JP5495356B2 - 物理量センサ - Google Patents
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Description
11 駆動部
12 検出部
20 検波回路
30 パルス生成回路
30A クロック生成回路
30a 三角波生成器
30b 比較器
30c 抵抗器
40 発振回路
41、42、43 インバータ
44 発振容量
45 定電圧回路
46 バイアス電圧生成回路
47 基準抵抗
48 比較器
49 電流制御素子
50 制御回路
60,60A,60B 増幅回路
60a 増幅率可変回路
61 スイッチトキャパシタ回路
61a スイッチ
61b コンデンサ
62 可変抵抗器
62a スイッチ
62b、62b 抵抗
63 伝達ゲート
63a スイッチ
63b、63c TOC
63d コンデンサ
64、65、66 スイッチ
67 フィルタコンデンサ
68 帰還抵抗
69 オペアンプ
70 中点電圧生成回路
80 駆動回路
100 調整回路
110 センサ回路
120 A/D変換回路
200 電源
S1 センサ素子出力
S2 検波出力
S3 クロック信号
S4 発振出力
S5 ディジタル入力
S6 センサ出力
Vdd 電源電圧
Vm 中点電圧
Vr バイアス電圧
Vreg 定電圧
Vref 電源電圧
以下図面1〜図3を用いて本発明の物理量センサとその周辺構成を説明する。図1は本発明の物理量センサの全体構成を示すブロック図である。
次に、図4面〜図6を用いて本発明の物理量センサの一実施形態を説明する。図4は本発明の物理量センサの一実施形態の全体構成を示すブロック図である。
まず、図4を用いて本発明の物理量センサの実施形態の全体構成について説明する。なお、ここでは、前記図1で示した構成図において、センサ回路110と調整回路100について示している。
次に、図6を用いて増幅回路60の構成例について説明する。図6に示す増幅回路60は、増幅率を可変とする回路構成としてスイッチトキャパシタ回路を備える例である。増幅回路60は、オペアンプ69を有する反転増幅回路の構成であり、オペアンプ69の出力端と入力端(反転入力端子)との間に、帰還抵抗68とフィルタコンデンサ67の並列接続を接続し、オペアンプ69の同入力端(反転入力端子)に入力抵抗としてスイッチトキャパシタ回路61を接続する。ここで、スイッチトキャパシタ回路61は、2接点を備えたスイッチ61aとコンデンサ61bによって構成される。
Re=1/(f・Cs)
で表現できる抵抗素子と等価の動作をする。なお、ここで、fはスイッチ61aの平均切り替え周波数、Csはコンデンサ61bの容量である。
次に、図7を用いて、電圧制御発振回路の例である発振回路40の構成について簡単に説明する。発振回路40はインバータ41〜43と、発振容量44と、定電圧源である定電圧回路45と、バイアス電圧生成回路46とで構成する。バイアス電圧生成回路46は、基準抵抗47と、比較器48と、電流制御素子49とで構成する。
fo∝f
∝1/(R・C)
となる。なお、Rは基準抵抗47の抵抗値であり、Cは発振容量44の容量値であり、記号∝は左辺が右辺に比例することを意味する。
次に、本発明の物理量センサの動作について説明する。
この状態で物理量センサに回転角速度を印加すると、回転角速度に応じた振幅をもつ交流信号がセンサ素子出力S1に現れる。このセンサ素子出力S1を検波回路20が検波し、所定の直流信号へと変換する。
K=−帰還抵抗値/入力抵抗値
=−Rf/Re
∝ Rf/(1/(Cs・fo))
∝ (Rf/R)・(Cs/C)
と表すことができる。
以下、図8,図9を用いて増幅回路の別の構成例について説明する。
上記した増幅回路の各構成例では、増幅率可変回路を1つのスイッチによって構成し、このスイッチをパルス生成回路30からのパルス変調信号で切り替えることによって増幅率を可変としている。このスイッチ構成は、1つのスイッチに限らず、2つのスイッチで構成することもできる。図10(a)は図6の61aで示した1つのスイッチ機構の構成例である。図10(a)はスイッチ64を2つの伝達ゲート(トランスミッションゲート)で構成する。2つの伝達ゲート(トランスミッションゲート)は、切り替え信号SWによって交互にオンオフすることで、コンデンサ61bへの充放電を行い、この信号切り替えを周波数によって調整することで、等価抵抗を形成する。
パルス生成回路30において、パルス幅(デューティー比)を可変とするパルス変調回路の構成例について図12,図13を用いて説明する。図12において、パルス生成回路30は、三角波生成器30aと、比較器30bと、抵抗器30cを備える。この抵抗器30cは、電源電圧を分圧出力するものであり、抵抗値とその分圧比とを任意に設定できる。比較器30bは、三角波生成器30aから発生した一定振幅値の三角波信号を抵抗器30cで設定した電圧値とを比較し、パルス信号を生成する。したがって、比較器30bは電源電圧に応じて変化しない一定振幅値の三角波信号と、電源電圧に応じて変化するしきい値電圧とを比較する。
Claims (11)
- 外部から印加された物理量を電気信号に変換して検出信号を出力するセンサ回路と、
前記センサ回路からの検出信号を所定の信号に調整する調整回路と、を有する物理量センサにおいて、
前記調整回路は、
この調整回路を駆動する電源電圧に基づいてパルス変調信号を生成するパルス生成回路と、
センサ回路からの検出信号を、パルス変調信号により増幅率を可変として増幅する増幅回路とを有し、
前記パルス生成回路は、
電源電圧に依存しない一定電圧を生成し、
電源電圧を前記生成した電源電圧に依存しない一定電圧と比較することによって、電源電圧に基づいてパルス周波数またはパルス幅を変調してパルス変調信号を生成し、
前記増幅回路は、入力抵抗回路と帰還抵抗回路の抵抗値比によって増幅率が定まる増幅器であり、
前記入力抵抗回路は、前記パルス生成回路で生成したパルス変調信号によって抵抗値を可変とする可変抵抗回路であり、当該入力抵抗回路の抵抗値を前記パルス変調信号により電源電圧に反比例するように可変とすることによって、前記増幅回路の増幅率を電源電圧に比例して変動させ、前記増幅回路から出力される出力信号の検出感度を前記電源電圧に応じて可変とすることを特徴とする、物理量センサ。 - 前記パルス生成回路は、電源電圧に基づいてパルス周波数を変調し、電源電圧に比例したパルス周波数のパルス変調信号を生成することを特徴とする、請求項1に記載の物理量センサ。
- 前記可変抵抗回路は、スイッチトキャパシタ回路で構成され、当該スイッチトキャパシタ回路のコンデンサに対するスイッチの切り替えを前記パルス変調信号で行うことにより等価抵抗を電源電圧に反比例して可変とすることを特徴とする、請求項2に記載の物理量センサ。
- 前記可変抵抗回路は、切り替え信号によって交互にオンオフする2つの伝達ゲートからなるスイッチをコンデンサを挟んで接続して構成され、当該2つのスイッチの切り替えを前記パルス変調信号で行ってコンデンサを充放電することにより等価抵抗を電源電圧に反比例して可変とすることを特徴とする、請求項2に記載の物理量センサ。
- 前記パルス生成回路は、発振回路を有するクロック生成回路で構成され、
前記発振回路は電源電圧に比例した周波数を出力する電圧制御発振回路であり、
前記クロック生成回路は、前記電圧制御発振回路により電源電圧に基づいてパルス周波数を変調し、電源電圧に比例したパルス周波数のクロック信号をパルス変調信号として生成することを特徴とする、請求項2に記載の物理量センサ。 - 前記電圧制御発振回路は、インバータと、前記インバータの出力端と接続する発振容量と、電源電圧に依存しない一定電圧を生成する定電圧回路と、 前記インバータの出力端にバイアス電圧を印加するバイアス電圧生成回路とを備え、
前記バイアス電圧生成回路は、
電源電圧を前記一定電圧と比較して、電源電圧に比例したバイアス電圧を生成し、
前記バイアス電圧により前記インバータの出力端に、電源電圧に比例した電流値を設定し、
前記発振容量の容量値と前記インバータに設定した電流値によって、電源電圧に比例した周波数を出力することを特徴とする請求項5に記載の物理量センサ。 - 前記パルス生成回路はコンデンサを備えた発振回路を有し、この発振回路の前記コンデンサは、前記増幅回路に設けたコンデンサと同一構造であることを特徴とする請求項1に記載の物理量センサ。
- 前記パルス生成回路は抵抗素子を備えた発振回路を有し、前記発振回路の前記抵抗素子は、前記増幅回路に設けた抵抗素子と同一構造であることを特徴とする請求項1に記載の物理量センサ。
- 前記パルス生成回路は、電源電圧に基づいてパルス幅を変調し、電源電圧に比例したパルス幅のパルス変調信号を生成することを特徴とする、請求項1に記載の物理量センサ。
- 前記可変抵抗回路は、抵抗とスイッチとの直列接続を含む構成であり、前記スイッチを前記パルス変調信号で断続することにより等価抵抗を前記パルス変調信号のパルス幅によって定め、電源電圧に反比例して可変とすることを特徴とする、請求項9に記載の物理量センサ。
- 前記パルス生成回路は、振幅が一定の三角波を所定のしきい値と比較し、当該しきい値に対する大あるいは小の期間でパルスを生成する回路であり、当該しきい値として電源電圧を用いることを特徴とする、請求項9に記載の物理量センサ。
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Families Citing this family (37)
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---|---|---|---|---|
JP5041122B2 (ja) * | 2006-04-27 | 2012-10-03 | セイコーエプソン株式会社 | 振動ジャイロセンサ |
JP5294228B2 (ja) * | 2006-09-27 | 2013-09-18 | シチズンホールディングス株式会社 | 物理量センサ |
JP4449972B2 (ja) | 2006-11-10 | 2010-04-14 | セイコーエプソン株式会社 | 検出装置、センサ及び電子機器 |
JP4211840B2 (ja) * | 2006-11-10 | 2009-01-21 | セイコーエプソン株式会社 | 検出装置、センサ及び電子機器 |
JP5182480B2 (ja) * | 2006-12-20 | 2013-04-17 | セイコーエプソン株式会社 | 振動ジャイロセンサ |
JP4450029B2 (ja) | 2007-07-24 | 2010-04-14 | セイコーエプソン株式会社 | 発振駆動回路、発振駆動装置、物理量測定回路、物理量測定装置および電子機器 |
JP2010075669A (ja) * | 2008-09-01 | 2010-04-08 | Panasonic Corp | 洗濯機 |
JP4821900B2 (ja) * | 2009-09-11 | 2011-11-24 | セイコーエプソン株式会社 | 検出装置、物理量測定装置及び電子機器 |
JP5083287B2 (ja) * | 2009-09-11 | 2012-11-28 | セイコーエプソン株式会社 | 検出装置、物理量測定装置及び電子機器 |
CN102753936B (zh) * | 2010-02-17 | 2015-11-25 | 株式会社村田制作所 | 振动型惯性力传感器 |
DE102010010409A1 (de) * | 2010-03-05 | 2011-09-08 | Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft | Verfahren zum Betreiben einer Energiespeicheranordnung und Energiespeicheranordnung |
JP5717376B2 (ja) * | 2010-03-31 | 2015-05-13 | シチズンホールディングス株式会社 | 物理量センサ |
CN101819047B (zh) * | 2010-04-13 | 2012-01-25 | 浙江大学 | 一种评测光纤陀螺电源敏感性的装置及方法 |
JP5548531B2 (ja) * | 2010-06-17 | 2014-07-16 | アズビル株式会社 | デュアル物理量センサ |
DE102010030843A1 (de) * | 2010-07-02 | 2012-01-05 | Robert Bosch Gmbh | Temperaturerfassungsvorrichtung mit einer Diode und einem Analog-Digital-Wandler |
JP5638419B2 (ja) | 2011-02-25 | 2014-12-10 | セイコーエプソン株式会社 | 信号処理回路、物理量検出装置、角速度検出装置、集積回路装置及び電子機器 |
JP5975601B2 (ja) * | 2011-02-25 | 2016-08-23 | セイコーエプソン株式会社 | 検出回路、物理量検出装置、角速度検出装置、集積回路装置及び電子機器 |
JP5752441B2 (ja) * | 2011-02-25 | 2015-07-22 | セイコーエプソン株式会社 | 駆動回路、物理量検出装置、角速度検出装置、集積回路装置及び電子機器 |
US9525925B2 (en) | 2011-02-25 | 2016-12-20 | Infineon Technologies Ag | Sensor with movable part and biasing |
US9310240B2 (en) * | 2011-03-22 | 2016-04-12 | Seiko Epson Corporation | Circuit device, integrated circuit and detection device |
JP2012202872A (ja) * | 2011-03-25 | 2012-10-22 | Toshiba Corp | センサ制御回路およびセンサシステム |
US9735673B2 (en) * | 2011-03-30 | 2017-08-15 | Infineon Technologies Ag | Burst-mode operation of a switching converter |
JP2013046496A (ja) * | 2011-08-24 | 2013-03-04 | Fujitsu Semiconductor Ltd | 制御回路、電源装置及び電源の制御方法 |
CN103472277A (zh) * | 2013-09-12 | 2013-12-25 | 昆山新金福精密电子有限公司 | 一种电压表电路 |
DE102013113053B4 (de) * | 2013-11-26 | 2019-03-28 | Schott Ag | Treiberschaltung mit einer Halbleiterlichtquelle sowie Verfahren zum Betrieb einer Treiberschaltung |
CN104848847B (zh) * | 2014-02-19 | 2017-11-03 | 无锡华润上华科技有限公司 | 一种陀螺仪传感器控制电路和电子装置 |
JP6299322B2 (ja) * | 2014-03-25 | 2018-03-28 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量検出センサー、電子機器、移動体および電子回路 |
FR3020680B1 (fr) * | 2014-05-02 | 2017-11-24 | Michelin & Cie | Systeme d'evaluation de l'etat d'un pneumatique |
US9374101B2 (en) * | 2014-10-21 | 2016-06-21 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Sensor device including high-resolution analog to digital converter |
FR3030744A1 (fr) * | 2014-12-17 | 2016-06-24 | Michelin & Cie | Systeme d'evaluation de l'etat d'un pneumatique |
FR3030374B1 (fr) | 2014-12-17 | 2017-01-13 | Michelin & Cie | Procede de detection et d'alerte de l'etat de sous-gonflage d'un pneumatique |
JP6455174B2 (ja) * | 2015-01-22 | 2019-01-23 | セイコーエプソン株式会社 | 回路装置、電子機器、移動体及び物理量検出装置の製造方法 |
CN104567850B (zh) * | 2015-02-02 | 2018-02-09 | 杭州士兰微电子股份有限公司 | 相移电路及其控制方法、以及mems陀螺仪驱动电路 |
KR101650012B1 (ko) * | 2015-06-22 | 2016-08-22 | (주)엘센 | 센서 장치 및 센싱 방법 |
CN106052844B (zh) * | 2016-05-19 | 2019-11-05 | 杭州电子科技大学 | 一种基于外部中断的振动信号调理电路 |
JP6805188B2 (ja) * | 2018-01-26 | 2020-12-23 | 株式会社東芝 | 検出器 |
CN111380605B (zh) * | 2020-05-19 | 2024-07-23 | 中国工程物理研究院总体工程研究所 | 一种基于iepe适调器测量振动速度的传感器信号调理电路 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61154213A (ja) * | 1984-12-26 | 1986-07-12 | Nec Corp | 逆相一次ハイパスフイルタ回路 |
JPH01253657A (ja) * | 1988-04-01 | 1989-10-09 | Hitachi Ltd | 加速度センサ |
JPH01265710A (ja) * | 1988-04-18 | 1989-10-23 | Nec Corp | スイッチトキャパシタ型オートボリウム回路 |
JPH057117A (ja) * | 1991-06-18 | 1993-01-14 | Fujitsu Ltd | ハイパスフイルタ型自動利得制御増幅器 |
JPH0946150A (ja) * | 1995-07-27 | 1997-02-14 | At & T Ipm Corp | ゲイン選択技術 |
JP2000114896A (ja) * | 1998-10-07 | 2000-04-21 | Nec Corp | 利得制御回路及びその制御方法 |
JP2001227983A (ja) * | 1999-12-23 | 2001-08-24 | Texas Instr Inc <Ti> | 信号処理回路 |
JP2002335144A (ja) * | 2001-05-08 | 2002-11-22 | Fujitsu Ltd | スイッチド・キャパシタ・フィルタ回路 |
JP2004053396A (ja) * | 2002-07-19 | 2004-02-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサおよびそれを用いた自動車 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4932261A (en) * | 1988-06-20 | 1990-06-12 | Triton Technologies, Inc. | Micro-machined accelerometer with tilt compensation |
US5365768A (en) * | 1989-07-20 | 1994-11-22 | Hitachi, Ltd. | Sensor |
US5006487A (en) * | 1989-07-27 | 1991-04-09 | Honeywell Inc. | Method of making an electrostatic silicon accelerometer |
EP0459723B1 (en) * | 1990-05-30 | 1996-01-17 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor acceleration sensor and vehicle control system using the same |
FR2689627B1 (fr) * | 1992-04-07 | 1997-06-20 | Sextant Avionique | Perfectionnement aux micro-capteurs pendulaires asservis. |
EP0590658A1 (fr) * | 1992-10-02 | 1994-04-06 | CSEM, Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique S.A. | Dispositif de mesure d'une force |
JP3216455B2 (ja) * | 1994-12-22 | 2001-10-09 | 株式会社村田製作所 | 容量型静電サーボ加速度センサ |
DE19806752B4 (de) * | 1998-02-18 | 2004-03-25 | Conti Temic Microelectronic Gmbh | Offsetregelung |
JP3514240B2 (ja) * | 2001-02-19 | 2004-03-31 | 株式会社村田製作所 | 加速度センサ |
US7287429B2 (en) * | 2004-03-25 | 2007-10-30 | Denso Corporation | Capacitive acceleration sensor system |
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61154213A (ja) * | 1984-12-26 | 1986-07-12 | Nec Corp | 逆相一次ハイパスフイルタ回路 |
JPH01253657A (ja) * | 1988-04-01 | 1989-10-09 | Hitachi Ltd | 加速度センサ |
JPH01265710A (ja) * | 1988-04-18 | 1989-10-23 | Nec Corp | スイッチトキャパシタ型オートボリウム回路 |
JPH057117A (ja) * | 1991-06-18 | 1993-01-14 | Fujitsu Ltd | ハイパスフイルタ型自動利得制御増幅器 |
JPH0946150A (ja) * | 1995-07-27 | 1997-02-14 | At & T Ipm Corp | ゲイン選択技術 |
JP2000114896A (ja) * | 1998-10-07 | 2000-04-21 | Nec Corp | 利得制御回路及びその制御方法 |
JP2001227983A (ja) * | 1999-12-23 | 2001-08-24 | Texas Instr Inc <Ti> | 信号処理回路 |
JP2002335144A (ja) * | 2001-05-08 | 2002-11-22 | Fujitsu Ltd | スイッチド・キャパシタ・フィルタ回路 |
JP2004053396A (ja) * | 2002-07-19 | 2004-02-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサおよびそれを用いた自動車 |
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