JP5506960B2 - 流体搬送装置 - Google Patents

Description

本発明は、流体搬送装置に関し、特に、騒音低減に関するものである。

従来から、流体（例えば、気体、極細径の液体等、油性材料等）を任意空間（室内、室外等）に搬送する手段が、流体搬送装置（例えば、渦輪搬送装置や空気砲）と称して存在する。この流体搬送装置は、振動板が設けられている専用駆動装置及び専用駆動装置を動作させる信号発生装置から構成されている。専用駆動装置は、振動板を振動（加振）させることで、圧力室内の当該流体を渦輪等の形態にして、離れたエリアに搬送させるものである。

振動板を振動させる振動手段としては、円筒形状部材の側面に金属線をコイル状に巻き付け、その円筒状部材の中心軸に磁石を配置（ソレノイド）するものが各種提案されている（例えば、特許文献１参照）。また、その他に、音響信号の再生用として一般的に流通しているスピーカを振動手段として流用するものが各種提案されている（例えば、特許文献２参照）。

このような振動手段は、振動板で発生する振動音（駆動音）や、振動板から伝達される振動で各部材から発生する振動音によって騒音（異音）を発生させることがある。

そこで、このような振動音を聞こえにくくする技術が各種提案されている。
このようなものとして、音楽（小鳥のさえずり、1/ｆのゆらぎ等）に含まれる低周波数成分の信号をローパスフィルターで抽出し、この抽出された信号を利用して振動板を振動させ、また、この音楽を専用駆動装置とは別体のスピーカから流すことで、振動音を聞こえにくくするという技術がある（例えば、特許文献３参照）。

また、専用駆動装置に渦輪等を搬送する駆動信号と、音響信号（音楽信号）を載せた直流バイアス信号と、を加算信号処理することで、同じスピーカから、渦輪搬送用の振動と、音楽を流す為の振動を同時に発生させるというものがある（例えば、特許文献４参照）。

一方、圧力室内に、整流板を設けて流体の乱流を制御して、安定的に渦輪を形成し搬送する技術も提案されている（例えば、特許文献３参照）。

また、専用駆動装置の異なる吹出口から同時、又は間隔をあけて渦輪を搬送することで、複数の場所、複数方向に渦輪を搬送する技術も提案されている（例えば、特許文献３参照）。

さらに、圧力室内に、香り成分を有する液体を散布する機構を設けて、圧力室内に散布された液体を搬送する技術も提案されている（例えば、特許文献５参照）。

特開２００７−２３７８０３号公報（７頁、８頁、第３図） 特許第３６７５２０３号公報（９頁、第２４図） 特開２０００−１７６３３９号公報（第６図、第８図） 特開２００４−８１７７０号公報 （２頁） 特開２００４−２９８６０７号公報（７頁、８頁、第３図）

特許文献１〜５に記載の技術では、所定量の渦輪を、所定方向に搬送する際に、特に振動板の余計な振動、また、その振動が専用駆動装置を構成する各部材に伝達されることによって、専用駆動装置から騒音が発生してしまっていた。

本発明は、以上のような課題を解決するためになされたもので、流体搬送装置から発生する騒音を低減することを目的としている。

本発明に係る流体搬送装置は、流体を渦輪形成して搬送する流体搬送装置において、流体の出入口である第１開口部が形成されている圧力室及び振動発生手段によって仕切られて圧力室の背面に形成される背面室を有する専用駆動装置と、振動発生手段に駆動信号を供給する信号発生手段と、を備え、振動発生手段は、駆動信号によって振動を発生する振動部と、振動部の振動により圧力室内の流体を振動させる振動板と、振動部の一部に取り付けられ、振動部を支持するフレームと、一端が固定支持され、他端が振動板の端部に取り付けられ、振動板の振動に伴い伸縮する支持部材と、で構成されており、支持部材が、屈曲している屈曲部及び屈曲部の一端に連続して形成され略円弧形状をしている楕円部を有し、駆動信号は、専用駆動装置に振動部が設けられている状態で測定される最低共振周波数をカットオフ周波数とし、カットオフ周波数より大きい周波数成分がフィルター処理されている。

本発明に係る流体搬送装置によれば、上記のような支持部材によって振動板が支持されているので、特に振動板の余計な振動、また、その振動が専用駆動装置を構成する各部材に伝達されることが低減されるので、騒音を低減することができる。

本発明の実施の形態１に係る流体搬送装置の概要構成例である。 図１に示す流体搬送装置の振動発生手段の構成例を説明するものである。 図１に示す流体搬送装置の振動板及び支持部材の一部の断面拡大図である。 図１に示す専用駆動装置の周波数特性及びインピーダンス特性を説明するものである。 図１に示す流体搬送装置の信号発生手段のブロック図である。 本発明の実施の形態２に係る流体搬送装置の概要構成例である。 図６に示す流体搬送装置のディップ特性を補正した場合の周波数特性を説明するものである。 本発明の実施の形態３に係る流体搬送装置の専用駆動装置に設けられている整流板の説明図である。 本発明の実施の形態４に係る流体搬送装置の専用駆動装置に形成されている開口部概要構成例である。 本発明の実施の形態５に係る流体搬送装置の専用駆動装置で油性材料を搬送する場合の概要構成例である。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
実施の形態１．
図１は、 本発明の実施の形態１に係る流体搬送装置１００の概要構成例である。図２は、図１に示す流体搬送装置１００の振動発生手段１０３（スピーカ装置）の構成例を説明するものである。図３は、図１に示す流体搬送装置１００の振動板１７及び支持部材１８の一部の断面拡大図である。なお、図１を含め、以下の図面では各構成部材の大きさの関係が実際のものとは異なる場合がある。

実施の形態１における流体搬送装置１００は、流体（例えば、気体、極細径の液体等、油性材料等）を渦輪として、流体搬送空間１（例えば、室内、室外等）に搬送するものである。

図１に示すように、本発明に係る流体搬送装置１００は、専用駆動装置１０１及び信号発生手段２００を有している。

専用駆動装置１０１は、少なくとも、固定部材部１０５及び振動発生手段１０３を有しており、これらは、専用駆動装置１０１の外部を構成する筐体１０１ａの内部に設けられている。なお、筐体１０１ａの形状は、特に、限定されるものではないが、例えば略箱形状等とするとよい。筐体１０１ａは、内部に各種部材を設けることができるような駆動室１０２を有する。

駆動室１０２は、図１に示すように、渦輪として搬送する流体が拡散される圧力室１０４及び振動発生手段１０３が設けられる背面室１０６とから構成されている。圧力室１０４及び背面室１０６は、固定部材部１０５、フレーム１９、支持部材１８及び振動板１７（つまり、後述する振動発生手段１０３の一部）によって仕切られている。したがって、圧力室１０４と背面室１０６との間には空気のつながりがないものとなっている。

圧力室１０４には、流体を専用駆動装置１０１外に搬送する第１開口部１１０が、１つ以上形成されている。なお、第１開口部１１０は、後述する振動板１７と対向する位置に形成するとよい。また、第１開口部１１０の開口形状は、円形等にするとよい。

また、背面室１０６には、背面室１０６と専用駆動装置１０１の外とが連通するように排気開口１２０が形成されている。なお、排気開口１２０の開口形状は、円形等にするとよい。

圧力室１０４は、振動発生手段１０３の前面側（第１開口部１１０が形成されている側）に位置している。そして、圧力室１０４は、渦輪搬送するための流体量に応じた所定容積を有している空間である。なお、圧力室１０４には、例えばアロマオイル等の浸食性のある流体が拡散される場合があるので、圧力室１０４をシリカ等の耐浸食性材料で皮膜処理するとよい。

背面室１０６は、振動発生手段１０３が設けられる所定容積を有している空間である。また、背面室１０６は、排気開口１２０を介して、専用駆動装置１０１の外と連通している。排気開口１２０は、後述する振動板１７の背面室１０６側に放射される振動（音）を逃がすために形成されている。なお、背面室１０６の壁面には、当該振動（音）を吸収する振動吸収部材を設けてもよいことは言うまでもない。

固定部材部１０５は、筐体１０１ａによって支持されており、後述するフレーム１９を、例えばネジ、接着剤（図示省略）等で固定するものである。なお、固定部材部１０５の端部は、筐体１０１ａと嵌合することで支持されていてもよいし、ネジ、接着剤（図示省略）によって固定されて支持されていてもよい。

振動発生手段１０３は、少なくとも、フレーム１９、支持部材１８、振動部３００及び振動板１７を有している。

フレーム１９は、平面視した際に、略ドーナツ形状をしている。フレーム１９は、図２に示すように、第１固定部１９ａと第２固定部１９ｂと、これらを接続するテーパー部１９ｃで構成されている。第１固定部１９ａの一端（第２固定部１９ｂ側でない方）は、下面で固定部材部１０５に固定され、また、上面には支持部材１８が取り付けられている（支持部材１８の取り付けられる場所は、当該上面に限定されるものではないが、流体搬送装置１００は、当該上面に取り付けられるものとして説明する）。第２固定部１９ｂは、磁気回路部１４をつり下げ支持する。

具体的には、テーパー部１９ｃの外周と第１固定部１９ａの内周とが接続され、テーパー部１９ｃの内周と第２固定部１９ｂの外周とが接続される。なお、フレーム１９を構成している第１固定部１９ａ、テーパー部１９ｃ及び第２固定部１９ｂが、一体形成されているものとして説明する。なお、第１固定部１９ａ、テーパー部１９ｃ及び第２固定部１９ｂが、それぞれ別体で、溶接接合などで接合されていてもよい。なお、第１固定部１９ａ及び第２固定部１９ｂを、例えば略ドーナツ形状の平板、テーパー部１９ｃを、例えば略リング形状とするとよい。

支持部材１８は、平面形状が、略ドーナツ形状をしており、保形部材部３３と伸縮部材部３４を接続して構成される。なお、支持部材１８は、後述する振動板１７に一端が、また、フレーム１９の第１固定部１９ａの上面に他端が支持されており、振動板１７の振動に伴って伸縮する。

保形部材部３３は、支持部材１８の形状性を保つための部材である。保形部材部３３は、第１固定部１９ａに取り付けられるフレーム接合部３３ａと、任意の角度θを有する屈曲部３３ｂ及び圧力室１０４側で突き出ている円弧部３３ｃと、から一体形成されている。

フレーム接合部３３ａは、第１固定部１９ａの上面に支持される部位である。屈曲部３３ｂは、図３に示すように、保形部材部３３が、任意の角度θで曲がっている部位である。つまり、屈曲部３３ｂは、フレーム接合部３３ａ及び円弧部３３ｃとを任意の角度θで接続するものである。また、円弧部３３ｃは、略円弧形状の部位である。

伸縮部材部３４は、振動板１７の動きを円滑に行わせるものである。伸縮部材部３４は、伸縮部３４ａ及び振動板接合部３４ｂから一体形成されている。また、図３に示すように、伸縮部３４ａの一端と円弧部３３ｃの一端は接続されている。

伸縮部３４ａは、振動板１７の振動に伴い、特に、伸縮する部材である。振動板接合部３４ｂは、振動板１７に取り付けられる部位である。円弧部３３ｃ及び伸縮部３４ａで構成される部分を楕円部３３ｄと定義する。なお、支持部材１８については、後ほど詳しく説明する。

振動部３００は、磁気回路部１４、ボビン部１６及びボイスコイル部１５とを有しており、供給される駆動信号によって振動し、その振動を振動板１７に伝達するものである。

磁気回路部１４は、図２に示すように、後述するボイスコイル部１５の外側面に隣接するように、設けられている。また、磁気回路部１４と後述するボビン挿入部１４ｂは、後述する板材１４ａの同一平面上に一体固定されている。なお、実施の形態１では、磁気回路部１４の磁気回路構造を外磁型のものとして説明するが、内磁型の構造としてもよい。

板材１４ａは、後述するボビン挿入部１４ｂ及び磁気回路部１４を固定する部材である。板材１４ａの形状は、円板形状をしているものとして説明するが、特に限定されるものではない。

ボビン挿入部１４ｂは、後述するボビン部１６の直径より小さい直径をしている円柱形状のヨークである。つまり、ボビン挿入部１４ｂには、磁気回路部１４から発生する磁場が導かれ、効率的にボイスコイル部１５を振動させることができるようにするものである。このボビン挿入部１４ｂは、磁気回路部１４の内側面に囲まれる位置に設けられており、板材１４ａによってその底面が固定されている。なお、ボビン挿入部１４ｂの形状は、特に、限定されるものではないが、上記のように円柱形状であるものとして説明する。

ボビン部１６は、ボビン１６ａ及び防振キャップ１６ｂを有している。ボビン１６ａは、略円筒形状の部材であり、側面に後述するボイスコイル部１５が巻きつけられている。また、防振キャップ１６ｂは、ボビン１６ａの天面に取り付けられている。ボビン１６ａの内側にはボビン挿入部１４ｂが挿入してある。ただし、ボビン１６ａとボビン挿入部１４ｂは、接触していないものとする。なお、ボビン部１６の形状は、特に、限定されるものではないが、上記のように略円筒形状であるものとして説明する。

防振キャップ１６ｂは、例えばＥＰＤＭ、粘性の高いブチル系ゴム材又はそれらを混錬して構成する部材である。したがって、防振キャップ１６ｂは、特に、高い周波数帯の振動をすみやかに減衰することが可能となっている（図４で詳しく説明する）。後述する振動板１７とボビン１６ａは、防振キャップ１６ｂを介して接続されている。なお、防振キャップ１６ｂの形状は、特に、限定されるものではないが、円板形状等でよい。

ボイスコイル部１５は、ボビン１６ａの外側面に巻きつけられて固定されているものである。また、ボイスコイル部１５は、後述する信号発生手段２００に信号線を介して接続されており、後述する信号発生手段２００からの伝送される駆動信号、外部音響信号処理部２０１から伝送される音響信号、に応じた電流が流れるようになっている。

振動板１７は、防振キャップ１６ｂを介して、ボビン１６ａに接続されている。振動板１７の形状は、円板形状であるものとして説明するが、コーン型、ドーム型等としてもよい。

ただし、振動板１７は、２ｍｍ以上の厚みを有するものであるものとする。これは、流体搬送装置１００では、振動板１７の振動振幅が５ｍｍ以上となる場合があるので、振動板１７が薄すぎると、振動板１７が変形してしまい渦輪を安定的に発生することができなくなってしまったり、振動板１７の一部分しか振動しない分割振動を引き起こし、渦輪を安定的に発生することができなくなってしまったりすることを避けるためである。

また、圧力室１０４の流体が高温（１００度以上）のスチームである場合やアロマオイル等の浸食性を有するものである場合があるので、振動板１７は、例えば耐熱性ポリプロピレン又はＡＢＳ材料等を基材とし、その基材の表面をシリカ等の耐浸食性材料で被膜して構成するものとする。

次に、支持部材１８（保形部材部３３及び伸縮部材部３４）について詳しく説明する。
保形部材部３３は、合成ゴム（例えば、エチレン−プロピレン−エンゴム（ＥＰＤＭ）等）で構成するとよい。これにより、保形部材部３３は、適度な弾性を有するために振動板１７の振幅量が大きくなっても破断することが抑制される。また上記合成ゴムは、耐摩耗性に優れている。さらに、上記合成ゴムは、耐侵食性（具体的には、耐油性、耐熱性、耐寒性、耐オゾン性、耐候性、耐酸性、耐アルカリ性等）に優れている。したがって、流体が、侵食性を有する成分を持っていても、侵食されて支持部材１８が破損してしまうことが抑制される。また、保形部材部３３は、振動板１７の振動によって、自身が変形しにくい程度の厚みで構成するものとする。

また、振動板１７と垂直な側断面において、保形部材部３３の屈曲部３３ｂの頂点から、楕円部３３ｄまでの長さが一番長くなる点を結んだ線分（図３上）を弦３６と定義する。この弦３６は、振動板１７の振幅量に応じた長さを有しており、例えば、１０ｍｍ以上とするとよい。これは、流体搬送装置１００が、所定量の渦輪を、所定方向に搬送するために、振動板１７の振幅を通常のスピーカの振動板より大きくする必要があるためである。

また、保形部材部３３は、振動板１７の振幅が大きい時（図３の下）にも、屈曲部３３ｂが座屈して潰れる事が無いように、形状維持ができるようになっている。よって、保形部材部３３の円弧部３３ｃが偏曲してフレーム１９よりも外側に飛び出してしまい、圧力室１０４の内壁などに接触する事で発生する騒音が低減される。また、振動板１７が大きく振幅する時に、フレーム１９と接触してしまうことが抑制されて、騒音が低減することは言うまでもない。

伸縮部材部３４は、少なくとも、上記と同等の合成ゴムと、減衰特性と粘性に優れるブチル系ゴム材を全体の２割程度混練して構成するとよい。これにより、振動板１７の振動を速く減衰させることができるので、振動板１７を前面側に駆動した後の振動板１７の振動前の位置（以下「元の位置」と呼ぶ）への戻りを早くすることができる。つまり、振動板１７の「元の位置」への戻りが遅いことが原因で、専用駆動装置１０１から空気が吸引されてしまい、それにより形成した渦輪が崩れてしまったり、搬送されなかったりすることが抑制できる（ブレーキング現象が抑制される）。ここで、振動板１７の「元の位置」（図３点線Ａ）とは、振動板１７が振動していない時の位置である。

なお、伸縮部材部３４の厚みは、保形部材部３３よりも薄く形成されているものとする。具体的には、伸縮部材部３４の厚みは、保形部材部３３の厚みの１／２以下とする。これにより、図３に示すように、振動板１７が前面方向へ大きく振動したときに、伸縮部材部３４が振動板１７の動きに追従しやすくなっている。

つまり、支持部材１８は、振動板１７を適切な位置に保持するだけでなく、振動板１７の余計な振動（渦輪形成に必要のない振動）をすみやかに低減させるようにしている。これにより、振動板１７から発生する騒音を低減することができる。また、支持部材１８自体は、合成ゴム（例えば、保形部材部３３がＥＰＤＭ、伸縮部材部３４がＥＰＤＭと２割のブチル系ゴム材）で構成しているので、振動減衰が速く、支持部材１８自体から発生する騒音を低減することができる。さらに、支持部材１８自体の振動減衰が速いので、この振動がその他の部材に伝達されにくくなり、他の部材から発生する騒音を低減することができるのは言うまでもない。

また、支持部材１８は、保形部材部３３を有しているので、少なくともフレーム１９及び圧力室１０４の内壁に接触することが抑制されて、騒音が低減される。

また、支持部材１８は、伸縮部材部３４を有しているので、振動板１７の「元の位置」への戻りが遅いことが原因で、専用駆動装置１０１から空気が吸引されてしまい、それにより形成した渦輪が崩れてしまったり、搬送されなかったりする（ブレーキング現象）ことが抑制される。

次に、ボイスコイル部１５及びボビン部１６について詳しく説明する。
ボイスコイル部１５は、信号発生手段２００に信号線（図示省略）を介して接続されており、信号発生手段２００から伝送されてくる駆動信号に応じた電流が流れるようになっている。ここで、駆動信号とは、専用駆動装置１０１で渦輪を形成して搬送するための信号をさし、後述する音響信号とは別の信号である。このようにして、ボイスコイル部１５は、電磁石となり、磁気回路部１４で発生する磁場と相互作用して得た力（磁気力）により、ボイスコイル部１５に巻き付けられているボビン部１６が振動し、この振動が防振キャップ１６ｂを介して後述する振動板１７に伝達されるようになっている。

このように、流体搬送装置１００は、ボイスコイル部１５によってボビン１６ａが振動し、それにより振動板１７が振動して渦輪を形成するようになっている。したがって、ボビン１６ａ自体の振動は必要なものである。しかし、ボビン１６ａの振動は、様々な周波数成分を有しており、特に、渦輪形成には必要のない高い周波数成分（余計な振動の原因）も有している。渦輪形成には必要のない高い周波数成分が余計な振動の原因となり、騒音を発生させてしまっている。

そこで、ボビン１６ａから振動板１７に騒音発生原因となる周波数成分を遮断（低減）するために、例えばＥＰＤＭや粘性の高いブチル系ゴム材で構成した防振キャップ１６ｂを介して、振動板１７とボビン１６ａを接続するようにしている。

図４は、図１に示す振動発生手段１０３のインピーダンス特性及び周波数特性を説明するものである。なお、図５の曲線Ａ、曲線Ｂにおいては、縦軸は（ｄｂ）、横軸は（Ｈｚ）で、曲線Ｃにおいては、縦軸はオーム、横軸は（Ｈｚ）である。曲線Ａは、専用駆動装置１０１に防振キャップ１６ｂが設けられていない場合の周波数特性を表している。曲線Ｂは、専用駆動装置１０１の周波数特性を表している。曲線Ｃは、専用駆動装置１０１のインピーダンス特性を表している。また、図４に示す防振キャップ１６ｂの防振性能は、上記したように防振キャップ１６ｂが振動発生手段１０３に設けられている状態で測定したものである。

流体搬送装置１００が、渦輪を搬送するにあたり、振動板１７をボビン１６ａの振動の低周波成分で、振動板１７を振動させることが理想的となっている。これは、振動板１７をボビン１６ａの振動の低周波成分で振動させることで、振動板１７の振幅が大きくなるので、流体搬送装置１００が、所定量の渦輪を、所定方向に搬送しやすくなるからである。

したがって、ボビン１６ａの振動の低周波成分以外（高周波成分）は、不要であるばかりか、騒音の原因となっている。これを受けて、ボビン１６ａの振動の内、高周波成分の振動は、防振キャップ１６ｂで遮断（低減）し、当該振動の低周波成分が主に振動板１７に伝達されるようにしている。

防振キャップ１６ｂによって機械的に遮断（低減）される振動の周波数成分について具体的に説明する。振動発生手段１０３を駆動室１０２の所定の位置に設置した状態（振動発生手段１０３単体の周波数特性ではない）で、専用駆動装置１０１（具体的には、第１開口部１１０）から放射される振動（音）を測定し（音圧測定）、この測定結果から、振動発生手段１０３（厳密には、専用駆動装置１０１）の周波数特性を得ることができる。この周波数特性の測定方法は、一般的な音響用スピーカの周波数特性を測定するときと同様に、ＪＩＳで規定されたものである。

図４の曲線Ａ及び曲線Ｂに示すように、防振キャップ１６ｂをボビン１６ａに取り付けることによって、専用駆動装置１０１から放射される振動の高周波成分が低減されていることがわかる。

上記高周波成分の振動は、曲線Ａに示すようにピークを有している。これらのピークは、ボビン１６ａ及び振動板１７の固有振動周波数（５００Ｈｚ〜３ｋＨｚに存在する）に相当する周波数帯であることがわかっており、防振キャップ１６ｂによって、確かに、そのピークが低減していることを確認できる。つまり、防振キャップ１６ｂによって、少なくともボビン１６ａ及び振動板１７の固有振動に相当する振動を低減することができるので、騒音を低減することができる。

なお、防振キャップ１６ｂで低減される騒音は、あくまで、少なくともボビン１６ａ及び振動板１７の固有振動に起因する振動の低減に関わるものである。一方、振動板１７はそもそも渦輪搬送のために振動するために、当該振動に起因する騒音が発生してしまう。当該振動は、低周波であって振幅が大きいので音圧が大きい上に、さらに、振幅が大きいので減衰に時間がかかるものである。換言すれば、騒音としての音量が大きい上に、発生時間が長いものであり、流体搬送装置１００から発生する騒音の中での割合が大きいものである。よって、流体搬送装置１００は、防振キャップ１６ｂで騒音を低減するだけでなく、支持部材１８で高効率に騒音を低減することができるようになっている。

図５は、図１に示す流体搬送装置１００の信号発生手段２００の説明図である。図５に基づいて、信号発生手段２００から供給される駆動信号に含まれる高周波成分の遮断（フィルター）について説明する。上記のように、支持部材１８及び防振キャップ１６ｂで機械的に振動を低減して騒音を低減する以外に、流体搬送装置１００は、信号発生手段２００にローパスフィルター部３０２を設けて、専用駆動装置１０１に入力する駆動信号の中で不必要な周波数成分を遮断（フィルター）する。

具体的には、ローパスフィルター部３０２で、カットオフ周波数より大きな周波数の駆動信号を遮断（フィルター）するようにしている。なお、カットオフ周波数とは、特に、この流体搬送装置１００において、専用駆動装置１０１の入力される駆動信号に含まれる様々な周波数帯の内、必要のない周波数帯の下限値に相当するものである。流体搬送装置１００においては、カットオフ周波数として、専用駆動装置１０１のインピーダンス測定から決まるＦ_０（最低共振周波数）を採用する。なお、最低共振周波数Ｆ_０とは、振動発生手段１０３を筐体１０１ａの内部に設置した状態でインピーダンス測定した結果得られる最低共振周波数Ｆ_０であるものとして説明している（つまり、振動発生手段１０３単体の測定ではない）。

専用駆動装置１０１のインピーダンス特性の測定から、専用駆動装置１０１のインピーダンスが最大となる最低共振周波数Ｆ_０を明らかにする。この最低共振周波数Ｆ_０は、専用駆動装置１０１の機械的な共振周波数に相当し、振動板１７が最も大きな振幅で振動する周波数である。

流体搬送装置１００は、所定量の渦輪を、所定方向に搬送する際には、振動板１７の振幅を大きくすることが必要となっている。したがって、この最低共振周波数Ｆ_０で振動板１７を振動させることで、流体搬送装置１００は、低騒音で、所定量の渦輪を所定方向に、搬送することができる。

この最低共振周波数Ｆ_０より大きい周波数成分（高周波成分）は、インピーダンスが小さいことから分かるように振動発生手段１０３の各種部材が分割振動していたり、そもそも高周波成分の振動の振幅は小さかったりするために、低騒音で、所定量の渦輪を所定方向に搬送するのには、不必要であるだけでなく、騒音の原因となってしまっている。

振動板１７を最低共振周波数Ｆ_０で振動させる時に、最も大きな振幅を得られると説明したが、この振幅をさらに大きくしたい場合は、ボイスコイル部１５に入力する駆動信号を図５に示すように、増幅器８００で適宜大きくすればよい（図１、図６、図８、図９及び図１０では図示省略）。

図１及び図５に基づいて、専用駆動装置１０１（振動発生手段１０３）の駆動信号について説明する。信号発生手段２００は、専用駆動装置１０１を駆動するための駆動信号を発振し、それをフィルター処理後に、適宜、増幅器８００で増幅して出力するものである。

信号発生手段２００は、図５に示すように、基本信号発振部３０１及びローパスフィルター部３０２を有している。

基本信号発振部３０１は、専用駆動装置１０１を駆動するための駆動信号を発振する部分である。以下、基本信号発振部３０１について詳しく説明する。
流体搬送装置１００の渦輪搬送には、振動発生手段１０３の振動板１７の前面側（振動板１７から第１開口部１１０に向かう側）への駆動だけを必要としている。従って、基本信号発振部３０１が発振する信号形態（波形）は、図５に示すような、「片波」の正弦波とすればよい。なお、この「片波」の正弦波は、正弦波を、適当なフィルター回路（図示省略）を通して生成すればよく、当該フィルター回路の回路構成は、特に、限定されるものではない。ここで、「片波」の正弦波である電源電圧の雑音は、当該フィルター処理の前に、差動アンプ（図示省略）等で適宜除去できるものであることも述べておく。

基本信号発振部３０１で発振する信号形態として、＋方向０Ｖ〜５Ｖ（振動板１７を前面側に駆動する電圧の極性を＋とする）Ｐｅａｋ−ｏ−Ｐｅａｋの直流バイアス電圧を用いてもよいが、当該直流バイアス電圧には、雑音（特に、直流バイアス電圧を供給する電源の雑音）が含まれている場合があり、この雑音によって、振動板１７が余計な振動をして騒音を発生させてしまう。

また、基本信号発振部３０１で発振する信号形態として、「両波」の正弦波を採用すると、振動板１７が背面側（振動板を背面側に駆動する電圧の極性を−とする）にも駆動することになる。これにより、振動板１７の前面側の振動により形成されて、進行方向（振動板１７から第１開口部１１０に向かう方向）に移動している渦輪が、振動板１７の背面側への駆動による外気吸引（負圧）によって、形が壊れてしまったり、推進力が低下してしまったりして、所定量の渦輪を、所定方向に搬送できなくなってしまう場合がある（ブレーキング現象）。

したがって、基本信号発振部３０１で発振する信号形態として、直流バイアス電圧及び「両波」の正弦波よりも、「片波」の正弦波の方が、振動板１７の振動方向を前面側だけに駆動させるので、所定量の渦輪を、所定方向に搬送するのに効果的であるといえる。従って、基本信号発振部３０１は、「片波」の正弦波を発振するものとして説明する。

次に、基本信号発振部３０１の発振時間及び発振間隔時間について説明する。図５に示すように、基本信号発振部３０１の発振時間は、０．００１秒前後であるものとする。これにより、振動板１７は、瞬時に前面側に振幅を行い、瞬時に振動板１７は、「元の位置」に戻る事となる。このように、基本信号発振部３０１の発振時間を０．００１秒前後とすることで、形成された渦輪にブレーキング現象が起こってしまうことを抑制することができる。なお、渦輪搬送のための渦輪の発振時間間隔は、渦輪を必要としているユーザが決定してもよい。

したがって、流体搬送装置１００は、振動板１７が伸縮部材部３４によって保持されていることと、基本信号発振部３０１が「片波」の正弦波を採用していることと、基本信号発振部３０１の発振時間Ｔは０．００１秒前後であるために、ブレーキング現象が起こってしまうことが抑制され、所定量の渦輪を、所定方向に搬送することができる。

ローパスフィルター部３０２は、基本信号発振部３０１及び後述する加算部２０２に接続されており、内部に設けられているフィルター回路によって、基本信号発振部３０１から受け取った駆動信号の高周波成分を遮断（フィルター）するものである。なお、当該フィルター回路から出力する駆動信号が弱い場合は、適宜増幅器８００に入力して増幅すればよい。ローパスフィルター部３０２から出力された駆動信号は、後述する加算部２０２に入力される。以下、ローパスフィルター部３０２の機能について詳しく説明する。

基本信号発振部３０１の発振時間は、０．００１秒前後（１ｋＨｚに相当）としているために、基本信号発振部３０１で発振される駆動信号が、少なくとも１ｋＨｚまでの高周波成分を含んでしまう。

流体搬送装置１００は、所定量の渦輪を、所定方向に搬送するためには、振動板１７の振幅が大きい必要があるので、振動板１７を低い周波数で振動させる必要がある。一方で、低い周波数で安定的に振動板１７を振動させるには、振動板１７の径を大きくする必要がある。しかし、振動板１７の口径を大きくすると、専用駆動装置１０１から空気が吸引されて、それにより形成した渦輪が崩れてしまったり、搬送されなかったりするブレーキング現象が顕著になってしまう。

よって、基本信号発振部３０１の発振時間Ｔを極力短くして（０．００１秒前後）、上記の問題を克服している。しかし、基本信号発振部３０１の発振時間Ｔを短くすると、今度は、基本信号発振部３０１で発振される駆動信号に不必要な高周波成分も重畳してしまう。

よって、流体搬送装置１００が、低騒音で、所定量の渦輪を、所定方向に搬送するためには、基本信号発振部３０１の高周波成分を遮断（フィルター）するが必要がある。ここで、専用駆動装置１０１は、上記で説明したように最低共振周波数Ｆ_０が、専用駆動装置１０１の機械的な共振周波数に相当し、振動板１７が最も大きな振幅で振動する周波数である。

したがって、基本信号発振部３０１の駆動信号の内、最低共振周波数Ｆ_０より大きな周波数成分は、ローパスフィルター部３０２で遮断（フィルター）するようにしている。詳細に言えば、流体搬送装置１００は、最低共振周波数Ｆ_０をカットオフ周波数と決定し、基本信号発振部３０１で発振される駆動信号の内、このカットオフ周波数より大きい周波数帯は不必要であるばかりか騒音の原因となってしまうので、ローパスフィルター部３０２で遮断（フィルター）するということである。

なお、ローパスフィルター部３０２は、基本信号発振部３０１から供給される駆動信号の内、最低共振周波数Ｆ_０を基本周波数として、−４８デシベル／オクターブで遮断（フィルター）するように構成するものとする。なお、「最低共振周波数Ｆ_０を基本周波数として、−４８デシベル／オクターブで遮断（フィルター）する」とは、最低共振周波数Ｆ_０での駆動信号に対して２Ｆ_０での駆動信号が４８ｄｂ小さくなっているということである。このように、駆動信号の遮断（フィルター）の割合を設定することで、専用駆動装置１０１に供給される駆動信号は、最低共振周波数Ｆ_０にピークを持つ低周波成分から構成されるものと実質的にみなしてもよいものとなる。従って、専用駆動装置１０１は、渦輪搬送に必要な最低共振周波数Ｆ_０にピークを持つ低周波成分で駆動し、所定量の渦輪を、所定方向に搬送することができる。

なお、ローパスフィルター部３０２で低減される騒音は、あくまで、駆動信号に重畳され、渦輪形成に必要のない、高周波成分を遮断して、低減されるものである。一方、振動板１７は、そもそも渦輪搬送のために振動するために、当該振動に起因する騒音が発生してしまう。当該振動は、低周波であって振幅が大きいので音圧が大きい上に、さらに、振幅が大きいので減衰に時間がかかるものである。換言すれば、騒音としての音量が大きい上に、発生時間が長いものであり、流体搬送装置１００から発生する騒音の中での割合が大きいものである。よって、流体搬送装置１００は、ローパスフィルター部３０２で騒音を低減するだけでなく、支持部材１８で高効率に騒音を低減することができるようになっている。

次に、本実施の形態１の流体搬送装置１００の効果について説明する。
流体搬送装置１００は、支持部材１８によって振動板１７が取り付けられており、振動板１７の余計な振動（渦輪形成に必要のない振動）がすみやかに低減させるので、流体搬送装置１００から発生する騒音が低減される。また、支持部材１８自体の振動減衰がすみやかであるので、支持部材１８自体の振動による騒音が低減され、流体搬送装置１００から発生する騒音が低減される。さらに、支持部材１８自体の振動減衰がすみやかであることから、当該振動が、その他の部材に伝達されにくくなり、他の部材から発生する騒音が低減され、流体搬送装置１００から発生する騒音が低減される。

また、支持部材１８は、特に、保形部材部３３を有しており、少なくともフレーム１９及び圧力室１０４の内壁に接触することが抑制され、流体搬送装置１００から発生する騒音が低減される。

また、流体搬送装置１００は、防振キャップ１６ｂを有しており、少なくともボビン１６ａ及び振動板１７の固有振動に対応する振動を低減するので、流体搬送装置１００から発生する騒音が低減される。

また、流体搬送装置１００は、ローパスフィルター部３０２を有しており、駆動信号の内、最低共振周波数Ｆ_０より大きい周波数成分が遮断（フィルター）されるので、流体搬送装置１００から発生する騒音を低減することができる。

また、流体搬送装置１００は、振動板１７が伸縮部材部３４によって保持されていることと、基本信号発振部３０１が「片波」の正弦波信号を採用していることと、基本信号発振部３０１の発振時間は０．００１秒前後であることにより、ブレーキング現象が起こってしまうことが抑制され、所定量の渦輪を、所定方向に搬送することができる。

さらに、流体搬送装置１００は、基本信号発振部３０１が、直流バイアス信号が重畳していない「片波」の正弦波信号を発振するようにしているので、振動板１７が適切に振動し、所定量の渦輪を、所定方向に搬送することができる。

実施の形態２．
図６は、本発明の実施の形態２に係る流体搬送装置１４０の概要構成例である。なお、本実施の形態２では、実施の形態１と同一部分には同一符号とし、実施の形態１との相違点を中心に説明するものとする。なお、本実施の形態２においては、基本信号発振部３０１が発振する信号を「渦輪形成信号」と呼ぶが、これは実施の形態１の駆動信号に相当するものである。

図６に示すように、流体搬送装置１４０は、後述する信号発生手段２００の渦輪形成信号（デジタル信号）と、後述する外部音響信号処理部２０１の音楽再生用のデジタル音響信号と、を後述する加算部２０２で加算処理し、専用駆動装置１０１に当該加算処理された信号を供給して、音楽再生と渦輪搬送を同時に行うようにするものである。

信号発生手段２００は、実施の形態１の基本信号発振部３０１とローパスフィルター部３０２の間に、渦輪形成信号（アナログ信号）を渦輪形成信号（デジタル信号）とするＡ／Ｄ変換部２０３が接続されている。

外部音響信号処理部２０１は、ユーザーにとって意味のある音を発振し、その音を専用駆動装置１０１で再生しても問題がないように信号処理（ミキシング処理、ディップ補正処理、フィルター処理）する機能を有するものである。外部音響信号処理部２０１は、音響信号再生機４００及び音場再生手段４０１を有している。

音響信号再生機４００は、後述する音場再生手段４０１に接続されている。音響信号再生機４００は、音（例えば、音楽、小鳥のさえずり、1/ｆのゆらぎを含む音、睡眠誘発や癒しのための意味のある音、テレビ音声、ラジオ音声等）をアナログ音響信号として、音場再生手段４０１に出力するものである。

音場再生手段４０１は、音響信号再生機４００に接続されている。音場再生手段４０１は、１つの振動発生手段１０３で、複数スピーカが設けられている音場と同等の音場を実現するためのミキシング処理、ディップ補正処理及びフィルター処理を行うものである。

つまり、音場再生手段４０１は、例えば２チャンネルのステレオ再生や５．１チャンネルのサラウンド再生等といったように、複数のスピーカに分けて再生する形態をとることで臨場感を出すようにしている音を、専用駆動装置１０１に設けられている振動発生手段１０３単体で再生しても、ユーザーが、不快でなかったり、違和感がなかったり、と聴覚が認識するような処理をする。

音場再生手段４０１の信号処理について説明すると、音響信号再生機４００から送信される複数チャンネルのアナログ音響信号を、音場再生手段４０１で、ミキシング処理するというものである。具体的に説明すると、５．１チャンネルのアナログ音響信号には、メインの右チャンネル、左チャンネルの２チャンネルのアナログ音響信号に、その他のチャンネルのアナログ音響信号が重畳しているが、音場再生手段４０１は、この複数チャンネルのアナログ音響信号をミキシング処理して、１つの信号（デジタル信号）として発振するということである。

図７は、図６に示す流体搬送装置１４０のディップ特性を補正した場合の周波数特性を説明するものである。専用駆動装置１０１に振動発生手段１０３が取り付けられている状態で、図４の説明でしたように、専用駆動装置１０１の周波数特性を測定して、後述するディップ補正処理をするために、音響信号を再生するスピーカとしての性能を調べておく。

ここで、専用駆動装置１０１のスピーカとしての性能を調べる理由を説明する。そもそも専用駆動装置１０１は、低騒音で、所定量の渦輪を所定方向に搬送するものであるので、専用駆動装置１０１にミキシング処理した音響信号を伝達しても、例えば圧力室１０４の容積、振動板１７の形状等が音楽再生に最適化されたものになっていないので、再生される音楽が、乱れていると聴覚に判断されてしまう場合があるからである（再生される音の周波数特性が乱れている）。

したがって、音場再生手段４０１は、音響信号再生機４００から送信されるアナログ音響信号を、ミキシング処理後に、任意のオクターブ帯域レベルでのディップ補正処理（イコライジング）を行う。これにより、音場再生手段４０１は、この音響信号の内、特に、聴感的な影響を与えやすい８００Ｈｚ〜４ｋＨｚの帯域のディップの補正処理をして、再生される音楽が乱れていると聴覚が判断しないようにする。図７に示すように、補正前の周波数特性のディップ（例えば、図７の矢印Ａ）が補正されていることを確認することができる。

また、背面室１０６と専用駆動装置１４１とを連通するように排気開口１２０が形成されているので、この排気開口１２０から放出される振動（音）が、回折して第１開口部１１０側に回りこみ、第１開口部１１０から放出される振動（音）と干渉する効果が顕著な場合は、それを含めてディップ補正処理を行えばよい。

また、音場再生手段４０１は、出力するデジタル音響信号の内、信号発生手段２００の渦輪形成信号（カットオフ周波数以下の低周波数帯域）に使用される周波数帯を、遮断（フィルター）するものとする。

次に、加算部２０２について説明する。
加算部２０２は、信号発生手段２００、外部音響信号処理部２０１及び専用駆動装置１０１のボイスコイル部１５に接続されている。

加算部２０２は、専用駆動装置１０１で渦輪形成するための渦輪形成信号（デジタル信号）と、専用駆動装置１０１で音楽を再生するためのデジタル音響信号を受け取って両デジタル信号を加算処理し、その後、復調処理によりアナログ信号に変換してボイスコイル部１５に送信するものである。

したがって、ボイスコイル部１５に、「片波」の正弦波であって最低共振周波数Ｆ_０より大きい周波数が遮断（フィルター）された渦輪搬送のための渦輪形成信号（デジタル信号）と、ミキシング処理、ディップ補正処理及び最低共振周波数Ｆ_０より小さい周波数成分のフィルター処理されたデジタル音響信号と、が加算部２０２に送信され、加算部２０２が両デジタル信号を加算処理した後に、アナログ信号に変換してボイスコイル部１５に送信するので、流体搬送装置１４０は、低騒音で、所定量の渦輪を所定方向に搬送できるだけでなく、乱れていると聴覚が判断しないような音楽再生を実現することができる。

また、流体搬送装置１４０は、外部音響信号処理部２０１の音響信号の低周波成分を利用して専用駆動装置１０１を駆動するのではなく、基本信号発振部３０１の渦輪形成信号で専用駆動装置１０１を駆動する。つまり、ボイスコイル部１５に供給される信号には、最低共振周波数Ｆ_０より小さい周波数帯からなる低周波成分が含まれるので、確実に振動板１７を振動させることができるので、所定量の渦輪を所定方向に搬送することができる。

実施の形態３．
図８は、本発明の実施の形態３に係る流体搬送装置１５０の専用駆動装置１５１に設けられている整流板６００の説明図である。なお、本実施の形態３では、実施の形態１と同一部分には同一符号とし、実施の形態１及び実施の形態２との相違点を中心に説明するものとする。
専用駆動装置１５１は、図８に示すように、第１開口部１１０の流体搬送空間１側に、後述する整流板６００を設けている。

整流板６００には、圧力室１０４と流体搬送空間１とを連通させる整流板開口部６０１が形成されている。この整流板開口部６０１は、整流板６００に１つ以上形成されている。この整流板開口部６０１の開口形状は、例えば略円形であるとよい。以下、整流板開口部６０１の開口形状は略円形であるものとして説明する。

ここで、整流板開口部６０１の直径は、１（ｍｍ）〜３（ｍｍ）であるとよい。また、整流板６００における整流板開口部６０１全体の開口率は、第１開口部１１０の開口面積の３０％〜６０％の範囲とするとよい。

専用駆動装置１５１は、整流板開口部６０１が形成されている整流板６００が設けられているので、圧力室１０４内の流体の流れが整流板６００で整流されてから、渦輪が流体搬送空間１に放出されるようになっている。

このように、整流板６００で整流されてから形成された渦輪は、流体搬送空間１において安定して存在し、専用駆動装置１５１は、所定量の渦輪を、所定方向に搬送することができる。

また、専用駆動装置１５１の第１開口部１１０は、整流板６００で一部が覆われており、圧力室１０４へユーザーの指が進入してしまうのを防ぎ、専用駆動装置１５１の安全性を高めることができる。また、整流板開口部６０１の直径は、１（ｍｍ）〜３（ｍｍ）としているので、ゴミ進入も防ぐことができる。

実施の形態４．
図９は、本発明の実施の形態４に係る流体搬送装置１６０の専用駆動装置１６１に形成されている第２開口部５００の概要構成例である。なお、本実施の形態４では、実施の形態１〜３と同一部分には同一符号とし、実施の形態１〜３との相違点を中心に説明するものとする。

専用駆動装置１６１は、図９に示すように、第１開口部１１０以外に、振動板１７と対向する面及び振動板１７と垂直な面に、圧力室１０４と流体搬送空間１を連通するように、第２開口部５００が複数形成されている。

なお、第２開口部５００は、開口形状が円形であるものとし、また、開口面積が第１開口部１１０の面積の１／３以下であるものとする。なお、図９では、第２開口部５００が４つ形成されている例を示しているが、第２開口部５００の数は、特に、限定されるものではない。また、第２開口部５００を形成する位置は、圧力室１０４と流体搬送空間１を連通するようになっていればよい。

これにより、専用駆動装置１６１は、第１開口部１１０だけでなく、第２開口部５００からも渦輪を搬送することができるようになっている。なお、専用駆動装置１６１においても、第２開口部５００に、整流板６００を設けて、圧力室１０４内の空気及び流体を整流してから渦輪を形成して搬送するようにしてもよいことは言うまでもない。

つまり、流体搬送装置１６０は、圧力室１０４と流体搬送空間１が連通するように第２開口部５００が１つ以上形成されているので、第１開口部１１０を複数形成するよりも、コストを抑えて、渦輪を同時に複数、複数方向に搬送することができる。また、流体搬送装置１６０の第２開口部５００の一部は、第１開口部１１０と垂直な面に形成されているので、渦輪同士が衝突してしまうことが抑制される。

実施の形態５．
図１０は、本発明の実施の形態５に係る流体搬送装置１７０の専用駆動装置１７１で油性材料を搬送する場合の概要構成例である。なお、本実施の形態５では、実施の形態１〜４と同一部分には同一符号とし、実施の形態１との相違点を中心に説明するものとする。

専用駆動装置１７１には、第１開口部１１０の流体搬送空間１側に脱着自在のアロマポット７００が設けられている。アロマポット７００は、アロマポット７００内に貯留されているアロマ液が気化した際に、第１開口部１１０で形成された渦輪に取り込まれやすいような位置に設けるとよい（例えば、第１開口部１１０の流体搬送空間１側の下方等）。

専用駆動装置１７１は、圧力室１０４内ではなく、流体搬送空間１で気化したアロマ液を渦輪として搬送するので、少なくとも専用駆動装置１７１の各種部材が浸食されてしまうことが抑制される。

なお、実施の形態３の流体搬送装置１５０、実施の形態４の流体搬送装置１６０及び実施の形態５の流体搬送装置１７０は、実施の形態２の外部音響信号処理部２０１及び加算部２０２を設けて、渦輪搬送と同時に音楽再生ができるような構成としてもよいことは言うまでもない。

なお、実施の形態１の流体搬送装置１００、実施の形態２の流体搬送装置１４０、実施の形態３の流体搬送装置１５０、実施の形態４の流体搬送装置１６０及び実施の形態５の流体搬送装置１７０は、流体である、気体、極細径の液体、油性材料はもちろんの事、高濃度生成した酸素なども搬送できることは言うまでもない。

１ 流体搬送空間、１４ 磁気回路部、１４ａ 板材、１４ｂ ボビン挿入部 １５ ボイスコイル部、１６ ボビン部、１６ａ ボビン、１６ｂ 防振キャップ、１７ 振動板、１８ 支持部材、１９ フレーム、１９ａ 第１固定部、１９ｂ 第２固定部、１９ｃ テーパー部、３３ 保形部材部、３３ａ フレーム接合部、３３ｂ 屈曲部、３３ｃ 円弧部、３３ｄ 楕円部、３４ 伸縮部材部、３４ａ 伸縮部 ３４ｂ 振動板接合部、３６ 弦、１００ 流体搬送装置、１０１ 専用駆動装置、１０１ａ 筐体、１０２ 駆動室、１０３ 振動発生手段、１０４ 圧力室、１０５ 固定部材部、１０６ 背面室、１１０ 第１開口部、１２０ 排気開口、１４０ 流体搬送装置、１５０ 流体搬送装置、１５１ 専用駆動装置、１６０ 流体搬送装置、１６１ 専用駆動装置、１７０ 流体搬送装置、１７１ 専用駆動装置、２００ 信号発生手段、２０１ 外部音響信号処理部、２０２ 加算部、２０３ Ａ／Ｄ変換部、３００ 振動部、３０１ 基本信号発振部、３０２ ローパスフィルター部、４００ 音響信号再生機、４０１ 音場再生手段、５００ 第２開口部、６００ 整流板、６０１ 整流板開口部、７００ アロマポット、８００ 増幅器。

Claims (11)

1. 流体を渦輪形成して搬送する流体搬送装置において、
   前記流体の出入口である第１開口部が形成されている圧力室及び振動発生手段によって仕切られて前記圧力室の背面に形成される背面室を有する専用駆動装置と、
   前記振動発生手段に駆動信号を供給する信号発生手段と、を備え、
   前記振動発生手段は、
   前記駆動信号によって振動を発生する振動部と、
   前記振動部の振動により前記圧力室内の前記流体を振動させる振動板と、
   前記振動部の一部に取り付けられ、前記振動部を支持するフレームと、
   一端が固定支持され、他端が前記振動板の端部に取り付けられ、前記振動板の振動に伴い伸縮する支持部材と、で構成されており、
   前記支持部材が、屈曲している屈曲部及び前記屈曲部の一端に連続して形成され略円弧形状をしている楕円部を有し、
   前記駆動信号は、
   前記専用駆動装置に前記振動部が設けられている状態で測定される最低共振周波数をカットオフ周波数とし、前記カットオフ周波数より大きい周波数成分がフィルター処理されている
   ことを特徴とする流体搬送装置。
2. 流体を渦輪形成して搬送する流体搬送装置において、
   前記流体の出入口である第１開口部が形成されている圧力室及び振動発生手段によって仕切られて前記圧力室の背面に形成される背面室を有する専用駆動装置と、
   前記振動発生手段に駆動信号を供給する信号発生手段と、を備え、
   前記振動発生手段は、
   前記駆動信号によって振動を発生する振動部と、
   前記振動部の振動により前記圧力室内の前記流体を振動させる振動板と、
   前記振動部の一部に取り付けられ、前記振動部を支持するフレームと、
   一端が固定支持され、他端が前記振動板の端部に取り付けられ、前記振動板の振動に伴い伸縮する支持部材と、で構成されており、
   前記支持部材が、屈曲している屈曲部及び前記屈曲部の一端に連続して形成され略円弧形状をしている楕円部を有し、
   前記駆動信号は、
   前記専用駆動装置に前記振動部が設けられている状態で測定される最低共振周波数をカットオフ周波数とし、前記カットオフ周波数より大きい周波数成分がフィルター処理されている渦輪形成信号と、
   １チャンネル以上から構成されている音を１つの信号にするミキシング処理、ディップ特性の補正処理、及び前記カットオフ周波数より小さい周波数帯を遮断する処理をこの順番でされた音響信号と、が加算処理されて構成され、渦輪形成と前記音再生が同時に行われる
   ことを特徴とする流体搬送装置。
3. 流体を渦輪形成して搬送する流体搬送装置において、
   前記流体の出入口である第１開口部が形成されている圧力室及び振動発生手段によって仕切られて前記圧力室の背面に形成される背面室を有する専用駆動装置と、
   前記振動発生手段に駆動信号を供給する信号発生手段と、を備え、
   前記振動発生手段は、
   前記駆動信号によって振動を発生する振動部と、
   前記振動部の振動により前記圧力室内の前記流体を振動させる振動板と、
   前記振動部の一部に取り付けられ、前記振動部を支持するフレームと、
   一端が固定支持され、他端が前記振動板の端部に取り付けられ、前記振動板の振動に伴い伸縮する支持部材と、で構成されており、
   前記支持部材が、屈曲している屈曲部及び前記屈曲部の一端に連続して形成され略円弧形状をしている楕円部を有し、
   前記振動部は、
   前記振動板に振動を伝達するボビン部と、前記ボビン部に巻きつけられ、前記駆動信号が供給されて磁気を帯びるボイスコイル部と、前記ボイスコイル部を振動させる磁場を発生する磁気回路部と、で構成され、
   前記ボビン部と前記振動板は、
   ＥＰＤＭ、粘性ブチル系ゴム材又はそれらを混錬して形成された防振キャップを介して接続されている
   ことを特徴とする流体搬送装置。
4. 流体を渦輪形成して搬送する流体搬送装置において、
   前記流体の出入口である第１開口部が形成されている圧力室及び振動発生手段によって仕切られて前記圧力室の背面に形成される背面室を有する専用駆動装置と、
   前記振動発生手段に駆動信号を供給する信号発生手段と、を備え、
   前記振動発生手段は、
   前記駆動信号によって振動を発生する振動部と、
   前記振動部の振動により前記圧力室内の前記流体を振動させる振動板と、
   前記振動部の一部に取り付けられ、前記振動部を支持するフレームと、
   一端が固定支持され、他端が前記振動板の端部に取り付けられ、前記振動板の振動に伴い伸縮する支持部材と、で構成されており、
   前記支持部材が、屈曲している屈曲部及び前記屈曲部の一端に連続して形成され略円弧形状をしている楕円部を有し、
   前記振動板の表面及び前記圧力室がシリカを有する耐侵食性材料で皮膜される
   ことを特徴とする流体搬送装置。
5. 流体を渦輪形成して搬送する流体搬送装置において、
   前記流体の出入口である第１開口部が形成されている圧力室及び振動発生手段によって仕切られて前記圧力室の背面に形成される背面室を有する専用駆動装置と、
   前記振動発生手段に駆動信号を供給する信号発生手段と、を備え、
   前記振動発生手段は、
   前記駆動信号によって振動を発生する振動部と、
   前記振動部の振動により前記圧力室内の前記流体を振動させる振動板と、
   前記振動部の一部に取り付けられ、前記振動部を支持するフレームと、
   一端が固定支持され、他端が前記振動板の端部に取り付けられ、前記振動板の振動に伴い伸縮する支持部材と、で構成されており、
   前記支持部材が、屈曲している屈曲部及び前記屈曲部の一端に連続して形成され略円弧形状をしている楕円部を有し、
   前記圧力室の外側であって前記第１開口部に隣接するように着脱自在のアロマポット部を装着できるようにした
   ことを特徴とする流体搬送装置。
6. 前記駆動信号は、
   時間長が略０．００１秒の片波処理された略正弦波となっている
   ことを特徴とする請求項１に記載の流体搬送装置。
7. 前記渦輪形成信号は、
   時間長が略０．００１秒の片波処理された略正弦波となっている
   ことを特徴とする請求項２に記載の流体搬送装置。
8. 前記振動板を、耐熱性ポリプロピレン、ＡＢＳ材料又はそれらを混錬して形成する
   ことを特徴とする請求項１〜７に記載の流体搬送装置。
9. 前記背面室には、前記背面室内の振動を逃がす排気開口が形成されている
   ことを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の流体搬送装置。
10. 前記流体が通過する整流板開口部を有する整流板が、前記圧力室の外側であって前記整流板開口部に面するように設けられ、
    前記整流板開口部は、
    直径が１つ当たり１ｍｍ〜３ｍｍで、前記整流板における前記整流板開口部全体の開口率が、前記第１開口部の開口面積の３０％〜６０％となるように形成されている
    ことを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の流体搬送装置。
11. 前記流体の出入口である第２開口部が、前記圧力室に少なくとも１つ以上形成され、
    前記第２開口部の１つ当たりの開口面積を、０より大きく、且つ、前記第１開口部の開口面積の１／３以下としている
    ことを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一項に記載の流体搬送装置。

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