JP5534349B2 - pHセンサおよびpH測定方法 - Google Patents
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Description
つまり、前記ダイヤモンド表面を構成するダイヤモンドはsp3結合の結晶からなる炭素構造体が最も好ましいがsp2結合の結晶を含んでいても良い。sp2結合の結晶を含む場合、(sp3結合の結晶の含有量)/(sp2結合の結晶の含有量)の値が高い方が良い。
である。
2 ガラス電極(作用極)
3 被測定液
4 作用極
5 サーミスタ
10 ゲート
11 シリコンウェハ
12 ダイヤモンド薄膜(ダイヤモンド表面)
13 ドレイン
14 ソース
15 保護膜
21 ガラス膜
22 内部液
23 内部電極
23A 出力端子
41 基板
42 ゲート絶縁膜
43 ドレイン
44 ソース
45 保護膜
Claims (8)
- 参照極と、作用極とを備え、前記参照極および前記作用極の出力に基づいて被測定液のpHを測定するpHセンサにおいて、
前記参照極はpチャネル電界効果トランジスタにより構成され、
前記pチャネル電界効果トランジスタのゲートが水素イオン鈍感応終端を有するダイヤモンド表面として形成され、
前記ダイヤモンド表面は、水素終端の一部がフッ素終端に置換されたものである
ことを特徴とするpHセンサ。 - 前記ダイヤモンド表面が水素終端処理を施したアズ・グローンダイヤモンドにより構成される
ことを特徴とする請求項1に記載のpHセンサ。 - 前記ダイヤモンド表面を構成するsp3結合の結晶の含有量がsp2結合の結晶の含有量より多い
ことを特徴とする請求項1または2に記載のpHセンサ。 - 前記参照極の出力が、前記pチャネル電界効果トランジスタのソース電極の電位から得
られることを特徴とする請求項1に記載のpHセンサ。 - 前記作用極をガラス電極により構成した
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のpHセンサ。 - 前記作用極をゲートが水素イオン感応膜とされた電界効果トランジスタにより構成したことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のpHセンサ。
- 前記電界効果トランジスタの温度を検出する温度センサを備える
ことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のpHセンサ。 - 参照極および作用極に被測定液を接触させるステップと、
前記参照極および前記作用極の出力に基づいて前記被測定液のpHを測定するステップと、を備えるpH測定方法において、
前記参照極はpチャネル電界効果トランジスタにより構成され、
前記pチャネル電界効果トランジスタの前記ゲートが水素イオン鈍感応終端を有するダイヤモンド表面として形成され、
前記ダイヤモンド表面は、水素終端の一部がフッ素終端に置換されたものである
ことを特徴とするpH測定方法。
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