JP5559962B2 - 燃料噴射弁及びノズルの加工方法 - Google Patents

Description

本発明は流体を噴射する噴射部に係り、特に筒内噴射式内燃機関に有効な燃料噴射弁の噴射部の表面あらさ及び加工方法に関する。

筒内噴射式内燃機関の燃料噴射弁では、エンジン内部に装着されているため高温度の燃焼ガスにさらされる。このため、燃料噴射弁の先端部には燃焼によって発生するカーボンなどが堆積しやすい。また、燃料中にはオイル，添加物，水分等の異物が混在しており、これらが作動中に燃料の噴射部に堆積する。以上のような堆積物はデポジットと呼ばれ、デポジットが噴射部に堆積してしまうと、いくら燃料噴射弁を高精度に構成したとしても、高精度な燃料噴射を行えなくなるという問題があった。

特に、複数個の噴射孔を有する燃料噴射弁の場合は噴射孔が小さくなるため、デポジットの影響が大きくなる。

このため、例えば特開平１０−１５９６８８号公報（特許文献１）では、表面あらさをＲｚ１ミクロン以下にした噴射孔表面に揮発性被覆膜を形成し、デポジットの付着抑制を向上させている。

一方、ノズルに複数の偏向した噴射孔を加工する方法として、特開２００６−２７２４８４号公報（特許文献２）に開示されている放電加工がある。特許文献２に開示されている偏向した細穴（噴射孔）の加工方法では、予め、ワークにレーザ加工で下穴を明けておき、下穴を画像処理で位置決めした後に細穴を放電加工している。

特開平１０−１５９６８８号公報 特開２００６−２７２４８４号公報

特開平１０−１５９６８８号公報においては、噴射孔（オリフィス）をドリルで加工しているため表面あらさが悪く、磨き加工で表面あらさをＲｚ１μｍ以下にしている。しかし、それでもデポジットが付着し、流量低下率が１０％以上になるため更に撥液処理を施している。しかし、上記従来技術では、ノズル先端面に凹部（開口部ともいう）を形成し、この凹部に噴射孔の出口を開口させることや、この凹部の表面あらさについては、配慮が無い。

また、磨き加工すると表面あらさは改善されるが、磨き加工によって噴射孔の形状や穴径が変化するため、噴射孔の形状や穴径の管理が難しくなる。

本発明は、以上のような課題を解決するため、オリフィスのみならず、オリフィスの噴射側開口部の表面あらさを向上させ、撥液処理を施すことなくデポジットの付着を防止することを目的とする。

また、プレス加工でオリフィス及び開口部を表面あらさ良く加工することにより、磨き加工が要らず、複雑な形状の噴射部でも形状，精度，表面あらさのばらつきが少なく、偏向した多数のオリフィスを生産性が良く、容易に安価に加工する方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため本発明では、オリフィスと、オリフィスの出口側につながり、前記オリフィスと段差を有する開口部とを有する噴射部において、噴射部内面の表面あらさを全てＲｚ２μｍにする。つまりオリフィスの内面及び開口部の内面全てを表面あらさＲｚ２μｍ以下にする。更にオリフィス内面と、前記オリフィスの中心軸と略垂直な前記開口部底面および前記開口部内周面とに結晶粒界によって形成される深さがレーザー式の非接触顕微鏡で測定して１.５μｍ以下の略網の目模様を有する。

また、プレス加工で開口部を表面あらさＲｚ０.２μｍ以下の塑性加工面に加工し、次に開口部の底面にプレス加工でオリフィスの表面あらさをＲｚ０.２μｍ以下の塑性加工面に加工する。更にノズルの耐磨耗性が必要な場合は焼入れ処理を施し、噴射部の表面あらさをＲｚ２μｍ以下に仕上げる。そして焼入れ処理の後の前記オリフィス内面と、前記オリフィスの中心軸と略垂直な前記開口部底面および前記開口部内周面とに結晶粒界によって形成される深さがレーザー式の非接触顕微鏡で測定して１.５μｍ以下の略網の目模様が形成されるように加工する。

本発明によれば、筒内噴射式内燃機関の燃料噴射弁でも特に複数個のオリフィス持つ燃料噴射弁のオリフィスと開口部の表面あらさをＲｚ２μｍ以下にすることにより、デポジットの付着を低減でき、耐久性の良い燃料噴射弁を提供できる。

また、プレス加工で開口部及びオリフィスを表面あらさ良く加工できるので、形状，精度，表面あらさのばらつきが少なく、生産性が良く，安価な設備で容易に安価に加工することができる。

以下、本発明の実施例を図面に基づき詳細に説明する。図１は、本発明の実施例による噴射弁の全体構成を示す縦断面図である。尚、本実施例の噴射弁は、ガソリン等の燃料を噴射する燃料噴射弁であり、自動車のエンジンに燃料を噴射するために用いられるものである。

噴射弁本体１は、コア２，ヨーク３，ハウジング４，可動子５からなる磁気回路，磁気回路を励磁するコイル６、及びコイル６に通電する端子部７から構成されている。コア２とハウジング４の間にはシールリング８が結合され、コイル６に燃料等の流体が流入するのを防いでいる。

ハウジング４の内部にはバルブ部品が収納され、可動子５，ノズルホルダ９，可動子５のストローク量を調整するリング１０が配置されている。可動子５は、弁体１１と可動コア１２をジョイント１３で結合したものであり、可動コア１２とジョイント１３の間にはパイプ１８と共同して可動子５が閉弁した時のバウンドを抑えるプレート１４を備えている。

外套部材を構成するハウジング４とノズルホルダ９は、可動子５の周囲を覆っている。ノズルホルダ９には、先端にシート面１５ａ（弁座）及びオリフィス５４〜５９を有するオリフィスプレート１５と、ガイドプレートＡ１６と共に可動子５を摺動可能にガイドするガイドプレートＢ１７とが設けられている。オリフィスプレート１５、及び、ガイドプレートＢ１７は、ノズルホルダ９に対して、それぞれ別体として構成されているものであってもよいし、これらを一体化して構成されているものでもよい。オリフィス５４〜５９はシート面１５ａ（弁座）の弁体１１と接するシート部の下流に入口側開口が形成されている。

コア２の内部には弁体１１をシート面１５ａにパイプ１８とプレート１４を介して押圧するスプリング１９，スプリング１９の押圧荷重を調整するアジャスタ２０，外部からのコンタミの進入を防ぐフィルター２１が配置されている。

次に、上記噴射弁本体１の動作について詳細に説明する。

コイル６に通電すると、可動子５がスプリング１９の付勢力に抗してコア２の方向に吸引され、可動子５の先端の弁シート部１１ａとシート面１５ａとの間に隙間ができる（開弁状態）。加圧されている燃料はまずコア２，アジャスタ２０，パイプ１８から可動子５内の燃料通路１３ａ経てノズルホルダ９内に入る。次にガイドプレートＡ１６の燃料通路１６ａ，ノズルホルダの通路９ａから、ガイドプレートＢの通路１７ａに入り、弁シート部１１ａとシート面１５ａの隙間からオリフィス５４〜５９を経て噴射される。オリフィス５４〜５９は、噴射弁の軸線に対して偏向した方向に、異なる角度で形成されている。

一方、コイル６の電流を遮断した場合には、可動子５の弁シート部１１ａがスプリング１９の力でシート面１５ａに当接し、閉弁状態となる。

次に、上記噴射弁本体１のオリフィスプレート１５及びオリフィス５４〜５９の構成について詳細に説明する。

図２，図３は本発明の一実施形態であって、図２はオリフィスプレート１５の斜視図であり、図３はオリフィスプレート１５の縦断面図である。

オリフィスプレート１５は、略円板状の金属製のプレートからなり、一端面の略中央部には、凸状の曲面部としての球面部３０が一体的に設けられており、球面部３０の反対側端面には、弁座を構成する段差を有する略円錐形状のシート面１５ａが設けられている。
この球面部３０には、燃料を噴射するためのオリフィス５４，５５，５６，５７，５８，５９が、ノズルの軸線に対して角度をもった方向、つまり、偏向した方向に異なる角度で形成されており、位置決め穴３１ａ，３１ｂ，３１ｃに対して決められた方向に配置されている。オリフィス５４〜５９の下流側となる球面部３０に開口する側には、段差を形成する略円形の開口部Ａ５４ａ，５５ａ，５６ａ，５７ａ，５８ａ，５９ａが設けられ、その上流側となるオリフィスと繋がる側には、開口部Ａよりも小径、かつ、略円形の開口部Ｂ５４ｂ，５５ｂ，５６ｂ，５７ｂ，５８ｂ，５９ｂが開口部Ａの底部に設けられているので、開口部は全体として２段の段差を有する凹部となっている。また、開口部Ａ及び開口部Ｂの底面はオリフィスの中心軸線と略直角な面となるように形成されており、これらの開口部Ａ及び開口部Ｂの中心軸線とオリフィスの中心軸線は、ほぼ一直線となるようになっている。尚、開口部Ａの深さは、オリフィスの長さよりも小さく、開口部Ｂの深さより小さくなっている。

オリフィス長さはペネトレーションの長さへの感度が大きいため、例えば、噴霧形状，加工性を考えてオリフィス５４の長さを最適に設定するためには、開口部Ｂ５４ｂの深さを適時変更すればよい。他のオリフィスについても同様である。開口部Ｂの深さを変えることによりオリフィスの長さを変えることができ、噴霧形状の最適化や、加工性を向上させることが可能となる。このため、オリフィス毎に開口部Ｂの少なくとも２つは、深さが異なっている。

以上の中でオリフィス，開口部Ａ，開口部Ｂが燃料の噴射部となり、各々の内面は表面あらさＲｚ２μｍ以下の塑性加工面に焼入れを施した加工面になっている。

次に、オリフィスプレート１５の加工方法，噴射部の表面あらさについて、図４〜図１９に基づいて説明する。

図４は、オリフィスプレート１５の一連の加工工程図である。図５は、開口部加工パンチの外観図である。図６は、オリフィス加工パンチの外観図である。図７は、ブランク１５′の縦断面図である。図８は、位置決め穴が形成されたオリフィスプレートの縦断面図である。図９は、開口部Ａが形成されたオリフィスプレートの縦断面図である。図１０は、開口部Ａ及び開口部Ｂが形成されたオリフィスプレートの縦断面図である。図１１は、開口部Ａ及び開口部Ｂ及びオリフィスが形成されたオリフィスプレートの縦断面図である。図１２は、シート面とキャビティ部を機械加工した断面図である。図１３は、シート面を研削加工で仕上げ加工した図である。図１４は、位置決め穴を加工している状態の図である。図１５は、開口部Ａを加工している状態の図である。図１６は、開口部Ｂを加工している状態の図である。図１７は、オリフィスを加工している状態の図である。図１８は、開口部Ａ及び開口部Ｂ及びオリフィスをプレス加工した表面状態を示すＳＥＭ写真である。図１９は、焼入れを施した後の開口部Ｂ及びオリフィスの表面状態を示すＳＥＭ写真である。

以下、オリフィスプレート１５の加工工程について、図４〜図１７に基づいて説明する。

図４はオリフィスプレート１５の一連の加工工程を示すもので、各工程におけるオリフィスプレート１５は図７〜図１１に示す形状になる。

まずプレス加工用のパンチについて説明する。図５は開口部加工用のパンチ４３，４４であり切り刃部４３ａ，４４ａの寸法を変えることで開口部Ａと開口部Ｂに対応している。切り刃部４３ａ，４４ａの先端には角Ｒ４３ｂ，４４ｂが設けられ、角Ｒにより材料の塑性流動性を良くして切り刃部の表面あらさを開口部に転写成形する。このため切り刃部は表面あらさＲｚ０.２μｍ以下の鏡面に磨き加工され、更に耐焼付き性を向上させるためにＴＩＮやＴＩＣＮなどのセラミックコーティングが施されている。

図６はオリフィス加工用のパンチ４５であり、切刃部４５ａは先端端面にテーパ部４５ｂ，先端角部に角Ｒ４５ｃを有し、ランド４５ｄは先端径より僅かに小径になっている。オリフィスは開口部に比べて小径深穴となるために材料の塑性流動性をより良くする必要があり、角Ｒ４５ｃに加えてテーパ部４５ｂを設け、切り刃部４５ａの表面あらさをオリフィスに転写成形する。更に、刃先部側面とオリフィス成形面との摩擦面を極力小さくして焼付きなどによる表面あらさの悪化を防止するため、ランド４５ｄは先端径より小さくしてオリフィス内面と擦れるのを防いでいる。また、開口部加工用パンチと同様に切刃部４５ａは表面あらさＲｚ０.２μｍ以下の鏡面に磨き加工され、更に耐焼付き性を向上させるためにＴＩＮやＴＩＣＮなどのセラミックコーティングが施されている。

オリフィスプレート１５の各加工工程は、図７に示すように、端面の略中央部に球面部３０を有した略円板状のブランク１５′を切削加工や塑性加工にて製作する。また、ブランク１５′における球面部３０の反対側端面には、椀状の凹部が形成されている。

次に噴射部をプレス加工する。この工程はブランク１５′をチャックしたまま、位置決め穴３１，開口部Ａ５４ａ〜５９ａ，開口部Ｂ５４ｂ〜５９ｂ，オリフィス５４〜５９を連続してプレス加工するものである。

図１４に示すように、球面部３０が形成されたブランク１５′をダイ４１の上面に設置し、外径をコレットチャック４２で強固に保持する。更に、ブランク１５′を保持したままパンチ４０の切り刃部４０ａで球面部３０の外周側を押圧し、位置決め穴３１ａを加工する。同様に位置決め穴３１ｂ，３１ｃを加工する。このように、ブランク１５′にプレス加工により位置決め穴３１ａ，３１ｂ，３１ｃを成形することで、図２と図８に示すような、球面部３０の外周側３箇所に位置決め穴３１ａ，３１ｂ，３１ｃを有するオリフィスプレート１５が得られる。

次に、図１５に示すように、オリフィスプレート１５をコレットチャック４２で保持したままの状態で、パンチ４３の切り刃部４３ａで球面部３０を押圧し、開口部Ａ５４ａを袋穴状に押出し加工する。同様に開口部Ａ５５ａ，５６ａ，５７ａ，５８ａ，５９ａを加工する。尚、開口部Ａの加工は、プレス加工するとともに表面を加工硬化させるものであってもよい。このように、オリフィスプレート１５にプレス加工により開口部Ａを成形することで、図９に示すような、球面部３０に開口部Ａの中心軸線とほぼ直角な面を有する表面あらさＲｚ０.２μｍ以下の開口部Ａが形成される。

次に、図１６に示すように、オリフィスプレート１５をコレットチャック４２で保持したままの状態で、開口部Ａを成形したパンチ４３と同じ方向からパンチ４４の切り刃部４４ａで開口部Ａ５４ａの底面を押圧し、開口部Ｂ５４ｂを袋穴状に押出し加工する。同様に開口部Ｂ５５ｂ，５６ｂ，５７ｂ，５８ｂ，５９ｂを加工するが、加工する順番はオリフィスの偏向方向により適時決定する。尚、開口部Ｂの加工は、プレス加工するとともに表面を加工硬化させるものであってもよい。このように、オリフィスプレート１５にプレス加工により開口部Ｂを成形することで、図１０に示すような、開口部Ａの底面に表面あらさＲｚ０.２μｍ以下の開口部Ｂを有するオリフィスプレート１５が得られる。

次に、図１７に示すように、オリフィスプレート１５をコレットチャック４２で保持したままの状態で、開口部Ｂ５４ｂの底面部に直角にパンチ４５の切り刃部４５ａを押圧し、オリフィス５４を袋穴状に押出し加工する。同様にオリフィス５５，５６，５７，５８，５９を加工するが、加工する順番はオリフィスの偏向方向により適時決定する。このように、オリフィスプレート１５にプレス加工によりオリフィスを成形することで、図１１に示すような、開口部Ｂの底面にオリフィスを有するオリフィスプレート１５が得られる。尚、オリフィスプレート１５は、コレットチャック４２で保持された状態であるため、位置決め穴を基準として開口部Ａ，開口部Ｂ，オリフィスの中心軸線がほぼ一直線となるように、位置精度良く加工される。また、オリフィスは、袋穴状にプレス加工することにより内面を全成形面に加工でき、破断面などがなく表面あらさＲｚ０.２μｍ以下にすることができる。

ここで、開口部Ａ，開口部Ｂをプレス加工するときに材料は１５ｂのように前方に押出されるため、オリフィス加工部の板厚をブランク時より厚くでき、破断面が発生するのを抑止することができる。

また、ブランクの板厚を薄く出来るため、オリフィス加工時の加工応力を低くすることができ、オリフィス精度の向上やパンチ寿命を向上することが出来る。

さらに、開口部Ａ，開口部Ｂを押出し加工することでオリフィス加工部が部分的に盛り上がるため（１５ｂ）、オリフィスを加工したときに隣接したオリフィスへの材料流動が緩和され、先に加工されたオリフィスが変形しにくく高精度に加工できる。

加えて、各々のオリフィスを袋穴状に加工しているため剛性が高く、隣接したオリフィスをプレス加工した際に既に加工したオリフィスが変形しにくく、高精度に加工することが出来る（打抜いてしまうとオリフィスの剛性が下がるため、隣の穴を打抜いた際に変形し易くなる）。

次に、図１２に示すようにキャビン１５ｄ，略円錐状のシート面１５ａ（弁座）を加工する。オリフィスを袋穴状に成形することによって球面部３０の反対側端面の凹部に形成された押出し部１５ｂは、キャビン１５ｄ，略円錐状のシート面１５ａ（弁座）を加工することで削除され、オリフィス５４〜５９が６ヶ同時にシート面１５ａ側に貫通する。このときの加工方法は切削加工、あるいは放電加工で行う。これによりオリフィスをプレス加工による全成形面で形成することが出来る。

図１８は焼入れ処理前の噴射部の外観を示すＳＥＭ写真である。開口部Ａ５４ａ，開口部Ｂ５４ｂ，オリフィス５４とも鏡面に加工されており、このときの噴射部内面の表面あらさはＲｚ０.２μｍ以下である。

次に可動弁５の衝突面となるシート面１５ａの耐磨耗性を向上させるために、オリフィスプレート１５に焼入れ処理を施し、例えばマルテンサイトステンレス鋼ＳＵＳ４２０Ｊ２材の場合ＨＲＣ５２〜５６の硬さにする。この時、オリフィスプレート１５はマルテンサイト変態により再結晶を起こし、開口部Ａ及び開口部Ｂ及びオリフィス内面の表面あらさはＲｚ２μｍ以下になる。

図１９は焼入れ処理を施した噴射部の外観ＳＥＭ写真であり、噴射部の表面には網の目模様のような結晶粒界がはっきり分る。噴射部の表面あらさはレーザ式の非接触顕微鏡で測定するとＲｚ２μｍ以下になるが、そのうち結晶粒界部分の深さが１〜１.５μｍである。また接触式の面あらさ測定器ではＲｚ０.５μｍ以下であり、結晶粒界の深さを測定できない。このため測定方法により噴射部の表面あらさが異なって表示される。本発明ではレーザ方式の非接触顕微鏡の値を用いている。

次に図１３に示すように、焼入れ後シート面１５ａを研削加工で仕上げ加工して、真円度，面あらさを向上させ、弁シート部１１ａとの間で油密性を向上させる。

最後にシート面仕上げ加工でオリフィスの上流側に発生したバリを取り除き、オリフィスプレートが完成する。このときのバリ取り方法は種々考えられるが、オリフィスが複数個あるため、ウォータージェットなどで一度にバリ取りするのが好ましい。

以上の工程で製作することにより、複数個の、しかも各々偏向角が異なるオリフィスと開口部を表面あらさＲｚ２μｍ以下で形状，精度，表面あらさのばらつきが少なく、生産性が良く、容易に安価に製作することが出来る。

このため、筒内噴射時に燃料が燃焼して生じるカーボン等のデポジットが開口部Ａ，開口部Ｂ、及びオリフィスへ付着することを低減でき、初期状態の性能を保ったままの耐久性の良い燃料噴射弁を提供することができる。

例えば、ガソリン車の実車走行試験において、放電加工によりオリフィス（表面あらさＲｚ５.５μｍ）を加工した開口部が１段であるオリフィスプレートを使用した燃料噴射弁は、３０,０００km走行後にデポジット等が開口部とオリフィスに付着し、流量が１５％低下することが実験的で明らかになっている。

一方本発明品は、放電加工品に比べて開口部Ａ、及び開口部Ｂ、及びオリフィスの表面あらさが良いため、デポジットの開口部Ａ、及び開口部Ｂ、及びオリフィスへの付着を低減でき、４２,０００km走行後の流量は変化しなかった。

また、ブランクをチャックしたまま位置決め穴，開口部Ａ，開口部Ｂ、及びオリフィスを加工することにより、噴射弁の軸線に対して偏向した複数個のオリフィスを位置合せを必要とすること無く、各工程で位置精度良く加工することができる。

また、本発明法によりオリフィスをプレス加工する方法は、放電加工でオリフィスを加工する方法と比べ、１穴当りの加工時間を１／３０程度に短縮できるため、設備投資を抑えることができ、安価なオリフィスプレートを提供することができる。

以上、本発明の実施例を具体的に説明したが、本発明はこれに限られることなく、発明思想の範囲内で種々の変更が可能である。例えば、上記実施例では開口部Ａが形成される領域を球面部３０として説明したが、球面以外の曲面状のもの（曲面部）であってもよい。また、開口部Ａをなくし、開口部Ｂだけの１段形状でも良い。

本発明の実施例を示す噴射弁の全体構成を示す縦断面図。 本発明の実施例を示すオリフィスプレートの斜視図。 本発明の実施例を示すオリフィスプレートの縦断面図。 本発明の実施例を示すオリフィスプレートの加工工程図。 本発明の実施例を示す開口部加工パンチの外観図。 本発明の実施例を示すオリフィス加工パンチの外観図。 本発明の実施例を示すオリフィスプレートブランクの縦断面図。 本発明の実施例を示す位置決め穴加工後の縦断面図。 本発明の実施例を示す開口部Ａ加工後の縦断面図。 本発明の実施例を示す開口部Ｂ加工後の縦断面図。 本発明の実施例を示すオリフィス加工後の縦断面図。 本発明の実施例を示すシート面荒加工後の縦断面図。 本発明の実施例を示すシート面仕上げ加工後の縦断面図。 本発明の実施例を示す位置決め穴プレス加工の縦断面図。 本発明の実施例を示す開口部Ａプレス加工の縦断面図。 本発明の実施例を示す開口部Ｂプレス加工の縦断面図。 本発明の実施例を示すオリフィスプレス加工の縦断面図。 本発明の実施例を示す開口部Ａ及び開口部Ｂ及びオリフィスをプレス加工した表面状態を示すＳＥＭ写真。 本発明の実施例を示す焼入れを施した後の開口部Ｂ及びオリフィスの表面状態を示すＳＥＭ写真。

符号の説明

１ 噴射弁本体
１５ オリフィスプレート
１５ａ シート面
３０ 球面部
３１ 位置決め穴
４０，４３，４４ パンチ
４１ ダイ
４２ コレットチャック
５４〜５９ オリフィス
５４ａ〜５９ａ 開口部Ａ
５４ｂ〜５９ｂ 開口部Ｂ

Claims (5)

1. 弁体が着座する弁座と、前記弁体が接する前記弁座のシート部の下流側に設けられたオリフィスと、前記オリフィスの出口側に前記オリフィスとつながり、前記オリフィスと段差を有する開口部とを有するノズルを備えた燃料噴射弁において、
   前記オリフィス内面と、前記オリフィスの中心軸と略垂直な前記開口部底面および前記開口部内周面とに結晶粒界によって形成される深さがレーザー式の非接触顕微鏡で測定して１.５μｍ以下の略網の目模様を有し、前記オリフィス内面と、前記オリフィスの中心軸と略垂直な前記開口部底面および前記開口部内周面の表面あらさをＲｚ２μｍ以下にしたことを特徴とする燃料噴射弁。
2. 請求項１に記載の燃料噴射弁において、前記開口部は１段、または２段であることを特徴とする燃料噴射弁。
3. 請求項１に記載の燃料噴射弁において、前記オリフィスは燃料噴射弁の軸線に対して各々別方向に偏向した複数個からなることを特徴とする燃料噴射弁。
4. 弁体が着座する弁座と、前記弁体が接する前記弁座のシート部の下流側に設けられたオリフィスと、前記オリフィスの噴射側に前記オリフィスとつながり、前記オリフィスと段差を有する開口部とを有するノズルの加工方法において、
   前記開口部をプレス加工で袋穴状の表面あらさＲｚ０.２μｍ以下の塑性加工面に加工し、
   前記開口部の底面に前記オリフィスをプレス加工で表面あらさＲｚ０.２μｍ以下の塑性加工面に加工し、
   前記ノズルに焼入れ処理を施して前記オリフィス内面と、前記オリフィスの中心軸と略垂直な前記開口部底面および前記開口部内周面の表面あらさをＲｚ２μｍ以下にし、前記焼入れ処理の後の前記オリフィス内面と、前記オリフィスの中心軸と略垂直な前記開口部底面および前記開口部内周面とに結晶粒界によって形成される深さがレーザー式の非接触顕微鏡で測定して１.５μｍ以下の略網の目模様が形成されることを特徴とするノズルの加工方法。
5. 請求項４に記載のノズルの加工方法において、前記ノズルは炭素量が０.２５％以上のマルテンサイト系ステンレス鋼であり、焼入れ後の硬さがＨＲＣ５２以上であることを特徴とするノズルの加工方法。

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