JP5688609B2 - 位置検出装置 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態に係る位置検出装置10の概略説明図である。ここでは、位置検出装置10の具体的構成の説明に先立ち、位置検出装置10、圧力流体供給源12及び検出ノズル14を含めたワーク28の位置検出に関わる概略構成について、図1を参照しながら説明する。
次に、位置検出装置10の具体的構成について、図2〜図5を参照しながら説明する。
本実施形態に係る位置検出装置10は、以上のように構成される。次に、位置検出装置10の動作について説明する。
次に、本実施形態に係る位置検出装置10で上述した異常が発生した場合でのエラー判定処理部54における異常の検知処理について説明する。
以上説明したように、本実施形態に係る位置検出装置10によれば、内部ノズル32及び検出ポート20を含む着脱機構56が、装置本体57に対して着脱可能である。そのため、内部ノズル32に異物が詰まった場合、装置本体57から着脱機構56を取り外し、内部ノズル32を洗浄して異物を除去することが可能である。すなわち、本実施形態では、位置検出装置10全体を分解することなく内部ノズル32を取り出し、該内部ノズル32に詰まった異物を除去することができる。
本実施形態は、上記の説明に限定されることはなく、下記のように改変することも可能である。
14…検出ノズル 16…通路
18…供給ポート 20…検出ポート
24…テーブル 26…基準面
28…ワーク 30…検出面
32…内部ノズル 34、36…圧力センサ
42…EEPROM 52…位置検出処理部
54…エラー判定処理部 56…着脱機構
56a…ノズル部 56b…第1ポート本体部
56c…第2ポート本体部 57…装置本体
60…供給通路 92…凹部
112…オリフィス 121…縮径部
122…連通孔 139…検出通路
140…流体導入空間
Claims (12)
- 圧力流体供給源から供給された圧力流体を検出ノズルからワークの検出面に対して噴出させ、その背圧を検出することにより、前記ワークの位置を検出する位置検出装置において、
前記圧力流体供給源から供給された圧力流体が流入する装置本体と、
前記装置本体に供給された圧力流体を前記検出ノズル側に送出する内部ノズル、及び、前記内部ノズルから送出された圧力流体を前記検出ノズルに供給する検出ポートを含み、前記装置本体に対して着脱可能な着脱機構と
を備え、
前記装置本体には、前記圧力流体供給源から供給された圧力流体が流入する供給通路と、前記供給通路に連通し且つ前記着脱機構が装着される装着部とが設けられ、
前記内部ノズルには、前記装着部に前記着脱機構が装着された際に、前記供給通路に連通するオリフィスが設けられ、
前記検出ポートには、前記オリフィスに連通し、前記供給通路から前記オリフィスを介して送出された圧力流体を前記検出ノズルに供給する検出通路が設けられ、
前記着脱機構は、筒状に構成され、該着脱機構の中心軸に沿った一端部を前記内部ノズルとして構成すると共に、前記中心軸に沿った他端部を前記検出ポートとして構成し、
前記装着部は、筒状の前記着脱機構を装着可能な凹部として形成され、
前記検出ポートの前記内部ノズル側の部分は、前記凹部の内径よりも小さな外径を有する縮径部として形成され、
前記縮径部には、前記検出通路に連通する連通孔が前記着脱機構の径方向に沿って形成され、
前記装着部に対する前記着脱機構の装着により、前記装着部における前記縮径部の近傍は、前記連通孔を介して前記検出通路に連通する流体導入空間として形成され、
前記位置検出装置は、前記検出通路から前記連通孔を介して前記流体導入空間に導入された圧力流体の圧力を検出することで、前記背圧を検出する検出通路側圧力センサをさらに有することを特徴とする位置検出装置。 - 請求項1記載の位置検出装置において、
前記縮径部には、前記連通孔が複数個形成されていることを特徴とする位置検出装置。 - 請求項1又は2記載の位置検出装置において、
前記圧力流体供給源から前記供給通路に供給された圧力流体の供給圧を検出する供給通路側圧力センサをさらに有することを特徴とする位置検出装置。 - 請求項3記載の位置検出装置において、
前記検出通路側圧力センサは、前記流体導入空間に面するように前記装置本体に設けられたゲージ圧センサであり、
前記供給通路側圧力センサは、前記供給通路に面するように前記装置本体に設けられたゲージ圧センサであることを特徴とする位置検出装置。 - 請求項3記載の位置検出装置において、
前記供給通路側圧力センサ及び前記検出通路側圧力センサの機能を有し、前記供給圧と前記背圧との差圧を検出する差圧センサと、
前記供給通路に面するように前記装置本体に設けられた前記供給通路側圧力センサ、又は、前記流体導入空間に面するように前記装置本体に設けられた前記検出通路側圧力センサとして機能するゲージ圧センサと
をさらに有することを特徴とする位置検出装置。 - 請求項3〜5のいずれか1項に記載の位置検出装置において、
前記供給通路側圧力センサが検出した前記供給圧、及び/又は、前記検出通路側圧力センサが検出した前記背圧に基づいて、前記位置検出装置での異常を検知する異常検知部をさらに有することを特徴とする位置検出装置。 - 請求項6記載の位置検出装置において、
前記異常検知部は、前記供給通路側圧力センサが検出した前記供給圧に基づいて、前記供給圧の変動を検知することを特徴とする位置検出装置。 - 請求項6又は7記載の位置検出装置において、
前記異常検知部は、前記検出通路側圧力センサが検出した前記背圧に基づいて、前記検出ポートと前記検出ノズルとの間での異物の詰まりを検知することを特徴とする位置検出装置。 - 請求項6〜8のいずれか1項に記載の位置検出装置において、
前記異常検知部は、前記供給通路側圧力センサが検出した前記供給圧と、前記検出通路側圧力センサが検出した前記背圧との差圧に基づいて、前記内部ノズルでの異物の詰まりを検知することを特徴とする位置検出装置。 - 請求項6〜9のいずれか1項に記載の位置検出装置において、
所定の閾値を記憶する記憶部をさらに有し、
前記異常検知部は、前記供給通路側圧力センサが検出した前記供給圧、及び/又は、前記検出通路側圧力センサが検出した前記背圧と、前記記憶部から読み出した前記閾値との比較に基づいて、前記位置検出装置での異常を検知することを特徴とする位置検出装置。 - 請求項6〜10のいずれか1項に記載の位置検出装置において、
前記異常検知部は、前記供給通路側圧力センサが検出した前記供給圧、及び/又は、前記検出通路側圧力センサが検出した前記背圧と、前記ワークの搬送を制御する制御装置から供給される該ワークの搬送に関わる情報とに基づいて、前記位置検出装置での異常を検知することを特徴とする位置検出装置。 - 請求項1〜11のいずれか1項に記載の位置検出装置において、
前記内部ノズル及び前記検出ポートは、前記装置本体から前記着脱機構を取り外した際に分離可能であるか、又は、モノコック構造として一体的に構成されていることを特徴とする位置検出装置。
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