JP5601694B2 - 反射コーティングを備えたミラー要素を有する投影対物レンズ - Google Patents
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Description
波長λの放射線を物体面から像面へ結像するように配置された複数の要素を有する光学系であって、
該要素は、放射線経路に反射面が位置決めされたミラー要素を含み、
該ミラー要素のうち少なくとも1つは、該光学系の瞳面に、またはその付近に瞳ミラー面が配置された瞳ミラーであり、
該瞳ミラー以外の全てのミラーを含む残りのミラー要素のうち少なくとも1つは、残りのミラー全ての入射角範囲の最大値、および平均入射角の最大値のうち少なくとも1つが生じる位置にミラー面が配置された高負荷のミラーであり、
該瞳ミラー面が、種々の材料層の多層スタックを含む一次元的な漸変コーティングとして設計された反射コーティングによって形成され、該層が、第1勾配関数に応じて該コーティングの第1方向に変動するが該第1方向に垂直な第2方向では実質的に一定である幾何学的な層厚さを有し、
該高負荷のミラーの該ミラー面が、第2勾配関数に応じて漸変コーティングとして設計された反射ミラーコーティングで被覆されている
光学系である。
波長λの放射線を物体面から像面へ結像するように配置された複数の要素を有する光学系であって、
該要素は、放射線経路に反射面が位置決めされたミラー要素を含み、
該ミラー要素のうち少なくとも1つは、該光学系の瞳面に、またはその付近に瞳ミラー面が配置された瞳ミラーであり、
該瞳ミラー面が、種々の材料層の多層スタックを含む一次元的な漸変コーティングとして設計された反射コーティングによって形成され、該層が、第1勾配関数に応じて該コーティングの第1方向に変動するが該第1方向に垂直な第2方向では実質的に一定である幾何学的な層厚さを有する
光学系にも関する。
波長λの放射線を物体面から像面へ結像するように配置された複数の要素を有する光学系であって、
該要素は、放射線経路に反射面が位置決めされたミラー要素を含み、
該ミラー要素のうち少なくとも1つは、該光学系の瞳面に、またはその付近に瞳ミラー面が配置された瞳ミラーであり、
該瞳ミラー以外の全てのミラーを含む残りのミラー要素のうち少なくとも1つが高負荷のミラーであり、
該瞳ミラー面が、種々の材料層の多層スタックを含む一次元的な漸変コーティングとして設計された反射コーティングによって形成され、該層が、第1勾配関数に応じて該コーティングの第1方向に変動するが該第1方向に垂直な第2方向では実質的に一定である幾何学的な層厚さを有し、
該高負荷のミラーの該ミラー面が、第2勾配関数に応じて漸変コーティングとして設計された反射ミラーコーティングで被覆されている、
光学系にも関する。
波長λの放射線を物体面から像面へ結像するように配置された複数の要素を有する光学系であって、
該要素は、放射線経路に反射面が位置決めされたミラー要素を含み、
該要素のうち少なくとも1つは、該放射線の該経路中に回転非対称面が位置決めされた反射要素であり、
該回転非対称面が、単数または複数の場所にて最良適合の回転対称面から約λ以上だけ外れており、
少なくとも1つの反射面が、種々の材料層の多層スタックを含む漸変コーティングとして設計された反射コーティングによって形成され、該層が、勾配関数に応じて変動する幾何学的な層厚さを有する、
光学系が提供される。
Claims (16)
- 波長λの放射線を物体面から像面へ結像するように配置された複数の要素を有する光学系であって、
前記要素は、放射線経路に反射面が位置決めされたミラー要素からなり、
前記ミラー要素のうち少なくとも1つは、前記光学系の瞳面に、またはその付近に瞳ミラー面が配置された瞳ミラーであり、
前記瞳ミラー以外の全てのミラーを含む、残りのミラー要素のうち少なくとも1つは、残りのミラー全ての入射角範囲の最大値および平均入射角の最大値のうち少なくとも1つが生じる位置にミラー面が配置された高負荷のミラーであり、
前記瞳ミラー面が、種々の材料層の多層スタックを含む一次元的な漸変コーティングとして設計された反射コーティングによって形成され、前記層が、第1勾配関数に応じて前記コーティングの第1方向に変動するが前記第1方向に垂直な第2方向では実質的に一定である幾何学的な層厚さを有し、
前記高負荷のミラーの前記ミラー面が、第2勾配関数に応じて漸変コーティングとして設計された反射ミラーコーティングで被覆されており、
前記光学系が、EUV波長13nm<λ<14nm用に設計された純反射光学系であり、像側の開口数NAは0.3以上である、
光学系。 - 像側の開口数NAは0.3≦NA≦0.4である、請求項1記載の光学系。
- 前記複数の要素が子午面を規定し、前記第1方向が前記子午面内にある、および/または、前記要素が前記子午面に対して対称である、請求項1または2記載の光学系。
- 前記光学系を通る放射線経路が、反射面の各場所での光線の平均入射角θavgを特徴としており、
前記多層スタックの前記層の局所的な幾何学的層厚さが、前記平均入射角θavgに実質的に比例して前記第1方向に変動するように、前記第1勾配関数が前記瞳ミラー面での前記平均入射角θavgに適合される、請求項1〜3のいずれか1項記載の光学系。 - 前記瞳ミラー面の、前記第1方向での局所的反射率の絶対値がわずか30%だけ変動するように、前記第1勾配関数が適合される、請求項1〜4のいずれか1項記載の光学系。
- 前記第1勾配関数が一次関数である、請求項1または2記載の光学系。
- 前記多層の前記層の局所的な幾何学的層厚さが、前記瞳ミラーの一方の側から前記瞳ミラーの反対側へ前記第1方向に沿って単調に増加するように前記第1勾配関数が規定される、請求項1〜6のいずれか1項記載の光学系。
- 前記第1勾配関数が放物線関数である、請求項1または2記載の光学系。
- 前記高負荷のミラーの前記ミラーコーティングが、回転中心に対して対称な、回転対称の第2勾配関数に応じて設計されている、請求項1〜8のいずれか1項記載の光学系。
- 少なくとも1つのミラーが、均一な厚さのコーティングを有する、請求項1〜10のいずれか1項記載の光学系。
- 前記要素のうち少なくとも1つは、前記放射線の前記経路中に回転非対称面が位置決めされた反射要素であり、
前記回転非対称面が、単数または複数の場所にて最良適合の回転対称面からλ以上だけ外れている、請求項1〜11のいずれか1項記載の光学系。 - 回転非対称面を有する前記反射要素のうち少なくとも1つが、漸変コーティングで被覆された反射面を有する、請求項12記載の光学系。
- 分解能が1μm未満であるマイクロリソグラフィ用の投影対物系として構成された、請求項1〜13のいずれか1項記載の光学系。
- 主光源からの放射線を受けるように構成された、投影対物系の物体面内でパターンを照射するための照射系と、請求項1〜14のいずれか1項記載の光学系を有する投影対物系とを有する、マイクロリソグラフィで使用するための投影露光系。
- 半導体素子または別の種類のマイクロデバイスを加工するための方法であって、
所定のパターンを有するマスクを提供するステップと、
前記マスクを、所定の波長λの放射線で照射するステップと、
請求項1〜14のいずれか1項記載の光学系によって形成される投影対物系の像平面の近傍に配置された感光性基板上へ、前記パターンの像を投影するステップと
を有する方法。
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