JP5679555B2 - Metallic glass plastic forming method and plastic forming apparatus - Google Patents

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Description

本発明は、金属ガラスを過冷却温度域に保持しながら、金属ガラスを所定形状に成形する塑性成形方法および塑性成形装置に関するものである。 The present invention is, while retaining the metallic glass to a supercooled temperature range, to a plastic molding method and plastic molding apparatus for molding a metallic glass into a predetermined shape.

金属ガラスを加工する際には、ガラス遷移温度(Tg)超で、かつ結晶化領域に入らない温度(いわゆる過冷却温度域Tx)に加熱して塑性成形する必要がある。そして、その過冷却温度域では、あたかもガラス細工をするように加工し易くなるために金属ガラスを極めて容易に成形することができるとされている。
例えば特許文献1には、上型と下型との間に載置された金属ガラスをヒータからの輻射熱で加熱しながら金型で加工する金属ガラスの成形装置が記載されているが、この成形装置では、輻射熱によってスリーブを加熱し、このスリーブからの熱伝導により上型、下型、および金属ガラスを加熱するとされているから、周辺の加工機器の温度に影響され易く金属ガラスの温度を加工中に常に過冷却温度域に保持させることが困難であるという問題がある。
When processing metal glass, it is necessary to perform plastic forming by heating to a temperature exceeding the glass transition temperature (Tg) and not entering the crystallization region (so-called supercooling temperature region Tx). And in the supercooling temperature range, since it becomes easy to process like glasswork, it is supposed that metal glass can be shape | molded very easily.
For example, Patent Document 1 describes a metal glass molding apparatus that processes a metal glass placed between an upper mold and a lower mold with a mold while heating it with radiant heat from a heater. In the equipment, the sleeve is heated by radiant heat, and the upper mold, lower mold, and metal glass are heated by heat conduction from the sleeve, so the temperature of the metal glass is easily affected by the temperature of the peripheral processing equipment. There is a problem that it is difficult to always keep the temperature in the supercooling temperature range.

近年、特に融点が400℃〜600℃と比較的低い金属ガラス(以下、低融点金属ガラスという)が注目されているが、この低融点金属ガラスの場合には、ガラス遷移温度(Tg)が100〜200℃と比較的に低温であるために、高温の場合と比べて扱い易いという利点があるものの、加工し易い過冷却温度域がさほど広くないために、ガラス遷移温度が低い金属ガラスを加工する際には、金属ガラスの温度はもとより、使用する周辺の加工機器(たとえばロール,金型等)の温度をも、加工中に常に過冷却温度域内となるように精度良く制御・保持することが求められる。万一、加工中に金属ガラスの温度制御が不十分であったり、金属ガラスの温度が周辺の加工機器の温度の影響を受けて過冷却温度域から外れてガラス遷移温度(Tg)より低下した場合には、加工し易いという利点が失われて加工困難な状態になるし、また素材の温度が結晶化領域まで昇温した場合には、金属ガラスとしての優れた特性が完全に失われることになる。 In recent years, metal glass having a relatively low melting point of 400 ° C. to 600 ° C. (hereinafter referred to as low melting point metal glass) has attracted attention. In the case of this low melting point metal glass, the glass transition temperature (Tg) is 100. to be relatively low temperatures to 200 DEG ° C., although there is an advantage that easy to handle as compared with the case of high temperature, for tractable supercooled temperature range is not so large, glass transition temperature is lower metallic glass when processing is well temperature of metallic glass, the peripheral processing devices (e.g. roll, dies, etc.) using also the temperature of, and precisely controlled at all times a supercooled temperature range during processing・ It is required to hold. Should is insufficient or the temperature control of the metallic glass during processing, metals glass temperature is influenced by the temperature of processing equipment near off the supercooled temperature range glass transition temperature (Tg if) it drops more, to become working difficult state lost the advantage of easy processing, also when the temperature of the material was heated to the crystallization region, excellent characteristics as a metallic glass It will be completely lost.

特開平10-249600号公報JP-A-10-249600

本発明は、成形に供されるガラス遷移温度が低い金属ガラスおよび周辺の加工機器等を過冷却温度域に常に保持しながら、金属ガラスを所定形状に成形する塑性成形方法および塑性成形装置を提供することを目的とする。 The present invention, plastic molding method for molding a processing equipment etc. near subjected to Ruga lath transition temperature and our low metal glass on the molding while kept at the supercooled temperature range, the metallic glass into a predetermined shape and An object is to provide a plastic forming apparatus.

融点が400℃〜600℃でTgが80℃〜200℃の金属ガラスを加工するに際し、過冷却温度域がさほど広くないことから、発明者らは、塑性成形に供される金属ガラスのみならず加工に使用する周辺の加工機器の温度をも加工中に常に過冷却温度域に保持することができる技術について鋭意検討した。その結果、Tr(室温)〜210℃の範囲で加熱保持できる、耐酸化性に優れたシリコーンオイル中に金属ガラスおよび周辺の加工機器を浸漬しつつ加工すれば、シリコーンオイルの温度だけを制御・管理するという簡便な操作だけで、過冷却温度域に保持して塑性成形するという本発明の上記課題を解決できることを知見した。 Upon melting point Tg is processed metallic glass of 80 ° C. to 200 DEG ° C. at 400 ° C. to 600 ° C., since the supercooling temperature zone is not so large, it, Rukin genus Gala is subjected to plastic forming also the temperature of the processing equipment around to be used for processing not a Minara a scan of intensive studies on techniques which can be always held in the supercooled temperature range during processing. As a result, heat held in the range Tr (room temperature) of to 210 ° C., in an excellent silicone oil in oxidation resistance be processed while immersed processing equipment around and your metallic glass, only the temperature of the silicone oil It has been found that the above-described problem of the present invention, in which plastic molding is performed while maintaining in the supercooling temperature range, can be solved only by a simple operation of controlling and managing the above.

本発明は、このような知見に基づいてなされたものである。
本発明は、ガラス遷移温度Tgが80〜200℃の金属ガラスを、Tg+5℃〜Tg+30℃の温度範囲内のシリコーンオイル中で塑性成形することを特徴とする金属ガラスの成形方法である。
また本発明は、ガラス遷移温度Tgが80〜200℃の金属ガラスを塑性成形する加工手段をタンク内に貯留したシリコーンオイルに浸漬して、該シリコーンオイルの温度をTg+5℃〜Tg+30℃の範囲内に保持し、前記金属ガラスを前記タンク外から前記加工手段に供給して成形した後、該成形した金属ガラスを前記タンク外へ速やかに排出することを特徴とする金属ガラスの塑性成形方法である。
The present invention has been made based on such knowledge.
The present invention, the metallic glass of the glass transition temperature Tg of 80~200 ℃, Tg + 5 ℃ ~Tg + 30 ℃ method forming features and to Rukin genus glass to plastic forming in silicone oil in a temperature range of It is.
The present invention has a glass transition temperature Tg of 80 to 200 ° C. The metallic glass by immersing the processing means for plastic forming in a silicone oil which is stored in the tank, the temperature of the silicone oil of Tg + 5 ℃ ~Tg + 30 ℃ held within a range, before after forming the Kikin genus glass is supplied to the processing unit from outside the tank, characterized in that quickly discharged the molded metallic glass to the tank outer it is a plastic molding method of metallic glass.

本発明の金属ガラスの塑性成形方法においては、前記金属ガラスが前記シリコーンオイル中に浸漬されている時間が30〜300秒の範囲内であることが好ましい。さらに、前記加工手段として1対のロールを用いて前記金属ガラスの圧延加工を行なうこと、または前記加工手段として円弧状の断面形状の溝部を設けた金型と前記溝部の内側に偏心して配設される1個のロールを用いて、前記金属ガラスの縮径を行なうことが好ましい。 In metallic glass plastic molding method of the present invention, it is preferable time before Kikin genus glass is immersed in the silicone oil is in the range of 30 to 300 seconds. Further, polarized before performing the rolling process Kikin genus glass, or inside the the mold provided with a groove of arcuate cross-sectional shape as the processing means and the groove by using a pair of rolls as said processing means using one roll being Kokoroshite disposed, it is preferable to carry out the reduced diameter of the front Kikin genus glass.

また本発明は、シリコーンオイルを貯留するタンクと、前記シリコーンオイル中に浸漬されてガラス遷移温度Tgが80〜200℃の金属ガラスを塑性成形する加工手段と、前記金属ガラスを前記タンク外から前記加工手段に装入する素材供給手段と、前記加工手段で成形した前記金属ガラスを前記タンク外へ排出する取出し手段と、前記シリコーンオイルの温度をTg+5℃〜Tg+30℃の範囲内に保持するための油温調節手段と、を有することを特徴とする金属ガラスの塑性成形装置である。 The present invention includes a tank for storing the silicone oil, and the processing means is immersed in the silicone oil in the glass transition temperature Tg is plastically molding the metallic glass of 80 to 200 ° C., the pre-Kikin genus glass a material feeding means for charging said processing means from the outside of the tank, and unloading means for discharging Kikin genus glass before molded by said processing means to said tank outside of the temperature of the silicone oil Tg + 5 ℃ ~Tg + 30 ℃ an oil temperature adjusting means for retaining within a plastic forming device features and to Rukin genus glass to have a.

本発明の金属ガラスの塑性成形装置においては、前記加工手段が1対のロールを有すること、または前記加工手段が、円弧状の断面形状の溝部を設けた金型と、前記溝部の内側に偏心して配設される1個のロールと、を有することが好ましい。 In the plastic molding apparatus metals glass of the present invention, that the processing means comprises a pair of rolls, or the processing means, and the mold having a groove of arcuate cross-sectional shape, the inside of the groove It is preferable to have one roll arranged eccentrically.

本発明によれば、加工に供するTgが低い金属ガラスおよび周辺の加工機器等を過冷却温度域に保持しながら、金属ガラスを所定形状に塑性成形することができる。 According to the present invention, the processing equipment and the like around the Tg is called contact metal having a low glass to be subjected to machining while maintaining the supercooled temperature range, it is possible to plastically molding the metallic glass into a predetermined shape.

本発明の塑性成形装置の例を模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows typically the example of the plastic forming apparatus of this invention. 本発明の塑性成形装置の他の例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the other example of the plastic forming apparatus of this invention. 属ガラスの溶融状態から凝固までの状態図である。It is a state diagram from a molten state of the metallic glass to solidify. 属ガラスを射出成形する装置の例を模式的に示す斜視図である。An example of a device for injection molding a metallic glass is a perspective view schematically showing.

図1は、本発明の金属ガラスの塑性成形装置の例を模式的に示す斜視図である。なお、本発明が対象とする金属ガラス(融点Tm:400〜600℃,ガラス遷移温度Tg:80〜200℃)は、Au−Cu−Si系,Au−Cu−Ag−Si系,Ca−Li−Mg−Zn系,Ce−Cu−Al系,Yb−Zn−Mg−Cu系,Au−Cu−Ag−Pd−Si系,Pt−Ni−Cu−P系,Mg−Cu−Au−Ga系の金属ガラスである。 Figure 1 is an example of a plastic forming device of metallic glass of the present invention is a perspective view schematically showing. The present invention is subject and to Rukin genus glass (melting point Tm: 400 to 600 ° C., a glass transition temperature Tg: 80 to 200 ° C.) are, Au-Cu-Si-based, Au-Cu-Ag-Si-based, Ca -Li-Mg-Zn, Ce-Cu-Al, Yb-Zn-Mg-Cu, Au-Cu-Ag-Pd-Si, Pt-Ni-Cu-P, Mg-Cu-Au- Ga-based metallic glass.

タンク1にはシリコーンオイル2が貯留され、そのシリコーンオイル2の温度を調節する油温調節器3がタンク1に付設される。油温調節器3にはヒーターと温度計が内蔵されており、温度計で得られた測定値とヒーターによる加熱の目標温度とに基づいてPID制御を行なうことによって、シリコーンオイル2の温度をその目標温度±0.5℃の範囲に維持することができる。油温調節器3にはシリコーンオイル2を循環させるポンプが配設されており、流入管12を介してタンク1内のシリコーンオイル2を油温度調節器3に取入れて所定の温度に加熱した後、流出管13を介してシリコーンオイル2をタンク1内に戻す。このようにしてタンク1内のシリコーンオイル2の温度を一定に保持することができる。しかも、シリコーンオイル2がタンク1と油温調節器3を循環することによって、タンク1内のシリコーンオイル2が攪拌され、シリコーンオイル2の温度を均一にする効果も得られる。   Silicone oil 2 is stored in the tank 1, and an oil temperature adjuster 3 that adjusts the temperature of the silicone oil 2 is attached to the tank 1. The oil temperature controller 3 has a built-in heater and thermometer, and PID control is performed based on the measured value obtained by the thermometer and the target temperature of heating by the heater, so that the temperature of the silicone oil 2 is adjusted. The target temperature can be maintained within a range of ± 0.5 ° C. The oil temperature regulator 3 is provided with a pump for circulating the silicone oil 2. After the silicone oil 2 in the tank 1 is taken into the oil temperature regulator 3 through the inflow pipe 12 and heated to a predetermined temperature. The silicone oil 2 is returned to the tank 1 through the outflow pipe 13. In this way, the temperature of the silicone oil 2 in the tank 1 can be kept constant. In addition, since the silicone oil 2 circulates through the tank 1 and the oil temperature regulator 3, the silicone oil 2 in the tank 1 is agitated, and the effect of making the temperature of the silicone oil 2 uniform is also obtained.

属ガラス5を塑性成形する加工機器は、シリコーンオイル2中に浸漬して配設される。図1には加工機器として1対のロール6を用いる例を、斜視図として示す。図1中の矢印は、ロール6の回転方向を示す。さらに、加工機器(すなわち1対のロール6)に金属ガラス5をタンク1外から供給するための傾斜面7を配設し、傾斜面7の下端からロール6の入側まで、入側コンベアローラ10が配設される。金属ガラス5は、傾斜面7からロール6に供給される間にシリコーンオイル2によって加熱され、シリコーンオイル2と同一の温度となる。なお、図1(a)は塊状の金属ガラス5を圧延する例、図1(b)は丸棒状の金属ガラス5を圧延する例であり、金属ガラス5とその圧延によって得られた金属ガラス5aを透視図として示す。 The metallic glass 5 processing equipment for plastic molding is arranged immersed in silicone oil 2. FIG. 1 is a perspective view showing an example in which a pair of rolls 6 is used as a processing device. The arrows in FIG. 1 indicate the rotation direction of the roll 6. Further, the inclined surface 7 for supplying metallic glass 5 from 1 outer tank disposed, from the lower end of the inclined surface 7 to the entry side of the roll 6 processing equipment (i.e. a pair of rolls 6), entry side A conveyor roller 10 is provided . Metallic glass 5 is heated by the silicone oil 2 while being supplied from the inclined surface 7 on the roll 6, the same temperature and the silicone oil 2. The example FIG. 1 (a) rolling a metallic glass 5 massive, 1 (b) is an example of rolling a metallic glass 5 of a round bar, and by the rolling metallic glass 5 the resulting metallic glass 5a is shown as a perspective view.

また、加工機器(すなわち1対のロール6)も、シリコーンオイル2中に浸漬しているので、シリコーンオイル2と同一の温度となる。したがって、塑性成形中に金属ガラス5の温度が変化することはない。
属ガラス5の温度(すなわちシリコーンオイル2の温度)は、その金属ガラス5のガラス遷移温度(Tg)超で、しかも結晶化領域(Tx)に入らない温度(すなわち過冷却温度域,図3の領域A)とする。既に説明した通り、PID制御によってシリコーンオイル2の温度を目標温度±0.5℃の範囲に制御できるので、その目標温度をTg+5℃〜Tg+30℃の範囲内に設定すれば、金属ガラス5の温度はTgを下回ったり結晶化領域まで上昇することなく保持される。
Further, since the processing equipment (that is, the pair of rolls 6) is also immersed in the silicone oil 2, the temperature is the same as that of the silicone oil 2. Accordingly, the temperature of the metallic glass 5 does not change during the plastic forming.
Temperature of metallic glass 5 (i.e. the temperature of the silicone oil 2) is a its glass transition temperature of the metallic glass 5 (Tg) than, yet does not enter the crystallized region (Tx) temperature (i.e. supercooled temperature Region, region A) of FIG. As already described, it is possible to control the temperature of the silicone oil 2 in the range of the target temperature ± 0.5 ° C. by the PID control, by setting the target temperature in the range of Tg + 5 ℃ ~Tg + 30 ℃ , the temperature of the metallic glass 5 Is retained without falling below Tg or rising to the crystallization region.

また、結晶化領域に入る前に塑性成形を終了して、金属ガラスの特性を維持するために、成形の所要時間を30〜300秒の範囲内とする。
本発明が対象とする金属ガラス5のTgは80〜200℃であるから、ヒーター15として高周波誘導加熱装置を用いる必要はなく、通常の通電に伴う電気抵抗によって発熱するもの、たとえば液体用シースヒーター等を使用することができる。
Also, exit plastic molding before entering the crystallization region, in order to maintain the characteristics of the metallic glass, the time required for molding in the range of 30 to 300 seconds.
Since the present invention the Tg of the target and to Rukin genus glass 5 is 80 to 200 ° C., it is not necessary to use a high-frequency induction heating apparatus as a heater 15, which generates heat by electrical resistance due to the normal current, for example, liquid A sheath heater or the like can be used.

このようにして図1に示す例では、金属ガラスに圧延加工を施すことができ、その圧延加工によって得られた金属ガラス5a(すなわち金属ガラス板あるいは金属ガラス箔)は出側コンベアローラ11から取出しコンベア4を介してタンク1外へ速やかに排出される。なお図1には、塊状や丸棒状の金属ガラス5を示したが、角棒状あるいは板状の金属ガラス5を用いても、金属ガラス板や金属ガラス箔を得ることができる。 In the example shown in FIG. 1 Thus, metallic glass rolling can be subjected to, rolling the resulting metallic glass 5a (walking Sunawa chicken genus glass plate metallic glass foil that ) Is quickly discharged out of the tank 1 through the takeout conveyor roller 11 via the takeout conveyor 4. Note in Figure 1, it showed metallic glass 5 massive and round bar, even with metallic glass 5 of square bar or plate-like, to obtain a metallic glass plate or gold genus glass foil it can.

図2は、加工手段として、円弧状の断面形状の溝部8を設けた金型9と、溝部8の内側に偏心して配設される1個のロール6と、を用いる例を示す断面図である。図2では油温調節器は図示を省略する。金型9はタンク1内で固定され、ロール6は図2中の矢印の方向に回転する。傾斜面7に沿って供給された管状の金属ガラス5は、金型9の溝部8とロール6との広い隙間側から供給されて、狭い隙間側へ転がる間に直径が収縮(以下、縮径という)されて、溝部8から取出しコンベア4を介して排出される。なお図2には、管状の金属ガラス5を縮径する例を示したが、丸棒状の金属ガラス5を縮径することも可能である。 FIG. 2 is a cross-sectional view showing an example in which a mold 9 provided with a groove 8 having an arcuate cross-sectional shape and one roll 6 disposed eccentrically inside the groove 8 are used as processing means . is there. In FIG. 2, the oil temperature regulator is not shown. The mold 9 is fixed in the tank 1, and the roll 6 rotates in the direction of the arrow in FIG. Metallic glass 5 of the supplied tubular along the inclined surface 7 is supplied from a wide gap side of the groove 8 and the roll 6 of the mold 9, the diameter during rolling into a narrow gap side contracted (hereinafter, The diameter is reduced) and is discharged from the groove 8 via the takeout conveyor 4. Note in Figure 2, an example of reduced diameter of the metallic glass 5 of the tubular, it is also possible to shrink the metallic glass 5 of a round bar.

図2に示す例においても、金属ガラス5は、傾斜面7に沿ってロール6に供給される間にシリコーンオイル2によって加熱されているので、シリコーンオイル2と同一の温度となる。また、金型9,ロール6も、シリコーンオイル2中に浸漬されており、シリコーンオイル2と同一の温度になっているから、縮径中に金属ガラス5の温度が変化することはない。したがってシリコーンオイル2の目標温度をTg+5℃〜Tg+30℃の範囲内に設定すれば、金属ガラス5の温度はTgを下回ったり結晶化領域まで上昇することなく保持される。そして、金属ガラス5がシリコーンオイル中に浸漬されている時間が30〜300秒の範囲内であれば、縮径した後も金属ガラスの特性を維持することができる。 In the example shown in FIG. 2, metallic glass 5, because it is heated by the silicone oil 2 while being supplied to the roll 6 along the inclined surface 7, the same temperature and the silicone oil 2. Further, the mold 9, the roll 6 may have been immersed in a silicone oil 2, because they become the same temperature as the silicone oil 2, the temperature of the metallic glass 5 is not changed to the reduced-diameter . Therefore, by setting the target temperature of the silicone oil 2 in the range of Tg + 5 ℃ ~Tg + 30 ℃ , the temperature of the metallic glass 5 is held without being raised to the crystallization region or below the Tg. The metallic glass 5 is within the range time is immersed in a silicone oil of 30 to 300 seconds, it is possible to maintain the characteristics of the metallic glass even after diameter.

このようにして図2に示す例では、管状あるいは丸棒状の金属ガラス5を縮径させることができる。
また、加工手段として、引抜き用ダイスを用いて引抜きを行なうことによって、金属ガラス5を線状に延伸させることもできる。
あるいは、加工手段としてポンチを用いることによって、金属ガラス5に刻印を施すことも可能である。
In the example shown in FIG. 2 this way, the metallic glass 5 of the tubular or rod-shaped can be reduced in diameter.
Further, as the processing unit, by making a withdrawal with withdrawal dies, it can also be stretched metallic glass 5 into a linear shape.
Alternatively, by using the punch as a processing unit, it can be subjected to stamping to metallic glass 5.

ここで本発明で用いる金属ガラスを射出成形によって製造する技術について、図4を参照して説明する。
図4は、本発明の成形に供する金属ガラスを射出成形する装置の例を模式的に示す斜視図である。ステンレス鋼製の円管14の上端には、高圧の不活性ガスを供給する不活性ガス供給装置18が着脱可能に装着される。成分を予め調整した金属ガラスの小片を円管14内に装入する際には、不活性ガス供給装置18を円管14から取外して、円管14の上端から金属ガラスの小片を装入する。この円管14は、後述するように金属ガラスの小片を加熱するための容器としての役割を担うものであり、安価なステンレス鋼を用いることによって、射出成形装置のコストの削減に寄与する。
Here, the technique of manufacturing by injection molding a Rukin genus glass used in the present invention will be described with reference to FIG.
Figure 4 is a perspective view schematically showing an example of an apparatus for injection molding a Rukin genus glass Kyosu the molding of the present invention. An inert gas supply device 18 for supplying a high-pressure inert gas is detachably attached to the upper end of the stainless steel circular tube 14. When loading a small piece of metallic glass was preconditioned component in a circular tube 14, remove the inert gas supply unit 18 from the circular tube 14, top or et metals glass of circular tube 14 It is charged with small pieces. The circular tube 14 plays a role as a container for heating a small piece of metallic glass as described later, by using an inexpensive stainless steel, contributing to a reduction in cost of an injection molding device .

円管14に金属ガラスの小片を装入した後、円管14の上端に不活性ガス供給装置18を取付ける。
円管14の下部には、ヒーター15が取付けられる。このヒーター15は、円管14内に装入された金属ガラスの小片を融点以上に加熱して溶融させるものであり、高周波誘導加熱装置を用いる必要はなく、通常の通電に伴う電気抵抗によって発熱するもの(たとえばカートリッジヒーター等)を使用する。そのようなヒーターは安価であるから、射出成形装置のコストの削減に寄与し、ひいては金属ガラスの製造コストを低減できる。
After charging a small piece of metallic glass to a circular pipe 14, attaching the upper end to the inert gas supply apparatus 18 of the circular tube 14.
A heater 15 is attached to the lower part of the circular tube 14. The heater 15 is for heating and melting small pieces of metallic glass which has been charged into the circular pipe 14 above the melting point, it is not necessary to use a high-frequency induction heating apparatus, the electrical resistance due to the normal energization A device that generates heat (for example, a cartridge heater) is used. Since such a heater is inexpensive, contributes to reduce the cost of the injection molding apparatus, Hiite can reduce the manufacturing cost of the metallic glass.

さらに、ヒーター15によって加熱する部位の円管14の外表面には温度計16が取付けられる。そして円管14の外表面の温度が上昇していき、目標温度に到達すると円管14内の金属ガラスが溶融したと判定し、射出成形が終了するまでその温度に保持する。この温度計16で得られた測定値とヒーター15による加熱の目標温度とに基づいてPID制御を行なうことによって、溶融した金属ガラスの温度をその目標温度±0.5℃の範囲に維持することが可能となる。なお温度計15は、熱電対等の従来から知られているものを使用する。 Further, a thermometer 16 is attached to the outer surface of the circular tube 14 at a site heated by the heater 15. Then soars temperature of the outer surface of the circular tube 14, it is determined that the metallic glass in the circular tube 14 reaches the target temperature is melted and held at that temperature until the injection molding is completed. By performing PID control based on the heating by measurement and heater 15 obtained in this thermometer 16 in the target temperature to maintain the temperature of the molten metallic glass in the range of the target temperature ± 0.5 ° C. It becomes possible. As the thermometer 15, a conventionally known one such as a thermocouple is used.

円管14の内径が15mmを超えると、円管14の中心部とヒーター15の距離が遠くなるので、ヒーター15の加熱能力も相まって、溶融した金属ガラスの温度を均一に保つことが困難になる。一方、5mm未満では、金属ガラスの小片を装入し難くなる。したがって、円管14の内径は5〜15mmの範囲内が好ましい。この円管14内で溶解する金属ガラスの容量は1〜25ccである。 The inner diameter of the circular tube 14 is more than 15 mm, the distance of the central portion and the heater 15 of the circular tube 14 becomes longer, the heating capacity of the heater 15 is also coupled, it is kept uniform temperature of the molten metallic glass It becomes difficult. If it is less than 5 mm, it becomes difficult charged a small piece of metallic glass. Therefore, the inner diameter of the circular tube 14 is preferably in the range of 5 to 15 mm. Capacity Rukin genus glass to dissolve in the circular pipe within 14 is 1~25Cc.

円管14の下端にはステンレス鋼製の噴射ノズル17が嵌めこまれて固定される。噴射ノズル17は円錐形のステンレス鋼に機械加工を施して製作するので、後述するような小径の噴射口を精度良く加工することができる。
ステンレス鋼製の噴射ノズル17は、安価であるばかりでなく、噴射口を様々な形状に精度良く加工することができる。しかも破損し難いので、連続して多数回の射出成形が可能となる。また、噴射口に異物が詰まった場合には、噴射ノズル17を破損,変形することなく異物を除去できる。
A stainless steel injection nozzle 17 is fitted into the lower end of the circular tube 14 and fixed. Since the injection nozzle 17 is manufactured by machining a conical stainless steel, a small-diameter injection port as described later can be processed with high accuracy.
The stainless steel injection nozzle 17 is not only inexpensive, but can accurately process the injection nozzle into various shapes. Moreover, since it is difficult to break, a number of injection moldings can be continuously performed. In addition, when the injection port is clogged with foreign matter, the foreign matter can be removed without damaging or deforming the injection nozzle 17.

そして円管14内の金属ガラスが溶融した後、円管14,不活性ガス供給装置18,ヒーター15,温度計16ならびに噴射ノズル17を一体的に下降させて、噴射ノズル17を銅製の射出成形用金型19の受湯孔20に接近させた後、円管14の上端の不活性ガス供給装置18から高圧の不活性ガスを円管14内に供給して、溶融した金属ガラスを噴射ノズル17から受湯孔20に、不活性ガスの圧力で噴射する。噴射する際の不活性ガスの圧力が0.02MPa未満では、十分な噴射速度が得られないので、非晶質の金属ガラスが得られない。一方、0.2MPaを超えると、金属ガラスの内部に気泡等の欠陥が生じる。したがって、不活性ガスの圧力は0.02〜0.2MPaの範囲内が好ましい。使用する不活性ガスは、N2またはArが好ましい。 Then, after the metallic glass of the circular tube 14 is melted, the circular tube 14, the inert gas supply unit 18, and integrally lowers the heater 15, the thermometer 16 and the injection nozzle 17, the injection nozzle 17 copper after close to受湯hole 20 of the injection mold 19, and supplied from the upper end of the inert gas supply apparatus 18 of the circular tube 14 a high-pressure inert gas into a circular pipe 14, metals melted the glass from the injection nozzle 17 to受湯hole 20, is injected at a pressure of inert gas. The pressure of the inert gas at the time of injection is less than 0.02 MPa, since no sufficient ejection speed can be obtained, not amorphous metallic glass can be obtained. On the other hand, when it exceeds 0.2 MPa, defects such as air bubbles are generated inside of the metallic glass. Therefore, the pressure of the inert gas is preferably in the range of 0.02 to 0.2 MPa. The inert gas used is preferably N 2 or Ar.

噴射時間が0.01秒未満では、十分な量の金属ガラスを噴射できない。一方、0.5秒を超えると、非晶質の金属ガラスを得るのに十分な冷却速度が得られない。したがって、噴射時間は0.01〜0.5秒の範囲内が好ましい。
属ガラスを噴射するときは、噴射ノズル17を受湯孔20に接近させるので、溶融した金属ガラスを確実に受湯孔20内に噴射することができる。その際、噴射ノズル17の外面と受湯孔20の開口部を接触させず、隙間を設けることが好ましい。隙間を設けることにより、溶融した金属ガラスの噴射に伴って受湯孔20内の空気を容易に排出することができる。
Injection time is less than 0.01 seconds, can not inject a sufficient amount of metallic glass. On the other hand, when it exceeds 0.5 seconds, sufficient cooling rate is obtained to obtain an amorphous metallic glass. Therefore, the injection time is preferably in the range of 0.01 to 0.5 seconds.
When injecting the metallic glass is an injection nozzle 17 since the closer to受湯hole 20 may be injected into reliably受湯hole 20 of molten metallic glass. At that time, it is preferable to provide a gap without contacting the outer surface of the injection nozzle 17 and the opening of the hot water receiving hole 20. By providing the gap, it is possible to easily discharge the air in受湯hole 20 with the injection of the molten metallic glass.

銅製の射出成形用金型19は、水平方向に移動可能な移動テーブル21上に固定される。射出成形用金型19には受湯孔20が設けられており、噴射ノズル17から受湯孔20に噴射した金属ガラスを冷却して凝固させる。本発明では、後述するように、面積0.2〜2.5mm2の噴射口から噴射するので、上記した本発明の対象となる金属ガラスでは、図3に示すように、溶融状態から結晶化させずに冷却して、非晶質の金属ガラスを得るのに十分な冷却速度が得られる。 The copper injection mold 19 is fixed on a moving table 21 that is movable in the horizontal direction. The injection mold 19 is provided with a受湯holes 20, is cooled to solidify the metallic glass was injected into受湯hole 20 from the injection nozzle 17. In the present invention, as described below, since the ejection from the injection port of the area 0.2 to 2.5 mm 2, in Rukin genus glass such the subject of the present invention described above, as shown in FIG. 3, the crystal from the molten state cooled without reduction, a sufficient cooling rate is obtained to obtain an amorphous metallic glass.

なお、射出成形用金型19には受湯孔20を1列に複数個設けることが好ましい。その場合、噴射ノズル17から受湯孔20に溶融した金属ガラスを噴射した後、不活性ガスの供給を停止し、さらに円管14,不活性ガス供給装置18,ヒーター15,温度計16ならびに噴射ノズル17を一体的に上昇させた後、移動テーブル21を移動させて2番目の受湯孔20を噴射ノズル17の垂直下方に配置して移動テーブル21を停止する。次いで、2番目の受湯孔20に噴射ノズル17を接近させて、溶融した金属ガラスを噴射する。この手順を繰り返すことによって、複数回の射出成形を連続して行なうことができる。つまり、金属ガラスの射出成形の効率向上を達成できる。なお、図4には射出成形用金型19に受湯孔20を1列に5個設ける例を示したが、本発明はこれに限るものではない。 The injection mold 19 is preferably provided with a plurality of hot water receiving holes 20 in one row. In this case, after injecting a metallic glass which is melted from the injection nozzle 17 to受湯hole 20, to stop the supply of inert gas, further circular tube 14, the inert gas supply unit 18, a heater 15, a thermometer After the 16 and the injection nozzle 17 are raised integrally, the moving table 21 is moved, the second hot water receiving hole 20 is arranged vertically below the injection nozzle 17 and the moving table 21 is stopped. Then, the second to受湯hole 20 is brought closer to the injection nozzle 17 injects the molten metallic glass. By repeating this procedure, a plurality of injection moldings can be performed continuously. That can be achieved to improve the efficiency of the injection molding of metallic glass. FIG. 4 shows an example in which five hot water receiving holes 20 are provided in one row in the injection mold 19, but the present invention is not limited to this.

次に、移動テーブル21から射出成形用金型19を取外して、凝固した金属ガラスを受湯孔20から取出す。射出成形用金型19を受湯孔20の列に沿って2分割できる構成にすれば、金属ガラスを容易に取出せるので好ましい。
受湯孔20の形状は丸棒状とし、その内径は2〜5mmの範囲内が好ましい。受湯孔20の内径が2mm未満では、溶融した金属ガラスが受湯孔8内に充満し難くなる。一方、5mmを超えると、中心部の冷却が遅れるので、均質な金属ガラスが得られない。
Next, remove the injection mold 19 from the moving table 21, taking out the solidified metallic glass from受湯hole 20. If the injection mold 19 divided into two parts can be constructed along the columns of受湯hole 20, since the metallic glass that easily taken out preferred.
The shape of the hot water receiving hole 20 is a round bar, and the inner diameter is preferably in the range of 2 to 5 mm. The inner diameter is less than 2mm of受湯hole 20, the molten metallic glass is hardly filled in受湯hole 8. On the other hand, when it exceeds 5 mm, since the cooling of the central portion is delayed, not homogeneous metallic glass can be obtained.

また、噴射ノズル5の噴射口は、面積を0.2〜2.5mm2の範囲内とする。面積が0.2mm2未満では、溶融した金属ガラスを噴射し難くなり、瞬時に噴射できないために金属ガラスが非晶質化しない可能性がある。一方、2.5mm2を超えると、溶融した金属ガラスの滴が自重で噴射口から落下する。
以上に説明したような手順で射出成形した金属ガラスは、本発明を適用して支障なく成形でき、しかも成形した後の金属ガラスは、その組織が結晶化しておらず、非晶質の金属ガラス素材である。
In addition, the injection port of the injection nozzle 5 has an area in the range of 0.2 to 2.5 mm 2 . The area of less than 0.2 mm 2, it becomes difficult to inject the molten metallic glass, it is possible that metallic glass is not amorphized to not be injected immediately. On the other hand, when it exceeds 2.5 mm 2, droplets of molten metallic glass is dropped from the injection port by its own weight.
Metallic glass injection molded by the procedure as described above, the present invention can be molded without hindrance, yet metallic glass after molding, the organization is not crystallized, the amorphous it is a metallic glass material of quality.

図1に示す塑性成形装置を用いてAu−Cu−Ag−Pd−Si系の金属ガラスの成形を行なった。その手順を以下に説明する。
まず図4に示す射出成形装置を用いて金属ガラスを製造した。その金属ガラスに、図1の塑性成形装置を用いて、以下の手順で成形(すなわち圧延)を施した。
It was performed forming of metals glass of Au-Cu-Ag-Pd- Si system using plastic molding apparatus shown in FIG. The procedure will be described below.
First it was prepared a metallic glass by using an injection molding apparatus shown in FIG. To As a metallic glass, using a plastic forming device of FIG. 1, it was subjected to molding (i.e., rolling) by the following procedure.

シリコーンオイル2を貯留したタンク1に油温調節器3を付設し、シリコーンオイル2を循環させつつ加熱した。油温調節器3に内蔵されるヒーターはカートリッジヒーターを使用した。目標温度は、図3の領域Aの温度(すなわちTg+5℃〜Tg+30℃)である100℃とした。油温調節器3では、温度計として熱電対を用いてシリコーンオイル2の温度を測定し、PID制御を行なうことによってシリコーンオイル2の温度をその目標温度±0.5℃の範囲に維持した。   An oil temperature regulator 3 was attached to the tank 1 storing the silicone oil 2 and heated while circulating the silicone oil 2. The heater built in the oil temperature controller 3 was a cartridge heater. The target temperature was 100 ° C., which is the temperature in region A in FIG. 3 (ie, Tg + 5 ° C. to Tg + 30 ° C.). In the oil temperature controller 3, the temperature of the silicone oil 2 was measured using a thermocouple as a thermometer, and the temperature of the silicone oil 2 was maintained within the target temperature range of ± 0.5 ° C. by performing PID control.

次に、金属ガラス5の丸棒(直径4mm,長さ40mm)を傾斜面7から1対のロール6に供給して圧延を行ない、得られた金属ガラス板(厚さ0.5mm)を取出しコンベア4を介してタンク1外へ取り出した。その際、金属ガラス5がシリコーンオイル2中に浸漬されている時間は30秒であった。
の金属ガラス板の組織を調べたところ、全体が非晶質の組織となっており、金属ガラスの板材であった。
Next, round bars (diameter 4 mm, length 40 mm) of the metallic glass 5 is supplied to the roll 6 from the inclined surface 7 pair performs rolling, resulting metallic glass plate (thickness 0.5 mm) The product was taken out of the tank 1 through the take-out conveyor 4. At that time, the time metallic glass 5 is immersed in a silicone oil 2 was 30 seconds.
Examination of its a metallic glass sheet tissues, whole has become an amorphous structure was a plate of metallic glass.

加工に供する金属ガラスおよび周辺の加工機器等を過冷却温度域に保持しながら、金属ガラスを所定形状に塑性成形することができるので、産業上格段の効果を奏する。 While maintaining the machining equipment such Rukin genus peripheral and glass Contact Kyosu machining supercooled temperature range, since the metallic glass can be plastically molded into a predetermined shape, it exhibits the remarkable effect industrially.

1 タンク
2 シリコーンオイル
3 油温調節器
4 取出しコンベア
属ガラ
6 ロール
7 傾斜面
8 溝部
9 金型
10 入側コンベアローラ
11 出側コンベアローラ
12 流入管
13 流出管
14 円管
15 ヒーター
16 温度計
17 噴射ノズル
18 不活性ガス供給装置
19 射出成形用金型
20 受湯孔
21 移動テーブル
First tank 2 Silicone oil 3 oil temperature controller 4 taking out conveyor 5 Metal glass
6 Roll 7 Inclined surface 8 Groove 9 Mold
10 Inlet conveyor roller
11 Outlet conveyor roller
12 Inflow pipe
13 Outflow pipe
14 round pipe
15 heater
16 Thermometer
17 Injection nozzle
18 Inert gas supply device
19 Injection mold
20 Receiving hole
21 Moving table

Claims (8)

ガラス遷移温度Tgが80〜200℃の金属ガラスを、Tg+5℃〜Tg+30℃の温度範囲内のシリコーンオイル中で成形することを特徴とする金属ガラスの塑性成形方法。 The metallic glass of the glass transition temperature Tg of 80~200 ℃, Tg + 5 ℃ ~Tg + 30 ℃ characteristics and be Rukin genus glass plastic molding method to molding in silicone oil in the temperature range. ガラス遷移温度Tgが80〜200℃の金属ガラスを成形する加工手段をタンク内に貯留したシリコーンオイルに浸漬して、該シリコーンオイルの温度をTg+5℃〜Tg+30℃の範囲内に保持し、前記金属ガラスを前記タンク外から前記加工手段に供給して塑性成形した後、該成形した金属ガラスを前記タンク外へ速やかに排出することを特徴とする金属ガラスの塑性成形方法。 Processing means for the glass transition temperature Tg is molded metallic glass of 80 to 200 ° C. is immersed in the reservoir silicone oil in the tank, maintaining the temperature of the silicone oil in the range of Tg + 5 ℃ ~Tg + 30 ℃ , before after Kikin genus plastic and glass is supplied to the processing unit from outside the tank molding, features and be Rukin genus glass to quickly discharged the molded metallic glass to the tank outer Plastic forming method. 記金属ガラスが前記シリコーンオイル中に浸漬されている時間が30〜300秒の範囲内であることを特徴とする請求項1または2に記載の金属ガラスの塑性成形方法。 Plastic molding method of metallic glass according to claim 1 or 2, characterized in that the time before Kikin genus glass is immersed in the silicone oil is in the range of 30 to 300 seconds. 前記加工手段として1対のロールを用いて前記金属ガラスの圧延加工を行なうことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の金属ガラスの塑性成形方法。 Metallic glass plastic forming method according to any one of claims 1 to 3, characterized by performing rolling before Kikin genus glass with a pair of rolls as the processing means. 前記加工手段として円弧状の断面形状の溝部を設けた金型と前記溝部の内側に偏心して配設される1個のロールを用いて、前記金属ガラスの縮径を行なうことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の金属ガラスの塑性成形方法。 Characterized in that using a single roll which is disposed eccentrically inside the mold having a groove of arcuate cross-sectional shape as the processing means and the groove, it performs diameter before Kikin genus glass metallic glass plastic forming method according to any one of claims 1 to 3. シリコーンオイルを貯留するタンクと、前記シリコーンオイル中に浸漬されてガラス遷移温度Tgが80〜200℃の金属ガラスを塑性成形する加工手段と、前記金属ガラスを前記タンク外から前記加工手段に装入する素材供給手段と、前記加工手段で塑性成形した低Tg金属ガラスを前記タンク外へ排出する取出し手段と、前記シリコーンオイルの温度をTg+5℃〜Tg+30℃の範囲内に保持するための油温調節手段と、を有することを特徴とする金属ガラスの塑性成形装置。 A tank for storing the silicone oil, the a processing unit for the glass transition temperature Tg is plastically molding the metallic glass of 80 to 200 ° C. is immersed in the silicone oil, the pre Kikin genus glass from outside the tank The raw material supply means to be charged into the processing means, the take-out means for discharging the low Tg metallic glass plastic-formed by the processing means to the outside of the tank, and the temperature of the silicone oil are kept in the range of Tg + 5 ° C. to Tg + 30 ° plastic forming device features and to Rukin genus glass that has a fluid temperature adjustment means, the for. 前記加工手段が1対のロールを有することを特徴とする請求項6に記載の金属ガラスの塑性成形装置。 It said processing means is plastic forming device of the metallic glass according to claim 6, characterized in that it comprises a pair of rolls. 前記加工手段が、円弧状の断面形状の溝部を設けた金型と、前記溝部の内側に偏心して配設される1個のロールと、を有することを特徴とする請求項6に記載の金属ガラスの塑性成形装置。 Gold according to claim 6, wherein the processing means is a die having a groove of arcuate cross-sectional shape, and one roll disposed eccentrically inside the groove, characterized in that it has a plastic molding apparatus of the genus glass.
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