns and having similar dynamic characteristics tend to be distributed in the row direction. : I and j are integers), the step of inspecting the dynamic characteristics of the slider S [1, j] arranged in the first row,
    Each of the sliders S [1,1] to S [1, n] is classified into one of a plurality of ranks based on the dynamic characteristics, and the slider S [1, j] is associated with the rank. A coefficient A (j) is assigned, and k + t from A (k) in the kth column of A (1) to A (n) assigned to the sliders S [1,1] to S [1, n]. Based on the result of the calculation using up to A (k + t−1) in the −1st column (1 ≦ k + t−1 ≦ n: k is an integer, t is a predetermined integer), the slider S [r, s] Classifying (2 ≦ r ≦ m, k ≦ s ≦ k + t−1: r, s is an integer) into a group that requires 100% inspection of the characteristics, or other groups;
    100% inspection of the characteristics of the sliders [r, s] included in the group requiring the 100% inspection;
    A method of manufacturing a magnetic head comprising:
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