JP5454074B2 - 軸受装置 - Google Patents
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Description
小径部材及び該小径部材のアキシャル方向両端に設けられた2つの大径部材を有する主軸と、
2つの前記大径部材の外周面を夫々支承する2つのラジアル静圧気体軸受と、
2つの前記大径部材の対向面を夫々支承する2つのアキシャル静圧気体軸受と、
2つの前記ラジアル静圧気体軸受を夫々支持する第1、第2軸受ハウジングと、
2つの前記アキシャル静圧気体軸受を支持する第3軸受ハウジングと、
前記主軸の変位調整部材の端面を支承する調整アキシャル静圧気体軸受と、
該調整アキシャル静圧気体軸受を介して前記主軸に対しアキシャル方向の力を発生し、前記主軸のアキシャル方向の変位を調整する変位調整力発生手段と、
前記調整アキシャル静圧気体軸受を支持する第4軸受ハウジングと、を備え、
前記主軸の変位調整部材の端面及び前記調整アキシャル静圧気体軸受における前記主軸の変位調整部材の端面と対向する面が鏡面仕上げされていることである。
前記大径部材の外周面が鏡面仕上げされ、
前記ラジアル静圧気体軸受における前記大径部材の外周面と対向する面と、前記第1、第2軸受ハウジングの外周面とが、同軸に鏡面仕上げされていることである。
前記第4軸受ハウジングにおける前記調整アキシャル静圧気体軸受を支承する面が、該調整アキシャル静圧気体軸受から離間していることである。
前記主軸の変位測定部材に当接して該主軸のアキシャル方向の変位を検出する変位検出手段を備え、
前記変位検出手段が当接する前記変位測定部材の当接部が、該変位測定部材と一体の球面加工されていることである。
請求項2に記載の軸受装置であって、前記第1軸受ハウジングと前記第2軸受ハウジングとが第3軸受ハウジングを挟んで別体である軸受装置の製造方法において、
前記第1軸受ハウジングに前記第3軸受ハウジングを挟んで前記第2軸受ハウジングを組付ける際に、前記第1、第2軸受ハウジングの外周を基準にして同軸に組付けることである。
請求項2に記載の軸受装置の製造方法において、
前記主軸と前記第1、第2軸受ハウジングとを組付ける際に、前記主軸の外周と前記各軸受ハウジングの外周とを基準にして同軸に組付けることである。
図1は、本発明の実施の形態の軸受装置の全体構成を示す図、図2は、図1の制御部を除く軸受装置を軸方向に切断した断面図である。尚、図1,2において、左右方向が軸線方向であり、左方を前方とする。まず、本実施形態の軸受装置の概略について図1を参照して説明する。本実施形態の軸受装置は、主軸1と、第1、第2ラジアル軸受部2,3と、アキシャル軸受部4と、モータ部5と、変位調整部6と、制御部7とを備えている。
Claims (6)
- 小径部材及び該小径部材のアキシャル方向両端に設けられた2つの大径部材を有する主軸と、
2つの前記大径部材の外周面を夫々支承する2つのラジアル静圧気体軸受と、
2つの前記大径部材の対向面を夫々支承する2つのアキシャル静圧気体軸受と、
2つの前記ラジアル静圧気体軸受を夫々支持する第1、第2軸受ハウジングと、
2つの前記アキシャル静圧気体軸受を支持する第3軸受ハウジングと、
前記主軸の変位調整部材の端面を支承する調整アキシャル静圧気体軸受と、
該調整アキシャル静圧気体軸受を介して前記主軸に対しアキシャル方向の力を発生し、前記主軸のアキシャル方向の変位を調整する変位調整力発生手段と、
前記調整アキシャル静圧気体軸受を支持する第4軸受ハウジングと、を備え、
前記主軸の変位調整部材の端面及び前記調整アキシャル静圧気体軸受における前記主軸の変位調整部材の端面と対向する面が鏡面仕上げされていることを特徴とする軸受装置。 - 請求項1において、
前記大径部材の外周面が鏡面仕上げされ、
前記ラジアル静圧気体軸受における前記大径部材の外周面と対向する面と、前記第1、第2軸受ハウジングの外周面とが、同軸に鏡面仕上げされていることを特徴とする軸受装置。 - 請求項1又は2において、
前記第4軸受ハウジングにおける前記調整アキシャル静圧気体軸受を支承する面が、該調整アキシャル静圧気体軸受から離間していることを特徴とする軸受装置。 - 請求項1〜3の何れか一項において、
前記主軸の変位測定部材に当接して該主軸のアキシャル方向の変位を検出する変位検出手段を備え、
前記変位検出手段が当接する前記変位測定部材の当接部が、該変位測定部材と一体の球面加工されていることを特徴とする軸受装置。 - 請求項2に記載の軸受装置であって、前記第1軸受ハウジングと前記第2軸受ハウジングとが第3軸受ハウジングを挟んで別体である軸受装置の製造方法において、
前記第1軸受ハウジングに前記第3軸受ハウジングを挟んで前記第2軸受ハウジングを組付ける際に、前記第1、第2軸受ハウジングの外周を基準にして同軸に組付けることを特徴とする軸受装置の製造方法。 - 請求項2に記載の軸受装置の製造方法において、
前記主軸と前記第1、第2軸受ハウジングとを組付ける際に、前記主軸の外周と前記各軸受ハウジングの外周とを基準にして同軸に組付けることを特徴とする軸受装置の製造方法。
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