JP5633820B2 - カラーフィルタ及び液晶表示装置、並びに露光マスク - Google Patents
カラーフィルタ及び液晶表示装置、並びに露光マスク Download PDFInfo
- Publication number
- JP5633820B2 JP5633820B2 JP2011511325A JP2011511325A JP5633820B2 JP 5633820 B2 JP5633820 B2 JP 5633820B2 JP 2011511325 A JP2011511325 A JP 2011511325A JP 2011511325 A JP2011511325 A JP 2011511325A JP 5633820 B2 JP5633820 B2 JP 5633820B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- width
- color filter
- exposure
- shielding layer
- variation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 title claims description 26
- 239000011295 pitch Substances 0.000 claims description 48
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 34
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 30
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 24
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 18
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 3
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 1
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 239000001054 red pigment Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/003—Light absorbing elements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133514—Colour filters
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133512—Light shielding layers, e.g. black matrix
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133514—Colour filters
- G02F1/133516—Methods for their manufacture, e.g. printing, electro-deposition or photolithography
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1343—Electrodes
- G02F1/134309—Electrodes characterised by their geometrical arrangement
- G02F1/134336—Matrix
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
- G03F7/0007—Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/201—Filters in the form of arrays
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Geometry (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
実施例1に係る露光マスクは、図2に示す露光マスクの透過部の配列ピッチを−1.5μm〜+1.5μmの範囲で、0.05μm刻みでランダムにオフセットさせたものを用いた。尚、−1.5μm〜+1.5μmの範囲で0.05μm刻みの場合、変動量0μmも含めて61通りのオフセットが可能となるが、各通りのオフセットの発生頻度がほぼ同じとなるようにし、バラツキに偏りの生じないようにオフセットを実施した。
実施例2に係る露光マスクは、図3に示す露光マスクの透過部の全ての幅を−1.5μm〜+1.5μmの範囲で、0.05μm刻みでランダムに変動させた。尚、−1.5μm〜+1.5μmの範囲で0.05μm刻みの場合、線幅変動量0μmも含めて61通りのオフセットが可能となるが、各通りのオフセットの発生頻度がほぼ同じとなるようにし、バラツキに偏りの生じないようにオフセットを実施した。
実施例3に係る露光マスクは、図4に示す露光マスクの透過部の配列ピッチを−1.5μm〜+1.5μmの範囲で、0.05μm刻みでランダムにオフセットさせたものを用いた。尚、−1.5μm〜+1.5μmの範囲で0.05μm刻みの場合、変動量0μmも含めて61通りのオフセットが可能となる。ただし、ここでは、各通りのオフセットの発生頻度がほぼ同じとなり、バラツキに偏りの生じないようにオフセットを実施した。更に、露光マスクの透過部の全ての幅を−1.5μm〜+1.5μmの範囲で、0.05μm刻みでランダムに変動させた。尚、−1.5μm〜+1.5μmの範囲で0.05μm刻みの場合、線幅変動量0μmの場合も含めて61通りのオフセットが可能となるが、各通りのオフセットの発生頻度がほぼ同じとなるようにし、バラツキに偏りの生じないようにオフセットを実施した。
実施例4に係る露光マスクは、図5に示す露光マスクの透過部のピッチを3画素(約1mm)毎に配列ピッチを設計値から、図5のX軸方向における一方向に0.5μmずらしたものと、他方向に0.5μmずらしたものを交互に配列した。
実施例5に係る露光マスクは、図6に示す露光マスクの透過部の幅を基準値から0.5μm増やしたものと、逆に0.5μm減じさせたものを3画素(約1mm)毎に交互に配置した。
実施例6に係る露光マスクは、図2に示す露光マスクの透過部の配列ピッチを−1.5μm〜+1.5μmの範囲で、0.05μm刻みでランダムに変動させたものを用いた。尚、−1.5μm〜+1.5μmの範囲で0.05μm刻みの場合、変動量0μmも含めて61通りのオフセットが可能となるが、各通りオフセットの発生頻度がほぼ同じとなるようにし、バラツキに偏りの生じないようにオフセットを実施した。
実施例7に係る露光マスクは、図3に示す露光マスクの透過部の幅を全てのスリットパターンの線幅を−1.5μm〜+1.5μmの範囲で、0.05μm刻みでランダムに変動させた。尚、−1.5μm〜+1.5μmの範囲で0.05μm刻みの場合、線幅変動量0μmも含めて61通りのオフセットが可能となるが、各通りのオフセットの発生頻度がほぼ同じとなるようにし、バラツキに偏りの生じないようにオフセットを実施した。
実施例8に係る露光マスクは、図4に示す露光マスクの透過部の幅を全てのスリットパターンの線幅を−1.5μm〜+1.5μmの範囲で、0.05μm刻みでランダムに変動させた。尚、−1.5μm〜+1.5μmの範囲で0.05μm刻みの場合、線幅変動量0μmも含めて61通りのオフセットが可能となる。ただし、ここでは、各通りのオフセットの発生頻度がほぼ同じとなり、バラツキに偏りの生じないようにオフセットを実施した。更に、露光マスクの透過部の全ての幅を−1.5μm〜+1.5μmの範囲で、0.05μm刻みでランダムに変動させた。尚、−1.5μm〜+1.5μmの範囲で0.05μm刻みの場合、線幅変動量0μmの場合も含めて61通りのオフセットが可能となるが、各通りのオフセットの発生頻度がほぼ同じとなるようにし、バラツキに偏りの生じないようにオフセットを実施した。
実施例9に係る露光マスクは、図5に示す露光マスクの透過部を3画素(約1mm)毎に配列ピッチを、図5のX軸方向における一方向に0.5μmずらしたものと、他方向に0.5μmずらしたものを交互に配列した。
実施例10に係る露光マスクは、図6に示す露光マスクの透過部の幅を基準値から0.5μm増やしたものと、逆に0.5μm減じさせたものを3画素(約1mm)毎に交互に配置した。
2、12 基板
3、13 ブラックマトリクス
4、14 着色層
5、15 重なり部
8A〜8D、18 露光マスク
9、 透過部
10 液晶表示装置
16 対向基板
17 液晶
Claims (8)
- 第1の方向及びこれと直交する第2の方向に複数の画素が配列される液晶表示装置に用いられるカラーフィルタであって、
基板と、
前記基板の上に設けられる遮光層と、
少なくとも前記第1の方向において前記遮光層と部分的に重なる複数の着色層とを備え、
前記遮光層及び前記着色層の重なり部の前記第1の方向における幅が表示領域の全体に渡って変動し、かつ、前記重なり部の幅の変動程度が表示領域全体で一様であり、
スリット状に形成され光を透過する複数の透過部を有し、前記透過部の幅或いは隣接する前記透過部のピッチの少なくとも一方の寸法がランダムに異なる露光マスクを、複数の露光ヘッドの各々に装着して、前記基板全面に対して繰り返し露光を行うことによって、前記遮光層及び前記着色層の少なくとも一方が形成される、カラーフィルタ。 - 前記遮光層及び前記着色層の少なくとも一方の配列ピッチがランダムに異なることによって、前記重なり部の幅の変動程度が表示領域全体で一様である、請求項1に記載のカラーフィルタ。
- 前記遮光層及び着色層の少なくとも一方の幅がランダムに異なることによって、前記重なり部の幅の変動程度が表示領域全体で一様である、請求項1に記載のカラーフィルタ。
- 前記遮光層及び前記着色層の少なくとも一方の配列ピッチがランダムに異なり、かつ、前記遮光層及び前記着色層の少なくとも一方の幅がランダムに異なることによって、前記重なり部の幅の変動程度が表示領域全体で一様である、請求項1に記載のカラーフィルタ。
- 前記遮光層及び着色層の少なくとも一方の配列ピッチが3画素毎に異なることによって、前記重なり部の幅の変動程度が表示領域全体で一様である、請求項1に請求記載のカラーフィルタ。
- 前記遮光層及び着色層の少なくとも一方の幅が3画素毎に異なることによって、前記重なり部の幅の変動程度が表示領域全体で一様である、請求項1または5に記載のカラーフィルタ。
- 第1の方向及びこれと直交する第2の方向に複数の画素が配列される液晶表示装置であって、
カラーフィルタと、
前記カラーフィルタと対向する対向基板と、
前記カラーフィルタと前記対向基板との間に封入される液晶とを備え、
前記カラーフィルタは、
基板と、
前記基板の上に設けられる遮光層と、
少なくとも前記第1の方向において前記遮光層と部分的に重なる複数の着色層とを備え、
前記遮光層及び前記着色層の重なり部の前記第1の方向における幅が表示領域の全体に渡って変動し、かつ、前記重なり部の幅の変動程度が表示領域全体で一様であり、
スリット状に形成され光を透過する複数の透過部を有し、前記透過部の幅或いは隣接する前記透過部のピッチの少なくとも一方の寸法がランダムに異なる露光マスクを、行列状に配置された複数の露光ヘッドの各々に装着して、前記基板全面に対して繰り返し露光を行うことによって、前記遮光層及び前記着色層の少なくとも一方が形成される、液晶表示装置。 - 請求項1に記載のカラーフィルタを製造するために、行列状に配置された複数の露光ヘッドの各々に装着され、露光ヘッド下を移送される基板上の被露光領域に逐次的に露光することで、遮光層及び着色層の少なくとも一方を形成するための露光マスクであって、
スリット状に形成され、光を透過する複数の透過部を備え、
前記透過部の幅或いは隣接する透過部のピッチの少なくとも一方の寸法がランダムに異なる、露光マスク。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011511325A JP5633820B2 (ja) | 2009-04-30 | 2010-04-28 | カラーフィルタ及び液晶表示装置、並びに露光マスク |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009110489 | 2009-04-30 | ||
JP2009110489 | 2009-04-30 | ||
PCT/JP2010/003075 WO2010125825A1 (ja) | 2009-04-30 | 2010-04-28 | カラーフィルタ及び液晶表示装置、並びに露光マスク |
JP2011511325A JP5633820B2 (ja) | 2009-04-30 | 2010-04-28 | カラーフィルタ及び液晶表示装置、並びに露光マスク |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2010125825A1 JPWO2010125825A1 (ja) | 2012-10-25 |
JP5633820B2 true JP5633820B2 (ja) | 2014-12-03 |
Family
ID=43031981
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011511325A Expired - Fee Related JP5633820B2 (ja) | 2009-04-30 | 2010-04-28 | カラーフィルタ及び液晶表示装置、並びに露光マスク |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8605237B2 (ja) |
JP (1) | JP5633820B2 (ja) |
KR (1) | KR20120057567A (ja) |
CN (1) | CN102414603B (ja) |
TW (1) | TWI486644B (ja) |
WO (1) | WO2010125825A1 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2010125824A1 (ja) * | 2009-04-30 | 2012-10-25 | 凸版印刷株式会社 | 液晶表示装置 |
CN103189786B (zh) * | 2010-11-09 | 2016-01-06 | 夏普株式会社 | 液晶显示面板 |
JP5737495B2 (ja) * | 2010-12-28 | 2015-06-17 | 凸版印刷株式会社 | カラーフィルタの製造方法、及び当該カラーフィルタ |
CN102645693B (zh) * | 2012-04-20 | 2014-09-10 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 彩色滤光片及其制作方法 |
CN103869605B (zh) * | 2012-12-12 | 2017-08-08 | 上海仪电显示材料有限公司 | 制造滤光板用的掩模板、滤光板的形成方法、显示装置 |
US20160109751A1 (en) * | 2013-07-17 | 2016-04-21 | Sakai Display Products Corporation | Color Filter, Liquid Crystal Display Apparatus, and Method of Manufacturing Color Filter |
JP2015069119A (ja) | 2013-09-30 | 2015-04-13 | パナソニック液晶ディスプレイ株式会社 | 表示装置 |
CN103698931A (zh) * | 2013-12-19 | 2014-04-02 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 一种彩膜基板、其制作方法、液晶显示屏及显示装置 |
CN105093669B (zh) * | 2015-10-09 | 2018-09-25 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种彩膜基板及其制作方法、显示面板、显示装置 |
CN109613742A (zh) * | 2019-01-11 | 2019-04-12 | 惠科股份有限公司 | 彩色滤光模组及其制作方法以及显示面板 |
KR102361655B1 (ko) * | 2021-04-07 | 2022-02-14 | 부경대학교 산학협력단 | 잉크젯을 이용하여 색상 얼룩이 없는 디스플레이 패널 제조방법 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08136718A (ja) * | 1994-11-07 | 1996-05-31 | Hitachi Chem Co Ltd | カラーフィルタの製造法 |
JP2004252396A (ja) * | 2002-05-17 | 2004-09-09 | Optrex Corp | 光反射性構造体、その製造方法、フォトマスクおよび表示装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08136178A (ja) * | 1994-11-09 | 1996-05-31 | Sumitomo Light Metal Ind Ltd | 熱交換器用伝熱管及びその製造方法 |
KR100863164B1 (ko) | 2002-05-17 | 2008-10-13 | 옵트렉스 가부시키가이샤 | 광반사성 구조체, 그 제조방법 및 표시장치 |
KR101064189B1 (ko) * | 2004-08-03 | 2011-09-14 | 삼성전자주식회사 | 컬러필터 기판, 표시패널 및 이의 제조방법 |
JP5382899B2 (ja) | 2005-10-25 | 2014-01-08 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 露光装置 |
TW200823517A (en) * | 2006-11-21 | 2008-06-01 | Wintek Corp | Liquid crystal panel with uniform background color |
JP4971835B2 (ja) | 2007-03-02 | 2012-07-11 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 露光方法及び露光装置 |
-
2010
- 2010-04-28 JP JP2011511325A patent/JP5633820B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-04-28 WO PCT/JP2010/003075 patent/WO2010125825A1/ja active Application Filing
- 2010-04-28 KR KR1020117026802A patent/KR20120057567A/ko not_active Application Discontinuation
- 2010-04-28 CN CN201080019033.0A patent/CN102414603B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2010-04-28 US US13/138,928 patent/US8605237B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2010-04-30 TW TW099113830A patent/TWI486644B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08136718A (ja) * | 1994-11-07 | 1996-05-31 | Hitachi Chem Co Ltd | カラーフィルタの製造法 |
JP2004252396A (ja) * | 2002-05-17 | 2004-09-09 | Optrex Corp | 光反射性構造体、その製造方法、フォトマスクおよび表示装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2010125825A1 (ja) | 2012-10-25 |
TWI486644B (zh) | 2015-06-01 |
US20120038866A1 (en) | 2012-02-16 |
US8605237B2 (en) | 2013-12-10 |
TW201106025A (en) | 2011-02-16 |
CN102414603A (zh) | 2012-04-11 |
KR20120057567A (ko) | 2012-06-05 |
CN102414603B (zh) | 2014-08-20 |
WO2010125825A1 (ja) | 2010-11-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5633820B2 (ja) | カラーフィルタ及び液晶表示装置、並びに露光マスク | |
US8767324B2 (en) | Color filter substrate, display device, and exposure method | |
WO2010125824A1 (ja) | 液晶表示装置 | |
JPH09230124A (ja) | カラーフィルタ | |
JP5403286B2 (ja) | 露光方法、カラーフィルタの製造方法及び露光装置 | |
JP2008281919A (ja) | カラーフィルタ形成基板の作製方法およびカラーフィルタ形成基板 | |
WO2010098093A1 (ja) | カラーフィルタ及びカラーフィルタの製造方法 | |
US8698984B2 (en) | Color filter, liquid crystal display device, and color filter production method | |
TWI418952B (zh) | 曝光機台、圖案化薄膜的形成方法、圖案化光阻層的形成方法、主動元件陣列基板以及圖案化薄膜 | |
JP2007034250A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
JPH10115702A (ja) | 色ズレ量確認マーク付きカラーフィルター | |
WO2014132819A1 (ja) | カラーフィルタの製造方法及び液晶表示装置 | |
WO2016084232A1 (ja) | 液晶表示パネル、液晶表示装置、液晶表示パネルの製造方法 | |
KR20160034472A (ko) | 패턴 형성 방법 및 이를 이용한 표시 패널의 제조 방법 | |
JP4306385B2 (ja) | 液晶表示装置用基板 | |
KR20210052799A (ko) | 마스크, 마스크를 포함하는 패터닝 장치 및 표시 장치 | |
JP2012073420A (ja) | 表示装置の製造方法 | |
JP2012211952A (ja) | カラーフィルタ形成基板の作製方法と該作製方法により作製されたカラーフィルタ形成基板 | |
JP2009216762A (ja) | フォトマスク及びカラーフィルタの製造方法 | |
JP2009092973A (ja) | 積層フォトスペーサー付きカラーフィルタ | |
JP2011112699A (ja) | 着色層の形成方法、表示パネル用の基板の製造方法、表示パネルの製造方法 | |
JP2000298287A (ja) | 液晶表示装置 | |
JP2011112702A (ja) | 着色層の形成方法、表示パネル用の基板の製造方法、表示パネルの製造方法 | |
JP2010072299A (ja) | フォトマスク及びカラーフィルタの製造方法 | |
JPH0954208A (ja) | カラーフィルター基板およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130321 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140319 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140422 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140919 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141002 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5633820 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |