JP5453610B2 - 測定方法及び測定装置 - Google Patents
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Description
図1に示すように、ロケット101は、このロケットを搬送するロケット搬送車102の上に載置されている。このロケット搬送車102の付近には、ロケット搬送車102を介してロケット101に供給するための空調空気を発生させる移動空調車103が、用意されている。
さらに、本体部501には、化学物質を付着させる基板を有するセンサ部503と、赤外線光源部303により供給された赤外線を導入する赤外線導入ミラー504と、赤外線導入ミラー504によって導入された赤外線を反射させて、この赤外線のセンサ部503への入射角度を制御する入射角度制御用ミラー505と、センサ部503における基板の内部を多重反射して出射した赤外線を集光する赤外線集光ミラー506と、赤外線集光ミラー506により集光された赤外線を赤外線検出部304に導入する検出器導入ミラー507と、が設けられている。
センサ部下部ホルダ603に着目すると、図6及び図9に示されているように、下部ホルダ603は、全体として板状の形状を有している。このような下部ホルダ603の上面は、図6に示すように、基板602の下面に対向するように取り付けられる。これにより、基板602の下面に汚染物質が付着することが防止される。
ここで、下部ホルダ603の上面全体を基板602の下面に接触させた構成を採ると、基板602に入射した赤外線が下部ホルダ603の材質によって吸収されることにより、基板602表面の汚染状態が正確に測定されなくなってしまう。そこで、下部ホルダ603の上面には、周縁部603bを残しつつ、適当な深さを有するくぼみ部603aが形成されている。これにより、下部ホルダ603が基板602に対向するように取り付けられた状態では、周縁部603bのみが基板602の下面に接触し、その他の部分は基板602の下面に接触しない。すなわち、下部ホルダ603が基板602に接触する面積は、可能な限り抑えられている。このような構成を採ることにより、基板602に入射した赤外線が下部ホルダ603の材質によって吸収されることを抑えることができる。
汚染状態の定量評価を行うため、検量線を作成する。図10A及び図10Bは、セレン化亜鉛被測定基板にヘキサンで希釈した汚染物質Aを均一に塗布した場合の赤外線吸収量(吸光度)と汚染物質Aの付着量との関係を示す赤外線吸収スペクトルである。ヘキサンで希釈した汚染物質Aは、シリンジを用いて図4に示した滴下口402から滴下する。付着量は、汚染物質Aの希釈率及び滴下量と、基板602のうち空調空気に曝露される部分の面積と、から単位面積あたりの付着量に換算したものである。赤外線吸収スペクトルの測定条件は、一例として、入射角度制御用ミラー505を用いて赤外線の入射角度を45°とした。
他方、上記特許文献に記載の従来技術においては、実測定時に、被測定環境から導入された空気は、被測定基板の少なくとも両面に曝露されているところ、検量線作成時に、この被測定基板の上面に汚染物質を滴下することはできるが、下面に汚染物質を滴下することが重力の影響により不可能であることは明らかである。したがって、検量線作成時に滴下された溶液が付着する被測定基板の面積と、実測定時に曝露される被測定基板の面積とを一致させることは、明らかに不可能である。
したがって、本実施の形態によれば、上記特許文献に記載の従来技術に比べて、著しく高い精度により、被測定対象機器の汚染状態を測定することができる。
101a フェアリング
102 ロケット搬送車
102a 第1ダクト
102b フィルタ
102c マスト
102d 第2ダクト
102e 第3ダクト
103 移動空調車
104 人工衛星(被測定対象機器)
105 与圧室
201 表面汚染状態測定装置
202 排気用ポンプ
301 空気導入アダプタ
302 ATRアダプタ
303 赤外線光源部
304 赤外線検出部
305 密閉容器
401 空気導入口
402 滴下口
403 空気排気口
404 整流板
501 本体部
502 ベース部
503 センサ部
504 赤外線導入ミラー
505 入射角度制御用ミラー
506 赤外線集光ミラー
507 検出器導入ミラー
601 センサ部上部ホルダ
602 基板(被測定基板)
603 センサ部下部ホルダ
701 開放部
702 位置決めコーナー
Claims (2)
- ロケットのフェアリングの内部に収容されている被測定対象機器の表面の汚染状態を、前記フェアリングとは地理的に離れた場所において模擬的に測定する測定方法であって、
被測定基板の一方の面により少なくとも部分的に囲まれた曝露領域を設ける段階と、
前記曝露領域内の空気の清浄度、温度、湿度又は圧力が、前記フェアリング内の空気の清浄度、温度、湿度又は圧力に近づくように、前記フェアリングに供給される空気を前記曝露領域に導入する段階と、
前記曝露領域の温度、湿度、圧力、流速場又は排気流量が、前記フェアリングの温度、湿度、圧力、流速場又は排気流量に近づくように、前記曝露領域を調節する段階と、
前記被測定基板を赤外線分光法により測定する段階と、
を含むことを特徴とする測定方法。 - ロケットのフェアリングの内部に収容されている被測定対象機器の表面の汚染状態を模擬的に測定する測定装置であって、
被測定基板の一方の面により少なくとも部分的に囲まれた曝露領域と、
前記曝露領域内の空気の清浄度、温度、湿度又は圧力が、当該測定装置とは地理的に離れた場所にある前記フェアリング内の空気の清浄度、温度、湿度又は圧力に近づくように、前記フェアリングに供給される空気を前記曝露領域に導入する手段と、
前記曝露領域の温度、湿度、圧力、流速場又は排気流量が、前記フェアリングの温度、湿度、圧力、流速場又は排気流量に近づくように、前記曝露領域を調節する調節手段と、
前記被測定基板を赤外線分光法により測定する測定手段と、
を具備することを特徴とする測定装置。
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