JP5466734B2 - セラミックス接合体及びガス分散板の製造方法 - Google Patents
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- 平均粒径が10〜50[μm]であるセラミックス粗粒の成形体を加圧焼結させ、多孔質セラミックスを得る第1焼結工程と、
平均粒径が0.1〜1[μm]であるセラミックス微粒の環状成形体に前記多孔質セラミックスを嵌め込み、前記環状成形体を緻密化させるとともに、環状の緻密質セラミックスと前記多孔質セラミックスとを直接接合させる第2焼結工程と、を含み、
前記環状成形体は、前記多孔質セラミックスを嵌め込まずに焼結させたときの内径が、前記多孔質セラミックスの外径よりも1〜7%小さくなるように設計されることを特徴とするセラミックス接合体の製造方法。 - 請求項1記載の方法において、前記第1焼結工程が、放電プラズマによる焼結工程であることを特徴とする方法。
- 請求項1又は2記載の方法により製造されたセラミックス接合体を、焼結後にガス分散板の本体となるセラミックス成形体に設けられた穴部に嵌め込む工程と、
前記セラミックス成形体を緻密化させるとともに、ガス分散板の本体と前記セラミックス接合体とを直接接合させる第3焼結工程と、を含むことを特徴とするガス分散板の製造方法。 - 請求項3記載の方法において、前記セラミックス成形体の穴部は、前記セラミックス接合体を嵌め込まずに焼結させたときの内径が、前記セラミックス接合体の外径よりも1〜7%小さくなるように設計されることを特徴とする方法。
- 請求項3又は4記載の方法において、前記セラミックス接合体についてガス流量測定を行い所定の条件を満たしたものを用いることを特徴とする方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012156945A JP5466734B2 (ja) | 2012-07-12 | 2012-07-12 | セラミックス接合体及びガス分散板の製造方法 |
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JP2008019768A Division JP2009179517A (ja) | 2008-01-30 | 2008-01-30 | ガス噴出口用セラミックス接合体及びガス分散板並びにそれらの製造方法 |
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JP2012236762A JP2012236762A (ja) | 2012-12-06 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP5466734B2 (ja) |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6113073Y2 (ja) * | 1981-05-18 | 1986-04-23 | ||
JP2802013B2 (ja) * | 1993-03-29 | 1998-09-21 | 日本碍子株式会社 | セラミックスの接合方法 |
JPH11228238A (ja) * | 1998-02-17 | 1999-08-24 | Kubota Corp | 結晶性細孔構造を有するバルク成形体およびその製造方法 |
JP4398027B2 (ja) * | 1999-11-22 | 2010-01-13 | 敏雄 平井 | 多孔質炭化珪素焼結体 |
JP3830382B2 (ja) * | 2001-03-14 | 2006-10-04 | 日本碍子株式会社 | セラミック焼結体およびその製造方法 |
JP2003238267A (ja) * | 2002-02-12 | 2003-08-27 | Toshiba Ceramics Co Ltd | セラミックス多孔質複合部材の製造方法 |
JP4571059B2 (ja) * | 2005-10-24 | 2010-10-27 | 株式会社ノリタケカンパニーリミテド | 多孔質円筒モジュールの製造方法 |
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