JP5458233B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents

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Description

本発明は、DRAM等の半導体記憶装置に係り、特に内部電源の電位レベルの温度調整機能を有する半導体記憶装置に関する。
近年のDRAM等の半導体記憶装置では内部で自己発生した電源レベルにより動作しているものが多いが、それらの基準となる電位レベルはDRAM個々について個別調整することが必要とされる。
このような内部電源の電位レベルの調整を行う先願としては、外部電源電圧を基に電位の異なる内部電源電圧を生成する複数の電圧発生回路を有し、論理ゲートの動作特性に応じて、電圧発生回路を選択して電圧を供給するようにした半導体装置がある(特許文献1参照)。
また、直列に接続したトランジスタを選択してオン抵抗により調整された電圧を得る半導体記憶装置(特許文献2参照)がある。
特開平05−056559号公報 特開2003−085971
従来のDRAM等の半導体記憶装置に内蔵された電位レベル作成回路の電流制御による駆動用トランジスタサイズ調整機能としては駆動用トランジスタをトランジスタ幅の異なるものに切り替える、または駆動用トランジスタを追加することにより変更する方法が取られてきた。そのうちトランジスタサイズの微調整を行なう際には異なるトランジスタ幅のものを切り替える方式、またはできるだけ小さいトランジスタ幅のものを追加する方法で、大調整を行なう際には微調整で使用したものよりも大きいトランジスタ幅を持つものを追加するまたは微調整で使用したものと同等のトランジスタ数倍量を追加する方法を用いてきた。
近年、DRAM等の半導体記憶装置においては、常時動作する回路であるが故の低消費電力化や、高精度化が求められているが、上述した従来の方法では、駆動用トランジスタサイズの詳細な調整を可能とする微調整の調整ステップと広範囲をカバーするための大調整の調整ステップとでギャップが生じやすく、一部の調整段階での調整精度の悪化が発生しやすく、それが全体の調整精度の悪化を招いている。
この精度悪化の主な要因は駆動用トランジスタの動作電流のうちトランジスタ幅に影響されない微小な電流であり、従来は無視できるレベルであったその微小電流が調整回路の動作電流が低減されたことにより影響度を増してきたためである。この微小電流は製造工程などで変動を起こしやすく、予め電流量を見込んだ回路とすることでは精度を保ちにくいという問題が有った。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、所望の電位を出力する電位作成回路における電位レベルの大幅な調整を行う大調整機能や、低消費電流の性能を損なうことなく、上記電位レベルの高精度の調整機能を有する半導体記憶装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために本発明の半導体記憶装置は、メモリセルアレイに対して所望の電位レベルを供給する電位レベル作成回路を有する半導体記憶装置において、前記電位レベル作成回路は、出力する電位レベルとなる出力電位レベル配線と接地との間に互いに並列に接続され、トランジスタ幅のみ異なる複数の駆動用MOSトランジスタを有し、周囲温度に応じて電位レベル調整する際に、前記複数の駆動用MOSトランジスタのうち、同時に駆動される駆動用MOSトランジスタ数が常に同数となるように制御する機能を有することを特徴とする。
また、本発明の半導体記憶装置は、メモリセルアレイに対して所望の電位レベルを供給する電位レベル作成回路を有する半導体記憶装置において、前記電位レベル作成回路は、周囲温度を検知する温度センサと、前記メモリセルアレイに供給すべき電位レベルを生成する電位レベル生成回路と、前記電位レベル生成回路から出力される電位レベルを前記温度センサの検知出力に基づいて補正するための制御信号を出力する制御回路と、前記制御信号に基づいて前記電位レベル生成回路から出力される電位レベルを調整する電位レベル調整回路とを有し、前記電位レベル調整回路は、前記電位レベル生成回路から出力される電位レベルとなる出力電位レベル配線と接地との間に互いに並列に接続され、トランジスタ幅のみ異なる複数の駆動用MOSトランジスタを有し、前記制御回路は、電位レベル調整時に前記複数の駆動用MOSトランジスタのうち同時に駆動される駆動用MOSトランジスタ数が常に同数となるように前記電位レベル調整回路を制御することを特徴とする。
本発明の半導体記憶装置によれば、メモリセルアレイに対して所望の電位レベルを供給する電位レベル作成回路を有する半導体記憶装置において、前記電位レベル作成回路は、出力する電位レベルとなる出力電位レベル配線と接地との間に互いに並列に接続され、トランジスタ幅のみ異なる複数の駆動用MOSトランジスタを有し、周囲温度に応じて電位レベル調整する際に、前記複数の駆動用MOSトランジスタのうち、同時に駆動される駆動用MOSトランジスタ数が常に同数となるように制御する機能を有するので、電位レベル調整時には、上記出力電位レベル配線と接地間に接続されるトランジスタの個数一定に保たれる。
これにより、駆動用トランジスタのトランジスタ幅に影響されない微小な寄生電流成分については変化が生じないので、正確にトランジスタ幅の差分のみの変更による電位調整を行うことができ、複数の駆動用トランジスタの各々のトランジスタ幅の差分を微細に、かつ段階的に設定することにより電位調整を高精度に行うことができる。
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して詳細に説明する。本発明の実施形態に係る半導体記憶装置の構成を図1に示す。同図において、半導体記憶装置1は、温度センサ100と、制御回路101と、電位レベル調整回路102と、電位レベル生成回路103と、メモリセルアレイ20とを有している。
温度センサ100と、制御回路101と、電位レベル調整回路102と、電位レベル生成回路103とでメモリセルに出力する電位レベルを作成する電位レベル作成回路10を構成している。
温度センサ100は半導体記憶装置1の周囲温度を検知する。
電位レベル生成回路103はメモリセルアレイ20に供給すべき電位レベルVLEBELを生成する。
制御回路101は電位レベル生成回路103から出力される電位レベルVLEBELを温度センサ100の検知出力に基づいて補正するための制御信号を出力する。すなわち、制御回路101は、周囲温度の変動により、電位レベル生成回路103から出力される電位レベルルVLEBELが変動した分だけ、電位レベルを補正するための制御信号を出力する。
電位レベル調整回路102は、制御回路101から出力される制御信号に基づいて電位レベル生成回路103から出力される電位レベルVLEBELを調整する。
電位レベル調整回路102は、後述するように、電位レベル生成回路103から出力される電位レベルVLEBELとなる出力電位レベル配線と接地との間に互いに並列に接続され、トランジスタ幅のみ異なる複数の駆動用MOSトランジスタを有している。
制御回路101は、電位レベル調整時に前記複数の駆動用MOSトランジスタのうち同時に駆動される駆動用MOSトランジスタ数が常に同数となるように電位レベル調整回路102を制御する。
次に、図1における電位レベル調整回路102の概略構成の一例を図2に示す。同図において、電位レベル調整回路102は、駆動トランジスタ選択回路201、202、203と、選択用NMOSトランジスタT001〜T024と、それぞれトランジスタ幅のみ異なる駆動用NMOSトランジスタT101〜T124とを有している。
また、電位レベル生成回路103から出力される電位レベルVLEBELとなる、端子110に一端が接続された出力電位レベル配線XLと接地との間に複数の駆動用NMOSトランジスタT101〜T124が選択用NMOSトランジスタT001〜T024を介して互いに並列に接続されている。また、電位レベル調整回路102は、制御用端子121〜129を有しており、図1に示した制御回路101より出力される制御信号C001〜C009が制御用端子C001〜C009から入力されるようになっている。
即ち、駆動トランジスタ選択回路201から出力される選択信号SEL01〜SEL08によりオン、オフ状態が制御される選択用NMOSトランジスタT001〜T008のドレインが共通接続されて出力電位レベル配線XLに接続されている。また、選択用NMOSトランジスタT001〜T008のソースは、それぞれ駆動用NMOSトランジスタT101〜T108のドレインに接続され、駆動用NMOSトランジスタT101〜T108のソースは、共通接続されて接地されている。また、駆動用NMOSトランジスタT101〜T108のゲートは共通接続され、出力電位レベル配線XLに接続されている。
また、駆動トランジスタ選択回路201から選択信号SEL01〜SEL08が出力される各出力端は、対応する選択用NMOSトランジスタT001〜T008のゲートにそれぞれ接続されている。
駆動トランジスタ選択回路201では、制御回路101から制御用端子121、122、123に入力される3ビットの制御信号(C001、C002、C003)により選択信号SEL01〜SEL08のうちいずれか一つの選択信号が選択的に出力されるようになっている。
また、駆動トランジスタ選択回路202から出力される選択信号SEL09〜SEL16によりオン、オフ状態が制御される選択用NMOSトランジスタT009〜T016のドレインが共通接続されて出力電位レベル配線XLに接続されている。また、選択用NMOSトランジスタT009〜T016のソースは、それぞれ駆動用NMOSトランジスタT109〜T116のドレインに接続され、駆動用NMOSトランジスタT109〜T116のソースは、共通接続されて接地されている。また、駆動用NMOSトランジスタT109〜T116のゲートは共通接続され、出力電位レベル配線XLに接続されている。
また、駆動トランジスタ選択回路202から選択信号SEL09〜SEL16が出力される各出力端は、対応する選択用NMOSトランジスタT009〜T016のゲートにそれぞれ接続されている。
駆動トランジスタ選択回路202では、制御回路101から制御用端子124、125,126に入力される3ビットの制御信号(C004、C005、C006)により選択信号SEL09〜SEL16のうちいずれか一つの選択信号が選択的に出力されるようになっている。
また、駆動トランジスタ選択回路203から出力される選択信号SEL17〜SEL24によりオン、オフ状態が制御される選択用NMOSトランジスタT017〜T024のドレインが共通接続されて出力電位レベル配線XLに接続されている。また、選択用NMOSトランジスタT017〜T024のソースは、それぞれ駆動用NMOSトランジスタT117〜T124のドレインに接続され、駆動用NMOSトランジスタT117〜T124のソースは、共通接続されて接地されている。また、駆動用NMOSトランジスタT117〜T124のゲートは共通接続され、出力電位レベル配線XLに接続されている。
また、駆動トランジスタ選択回路203から選択信号SEL17〜SEL24が出力される各出力端は、対応する選択用NMOSトランジスタT017〜T024のゲートにそれぞれ接続されている。
駆動トランジスタ選択回路203では、制御回路101から制御用端子127、128、129に入力される3ビットの制御信号(C007、C008、C009)により選択信号SEL17〜SEL24のうちいずれか一つの選択信号が選択的に出力されるようになっている。
次に、駆動トランジスタ選択回路201、202、203の具体的構成の一例を図3に示す。駆動トランジスタ選択回路201、202、203は同一構成であるので、駆動トランジスタ選択回路201を例にとり説明する。
図3において駆動トランジスタ選択回路201は、図1における制御回路101から制御信号が入力される制御用端子121、122、123に入力端がそれぞれ接続されるインバータ500、501、502と、NANDゲート511〜518と、NANDゲート511〜518の各々の出力端に入力端が接続されるインバータ521〜528と、インバータ521〜528の各出力端がそれぞれ接続される出力端子211〜218とを有している。
NANDゲート511はインバータ500、501、502の各出力の論理積を、NANDゲート512は制御用端子121から入力される制御信号C1と、インバータ501の出力と、インバータ502の出力との論理積を、NANDゲート513はインバータ500の出力と、制御用端子122から入力される制御信号C2と、インバータ502の出力との論理積を、NANDゲート514は制御用端子121から入力される制御信号C1と、制御用端子122から入力される制御信号C2と、インバータ502の出力との論理積を、NANDゲート515はインバータ500の出力と、インバータ501の出力と、制御用端子123から入力される制御信号C3との論理積を、NANDゲート516は制御用端子121から入力される制御信号C1と、インバータ501の出力と、制御用端子123から入力される制御信号C3との論理積を、NANDゲート517はインバータ500の出力と、制御用端子122から入力される制御信号C2と、制御用端子123から入力される制御信号C3との論理積を、NANDゲート518は制御用端子121から入力される制御信号C1と、制御用端子122から入力される制御信号C2と、制御用端子123から入力される制御信号C3との論理積を、それぞれとり、各論理積演算出力を対応するインバータ521〜528にそれぞれ、出力するように接続されている。
駆動トランジスタ選択回路201では、図1における制御回路101より制御用端子121、122、123に入力される3ビットの制御信号(C1,C2,C3)(C1が最下位ビット、C3が最上位ビット)により出力端子211〜218より選択的に一つの選択信号が出力されるようになっている。
駆動トランジスタ選択回路202、203についても、上記構成は同様である。
図4は、図2に示した電位レベル調整回路102における駆動用NMOSトランジスタT101〜T124の切り替えを行った際における各駆動用NMOSトランジスタのトランジスタ幅と、その差分についての一覧を示す図である。
上記構成において、図2に示す電位レベル調整回路102が動作している期間は、駆動トランジスタ選択回路201、202、203は、各々、制御用端子121〜123、124〜126、127〜129に制御回路101から入力される3ビットの制御信号により、それぞれ1つのみ選択信号が選択的に出力される。この結果、電位がVLEBELとなっている出力電位レベル配線XLと接地との間に接続される駆動用NMOSトランジスタの数は常に3個となる。
電位レベル調整回路102の出力を変更する、すなわち、出力電位レベル配線XLの電位レベルの変更を行なうために駆動用NMOSトランジスタの切り替えを行なう場合について説明する。切り替え前の初期状態では、駆動トランジスタ選択回路201、202、203よりそれぞれ選択信号SEL01,SEL09,SEL17が出力されており、駆動用NMOSトランジスタT101、T109、T117が駆動され、これらの、は出力電位レベル配線XLと接地間に接続された状態にある。
ここで、周囲温度の変化により、電位レベル調整回路102から出力される電位レベルVLEBELが変動するため、出力電位レベル配線XLに出力されている電位レベルVLEBELの調整が制御回路101から出力される制御信号に基づいて行われる。ここで、例えば電位レベルVLEBELを下げるために、トランジスタ幅換算で10.2μm分の駆動用NMOSトランジスタの駆動能力を上げるには、切り替え前に選択されていた選択信号SEL01を選択信号SEL04へ、選択信号SEL09を選択信号SEL15へと切り替えるように制御回路101より、制御用端子121〜123及び制御用端子124〜126にそれぞれ、3ビットの制御信号(C001,C002,C003),(C004,C005,C006)が出力される。
上述したように、選択信号SEL01を選択信号SEL04へ、選択信号SEL09を選択信号SEL15へと切り替えることにより、出力電位レベル配線XLと接地間に接続されるように駆動される駆動用NMOSトランジスタは、T101からT104に、T109からT115に切り替えられる。駆動用NMOSトランジスタT104の駆動用NMOSトランジスタTT101に対するトランジスタ幅の差分と、駆動用NMOSトランジスタT115の駆動用NMOSトランジスタT109に対するトランジスタ幅の差分は、図4に示される通りそれぞれの0.6μmと9.6μmであり合計で10.2μm分だけ、トランジスタ幅が増加するように駆動用NMOSトランジスタの切り替えが行われる。
駆動用NMOSトランジスタを切り替える際は出力電位レベル配線VLEBELに接続する駆動用NMOSトランジスタをトランジスタ幅以外は同じ形状ものと交換することとなるために、トランジスタ幅に依らない微小な寄生電流成分には変化がないため無視することができる。勿論、本実施形態に係る半導体記憶装置の電位レベル調整回路102における選択用NMOSトランジスタや駆動用NMOSトランジスタは、トランジスタ幅以外は同じ形状となるように回路配置時に配慮されるべきである。
本実施形態では電位レベルの調整を、図4から明らかなように駆動用NMOSトランジスタのトランジスタ幅換算で0.0μmから102.2μmまで0.2μm刻みの調整を調整段階間差のばらつき無しで実現できる。
本発明の実施形態に係る半導体記憶装置における電位レベル調整回路の他の構成例(概略構成図)を図5に示す。本電位レベル調整回路が図2に示した電位レベル調整回路と構成上、異なるのは、3つの駆動トランジスタ選択回路のうち、2つの駆動トランジスタ選択回路のみ常に能動状態にするようにした点であり、他の構成は、図2と同様である。
すなわち、図5において、電位レベル調整回路102Aは、駆動トランジスタ選択回路301、202、303と、選択用NMOSトランジスタT001〜T024と、それぞれトランジスタ幅のみ異なる駆動用NMOSトランジスタT101〜T124とを有している。
また、電位レベル生成回路103から出力される電位レベルVLEBELとなる、端子110に一端が接続された出力電位レベル配線XLと接地との間に複数の駆動用NMOSトランジスタT101〜T124が選択用NMOSトランジスタT001〜T024を介して互いに並列に接続されている。また、電位レベル調整回路102Aは、制御用端子121〜129を有しており、図1に示した制御回路101より出力される制御信号C001〜C009が制御用端子121〜129から入力されるようになっている。
さらに、電位レベル調整回路102Aは、駆動トランジスタ選択回路301、303を選択的に能動状態にする選択回路401を有している。選択回路401は、選択信号入力端子130から入力される回路選択信号E001の論理レベルを反転した回路選択信号E011を出力するインバータ410と、インバータ410の出力E011の論理レベルを反転した回路選択信号E012を出力するインバータ411とを有している。
選択回路401より制御線CL1を介して回路選択信号E011が駆動トランジスタ選択回路301に、また選択回路401より制御線CL2を介して回路選択信号E012が駆動トランジスタ選択回路303に出力されるようになっている。
ここで、回路選択信号E011がハイレベルのときのみ、駆動トランジスタ選択回路301が能動状態となり、制御用端子121〜123から入力される3ビットの制御信号(C001,C002,C003)により選択信号SEL01〜SEL08のうちのいずれか一つの選択信号が出力される。同様に回路選択信号E012がハイレベルのときのみ、駆動トランジスタ選択回路303が能動状態となり、制御用端子127〜129から入力される3ビットの制御信号(C007,C008,C009)により選択信号SEL17〜SEL24のうちのいずれか一つの選択信号が出力される。
また、駆動トランジスタ選択回路202は、常時、制御用端子124〜126より入力される3ビットの制御信号(C004,C005,C006)により1つの選択信号SEL09〜SEL16のうちのいずれか一つの選択信号が出力される。
すなわち、選択信号入力端子130から入力される回路選択信号E001の論理レベルがローレベルのときには、駆動トランジスタ選択回路301及び202が能動状態となり、回路選択信号E001の論理レベルがハイレベルのときには駆動トランジスタ選択回路202及び303が能動状態となり、電位レベル調整回路102が動作している期間に出力電位レベル配線XLと接地との間に接続される駆動用NMOSトランジスタは常に2個となる。
図5に示した電位レベル調整回路102Aにおける駆動トランジスタ選択回路301、303の具体的構成を図6に示す。る駆動トランジスタ選択回路301、303は同一構成であるので、駆動トランジスタ選択回路301を例にとり、説明する。
図3に示した駆動トランジスタ選択回路201と構成上、異なるのは3入力NANDゲート511〜518の代わりに、4入力NANDゲート601〜608を設け、4入力NANDゲート601〜608の各1入力端子に入力端子140より回路選択信号E(E011)を入力するようにした点であり、その他の構成は同一であるので、重複する説明を省略する。駆動トランジスタ選択回路303の場合には、4入力NANDゲート601〜608の各1入力端子に入力端子140より回路選択信号E(E012)を入力する点が駆動トランジスタ選択回路301と異なるだけである。
図5及び図6に示す実施例では上述したように、電位レベル調整回路が動作している期間に出力電位レベル配線XLと接続される駆動用NMOSトランジスタは常に2個となるが、駆動トランジスタ選択回路301、202の調整範囲では電位調整量(トランジスタ幅換算による)が不足した際に回路選択信号E001の制御により調整範囲の拡大を図ることができる。
次に、本発明の実施形態に係る半導体記憶装置の電位レベル調整回路のさらに他の構成例を図7に示す。
本実施例に係る電位レベル調整回路102Bが図2に示した電位レベル調整回路102と構成上、異なるのは、駆動用NMOSトランジスタT101からT124による調整よりもさらに調整間差を小さくして精度を上げたい場合に使用する駆動用NMOSトランジスタT125、T126と、一時的に大きく能力変更を行なうための駆動用NMOSトランジスタT127〜T129を備えた点であり、その他の構成は同様である。
図7において、電位レベル調整回路102Bは、駆動トランジスタ選択回路201、202、203と、選択用NMOSトランジスタT001〜T029と、それぞれトランジスタ幅のみ異なる駆動用NMOSトランジスタT101〜T129とを有している。ここで、図2の構成に新たに加えられた駆動用NMOSトランジスタT125、T126のトランジスタ幅は、それぞれ、1.0μm、1.1μmであり、駆動用NMOSトランジスタT127、T128、T129のトランジスタ幅は、それぞれ5.0μm、10.0μm、15.0μmである。
電位レベル生成回路103から出力される電位レベルVLEBELとなる、端子110に一端が接続された出力電位レベル配線XLと接地との間には、複数の駆動用NMOSトランジスタT101〜T129が選択用NMOSトランジスタT001〜T029を介して互いに並列に接続されている。また、電位レベル調整回路102Bは、制御用端子121〜129、150〜153を有しており、図1に示した制御回路101より出力される制御信号C001〜C009、C010〜C013が制御用端子121〜129から入力されるようになっている。
但し、制御信号C010により、インバータ529を介して駆動用NMOSトランジスタT125、126のうちのいずれか一つの駆動用NMOSトランジスタが選択され、かつ制御信号C011、C012、C013により、駆動用NMOSトランジスタT127、T128、T129のいずれか一つが選択されるように構成されている。
したがって、本実施例では電位レベル調整回路102Bが動作している期間に出力電位レベル配線XLと接続される駆動トランジスタは常に5個となる。
図8に図2、5、7に示した各駆動トランジスタ選択回路の内部信号名とそれらの概略構成図における信号名との対応関係を示す。
発明の半導体記憶装置によれば、駆動トランジスタ能力を変更する際には常にサイズの異なるものを入れ替えるように制御することにより、電位調整回路から出力される電位に接続される駆動用トランジスタの個数は一定に保たれる。それによりトランジスタ幅に影響されない微小電流の分は変化が無くなり、正確にトランジスタ幅の差分のみの電位調整が可能になる。
本発明の利用分野として、低消費電力を要求される携帯電話や携帯メディアプレーヤーのような電池駆動の携帯電子機器が挙げられる。
本発明の実施形態に係る半導体記憶装置の全体構成を示すブロック図。 図1に示した本発明の実施形態に係る半導体記憶装置における電位レベル調整回路の概略構成の一例を示す図。 図2における駆動トランジスタ選択回路の具体的構成を示すブロック図。 図2に示した電位レベル調整回路における各駆動用NMOSトランジスタのトランジスタ幅と、その差分についての一覧を示す図。 図1に示した本発明の実施形態に係る半導体記憶装置における電位レベル調整回路の概略構成の他の例を示す図。 図5における駆動トランジスタ選択回路の具体的構成を示すブロック図。 図1に示した本発明の実施形態に係る半導体記憶装置における電位レベル調整回路の概略構成のさらに他の例を示す図。 図2、5、7に示した各駆動トランジスタ選択回路の内部信号名とそれらの概略構成図における信号名との対応関係を示す図。
符号の説明
1…半導体記憶装置、10…電位レベル作成回路、20…メモリセルアレイ、100…温度センサ、101…制御回路、102…電位レベル調整回路、103…電位レベル生成回路、201、202、203…駆動トランジスタ選択回路、121〜129、150〜153…制御用端子、XL…出力電位レベル配線、T001〜T029…選択用NMOSトランジスタ、T101〜T129…駆動用NMOSトランジスタ

Claims (2)

  1. メモリセルアレイに対して所望の電位レベルを供給する電位レベル作成回路を有する半導体記憶装置において、
    前記電位レベル作成回路は、
    出力する電位レベルとなる出力電位レベル配線と接地との間に互いに並列に接続され、トランジスタ幅のみ異なる複数の駆動用MOSトランジスタを有し、
    周囲温度に応じて電位レベル調整する際に、前記複数の駆動用MOSトランジスタのうち、同時に駆動される駆動用MOSトランジスタ数が常に同数となるように制御する機能を有することを特徴とする半導体記憶装置。
  2. メモリセルアレイに対して所望の電位レベルを供給する電位レベル作成回路を有する半導体記憶装置において、
    前記電位レベル作成回路は、
    周囲温度を検知する温度センサと、
    前記メモリセルアレイに供給すべき電位レベルを生成する電位レベル生成回路と、
    前記電位レベル生成回路から出力される電位レベルを前記温度センサの検知出力に基づいて補正するための制御信号を出力する制御回路と、
    前記制御信号に基づいて前記電位レベル生成回路から出力される電位レベルを調整する電位レベル調整回路と、
    を有し、
    前記電位レベル調整回路は、前記電位レベル生成回路から出力される電位レベルとなる出力電位レベル配線と接地との間に互いに並列に接続され、トランジスタ幅のみ異なる複数の駆動用MOSトランジスタを有し、
    前記制御回路は、電位レベル調整時に前記複数の駆動用MOSトランジスタのうち同時に駆動される駆動用MOSトランジスタ数が常に同数となるように前記電位レベル調整回路を制御することを特徴とする半導体記憶装置。
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