JP5667344B2 - レーザー出射ユニット - Google Patents
レーザー出射ユニット Download PDFInfo
- Publication number
- JP5667344B2 JP5667344B2 JP2009012196A JP2009012196A JP5667344B2 JP 5667344 B2 JP5667344 B2 JP 5667344B2 JP 2009012196 A JP2009012196 A JP 2009012196A JP 2009012196 A JP2009012196 A JP 2009012196A JP 5667344 B2 JP5667344 B2 JP 5667344B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- laser
- workpiece
- visible light
- dielectric multilayer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 43
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 24
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 20
- 239000010408 film Substances 0.000 description 10
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 10
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 8
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 7
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 5
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 5
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 5
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 5
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 1
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 238000004043 dyeing Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000000869 ion-assisted deposition Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000010422 painting Methods 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Description
レーザー発生装置6から光軸CLに沿って入光したレーザー光4を、光学系5を介して被加工物Wの溶接点P2に集光すると共に更に設けられたモニター用光源61からの可視光3をレーザー光4の溶接点P2に集光するレーザー出射ユニットAにおいて、
入光面50a側からのレーザー光4の透過を許容するが、被加工物Wからの反射レーザー光4aを反射するレーザー反射層51が出光面50bに形成された誘電体多層膜ミラー50が光学系5に組み込まれており、
誘電体多層膜ミラー50の入光面50a又は出光面50bの少なくともいずれか一方が光軸CLに対して垂直に形成され、他方が傾斜するように形成され、
レーザー反射層51の出光面に、被加工物Wからの可視光3aの透過量或いは透過波長範囲を制限するハーフミラー層52が更に形成されていることを特徴とする。ここで、透過可視光を3b、反射された可視光を3cで表す。
CL …光軸
W …被加工物
P1 …垂直集光点
P2 …集光点又は溶接点
4 …レーザー光
4a …反射レーザー光
4b …溶接点からの可視光
5 …光学系
5a …第1レンズ
5b …第2レンズ
6 …レーザー発生装置
50 …誘電体多層膜ミラー
50a…入光面
50b…出光面
51 …レーザー反射層
52 …ハーフミラー層
500…第1誘電体多層膜ミラー
500a…入光面
500b…出光面
501…第2誘電体多層膜ミラー
501a…入光面
501b…出光面
Claims (2)
- レーザー発生装置から入光したレーザー光を、その光学系の光軸に沿って出射し、前記光軸と被加工物との交点からずれた被加工物の溶接点に集光すると共に更に設けられたモニター用光源からの可視光をレーザー光の溶接点に集光するレーザー出射ユニットにおいて、
入光面側からのレーザー光の透過を許容するが、被加工物からの反射レーザー光を反射するレーザー反射層が出光面に形成された誘電体多層膜ミラーが光学系に組み込まれており、
誘電体多層膜ミラーの入光面又は出光面の少なくともいずれか一方が光軸に対して垂直に形成され、他方が傾斜するように形成され、
レーザー反射層の出光面に、被加工物からの可視光の透過量或いは透過波長範囲を制限するハーフミラー層が更に形成されていることを特徴とするレーザー出射ユニット。 - レーザー光の透過を許容し、且つ入光面側からの可視光の透過を許容するが、被加工物側からの可視光の透過量或いは透過波長範囲を制限するハーフミラー層が出光面に形成された可視光用誘電体多層膜ミラーが更に光学系に組み込まれていることを特徴とする請求項1に記載のレーザー出射ユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009012196A JP5667344B2 (ja) | 2009-01-22 | 2009-01-22 | レーザー出射ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009012196A JP5667344B2 (ja) | 2009-01-22 | 2009-01-22 | レーザー出射ユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010167451A JP2010167451A (ja) | 2010-08-05 |
JP5667344B2 true JP5667344B2 (ja) | 2015-02-12 |
Family
ID=42700075
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009012196A Active JP5667344B2 (ja) | 2009-01-22 | 2009-01-22 | レーザー出射ユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5667344B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6495059B2 (ja) | 2015-03-18 | 2019-04-03 | 三菱重工業株式会社 | レーザアレイデバイス |
JP6643400B2 (ja) * | 2018-05-25 | 2020-02-12 | 株式会社アマダホールディングス | 加工ヘッド |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63144889A (ja) * | 1986-12-05 | 1988-06-17 | Nikon Corp | レ−ザ加工装置 |
JPH0970683A (ja) * | 1995-09-07 | 1997-03-18 | Kobe Steel Ltd | レーザ溶接装置 |
JP2000033489A (ja) * | 1998-07-22 | 2000-02-02 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ装置 |
JP4219174B2 (ja) * | 2003-01-07 | 2009-02-04 | 財団法人近畿高エネルギー加工技術研究所 | レーザ溶接方法 |
JP2006326629A (ja) * | 2005-05-25 | 2006-12-07 | Hoya Candeo Optronics株式会社 | レーザー加工装置およびそれを用いたレーザー加工方法 |
JP2008254006A (ja) * | 2007-04-02 | 2008-10-23 | Toshiba Corp | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
-
2009
- 2009-01-22 JP JP2009012196A patent/JP5667344B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010167451A (ja) | 2010-08-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8434938B2 (en) | Monitoring a temperature and/or temperature related parameters of an optical element | |
WO2007005415A3 (en) | Lpp euv light source drive laser system | |
JP2013503751A (ja) | 少なくとも5mmの周辺厚さを有するZnSレンズを備えるレーザー集束ヘッド、およびそのような集束ヘッドを用いた方法およびレーザー切削ユニット | |
Blomqvist et al. | All-in-quartz optics for low focal shifts | |
JP6091652B2 (ja) | 光加工ヘッド、光加工装置、その制御方法及び制御プログラム | |
JP2018520883A (ja) | レーザ加工ヘッド、および、レーザ加工ヘッドを備えたレーザ加工装置 | |
JP3007875B2 (ja) | レーザ出力検出方法とその装置並びに該方法を利用したレーザ出力制御方法とその装置 | |
KR100763974B1 (ko) | 중적외선 파면센서의 광축정렬 장치 및 그 방법 | |
JP5667344B2 (ja) | レーザー出射ユニット | |
RU2383416C1 (ru) | Устройство для лазерной обработки материалов | |
JP3038196B1 (ja) | レーザ光集光器 | |
KR100660111B1 (ko) | 광센서부 및 빔 제어수단을 구비한 레이저 가공장치 | |
JP4220707B2 (ja) | レーザ加工ヘッド | |
KR101435404B1 (ko) | 이중 파장 하이브리드 레이저 가공장치 및 가공방법 | |
JP2006045598A (ja) | 配管の残留応力改善装置 | |
JP2001191193A (ja) | レーザ装置 | |
JP5190421B2 (ja) | 小型熱レンズ補償加工ヘッド | |
JP7291501B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
TWI364889B (en) | Laser device and laser system using the same | |
JP3385214B2 (ja) | レーザ加工機の加工ヘッド | |
JP7064606B2 (ja) | レーザ加工システムの焦点位置を特定する装置、それを備えたレーザ加工システム、および、レーザ加工システムの焦点位置の特定方法 | |
JP2003285189A (ja) | レーザ加工装置 | |
JP2005077857A (ja) | 複数の焦点を有する顕微鏡、該顕微鏡を具備するレーザー加工装置および該装置を用いたレーザー加工方法 | |
CN219113159U (zh) | 一种匀化光斑焊接光学系统 | |
JP7157450B2 (ja) | レーザ加工装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120116 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130507 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130514 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130705 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131022 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131212 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140617 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140623 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141119 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141212 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5667344 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |