JP5453354B2 - Production management system, production management method, control program, and readable storage medium - Google Patents

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Description

本発明は、例えばLSI製造工場の化合物半導体工場などへの再開発やマニュアル工場などにおいて、少なくともオフライン装置を含む一または複数の処理装置を用いて、発光ダイオード(LED)や半導体レーザ素子などの半導体発光素子などの半導体素子を製造する際の生産を管理する生産管理システムおよびこれを用いた生産管理方法、この生産管理方法をコンピュータに実行させるための処理手順が記述された制御プログラム、この制御プログラムが格納されたコンピュータ読み取り可能な可読記憶媒体に関する。   The present invention relates to a semiconductor such as a light emitting diode (LED) or a semiconductor laser element using one or a plurality of processing apparatuses including at least an off-line apparatus in a redevelopment to a compound semiconductor factory of an LSI manufacturing factory or a manual factory. PRODUCTION MANAGEMENT SYSTEM MANUFACTURING PRODUCTION MANUFACTURING WHICH MANUFACTURING SEMICONDUCTOR ELEMENTS, LIGHT EMITTING ELEMENTS, PRODUCTION MANAGEMENT METHOD USING THE SAME, CONTROL PROGRAM DESCRIBING PROCESSING PROCEDURE FOR CAUSING COMPUTER TO EXECUTE THE PRODUCTION MANAGEMENT METHOD, AND CONTROL PROGRAM The present invention relates to a computer-readable readable storage medium in which is stored.

従来の各種の自動化生産技術が特許文献1〜3に提案されている。   Various conventional automated production techniques are proposed in Patent Documents 1 to 3.

特許文献1では、生産自動化制御技術に関し、生産装置+搬送を高度に自動化・オンライン化した半導体製造ラインにおいて、情報の自動取得と時間予測計算等を行うことにより、生産品へのきめ細かな指示を可能とし、搬送制御の最適化、即ち、搬送待ち時間極小化を可能にする技術が提案されている。これは如何にロスを無くすかに着目した技術である。   Patent Document 1 relates to production automation control technology, and gives detailed instructions to production products by performing automatic acquisition of information and time prediction calculation, etc., in a semiconductor manufacturing line that is highly automated / online production equipment + conveyance. There has been proposed a technology that makes it possible to optimize the conveyance control, that is, to minimize the conveyance waiting time. This is a technology that focuses on how to eliminate losses.

特許文献2では、半導体装置の製造プロセスにおいて、イベントに起因した異常を早期に検知することができる技術が提供されている。従来の半導体装置の生産管理システムは、製造装置群の管理を行う進度管理システムと、製造装置群と検査装置群で収集されたデータが蓄積される装置・検査データ管理データベースと、現場作業者およびエンジニアに対して電子メールを発信するメーラと、イベントの情報が蓄積されるイベント管理データベースと、装置・検査データ管理データベースとイベント管理データベースのデータを参照して製造装置群の異常を検知し、異常が検知された場合に、進度管理システムに対して指示を送信し、かつ、メーラに対して電子メールの発信指示を送信する状態監視システムとを有している。   Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-228561 provides a technique that can detect an abnormality caused by an event at an early stage in a semiconductor device manufacturing process. A conventional semiconductor device production management system includes a progress management system for managing a manufacturing device group, a device / inspection data management database for storing data collected by the manufacturing device group and the inspection device group, A mailer that sends an email to an engineer, an event management database in which event information is stored, equipment / inspection data management database, and event management database data are used to detect abnormalities in the manufacturing equipment group. And a state monitoring system that transmits an instruction to the progress management system and transmits an e-mail transmission instruction to the mailer.

特許文献3では、人的・時間的ロスの顕在化を可能にする半導体製造工場のシステム・プログラムが提案されている。これは、ロット進捗状況の詳細分析と装置稼働状態の分析を行うために、装置からのイベント情報(SECSではない)を受け取り、そのイベントがどのロットの情報で、どの装置・ポートで処理されたものかを判定し、データベースに情報を蓄積するというものである。   Patent Document 3 proposes a system program of a semiconductor manufacturing factory that makes it possible to realize human and time loss. It receives event information (not SECS) from the device for detailed analysis of lot progress and device operating status, and the event was processed by which device / port with which lot information. It is to determine whether it is a thing and to accumulate information in the database.

特開2010−247911号公報JP 2010-247911 A 特開2009−283580号公報JP 2009-283580 A 特開2005−242987号公報JP 2005-242987 A

特許文献1に開示されている上記従来の制御システムでは、半導体製造工程のロット搬送において、自動搬送・設備と搬送機器を自動制御・管理するシステムを前提としており、設備稼働状況の収集と設備処理計画算出、必要となる搬送台車数の算出結果を元に、待ち時間が最短となるように搬送指示を行う。要するに、特許文献1では、設備と搬送システムのオンライン化・CIM化が前提のシステムであり、当然、初期設備投資額も莫大である。   The conventional control system disclosed in Patent Document 1 is based on the premise of a system that automatically controls and manages automatic transfer / equipment and transfer equipment in lot transfer in the semiconductor manufacturing process. Based on the calculation result of the plan calculation and the required number of transport carts, a transport instruction is issued so that the waiting time is minimized. In short, Patent Document 1 is a system on the premise that the equipment and the transport system are on-line / CIM, and of course, the initial capital investment is enormous.

特許文献2に開示されている上記従来の半導体装置の生産管理システムでは、マニュアル工場での作業者への作業指示手段に関し、生産管理システムと連動した電子メールの発信指示により半導体装置を稼動する技術が提案されており、作業者へ指示手段としてメール配信が用いられているものの、作業者にとって「見なければ見れない、ではなく見せる化」が不十分である。   The above-described conventional semiconductor device production management system disclosed in Patent Document 2 relates to a work instruction means for workers in a manual factory, and a technique for operating a semiconductor device by an instruction to send an e-mail in conjunction with the production management system. Although mail delivery is used as an instruction means to the worker, “unable to see without seeing” is insufficient for the worker.

特許文献3に開示されている上記従来の半導体製造工場のシステムは、自動化システムを前提とした単なる情報取得技術である。   The conventional system of the semiconductor manufacturing factory disclosed in Patent Document 3 is merely an information acquisition technology based on an automation system.

いずれにせよ、特許文献1〜3は、マニュアル搬送/オフライン装置がある生産ラインを対象としたものではなく、自動化システムを前提とした大規模投資についての技術である。   In any case, Patent Documents 1 to 3 are not directed to a production line with a manual transfer / offline device, but are technologies for large-scale investment based on an automation system.

LSI工場の化合物半導体工場への再開発やマニュアル工場の活用に際し、オフラインのマニュアル処理を低投資でオンラインに準じた管理を行い、省人化や作業ミス防止を実現する技術が求められている。   When redeveloping an LSI factory into a compound semiconductor factory or using a manual factory, there is a need for a technology that realizes labor saving and prevention of work mistakes by managing offline manual processing with low investment and on-line management.

要するに、特許文献1〜3では、自動化システムを前提とした大規模投資についての技術であって、マニュアル搬送/オフライン装置がある生産ラインで、小規模投資で自動化処理の中のマニュアル処理を作業者がロスなくミスなく作業を行うことを課題としたものでは全くない。   In short, in Patent Documents 1 to 3, it is a technique for large-scale investment based on an automation system, and a worker performs manual processing in automated processing with small-scale investment on a production line with a manual transfer / offline device. However, it is not at all a problem to work without loss and without mistakes.

マニュアル搬送/オフライン装置がある生産ライン、即ち、オンライン装置とオフライン装置が混在する生産ラインや、安価な労働力環境下でオフライン処理が前提の生産ラインにおいて、課題はそれぞれの「作業者」に対し、ワーク搬送やオフライン装置への作業指示を示すナビゲーション手段は見なければ見れない手法ではなく、見たい時に何処でも確実に伝わる手法が必要である。更に、収集した情報により作業効率向上を促す必要がある。   In a production line with manual transfer / offline equipment, that is, a production line in which online equipment and offline equipment are mixed, or a production line premised on offline processing in an inexpensive labor environment, the challenge is to deal with each "worker". The navigation means for indicating work instructions to the workpiece transfer and the off-line apparatus is not a technique that cannot be seen without seeing, but a technique that can be surely transmitted anywhere is desired. Furthermore, it is necessary to promote improvement in work efficiency based on the collected information.

本発明は、上記従来の問題を解決するもので、マニュアル搬送/オフライン装置がある生産ラインで、作業者情報をオンライン管理して、作業ロスおよび作業ミスの防止や省人化に向けたナビゲーション機能を低投資で行うことにより、オフライン装置がある生産ラインであっても疑似的なオンライン管理を効率よく実現することができる生産管理システムおよびこれを用いた生産管理方法、この生産管理方法をコンピュータに実行させるための処理手順が記述された制御プログラム、この制御プログラムが格納されたコンピュータ読み取り可能な可読記憶媒体を提供することを目的とする。   The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and on a production line with a manual transfer / offline device, the operator information is managed online, and a navigation function for preventing work loss and work mistakes and saving labor. Production management system capable of efficiently realizing pseudo on-line management even in a production line with an off-line device, and a production management method using the same, and this production management method in a computer It is an object of the present invention to provide a control program in which processing procedures for execution are described, and a computer-readable readable storage medium in which the control program is stored.

本発明の生産管理システムは、オフライン装置を含む複数の処理装置および入退室用ゲートのそれぞれに固有のIDが付された各管理パーソナルコンピュータと、該各管理パーソナルコンピュータにそれぞれ接続され、複数の作業者に各々固有の作業者IDを含む作業者情報を付した作業者カードの内容を読み取り可能とするカードリーダと、該各管理パーソナルコンピュータと情報交換して工程を管理するホスト装置とを備え、
該各管理パーソナルコンピュータは、該カードリーダからの該作業者IDを含む作業者情報に基づいて作業者/時間を検証するフロー照合手段と、該各管理パーソナルコンピュータは該ホスト装置に該作業者IDを含む作業者情報および該作業者IDを含む検証情報をアップロードする作業者情報/検証情報転送手段とを有し、該ホスト装置は、アップロードした該作業者IDを含む作業者情報および検証結果を含む検証情報を登録する作業者情報/検証情報登録手段と、工程内の所定場所に設置したゲートの作業者別のゲート通過情報を収集して作業者行動履歴情報を取得する作業者行動履歴情報取得手段と、該作業者行動履歴情報を用いて、工程内の作業者の動線上の所定場所に設置されたナビゲーションディスプレイに該作業者毎の行き先を表示する作業指示手段を有し、複数の生産ワークに、各々固有のIDと処理情報を付したデータカードを付与し、該各管理パーソナルコンピュータは、該データカードから該カードリーダを介して収集された生産ワーク情報に基づいて、該生産ワークの作業指示情報を作業者に付与するものであり、そのことにより上記目的が達成される。
The production management system of the present invention includes a plurality of processing devices including offline devices and each management personal computer to which a unique ID is assigned to each of the entrance / exit gates, and a plurality of operations connected to each management personal computer. A card reader capable of reading the contents of a worker card with worker information including a worker ID unique to each worker, and a host device that manages processes by exchanging information with the respective management personal computers,
Each management personal computer has a flow collating unit for verifying a worker / time based on worker information including the worker ID from the card reader, and each management personal computer sends the worker ID to the host device. And the worker information / verification information transfer means for uploading the verification information including the worker ID, and the host device receives the worker information including the uploaded worker ID and the verification result. Worker information / verification information registration means for registering verification information including the worker behavior history information for collecting worker behavior history information by collecting gate passing information for each worker of a gate installed at a predetermined place in the process Using the acquisition means and the worker action history information, a line for each worker is displayed on a navigation display installed at a predetermined location on the flow line of the worker in the process. Has a work instruction means for displaying previously and a plurality of production work, each grant data cards assigned a unique ID and the processing information, the respective management personal computer, via the card reader from the data card Based on the collected production work information, the work instruction information of the production work is given to the worker, and thereby the above object is achieved.

また、好ましくは、本発明の生産管理システムにおける複数の生産ワークに、各々固有のIDと処理情報を付したデータカードを付与し、前記各管理パーソナルコンピュータは、該データカードから前記カードリーダを介して収集された生産ワーク情報に基づいて、生産ワークの作業指示情報を作業者に付与する。   Preferably, a plurality of production works in the production management system of the present invention are each assigned a data card with a unique ID and processing information, and each of the management personal computers passes through the card reader from the data card. Based on the production work information collected in this way, work instruction information on the production work is given to the worker.

さらに、好ましくは、本発明の生産管理システムにおいて、前記各管理パーソナルコンピュータにそれぞれ、生産ワークの製造フローと処理装置の情報、流動する生産ワークの進度情報を保有させ、前記フロー照合手段は、作業者が合っているかどうかおよび時間が合っているかどうかの判断とは別に、処理すべき生産ワークが処理すべき適切な処理装置に仕掛けられたかどうかをも判断し、該各管理パーソナルコンピュータは、処理が終わった生産ワークに対して、次工程の処理装置を該管理パーソナルコンピュータの表示画面上に表示して当該生産ワークの搬送先を表示指示する次工程内容表示制御手段を有する。   Further preferably, in the production management system of the present invention, each of the management personal computers has a production work flow and processing device information, and a production work progress information flowing, and the flow verification means In addition to determining whether the person is in time and whether the time is right, it is also determined whether the production work to be processed has been put on an appropriate processing device to be processed. For the production work that has been completed, there is a next process content display control means for displaying a processing device for the next process on the display screen of the management personal computer and instructing display of the transport destination of the production work.

さらに、好ましくは、本発明の生産管理システムにおけるホスト装置は、工程内の所定場所に設置したゲート通過情報を収集して作業者行動履歴情報を取得する作業者行動履歴情報取得手段を有する。   Further preferably, the host device in the production management system of the present invention has worker behavior history information acquisition means for collecting gate passage information installed at a predetermined place in the process and acquiring worker behavior history information.

さらに、好ましくは、本発明の生産管理システムにおいて、前記ホスト装置に収集された作業者別の前記ゲート通過情報から得られる前記作業者行動履歴情報を用いて、工程内の作業者の動線上の所定場所に設置されたナビゲーションディスプレイに該作業者毎の行き先を表示する作業指示手段を有する。   Further preferably, in the production management system of the present invention, using the worker action history information obtained from the gate passing information for each worker collected in the host device, on the flow line of the worker in the process Work instruction means for displaying a destination for each worker on a navigation display installed at a predetermined place is provided.

さらに、好ましくは、本発明の生産管理システムにおける作業指示手段は、工程内の作業者個人を特定できる固有端末装置を作業者毎に携帯させ、前記ホスト装置から個々の固有端末装置に作業指示を行う。   Further preferably, the work instruction means in the production management system of the present invention carries a unique terminal device that can identify an individual worker in the process for each worker, and gives a work instruction from the host device to each unique terminal device. Do.

さらに、好ましくは、本発明の生産管理システムにおけるホスト装置は、作業エリアの増減、作業種別の変更、作業スキルの向上、作業量の増減、検証結果の良否および遅れ時間の大小に基づいて作業評価値を集計して順次更新する作業評価値更新手段を有する。   Further preferably, the host device in the production management system of the present invention is configured to evaluate work based on increase / decrease of work area, change of work type, improvement of work skill, increase / decrease of work amount, pass / fail of verification result, and magnitude of delay time. Work evaluation value update means for collecting and sequentially updating the values is provided.

本発明の生産管理方法は、本発明の上記生産管理システムを用いた生産管理方法であって、該各管理パーソナルコンピュータにおいて、フロー照合手段が、該カードリーダからの該作業者IDを含む作業者情報に基づいて作業者/時間を検証するフロー照合工程と、作業者情報/検証情報転送手段が、該各管理パーソナルコンピュータは該ホスト装置に該作業者IDを含む作業者情報および該作業者IDを含む検証情報をアップロードする作業者情報/検証情報転送工程とを有し、該ホスト装置において、作業者情報/検証情報登録手段が、アップロードした該作業者IDを含む作業者情報および検証結果を含む検証情報を登録する作業者情報/検証情報登録工程を有するものであり、そのことにより上記目的が達成される。   The production management method of the present invention is a production management method using the above-described production management system of the present invention, wherein in each managed personal computer, the flow collating means includes the worker ID from the card reader. A flow collation step for verifying a worker / time based on information, and a worker information / verification information transfer means, wherein each management personal computer has worker information including the worker ID in the host device and the worker ID. Worker information / verification information transfer step for uploading verification information including the worker information / verification information registration means in the host device, the worker information / verification information registration means includes the worker information including the uploaded worker ID and the verification result. It has a worker information / verification information registration step for registering verification information including the above, and thereby the above object is achieved.

本発明の制御プログラムは、本発明の上記生産管理方法をコンピュータに実行させるための処理手順が記述されたものであり、そのことにより上記目的が達成される。   The control program according to the present invention describes a processing procedure for causing a computer to execute the production management method according to the present invention, thereby achieving the above object.

本発明の可読記憶媒体は、本発明の上記制御プログラムが格納されたコンピュータ読み取り可能なものであり、そのことにより上記目的が達成される。   The readable storage medium of the present invention is a computer-readable storage medium storing the control program of the present invention, thereby achieving the above object.

上記構成により、以下、本発明の作用を説明する。   With the above configuration, the operation of the present invention will be described below.

本発明においては、
これによって、作業者IDを含む作業者情報に基づいて作業者/時間を検証するため、マニュアル搬送/オフライン装置がある生産ラインで、作業者情報をオンライン管理して、作業者が異なることによる作業ロスおよび作業ミスの防止を低投資で行い、作業者情報を用いて省人化に向けたナビゲーション機能を低投資で行うことにより、オフライン装置がある生産ラインであっても疑似的なオンライン管理を効率よく実現することが可能である。
In the present invention,
As a result, in order to verify the worker / time based on the worker information including the worker ID, the worker information is managed online on the production line with the manual transfer / offline device, and the work due to different workers. By performing low-investment prevention and loss of work mistakes, and using low-investment navigation functions for labor savings using worker information, pseudo on-line management is possible even for production lines with offline equipment. It can be realized efficiently.

また、作業者カードを用いて作業者毎の担当エリアや作業者IDを紐付け、工程全体を制御するホスト装置で作業者に作業者毎にナビゲーションを行うため、作業ミス防止、人作業の『見える化』、省人化に向けたナビゲーション機能を低投資で、小規模ライン・局所的な分散ラインにおいて、オンライン制御と同等の生産が可能となる。また、オフライン装置処理時の作業ミス防止(正しい作業者指示・処理条件指示と搬送指示・処理履歴収集)および効率的な搬送制御による省人化を達成することが可能となる。   In addition, because the operator card is used to link the assigned area and worker ID for each worker and the worker navigates to the worker for each worker by the host device that controls the entire process, Visualization ”, navigation functions for labor savings can be invested at low cost, enabling production equivalent to online control in small-scale lines and locally distributed lines. In addition, it is possible to achieve work savings by preventing work mistakes during correct processing of offline devices (correct worker instructions / processing condition instructions and conveyance instructions / processing history collection) and efficient conveyance control.

以上により、本発明によれば、作業者IDを含む作業者情報に基づいて作業者/時間を検証するため、マニュアル搬送/オフライン装置がある生産ラインで、作業者情報をオンライン管理して、作業者が異なることによる作業ロスおよび作業ミスの防止を低投資で行い、作業者情報を用いて省人化に向けたナビゲーション機能を低投資で行うことにより、オフライン装置がある生産ラインであっても疑似的なオンライン管理を効率よく実現することができる。   As described above, according to the present invention, in order to verify the worker / time based on the worker information including the worker ID, the worker information is managed on-line on the production line with the manual transport / offline device. Even in a production line with offline equipment, it is possible to prevent work loss and work mistakes due to different workers with low investment, and to perform a navigation function for labor saving using worker information with low investment. Pseudo online management can be realized efficiently.

本発明の実施形態における生産管理システムの要部構成例およびその動作を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the example of a principal part structure of the production management system in embodiment of this invention, and its operation | movement. 図1の生産管理システムにおける管理パーソナルコンピュータとホスト装置のソフト構成例を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the software structural example of the management personal computer and host apparatus in the production management system of FIG. 各処理工程を作業者および各ロットが流動するイメージ図である。It is an image figure where an operator and each lot flow through each processing process. 図1の生産管理システムを用いて生産処理を行う場合の作業者の作業処理を含む生産管理システムの動作例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the operation example of the production management system containing the operator's work process at the time of performing a production process using the production management system of FIG. 図1の生産管理システムにおけるオフライン装置である複数の処理装置、管理パーソナルコンピュータおよびホスト装置の配置図である。FIG. 2 is a layout diagram of a plurality of processing devices, management personal computers, and host devices that are offline devices in the production management system of FIG. 1.

以下に、本発明の生産管理システムおよびこれを用いた生産管理方法、この生産管理方法をコンピュータに実行させるための処理手順が記述された制御プログラム、この制御プログラムが格納されたコンピュータ読み取り可能な可読記憶媒体の実施形態について図面を参照しながら詳細に説明する。   Hereinafter, a production management system and a production management method using the same according to the present invention, a control program in which a processing procedure for causing a computer to execute the production management method is described, and a computer-readable readable computer storing the control program An embodiment of a storage medium will be described in detail with reference to the drawings.

図1は、本発明の実施形態における生産管理システムの要部構成例およびその動作を示すブロック図である。   FIG. 1 is a block diagram illustrating a configuration example of a main part of a production management system and an operation thereof according to an embodiment of the present invention.

図1において、本実施形態の生産管理システム1は、オフライン装置を含む複数の処理装置および、作業者が入退室する複数のゲートのそれぞれに固有のIDが付された各管理パーソナルコンピュータ2と、各管理パーソナルコンピュータ2とそれぞれ情報交換を可能とするホスト装置3と、各管理パーソナルコンピュータ2にそれぞれ接続され、複数の作業者に各々固有の作業者IDなどの作業者情報を付した作業者カード(RF−ID)の内容を読み取り可能とすると共に、複数の生産ワーク(複数の生産ロット)に各々固有のIDおよび処理情報(フロー)を付したデータカード(RF−ID)をデータカード付与装置(図示せず)から作業者に付与し、そのデータカードから生産ワーク毎(作業者毎)の生産情報を読み取り可能とするカードリーダ4とを有している。   In FIG. 1, the production management system 1 of the present embodiment includes a plurality of processing devices including offline devices, and each management personal computer 2 to which a unique ID is assigned to each of a plurality of gates where an operator enters and leaves the room, A host device 3 capable of exchanging information with each management personal computer 2 and a worker card connected to each management personal computer 2 and having worker information such as unique worker IDs attached to a plurality of workers. A data card granting device that makes it possible to read the contents of (RF-ID) and attach a unique ID and processing information (flow) to a plurality of production works (plural production lots). (Not shown) is given to the worker, and the production information for each production work (each worker) can be read from the data card. And a card reader 4.

作業者カードをゲートのカードリーダ4または処理装置のカードリーダ4に接近または接触させて作業者情報を読み取り処理し、カードリーダ4が接続された管理パーソナルコンピュータ2は、作業者IDなどの作業者情報に基づいて、作業者/時間検証、即ち、正しい作業者かどうかおよび、期待した時刻通りかどうかまたはどの程度遅れたかを検証し、管理パーソナルコンピュータ2はホスト装置3に作業者IDなどの作業者情報および検証結果を含む検証情報をアップロードし、ホスト装置3は、アップロードしたその作業者情報および検証結果を含む検証情報をデータベース32に登録する。検証情報は、検証結果だけではなく、どのゲートまたはどの処理装置において、正しい作業者かどうかおよび、期待した時刻通りかどうかまたはどの程度遅れたかなどのデータを有している。   The management personal computer 2 to which the worker card is read and processed by making the worker card approach or contact the card reader 4 of the gate or the card reader 4 of the processing device and the card reader 4 is connected is a worker such as a worker ID. Based on the information, the worker / time verification, that is, whether the worker is correct and whether the expected time is met or how late, the management personal computer 2 causes the host device 3 to perform work such as worker ID. The verification information including the worker information and the verification result is uploaded, and the host device 3 registers the uploaded verification information including the worker information and the verification result in the database 32. The verification information includes not only the verification result but also data such as which gate or which processing apparatus is the correct worker, whether the expected time is reached, or how much is delayed.

作業者カードは、タグチップと呼ばれるメモリを搭載したICチップおよびアンテナが埋め込まれており、作業者ID(名前、所属班、勤務帯)、作業エリア(洗浄、露光、エッチング、検査、搬送、CVDおよび注入など)、作業種別(管理、処理、検査、搬送およびメンテ)、作業ランク(1〜5;作業スキルおよび作業履歴情報)および作業ポイントが作業者情報として記録されている。作業者カード内の作業者情報のうちの作業ポイントは、その作業者がこなせる作業量のことであり、日にどの作業をどれだけ(作業数)こなしたかを数値化したものである。作業ランクは、作業スキルのことであって、搬送だけを行う作業者から、搬送はもちろんできるし所定の処理作業もできるし検査作業もできる作業者はランクが高い。作業ポイントが高くなれば作業ランクも高くなる。   The worker card has an IC chip mounted with a memory called a tag chip and an antenna embedded therein, a worker ID (name, affiliation group, work band), work area (cleaning, exposure, etching, inspection, transport, CVD and Injection, etc.), work type (management, processing, inspection, conveyance and maintenance), work rank (1-5; work skill and work history information) and work point are recorded as worker information. The work point in the worker information in the worker card is the amount of work that can be performed by the worker, and is a numerical value indicating which work (how many work) has been performed per day. The work rank is work skill, and from the worker who performs only the transport, the worker who can perform the transport, perform the predetermined processing work, and perform the inspection work has a high rank. The higher the work point, the higher the work rank.

ホスト装置3は、規定時間内に作業が終わらないといけないのにどの程度遅れたかのマイナス評価や、作業ポイントが高くなるなどのプラス評価を総合して作業評価値を集計して更新する図2に示す作業評価値更新手段314を有する。これらの作業ランクおよび作業ポイントを含む作業者毎の作業評価値は、ホスト装置3が、後述するナビゲーションディスプレイに表示制御する。この作業評価値は、作業効率を上げるための各作業者の指標になり得る。各ゲートでの作業者カードによる入退室チェックにより、その作業者と無関係のエリアに入ることはできないし、作業内容にしても作業ランクに基づいてその作業者にはできないことが警告としてブザー音や画面表示により確認されて作業者が所定の作業者と異なることによる作業ロスおよび作業ミスを未然に防ぐことができるようになっている。   The host apparatus 3 aggregates and updates the work evaluation values by integrating the negative evaluation of how late the work must be completed within a specified time and the positive evaluation such as the work point becoming higher in FIG. A work evaluation value update means 314 is shown. The host device 3 controls the display of a work evaluation value for each worker including these work ranks and work points on a navigation display described later. This work evaluation value can be an index of each worker for improving work efficiency. By checking the entrance / exit with the worker card at each gate, it is not possible to enter an area unrelated to the worker, and even if the work contents, it is not possible for the worker based on the work rank. It is possible to prevent work loss and work mistakes caused by the operator being confirmed by the screen display and being different from the predetermined worker.

データカードには、タグチップと呼ばれるメモリを搭載したICチップおよびアンテナが埋め込まれており、「どのストッカのどの生産ワークであるカセット(ロット)をどの処理装置にマニュアル搬送して作業を行うか」を作業者が目で見て分かるようにカード表面に記載されている。データカードは、処理装置での入力ミスを回避するようにデータがICチップ内に登録されてカードリーダ4により容易かつ確実に読み取りが可能であったり、バーコードで生産条件が表記されてバーコードデーダにより容易かつ確実に読み取りが可能であったりする。ICチップ内の登録データは、例えば処理が必要なロットがどういうものでどのような処理が必要であるのかが分かるデータである。   The data card has an IC chip mounted with a memory called a tag chip and an antenna embedded therein, and "whether the production work of which stocker, which cassette (lot), is manually transported to which processing equipment for work" It is written on the card surface so that the operator can see it visually. The data card is registered in the IC chip so that input errors in the processing device can be avoided and can be easily and reliably read by the card reader 4, or the production conditions are indicated by a barcode. The data can be easily and reliably read by the data. The registration data in the IC chip is data that indicates what kind of lot needs processing and what kind of processing is necessary.

生産ワークとしてのカセット(ロット)の作業指示情報は、管理パーソナルコンピュータ2の表示画面上に表示されるかまたは、管理パーソナルコンピュータ2に接続されたデータカード付与装置によりデータカードの内容が書き換えられて表示される。   The work instruction information of the cassette (lot) as the production work is displayed on the display screen of the management personal computer 2 or the contents of the data card are rewritten by the data card attaching device connected to the management personal computer 2. Is displayed.

例えばオフライン装置などの処理装置の近傍に設けられた管理パーソナルコンピュータ2はホスト装置3とカードリーダ4にそれぞれ接続されている。管理パーソナルコンピュータ2はホスト装置3に作業者毎の生産情報をアップロードし、アップロードした生産情報に基づいて、ホスト装置3は作業指示情報をそれに対応する管理パーソナルコンピュータ2にダウンロードする。要するに、管理パーソナルコンピュータ2は、処理開始/終了時に生産ロット情報(ロットID/フロー情報)が書き込まれた作業者のデータカードをカードリーダ4にタッチ(接触)するかまたは近づけることにより、そのデータカードの内容を読み取って管理パーソナルコンピュータ2を介してホスト装置3に送信する。ホスト装置3は、その送信されたデータカードの内容(生産ロット情報)に基づいて、各ロットの処理状況(進捗管理、正常処理のチェック)を把握し、そのロット進捗状況に合わせた作業指示、カセット(ロット)の取り出し指示、次工程の処理装置選定とその搬送指示を管理パーソナルコンピュータ3の表示画面に表示させると共に、ホスト装置3のデータベース32に作業履歴を自動で収集する。   For example, a management personal computer 2 provided in the vicinity of a processing device such as an offline device is connected to a host device 3 and a card reader 4. The management personal computer 2 uploads production information for each worker to the host device 3, and based on the uploaded production information, the host device 3 downloads work instruction information to the corresponding management personal computer 2. In short, the management personal computer 2 touches (contacts) the card reader 4 with or closes the data card of the worker in which the production lot information (lot ID / flow information) is written at the start / end of the process. The contents of the card are read and transmitted to the host device 3 via the management personal computer 2. Based on the contents (production lot information) of the transmitted data card, the host device 3 grasps the processing status (progress management, check of normal processing) of each lot, and the work instruction according to the lot progress status, An instruction to take out a cassette (lot), selection of a processing apparatus for the next process, and an instruction to carry it are displayed on the display screen of the management personal computer 3 and work history is automatically collected in the database 32 of the host apparatus 3.

図2は、図1の生産管理システム1における管理パーソナルコンピュータ2とホスト装置3のソフト構成例を示すブロック図である。   FIG. 2 is a block diagram showing a software configuration example of the management personal computer 2 and the host device 3 in the production management system 1 of FIG.

本実施形態の生産管理システム1における管理パーソナルコンピュータ2は、全体の制御を行う制御部としてのCPU(中央演算処理装置)21と、CPU21に対して入力指令を行うためのキーボード、マウス、タッチパネルおよびペン入力装置、さらには通信ネットワーク(例えばインターネットやイントラネット)を介して受信入力する入力装置22と、表示画面上に、初期画面、選択場面、CPU21による制御結果画面および操作入力画面などを表示する表示部23と、制御プログラムおよびそのデータなどが記憶されたコンピュータ読み出し可能な可読記録媒体としてのROM24と、起動時に制御プログラムおよびそのデータなどが読み出されて、CPU21による制御毎にデータを読み出し・記憶するワークメモリとして働く記憶部としてのRAM25とを有している。   The management personal computer 2 in the production management system 1 of the present embodiment includes a CPU (Central Processing Unit) 21 as a control unit that performs overall control, a keyboard, a mouse, a touch panel, and an input command to the CPU 21. An input device 22 that receives and inputs via a pen input device or a communication network (for example, the Internet or an intranet), and a display that displays an initial screen, a selection scene, a control result screen by the CPU 21 and an operation input screen on the display screen. Unit 23, ROM 24 as a computer-readable readable recording medium in which the control program and its data are stored, and the control program and its data are read at startup, and the data is read and stored for each control by CPU 21. Work as working memory And a RAM25 serving as a storage unit.

本実施形態の生産管理システム1におけるホスト装置3は、全体の制御を行う制御部としてのCPU(中央演算処理装置)31と、制御プログラムおよびそのデータなどが記憶されたコンピュータ読み出し可能な可読記録媒体としてのROMおよび、起動時に制御プログラムおよびそのデータなどが読み出されて、CPU31による制御毎にデータを読み出し・記憶するワークメモリとして働く記憶部としてのRAMの他、膨大な作業者情報および検証情報、作業者行動履歴情報、作業評価値更新情報、さらに膨大な生産情報を記憶するデータベース32とを有している。   The host device 3 in the production management system 1 according to the present embodiment includes a CPU (Central Processing Unit) 31 as a control unit that performs overall control, and a computer-readable readable recording medium in which a control program and data thereof are stored. ROM, a control program and its data at the time of start-up, and a RAM as a storage unit that functions as a work memory for reading and storing data for each control by the CPU 31, as well as a large amount of worker information and verification information , Worker behavior history information, work evaluation value update information, and a database 32 for storing a large amount of production information.

可読記録媒体としてのROMは、ハードディスクの他、形態自在な光ディスク、光磁気ディスク、磁気ディスクおよびICメモリなどで構成されていてもよい。この制御プログラムおよびそのデータなどがROMに記憶されるが、この制御プログラムおよびそのデータは、他の可読記録媒体から、または、無線、有線またはインターネットなどを介してROMにダウンロードされてもよい。   The ROM as a readable recording medium may be composed of a hard disk, a formable optical disk, a magneto-optical disk, a magnetic disk, an IC memory, and the like. This control program and its data are stored in the ROM, but this control program and its data may be downloaded to the ROM from another readable recording medium or via wireless, wired or the Internet.

管理パーソナルコンピュータ2におけるCPU21は、制御プログラムおよびそのデータに基づいて、カードリーダ4で読み取った作業者情報やロットIDとその工程内容をデータ入力させるデータ入力手段211と、データ入力手段211がデータ入力した作業者IDなどの作業者情報に基づいて、作業者/時間検証、即ち、正しい作業者かどうかおよび、期待した時刻通りかどうかまたはどの程度遅れたかを検証(照合)し、また、カードリーダ4で読み取ったロットIDとその工程内容を生産情報として正しいかどうかをフロー照合するフロー照合手段212と、フロー照合手段212が行った照合結果(または検証結果)および次の処理内容(処理レシピ)を表示画面上に表示する照合結果表示制御手段213と、ホスト装置3に作業者IDなどの作業者情報および検証結果を含む検証情報をアップロードする作業者情報/検証情報転送手段214と、照合結果が作業指示として正しければ、ロットIDに対応したレシピ番号を発行するレシピ番号発行手段215と、そのロットIDに対する処理が終了したことをホスト装置3に通知する処理終了通知手段216と、処理履歴書込後、ホスト装置3にその処理装置の処理履歴データを転送する処理履歴転送手段217と、表示画面上に「カセットの取出」のメッセージを表示制御すると共に「入庫ストッカ」または「次工程の処理装置」を表示させる次工程内容表示制御手段218とを有している。   Based on the control program and its data, the CPU 21 in the management personal computer 2 has data input means 211 for inputting the worker information and lot ID read by the card reader 4 and the process contents, and the data input means 211 inputs data. On the basis of the worker information such as the worker ID, the worker / time verification, i.e., verification (verification) whether the worker is correct and whether it is the expected time or how late, and the card reader The flow collation unit 212 for collating whether the lot ID read in step 4 and the process content are correct as production information, the collation result (or verification result) performed by the flow collation unit 212, and the next processing content (processing recipe) On the display screen and the verification result display control means 213 and the host device 3 Worker information / verification information transfer means 214 for uploading worker information such as worker ID and verification information including a verification result, and recipe number issuance for issuing a recipe number corresponding to the lot ID if the collation result is correct as a work instruction Means 215, processing end notifying means 216 for notifying the host device 3 that processing for the lot ID has been completed, and processing history transfer for transferring processing history data of the processing device to the host device 3 after writing the processing history Means 217, and a next process content display control means 218 for controlling the display of the “cassette removal” message on the display screen and for displaying the “warehousing stocker” or the “processing apparatus for the next process”.

照合結果表示制御手段213は、照合結果(検証結果)が作業者および規定時刻のうちの少なくともいずれかが正しくなければ、「警告」を表示すると共にブザー音を所定時間発し、その正しい作業者および遅れた時間のうちの少なくともいずれかを表示画面上に表示制御し、また、照合結果が作業指示として正しくなければ、「警告」のブザー音と表示を行って、その「搬送先」を表示画面上に表示制御するものである。   If at least one of the worker and the specified time is not correct as a result of verification (verification result), the verification result display control means 213 displays “warning” and emits a buzzer for a predetermined time. Display control of at least one of the delayed times on the display screen, and if the collation result is not correct as a work instruction, display a “warning” buzzer sound and display the “transport destination” The display is controlled above.

ホスト装置3におけるCPU31は、制御プログラムおよびそのデータに基づいて、管理パーソナルコンピュータ2からの作業者IDなどの作業者情報および検証結果を含む検証情報を受けて、これらをデータベース32に記録すると共に作業ポイントを更新する作業者情報/検証情報登録手段311と、工程内の所定場所に設置したゲート通過情報を収集して作業者行動履歴情報を取得する作業者行動履歴情報取得手段312と、ホスト装置3に収集された作業者別のゲート通過情報から得られる作業者行動履歴情報を用いて、工程内の作業者の動線上の所定場所に設置されたナビゲーションディスプレイに作業者毎の行き先を表示する作業指示手段313と、作業エリアの増減、作業種別の変更、作業スキルの向上、作業量の増減、検証結果の良否および遅れ時間の大小に基づいて作業評価値を集計して更新する作業評価値更新手段314と、管理パーソナルコンピュータ2のロットIDに対応したレシピ番号の発行を受けて、レシピ番号に対応したレシピ(工程内容)をデータベース32に登録するレシピ登録手段315と、レシピ登録手段315によるレシピ番号に対応したレシピ内容(工程内容)の登録後、処理装置に対して「処理開始」を、管理パーソナルコンピュータ2を介して指示する処理開始指示手段316と、処理終了通知を受けて、その処理装置の管理パーソナルコンピュータ2に対してその処理装置の処理履歴データを書き込むように指示する処理履歴書込指示手段317と、管理パーソナルコンピュータ2からの転送処理履歴データを受けてデータベース32にその処理装置の処理履歴データを登録する処理履歴登録手段318と、管理パーソナルコンピュータ2に次工程内容の表示指示を行う次工程内容表示指示手段319とを有している。   Based on the control program and its data, the CPU 31 in the host device 3 receives the worker information such as the worker ID from the management personal computer 2 and the verification information including the verification result, records these in the database 32 and works. Worker information / verification information registration means 311 for updating points, worker action history information acquisition means 312 for collecting gate action information installed at a predetermined place in the process and acquiring worker action history information, and host device The destination for each worker is displayed on a navigation display installed at a predetermined location on the flow line of the worker in the process using the worker action history information obtained from the gate passing information for each worker collected in 3. Work instruction means 313, work area increase / decrease, work type change, work skill improvement, work amount increase / decrease, verification The work evaluation value updating means 314 for collecting and updating the work evaluation values based on the quality of the result and the delay time, and the receipt of the recipe number corresponding to the lot ID of the management personal computer 2 correspond to the recipe number. The recipe registration means 315 for registering the recipe (process content) in the database 32, and after the recipe content (process content) corresponding to the recipe number is registered by the recipe registration means 315, "processing start" is managed for the processing device. Processing start instruction means 316 for instructing via the personal computer 2 and processing history writing for instructing the management personal computer 2 of the processing apparatus to write the processing history data of the processing apparatus upon receiving the processing end notification Upon receiving the transfer processing history data from the instruction means 317 and the management personal computer 2, the database A processing history registration unit 318 for registering a process history data of the processing apparatus 32, and a next step the content display instruction unit 319 in the management personal computer 2 performs a display instruction of the next process contents.

作業指示手段313は、ホスト装置3に収集された作業者別のゲート通過情報から得られる作業者行動履歴情報を用いて、工程内の作業者の動線上の所定場所に設置されたナビゲーションディスプレイに作業者毎の行き先を表示する以外に、工程内の作業者個人を特定できる固有端末装置を作業者毎に携帯させ、ホスト装置3から個々の固有端末装置に作業指示を行うようにしてもよい。   The work instruction means 313 uses a worker action history information obtained from the gate passing information for each worker collected in the host device 3 and displays it on a navigation display installed at a predetermined location on the flow line of the worker in the process. In addition to displaying the destination for each worker, a unique terminal device that can identify an individual worker in the process may be carried by each worker, and the host device 3 may instruct work to each individual terminal device. .

作業評価値更新手段314は、作業エリアの増減、作業種別の変更、作業スキルの向上、作業量の増減、検証結果の良否および遅れ時間の大小に基づいて作業評価値を集計して更新すると共に、工程内の作業者の動線上の所定場所に設置されたナビゲーションディスプレイに作業者毎の作業評価値を表示するようにデータ転送する。   The work evaluation value update unit 314 aggregates and updates the work evaluation values based on increase / decrease of work area, change of work type, improvement of work skill, increase / decrease of work amount, pass / fail of verification result, and magnitude of delay time. The data is transferred so that the work evaluation value for each worker is displayed on a navigation display installed at a predetermined location on the flow line of the worker in the process.

図3は、各処理工程を作業者および各ロットが流動するイメージ図である。   FIG. 3 is an image diagram in which workers and lots flow in each processing step.

図3に示すように、各処理工程としては、洗浄工程、露光工程、エッチング工程、検査工程、CVD工程および注入工程があるが、処理工程スタート時点の入退出ゲートおよび処理工程終了時点の入退出ゲート、洗浄工程、露光工程、CVD工程および注入工程の各入退出ゲートにおいてそれぞれ作業者の入退出を作業者カードによりチェックして行う。   As shown in FIG. 3, each processing step includes a cleaning step, an exposure step, an etching step, an inspection step, a CVD step, and an implantation step, but an entry / exit gate at the start of the treatment step and an entry / exit at the end of the treatment step. Each entry / exit gate in the gate, cleaning process, exposure process, CVD process, and implantation process is checked by an operator card.

各入退出ゲートにおいて、入室または退室を目的として、作業者カードを入室用または退室用のカードリーダ4に作業者カードをタッチするかまたは接近させることにより、作業者が正しいかどうか、時間が正しいかどうか、遅れた場合にどの程度遅れたのかなどの検証時間に関して作業分析情報が得られる。作業処理の始めと終わり、移動した各地点での作業者本人であるかどうかやその時間情報が取得される。例えば作業者が今何処にいるかの作業者の居場所情報も取れるし、作業をしようとしている作業者が、作業をすべき正しい人かどうかも明確になる。また、このロットを何処に何時までに届けるのかという規定時間情報に対して規定時間内にそのロットが届けられたのかまたは遅れたのであればどの程度遅れたのかの情報が得られる。これは、ロットタグに対して作業者タグである。   At each entrance / exit gate, for the purpose of entering or leaving the room, the worker card is touched or brought close to the card reader 4 for entering or leaving, so that the worker is correct and the time is correct. Work analysis information can be obtained regarding the verification time, such as whether or not it is delayed and how much it is delayed. At the beginning and end of the work process, whether or not the worker is the person himself / herself at each point moved is acquired. For example, the worker's whereabouts information about where the worker is now can be obtained, and it becomes clear whether the worker who is working is the right person to work. Moreover, if the lot is delivered within a specified time or if it is delayed with respect to the specified time information on where and when the lot is to be delivered, information on how late the lot is is obtained. This is an operator tag for a lot tag.

作業者カードとして、作業者ID、担当エリア、作業スキルおよび作業履歴情報を付したカードが付与されており、工程内の所定場所に設置したゲート通過情報をホスト装置3が各管理パーソナルコンピュータ2から収集されて作業者行動履歴情報が得られる。   As the worker card, a card with a worker ID, a responsible area, work skill, and work history information is given, and the host device 3 receives the gate passage information set at a predetermined place in the process from each management personal computer 2. Collected to obtain worker action history information.

ホスト装置3に収集された作業者別の作業者情報および検証情報の場所および時間情報から得られる作業者行動履歴情報を用いて、工程内の作業者の動線上の所定場所に設置されたナビゲーションディスプレイに作業者毎の行き先を表示する。また、工程内の作業者個人を特定できる固有端末装置を作業者毎に携帯させ、ホスト装置3から個々の固有端末装置に作業情報指示が行われる。   Navigation installed at a predetermined location on the flow line of the worker in the process using the worker action history information obtained from the location and time information of the worker information and verification information for each worker collected in the host device 3 The destination for each worker is displayed on the display. In addition, a unique terminal device that can identify an individual worker in the process is carried by each worker, and work information is instructed from the host device 3 to each unique terminal device.

上記構成により、本実施形態の生産管理システム1を用いて作業者が生産処理をする場合の一例について説明する。   An example in which an operator performs production processing using the production management system 1 of the present embodiment with the above configuration will be described.

図4は、図1の生産管理システム1を用いて生産処理を行う場合の作業者の作業処理を含む生産管理システム1の動作例を示すフローチャートである。   FIG. 4 is a flowchart showing an operation example of the production management system 1 including the worker's work process when the production process is performed using the production management system 1 of FIG.

まず、図4に示すように、ステップS1で、作業者により、データカード付与装置5を構成するストッカ管理パーソナルコンピュータ51が操作されて「カード出力情報」が選択される。作業者に対して、「カード出力情報」として、どのカセット(ロット)をどのストッカから取り出してどの処理装置にマニュアル搬送するかが指示される。   First, as shown in FIG. 4, in step S <b> 1, the operator operates the stocker management personal computer 51 constituting the data card giving apparatus 5 to select “card output information”. As the “card output information”, an operator is instructed which cassette (lot) is taken out from which stocker and to which processing apparatus is manually conveyed.

次に、ステップS2で、作業者は、ストッカ管理パーソナルコンピュータ51を操作してデータカードプリンタ52からデータカード53をプリント出力する。   Next, in step S 2, the operator operates the stocker management personal computer 51 to print out the data card 53 from the data card printer 52.

続いて、ステップS3で、作業者は、プリント出力されたデータカード53の内容に応じてソースストッカ54からその指示されたカセット(ロット)を出庫する。   Subsequently, in step S3, the worker issues the instructed cassette (lot) from the source stocker 54 in accordance with the contents of the data card 53 printed out.

その後、ステップS4で、作業者は、出庫したカセット(ロット)を所定の処理装置にマニュアル搬送する。   Thereafter, in step S4, the operator manually conveys the delivered cassette (lot) to a predetermined processing apparatus.

さらに、ステップS5で、作業者は、カードリーダ4にて作業者カードの内容(作業者ID、担当エリア、作業ランク(作業スキルおよび作業履歴情報)を読み取る。また、作業者は、マニュアル搬送したカセット(ロット)を装置ローダにセットすると共に、カードリーダ4にてデータカード53の内容を読み取る。即ち、作業者が「カセットのセット」として、その処理装置にカセット(ロット)をセットする。その処理装置に設けられたカードリーダ4にデータカードを接近させることにより、「ロットID/工程読取」を行って、その処理装置で処理を行うロットIDとその工程内容を読み取りミスなく正確にカードリーダ4が読み取ることができる。   Further, in step S5, the worker reads the contents of the worker card (worker ID, assigned area, work rank (work skill and work history information)) with the card reader 4. Also, the worker manually conveys the work card. The cassette (lot) is set in the apparatus loader and the contents of the data card 53 are read by the card reader 4. That is, the operator sets the cassette (lot) in the processing apparatus as “set cassette”. By making the data card approach the card reader 4 provided in the processing apparatus, the “lot ID / process reading” is performed, and the lot ID to be processed in the processing apparatus and the process contents are read accurately without any mistake. 4 can be read.

以上のステップS1〜S5は、ストッカ管理パーソナルコンピュータ51およびデータカード53により指示されたイベントを作業者が実行すると共に、カードリーダ4に作業者カードおよびデータカード53の内容を読み取らせる作業者の作業である。   In steps S1 to S5 described above, the worker executes an event instructed by the stocker management personal computer 51 and the data card 53, and the worker's work is to cause the card reader 4 to read the contents of the worker card and the data card 53. It is.

次に、ステップS6で、管理パーソナルコンピュータ2は、カードリーダ4で読み取った作業者IDなどの作業者情報および、カードリーダ4で読み取った時点の時刻情報を、データ入力手段211がデータ入力した作業者情報および時刻情報に基づいて、フロー照合手段212が、作業者/時間のフロー照合、即ち、正しい作業者かどうかおよび、期待した時刻通りかどうかまたはどの程度遅れたかを検証する。管理パーソナルコンピュータ2は、作業者が合っているかどうかおよび時間が合っているかどうかを判断するために、生産ワークの製造フローおよび処理装置の情報と作業者情報から、正しい作業者かどうかが検証され、また、ホスト装置3からダウンロードされた、流動する生産ワークの進度情報、例えば搬送指示が出された時刻から所定時間以内に到着するために、期待した時刻通りかどうかまたはどの程度遅れたかが検証される。さらに、照合結果表示制御手段213により、フロー照合手段212が行った照合結果(検証結果)が良ければその内容が管理パーソナルコンピュータ2の表示画面上に表示され、照合結果(検証結果)が不可であれば、「警告」を管理パーソナルコンピュータ2の表示画面上に表示すると共にブザー音を所定時間だけ発する。   Next, in step S 6, the management personal computer 2 performs the work in which the data input means 211 inputs the worker information such as the worker ID read by the card reader 4 and the time information at the time of reading by the card reader 4. Based on the worker information and the time information, the flow matching unit 212 verifies the worker / time flow matching, that is, whether the worker is a correct worker and whether it is the expected time or how late. The management personal computer 2 verifies whether the worker is a correct worker from the production flow of the production work and the information of the processing device and the worker information in order to determine whether the worker is correct and whether the time is correct. In addition, the progress information of the production work that is downloaded from the host device 3, for example, the arrival time within a predetermined time from the time when the transfer instruction is issued, is verified whether it is the expected time or how late it is. The Furthermore, if the collation result (verification result) performed by the flow collation unit 212 is good by the collation result display control unit 213, the content is displayed on the display screen of the management personal computer 2, and the collation result (verification result) is not possible. If there is, a “warning” is displayed on the display screen of the management personal computer 2 and a buzzer sound is emitted for a predetermined time.

さらに、ステップS7で、管理パーソナルコンピュータ2の作業者情報/検証情報転送手段214が、ホスト装置3に作業者IDなどの作業者情報および検証結果を含む検証情報をアップロードし、ホスト装置3は、アップロードしたその作業者情報および検証結果を含む検証情報をデータベース32に登録する。   In step S7, the worker information / verification information transfer unit 214 of the management personal computer 2 uploads the worker information such as the worker ID and the verification information including the verification result to the host device 3, and the host device 3 The uploaded verification information including the worker information and the verification result is registered in the database 32.

続いて、ステップS8で、管理パーソナルコンピュータ2では、カードリーダ4で読み取ったその処理装置で処理を行うロットIDとその工程内容をデータ入力手段211がデータ入力し、フロー照合手段212が、その処理装置毎のフロー照合を行って、「カセット検証、レシピチェック」を行い、照合結果表示制御手段213がその照合結果および次の作業内容を表示部23に表示する。即ち、その処理装置に設けられた管理パーソナルコンピュータ2は、カードリーダ4が読み取ったロットIDおよびその工程内容が作業指示として正しいかどうかを確認する。カードリーダ4が読み込んだロットIDおよびその工程内容(フロー)が正しければ、管理パーソナルコンピュータ2は、その表示画面上で作業者に対して受付確認を行う。即ち、そのロットIDおよびその工程内容が正しければ、受付確認として作業者が処理開始を処理装置に対して指示しても良いし、管理パーソナルコンピュータ2のレシピ番号発行手段215が、ロットIDに対応したレシピ番号を発行し、ステップS9で、ホスト装置3がそのロットIDに対応したレシピ番号を受け付けてカセット(ロット)およびレシピ(工程内容)をホスト装置3のレシピ登録手段315がデータベース32に登録する。   Subsequently, in step S8, in the management personal computer 2, the data input means 211 inputs data on the lot ID and process contents read by the card reader 4 and processed by the processing apparatus, and the flow matching means 212 performs the processing. The flow collation for each apparatus is performed, “cassette verification, recipe check” is performed, and the collation result display control unit 213 displays the collation result and the next work content on the display unit 23. That is, the management personal computer 2 provided in the processing apparatus confirms whether the lot ID read by the card reader 4 and the process contents are correct as a work instruction. If the lot ID read by the card reader 4 and the process content (flow) are correct, the management personal computer 2 confirms the reception on the display screen with respect to the worker. That is, if the lot ID and the process contents are correct, the worker may instruct the processing apparatus to start processing as a confirmation of acceptance, and the recipe number issuing means 215 of the management personal computer 2 corresponds to the lot ID. In step S9, the host device 3 accepts the recipe number corresponding to the lot ID, and the recipe registration means 315 of the host device 3 registers the cassette (lot) and recipe (process contents) in the database 32. To do.

ステップS10で、ホスト装置3のレシピ登録手段315によるロットIDに対応したレシピ番号の登録後、処理開始指示手段316が処理装置に対して「処理開始」を自動で指示する。   In step S10, after the recipe number corresponding to the lot ID is registered by the recipe registration unit 315 of the host device 3, the process start instruction unit 316 automatically instructs the processing apparatus to “start processing”.

ステップS11で、フロー照合手段212が照合した結果として、そのロットIDおよびその工程内容が正しくなければ(否)、照合結果表示制御手段213が「警告」およびその「搬送先」をその管理パーソナルコンピュータ2の表示画面上に表示制御すると共にブザー音を発生させる。   In step S11, if the lot ID and the process content are not correct as a result of the collation by the flow collating unit 212 (no), the collation result display control unit 213 displays “warning” and “conveyance destination” as its management personal computer. The display is controlled on the display screen 2 and a buzzer sound is generated.

以上のステップS8〜S10は、管理パーソナルコンピュータ2およびホスト装置3が行う動作である。   The above steps S8 to S10 are operations performed by the management personal computer 2 and the host device 3.

次に、ステップS11で、表示画面上に「警告」が発せられた場合には、作業者は、その処理装置からカセット(ロット)を取り外して、そのカセット(ロット)を正規の搬送先の処理装置にマニュアル搬送する。   Next, when a “warning” is issued on the display screen in step S11, the worker removes the cassette (lot) from the processing apparatus, and processes the cassette (lot) as a regular transport destination. Manually transport to the equipment.

さらに、ステップS10で、処理開始指示手段316の「処理開始指示」によって処理装置が処理を開始し、一定時間後に処理装置はその処理を終了する。処理装置は、ステップS12で、管理パーソナルコンピュータ2の処理終了通知手段216は、そのカセット(ロット)に対する処理が終了したことをホスト装置3に通知し、ホスト装置3の処理履歴書込指示手段317は、この処理終了通知を受けて、ステップS13で、その処理装置の管理パーソナルコンピュータ2に対して処理履歴のデータを書き込むように指示し、管理パーソナルコンピュータ2の処理履歴転送手段217がホスト装置3にその処理装置の処理履歴データを転送する。ホスト装置3では、管理パーソナルコンピュータ2からの処理履歴データを受けて、ホスト装置3の処理履歴登録手段318がデータベース32にその処理装置の処理履歴データを登録する。   Further, in step S10, the processing device starts processing according to the “processing start instruction” from the processing start instruction unit 316, and the processing device ends the processing after a predetermined time. In step S12, the processing device notifies the host device 3 that the processing for the cassette (lot) has been completed, and the processing history writing instruction unit 317 of the host device 3 causes the processing device to notify the host device 3 that the processing has been completed. Upon receiving this processing end notification, in step S13, the management personal computer 2 of the processing device is instructed to write processing history data, and the processing history transfer means 217 of the management personal computer 2 sends the host device 3 to the processing history data. The processing history data of the processing device is transferred to. In the host device 3, upon receiving the processing history data from the management personal computer 2, the processing history registration means 318 of the host device 3 registers the processing history data of the processing device in the database 32.

さらに、ステップS14で、ホスト装置3は、そのカセット(ロット)に対して処理が終了したかどうかを判断して、そのカセット(ロット)に対して処理が終了したならば(YES)、ホスト装置3の次工程内容表示指示手段319は、ステップS15で、管理パーソナルコンピュータ2に次工程内容の表示指示を行って、管理パーソナルコンピュータ2の次工程内容表示制御手段218は、その表示画面上に「カセットの取出」のメッセージを表示制御すると共に、管理パーソナルコンピュータ2の表示画面上に「入庫ストッカ」を表示させる。この指示に従って、作業者は、そのカセット(ロット)を装置ローダから取り外して所定指示ストッカまで搬送し、そのカセット(ロット)を所定指示ストッカに入庫する。   Further, in step S14, the host device 3 determines whether or not the processing has been completed for the cassette (lot). If the processing has been completed for the cassette (lot) (YES), the host device 3 In step S15, the next process content display instruction means 319 instructs the management personal computer 2 to display the next process content, and the next process content display control means 218 of the management personal computer 2 displays “ The display of the message “Remove cassette” is controlled, and “Receiving stocker” is displayed on the display screen of the management personal computer 2. In accordance with this instruction, the operator removes the cassette (lot) from the apparatus loader and transports it to a predetermined instruction stocker, and enters the cassette (lot) into the predetermined instruction stocker.

また、ステップS14で、そのカセット(ロット)に対して処理が終了していなければ(NO)、ホスト装置3の次工程内容表示指示手段319は、ステップS16で、管理パーソナルコンピュータ2に次工程内容の表示指示を行って、管理パーソナルコンピュータ2の次工程内容表示制御手段218は、その表示画面上に「カセットの取出」のメッセージを表示すると共に、管理パーソナルコンピュータ2の表示画面上に「次工程の処理装置」を表示させる。作業者は、カードリーダ4にて作業者カードの内容(作業者ID、担当エリア、作業ランク(作業スキルおよび作業履歴情報)を読み取らせる。その後、この指示に従って、作業者は、そのカセット(ロット)を装置ローダから取り外して次工程の処理装置まで搬送して、作業者はステップS5で、そのカセット(ロット)を装置ローダにセットすると共に、データカードおよび作業者カードをカードリーダ4に近づけてカードリーダ4がカード情報を読み取る。管理パーソナルコンピュータ2は、作業者が合っているかどうかおよび時間が合っているかどうかを判断するために、生産ワークの製造フローおよび処理装置の情報と作業者情報から、正しい作業者かどうかが検証され、また、ホスト装置3からダウンロードされた、流動する生産ワークの進度情報、例えば搬送指示が出された時刻から所定時間以内に到着するために、期待した時刻通りかどうかまたはどの程度遅れたかが検証される。   If the processing for the cassette (lot) is not completed in step S14 (NO), the next process content display instruction means 319 of the host device 3 sends the next process content to the management personal computer 2 in step S16. The next process content display control means 218 of the management personal computer 2 displays a message “Remove cassette” on the display screen and also displays “Next process” on the display screen of the management personal computer 2. Is displayed. The worker causes the card reader 4 to read the contents of the worker card (worker ID, area in charge, work rank (work skill and work history information). Then, according to this instruction, the worker uses the cassette (lot ) Is removed from the apparatus loader and conveyed to the processing apparatus of the next process, and the worker sets the cassette (lot) in the apparatus loader and brings the data card and the worker card closer to the card reader 4 in step S5. The card information is read by the card reader 4. The management personal computer 2 uses the production work flow, the processing device information, and the worker information to determine whether the worker is correct and whether the time is correct. Whether it is a correct worker or downloaded from the host device 3 Progress information of the work, for example, in order to arrive from the transport instruction is issued time within a predetermined time, or delayed much or what if time as the expected are verified.

次のステップS17で、管理パーソナルコンピュータ2は、カードリーダ4で読み取った作業者IDなどの作業者情報および、カードリーダ4で読み取った時点の時刻情報を、データ入力手段211がデータ入力した作業者情報および時刻情報に基づいて、フロー照合手段212が、作業者/時間のフロー照合、即ち、正しい作業者かどうかおよび、期待した時刻通りかどうかまたはどの程度遅れたかを検証する。さらに、照合結果表示制御手段213により、フロー照合手段212が行った照合結果(検証結果)が良ければその内容が管理パーソナルコンピュータ2の表示画面上に表示され、次のステップS18の処理に移行する。また、照合結果(検証結果)が不可であれば、次のステップS11で、「警告」を管理パーソナルコンピュータ2の表示画面上に表示すると共にブザー音を所定時間だけ発音させる。   In the next step S17, the management personal computer 2 uses the data input means 211 to input the worker information such as the worker ID read by the card reader 4 and the time information at the time of reading by the card reader 4. Based on the information and the time information, the flow matching means 212 verifies the worker / time flow matching, that is, whether the worker is a correct worker and whether it is the expected time or how late. Furthermore, if the collation result (verification result) performed by the flow collation unit 212 is good by the collation result display control unit 213, the content is displayed on the display screen of the management personal computer 2, and the process proceeds to the next step S18. . If the collation result (verification result) is not possible, “Warning” is displayed on the display screen of the management personal computer 2 and a buzzer sound is generated for a predetermined time in the next step S11.

さらに、ステップS18で、管理パーソナルコンピュータ2の作業者情報/検証情報転送手段214が、ホスト装置3に作業者IDなどの作業者情報および検証結果を含む検証情報をアップロードし、ホスト装置3は、アップロードしたその作業者情報および検証結果を含む検証情報をデータベース32に登録して、次のステップS4の処理に戻る。   Further, in step S18, the worker information / verification information transfer means 214 of the management personal computer 2 uploads the worker information such as the worker ID and the verification information including the verification result to the host device 3, and the host device 3 The uploaded worker information and verification information including the verification result are registered in the database 32, and the process returns to the next step S4.

以上のステップS12〜S18は、管理パーソナルコンピュータ2およびホスト装置3が行う動作である。   The above steps S12 to S18 are operations performed by the management personal computer 2 and the host device 3.

なお、作業者は、その処理装置の処理の間は他の仕事を行い、管理パーソナルコンピュータ2の表示画面上に「カセットの取出」および「次工程への搬送」の指示が表示されれば、その処理装置から「カセットの取出」を行って、次工程にそのカセット(ロット)をマニュアル搬送をする。   The worker performs other work during the processing of the processing apparatus, and if instructions of “take out cassette” and “convey to next process” are displayed on the display screen of the management personal computer 2, The cassette is taken out from the processing apparatus, and the cassette (lot) is manually conveyed to the next process.

要するに、管理パーソナルコンピュータ2において、データ入力手段211が、カードリーダ4で読み取ったロットIDとその工程内容をデータ入力させるデータ入力工程と、フロー照合手段212が、入力されたロットIDとその工程内容を生産情報として正しいかどうかをフロー照合するフロー照合工程と、照合結果表示制御手段213が、フロー照合手段212が行った照合結果および次の作業内容を表示画面上に表示制御する照合結果表示制御工程と、作業者情報/検証情報転送手段214が、ホスト装置3に作業者IDなどの作業者情報および検証結果を含む検証情報をアップロードする作業者情報/検証情報転送工程と、照合結果が作業指示として正しければ、レシピ番号発行手段215が、ロットIDに対応したレシピ番号を発行するレシピ番号発行工程と、処理終了通知手段216が、ロットIDに対して処理装置の処理が終了したことをホスト装置3に通知する処理終了通知工程と、処理装置の処理履歴書込後、処理履歴転送手段217が、ホスト装置3に当該処理装置の処理履歴データを転送する処理履歴転送工程と、次工程内容表示制御手段218が、表示画面上に「カセットの取出」のメッセージを表示制御すると共に「入庫ストッカ」または「次工程の処理装置」を表示制御する次工程内容表示制御工程とを有している。   In short, in the management personal computer 2, the data input means 211 causes the data input means 211 to input the lot ID read by the card reader 4 and the process contents thereof, and the flow collating means 212 inputs the lot ID and the process contents thereof. The flow verification process for verifying whether the production information is correct, and the verification result display control unit 213 controls the display of the verification result and the next work content performed by the flow verification unit 212 on the display screen. Process, worker information / verification information transfer means 214 uploads worker information such as worker ID and verification information including verification results to the host device 3, and the collation result is the work If it is correct as an instruction, the recipe number issuing means 215 selects a recipe number corresponding to the lot ID. A recipe number issuing step to be performed, a processing end notifying unit 216, a processing end notifying step for notifying the host device 3 that the processing of the processing device has been completed for the lot ID, and a processing history writing of the processing device, The processing history transfer means 217 transfers the processing history data of the processing apparatus to the host device 3, and the next process content display control means 218 controls the display of a “cassette removal” message on the display screen. In addition, it has a next process content display control process for controlling display of the “warehousing stocker” or the “processing apparatus for the next process”.

ホスト装置3において、作業者情報/検証情報登録手段311が、管理パーソナルコンピュータ2からの作業者IDなどの作業者情報および検証結果を含む検証情報を受けて、これらをデータベース32に記録すると共に作業ポイントを更新する作業者情報/検証情報登録工程と、作業者行動履歴情報取得手段312が、工程内の所定場所に設置したゲート通過情報を収集して作業者行動履歴情報を取得する作業者行動履歴情報取得工程と、作業指示手段313が、ホスト装置3に収集された作業者別のゲート通過情報から得られる作業者行動履歴情報を用いて、工程内の作業者の動線上の所定場所に設置されたナビゲーションディスプレイに作業者毎の行き先を表示する作業指示工程と、作業評価値更新手段314が、作業エリアの増減、作業種別の変更、作業スキルの向上、作業量の増減、検証結果の良否および遅れ時間の大小に基づいて作業評価値を集計して更新する作業評価値更新工程と、管理パーソナルコンピュータ2からのレシピ番号の発行を受けて、レシピ登録手段315が、レシピ番号に対応したレシピ内容をデータベースに登録するレシピ登録工程と、レシピ内容の登録後、処理開始指示手段316が、処理装置に対して「処理開始」を指示する処理開始指示工程と、処理終了通知を受けて、処理履歴書込指示手段317が、管理パーソナルコンピュータ2に対して処理履歴データを書き込むように指示する処理履歴書込指示工程と、処理履歴登録手段318が、管理パーソナルコンピュータ2からの転送処理履歴データを受けてデータベース32に処理装置の処理履歴データを登録する処理履歴登録工程と、次工程内容表示指示手段319が、管理パーソナルコンピュータ2に次工程内容の表示指示する次工程内容表示指示工程とを有している。   In the host device 3, worker information / verification information registration means 311 receives worker information such as a worker ID from the management personal computer 2 and verification information including a verification result, records them in the database 32 and works. Worker information / verification information registration step for updating points and worker behavior history information acquisition means 312 collects gate passage information installed at a predetermined place in the step and acquires worker behavior history information. The history information acquisition step and the work instruction means 313 use the worker action history information obtained from the gate passage information for each worker collected in the host device 3 to obtain a predetermined place on the flow line of the worker in the process. The work instruction process for displaying the destination for each worker on the installed navigation display, and the work evaluation value update means 314 include an increase / decrease in the work area, Work evaluation value update process that aggregates and updates work evaluation values based on changes by industry, improvement of work skills, increase / decrease in work volume, quality of verification results, and delay time, and recipe from management personal computer 2 Upon receipt of the number, the recipe registration means 315 registers the recipe contents corresponding to the recipe number in the database, and after the recipe contents are registered, the processing start instruction means 316 gives the processing device a “processing” A process start instructing step for instructing “start”, a process history write instructing step for instructing the management personal computer 2 to write process history data by the process history write instructing means 317 upon receiving a process end notification; The processing history registration means 318 receives the transfer processing history data from the management personal computer 2 and stores it in the database 32. And process history registering step of registering the management history data, the following steps content display instruction means 319, and a next step the content display instruction step of displaying the instructions in the next step the content in the management personal computer 2.

以上は、ホスト装置3と作業者との作業インターフェースとしての管理パーソナルコンピュータ2およびカードリーダ4について説明してきたが、次は、処理装置としてオフライン装置がある生産ラインであっても、生産管理システム1による疑似的なオンライン管理を実現する管理パーソナルコンピュータ2の別の機能について図5を用いて詳細に説明する。   The above has described the management personal computer 2 and the card reader 4 as work interfaces between the host device 3 and the worker. Next, even in a production line with an offline device as a processing device, the production management system 1 Another function of the management personal computer 2 that realizes pseudo on-line management will be described in detail with reference to FIG.

以上の本実施形態の生産管理システム1により、オペレータである作業者は予め決められたルートを決められた周期でマニュアル搬送で巡回することにより、作業者カードによる本人検証の他、時間的な作業遅れについて検証した後に、管理パーソナルコンピュータ2の表示画面またはデータカード(RF−IDタグ)の作業指示用画面に表示される生産情報に従って、オフライン装置で自動的にロットを受け取れない処理装置であっても正確な作業処理とロット運搬・次工程処理を確実に行うことができる。これによって、マニュアル搬送/オフライン装置がある生産ラインにおいて、作業管理および省人化に向けたナビゲーションによる作業指示を行って作業の効率化および作業ミスの防止を確実に実現することができる。   With the production management system 1 of the present embodiment as described above, an operator, who is an operator, circulates a predetermined route by manual conveyance at a predetermined cycle, thereby verifying the identity of the worker card and performing time work. A processing apparatus that cannot automatically receive a lot by an off-line apparatus in accordance with production information displayed on the display screen of the management personal computer 2 or the work instruction screen of the data card (RF-ID tag) after verifying the delay. In addition, accurate work processing, lot transportation and next process processing can be performed reliably. Thereby, in a production line having a manual transport / offline device, it is possible to reliably realize work efficiency and prevention of work mistakes by giving work instructions by navigation for work management and labor saving.

図5は、図1の生産管理システム1におけるオフライン装置である複数の処理装置、管理パーソナルコンピュータ2およびホスト装置3の配置図である。   FIG. 5 is a layout diagram of a plurality of processing devices, a management personal computer 2 and a host device 3 which are offline devices in the production management system 1 of FIG.

図5において、オフライン装置6には、処理装置が異常(アラーム)や稼働・非稼働(メンテナンス(強制停止)、処理可能、処理中、処理終了、処理待ち)などを確認可能なように点灯表示するシグナルタワー61が設けられている。このオフライン装置6のシグナルタワー61は、本来の目的である稼働・非稼働などの装置状態の検知に広く用いられている。この装置ステータス情報を含むシグナルタワー信号/警告信号(以下、単にシグナルタワー信号という)を読み取って、オフライン装置6を疑似的にオンライン化してオフライン装置6の装置状態をリアルタイムに情報入手することができる。このシグナルタワー61と接続された信号線62に、各種信号を読み取るデコーダ装置63を設け、管理パーソナルコンピュータ2のオンライン通信可能な電子機器で読み取ることにより、オフライン装置6の装置本体を改造せずに、オフライン装置6の装置状態を、工程管理を行うホスト装置3に管理パーソナルコンピュータ2から装置状態情報を送信する。   In FIG. 5, the offline device 6 is lit up so that the processing device can be checked for anomalies (alarms), operation / non-operation (maintenance (forced stop), processing possible, processing, processing end, processing waiting), etc. A signal tower 61 is provided. The signal tower 61 of the offline device 6 is widely used for detecting the device state such as operation / non-operation, which is the original purpose. By reading a signal tower signal / warning signal (hereinafter, simply referred to as a signal tower signal) including the device status information, the offline device 6 can be pseudo-online and the device status of the offline device 6 can be obtained in real time. . A decoder device 63 that reads various signals is provided on the signal line 62 connected to the signal tower 61 and is read by an electronic device capable of online communication of the management personal computer 2, so that the device body of the offline device 6 is not modified. The device status information of the offline device 6 is transmitted from the management personal computer 2 to the host device 3 that performs process management.

この生産管理システム1は、少なくともオフライン装置6を一または複数含む一または複数の処理装置に対して、ロットの処理フロー進捗管理機能を有したホスト装置3と、オフライン装置6に付加されている装置稼働状況を点灯・非点灯で知らせるシグナルタワー信号(アラーム信号を含む)を読み取って、オフライン装置6の装置状態情報(異常(アラーム)や稼働・非稼働状態情報;装置が空いているかどうかの情報)をホスト装置3に送信する各管理パーソナルコンピュータ2とを有しており、ホスト装置3は、少なくともオフライン装置6を含む一または複数の処理装置の各装置状態情報(異常(アラーム)や稼働・非稼働状態情報;装置が空いているかどうかの情報)に基づいて、各管理パーソナルコンピュータ2を介してロットの作業指示情報を出力する。   This production management system 1 includes a host device 3 having a lot process flow progress management function and one or more processing devices including at least one offline device 6 and devices added to the offline device 6. Read the signal tower signal (including alarm signal) that informs the operating status by lighting / non-lighting, and the device status information of the offline device 6 (abnormality (alarm) and operating / non-operating status information; whether the device is free) ) To the host device 3, and the host device 3 includes at least device status information (abnormality (alarm) and operation / operation) of one or a plurality of processing devices including the offline device 6. Non-operating state information (information on whether or not the device is free)) via each management personal computer 2 And outputs the work instruction information.

この場合、ホスト装置3において、複数のオフライン装置6から同時に作業が必要な信号が検出されたとき、ロットの処理優先順位、作業者現在地点などを総合的に判断してオフライン装置6毎の管理パーソナルコンピュータ2に作業指示情報を出力する。即ち、少なくともオフライン装置6を含む一または複数の処理装置から同時に作業が必要な信号が検出されたときに、ホスト装置3は、ロットの処理優先順位、作業者現在地点などの生産条件を総合的に判断して、少なくともオフライン装置6を含む一または複数の処理装置のそれぞれの各管理パーソナルコンピュータ2を介して作業指示情報を出力させる。また、オフライン装置6から読み取ったシグナルタワー信号に含まれる処理開始信号と、予め登録されたオフライン装置6のプロセス時間から処理終了時刻を予測して、オフライン装置6毎の管理パーソナルコンピュータ2に作業予約指示を出力する。ホスト装置3は、少なくともオフライン装置6を含む一または複数の処理装置からそれぞれ読み取った処理開始信号と、予め登録されたプロセス時間とから処理終了時刻を予測して、少なくともオフライン装置6を含む一または複数の処理装置のそれぞれの各管理パーソナルコンピュータ2を介して作業予約指示情報を出力させる。   In this case, when a signal that requires work is detected simultaneously from a plurality of offline devices 6 in the host device 3, the processing priority of lots, the worker's current location, etc. are comprehensively determined and managed for each offline device 6. The work instruction information is output to the personal computer 2. That is, when a signal requiring work is detected simultaneously from one or a plurality of processing devices including at least the off-line device 6, the host device 3 comprehensively determines the production conditions such as the processing priority of lots and the worker's current location. Thus, the work instruction information is output via each management personal computer 2 of at least one processing apparatus including the off-line apparatus 6. Further, the processing end time is predicted from the processing start signal included in the signal tower signal read from the offline device 6 and the process time of the offline device 6 registered in advance, and the work is reserved in the management personal computer 2 for each offline device 6. Output instructions. The host device 3 predicts the processing end time from the processing start signal read from one or a plurality of processing devices including at least the offline device 6 and the process time registered in advance, and includes at least one or more of the offline devices 6 Work reservation instruction information is output via each management personal computer 2 of each of the plurality of processing devices.

この各管理パーソナルコンピュータ2を介したロットの作業指示情報は、各管理パーソナルコンピュータ2の表示部23の表示画面上に、文章や絵柄などで表示出力したり、異常(アラーム)時などブザーなどによって音声出力したり、作業者に対して各種の指示出力が考えられる。   The lot work instruction information via each management personal computer 2 is displayed and output on the display screen of the display unit 23 of each management personal computer 2 as text or a pattern, or by a buzzer or the like at the time of abnormality (alarm). It is possible to output a voice or output various instructions to the worker.

この生産管理システム1を用いた生産管理方法としては、オフライン装置6に付加されている装置稼働状況を点灯・非点灯で知らせるシグナルタワー信号(アラーム信号を含む)を読み取って、オフライン装置6の装置状態情報を管理パーソナルコンピュータ2がホスト装置3に転送し、ホスト装置3は、オフライン装置6の装置状態情報に基づいて、管理パーソナルコンピュータ2を介してオフライン装置のロットの作業指示情報を出力させる。即ち、本実施形態の生産管理方法は、オフライン装置6に付加されている装置稼働状況を点灯・非点灯で知らせるシグナルタワー信号(アラーム信号を含む)を読み取って、少なくともオフライン装置6を含む一または複数の処理装置の装置状態情報を各管理パーソナルコンピュータ2がそれぞれホスト装置3に転送し、ホスト装置3は、少なくともオフライン装置6を含む一または複数の処理装置の装置状態情報に基づいて、対応した各管理パーソナルコンピュータ2を介して、少なくともオフライン装置6を含む一または複数の処理装置のロットの作業指示情報を出力させる。この場合、管理パーソナルコンピュータ2はホスト装置3に装置状態情報をアップロードし、アップロードした装置状態情報に基づいて、ホスト装置3はロットの作業指示情報をそれに対応する各管理パーソナルコンピュータ2にそれぞれダウンロードする。   As a production management method using this production management system 1, a signal tower signal (including an alarm signal) that informs the operation status of the device attached to the offline device 6 by lighting / non-lighting is read, and the device of the offline device 6 is read. The management personal computer 2 transfers the status information to the host device 3, and the host device 3 outputs work instruction information on the lot of the offline device via the management personal computer 2 based on the device status information of the offline device 6. That is, the production management method of the present embodiment reads a signal tower signal (including an alarm signal) that informs the operation status of the device added to the offline device 6 by lighting / non-lighting, and includes at least the offline device 6. Each management personal computer 2 transfers the device status information of a plurality of processing devices to the host device 3, and the host device 3 responds based on the device status information of one or more processing devices including at least the offline device 6. Through each management personal computer 2, work instruction information on lots of one or a plurality of processing apparatuses including at least the off-line apparatus 6 is output. In this case, the management personal computer 2 uploads the device status information to the host device 3, and based on the uploaded device status information, the host device 3 downloads the lot work instruction information to each management personal computer 2 corresponding thereto. .

オフライン装置の近傍に、ホスト装置3と通信ができる管理パーソナルコンピュータ2とこれに接続されるカードリーダ4(RF−IDリーダ)とが設置され、処理開始/終了時に、作業者情報が書き込まれた作業者カードをカードリーダ4にタッチするかまたは近づけることにより、カードリーダ4から作業者カードの作業者情報および時間を管理パーソナルコンピュータ2に入力し、管理パーソナルコンピュータ2は、カードリーダ4からの作業者IDを含む作業者情報に基づいて作業者/時間を検証し、管理パーソナルコンピュータ2はホスト装置3に作業者IDを含む作業者情報および検証情報をアップロードする。これによって、ホスト装置3が各ロットの処理状況(進捗管理、正常処理のチェック)を把握すると同時に、作業者毎にロット進捗に、作業遅延や取り出し遅延がないかを算出し、次の処理装置へ搬送指示を、対応する管理パーソナルコンピュータ2やその他の作業指示用画面に表示する。   A management personal computer 2 capable of communicating with the host device 3 and a card reader 4 (RF-ID reader) connected thereto are installed in the vicinity of the offline device, and worker information is written at the start / end of processing. By touching or bringing the worker card to the card reader 4, the worker information and time of the worker card are input from the card reader 4 to the management personal computer 2, and the management personal computer 2 operates from the card reader 4. The worker / time is verified based on the worker information including the worker ID, and the management personal computer 2 uploads the worker information and the verification information including the worker ID to the host device 3. As a result, the host device 3 grasps the processing status (progress management, normal processing check) of each lot, and at the same time calculates whether there is a work delay or a pick-up delay in the lot progress for each worker. The transport instruction is displayed on the corresponding management personal computer 2 and other work instruction screens.

これによって、作業者IDをICタグに書き込むことにより、作業者の担当エリア、作業スキル、作業能力をシステム情報として生産管理システムで管理することができる。作業者は予め決められたルートを決められた周期で巡回することになり、管理パーソナルコンピュータ2の画面に表示される情報に従って、オフライン装置でも正確な処理とロット運搬・次工程処理を行うことができる。また、「作業者」毎の作業成果を作業者に見せることにより、作業者の作業スキル向上、作業意識向上、工程効率化を図ることができる。   Thus, by writing the worker ID into the IC tag, the worker's assigned area, work skill, and work ability can be managed as system information by the production management system. The operator circulates a predetermined route at a predetermined cycle, and according to the information displayed on the screen of the management personal computer 2, the offline device can perform accurate processing and lot transportation / next process processing. it can. In addition, by showing the work results of each “worker” to the worker, it is possible to improve the worker's work skill, work consciousness, and process efficiency.

また、ホスト装置3の作業者行動履歴情報取得手段312が、工程内の所定場所に設置したゲート通過情報を収集して作業者行動履歴情報を取得する。この作業者行動履歴情報を分析することにいより工程内の作業者の更なる効率化に反映させることができる。また、ホスト装置3に収集された作業者別のゲート通過情報から得られる作業者行動履歴情報を用いて、ホスト装置3内の作業指示手段313が、工程内の作業者の動線上の所定場所に設置されたナビゲーションディスプレイ7に作業者毎の行き先を表示する。ナビゲーションディスプレイ7の大画面によって、作業者が常時作業者毎の最新情報を確認することにより、無駄なく効率よく流動し、次の作業の優先順位を常に確認することを可能となる。さらに、ホスト装置3の作業評価値更新手段314が、作業者毎の作業エリアの増減、作業種別の変更、作業スキルの向上、作業量の増減、検証結果の良否および遅れ時間の大小に基づいて作業評価値を集計して更新する。この作業評価値の更新をナビゲーションディスプレイ7の大画面に表示させて、複数の作業者の意欲を高めるための指標とすることができる。   Further, the worker behavior history information acquisition unit 312 of the host device 3 collects gate passage information installed at a predetermined place in the process and acquires the worker behavior history information. By analyzing the worker behavior history information, it is possible to reflect the further improvement in efficiency of the worker in the process. In addition, using the worker action history information obtained from the gate passage information for each worker collected in the host device 3, the work instruction means 313 in the host device 3 causes the predetermined location on the flow line of the worker in the process. The destination for each worker is displayed on the navigation display 7 installed in the. The large screen of the navigation display 7 allows the worker to constantly check the latest information for each worker, thereby efficiently flowing without waste and always checking the priority of the next work. Further, the work evaluation value update means 314 of the host device 3 is based on increase / decrease of work area for each worker, change of work type, improvement of work skill, increase / decrease of work amount, pass / fail of verification result, and magnitude of delay time. Aggregate and update work evaluation values. The update of the work evaluation value can be displayed on the large screen of the navigation display 7 and can be used as an index for increasing the motivation of a plurality of workers.

以上によって、本実施形態によれば、オフライン装置を含む複数の処理装置および入退室用ゲートのそれぞれに固有のIDが付された各管理パーソナルコンピュータ2と、各管理パーソナルコンピュータ2にそれぞれ接続され、複数の作業者に各々固有の作業者IDを含む作業者情報を付した作業者カードの内容を読み取り可能とするカードリーダ4と、各管理パーソナルコンピュータ2と情報交換して工程を管理するホスト装置3とを備え、各管理パーソナルコンピュータ2は、カードリーダ4からの作業者IDを含む作業者情報に基づいて作業者/時間を検証するフロー照合手段212と、各管理パーソナルコンピュータ2はホスト装置3に作業者IDを含む作業者情報および作業者IDを含む検証情報をアップロードする作業者情報/検証情報転送手段214とを有し、ホスト装置3は、アップロードした作業者IDを含む作業者情報および検証結果を含む検証情報を登録する作業者情報/検証情報登録手段311を有している。   As described above, according to the present embodiment, each management personal computer 2 to which a unique ID is assigned to each of a plurality of processing devices including an offline device and an entrance / exit gate is connected to each management personal computer 2, A card reader 4 capable of reading the contents of a worker card with worker information including a worker ID unique to each worker, and a host device for managing processes by exchanging information with each management personal computer 2 3, each management personal computer 2 includes a flow verification unit 212 that verifies the worker / time based on worker information including the worker ID from the card reader 4, and each management personal computer 2 is a host device 3. Worker information including worker information including worker ID and verification information including worker ID / And a witness information transfer means 214, the host device 3 includes a worker information / verification information registration unit 311 for registering a verification information including operator information and verification result including operator ID uploaded.

これによって、作業者IDを含む作業者情報に基づいて作業者/時間を検証するため、マニュアル搬送/オフライン装置がある生産ラインで、作業者情報をオンライン管理して、作業者が異なることによる作業ロスおよび作業ミスの防止を低投資で行い、作業者情報を用いて省人化に向けたナビゲーション機能を低投資で行うことにより、オフライン装置がある生産ラインであっても疑似的なオンライン管理を効率よく実現することができる。   As a result, in order to verify the worker / time based on the worker information including the worker ID, the worker information is managed online on the production line with the manual transfer / offline device, and the work due to different workers. By performing low-investment prevention and loss of work mistakes, and using low-investment navigation functions for labor savings using worker information, pseudo on-line management is possible even for production lines with offline equipment. It can be realized efficiently.

また、オフライン装置6の装置状態情報(稼働・非稼働状態情報)を含むシグナルタワー信号からリアルタイムに装置の稼働・非稼働状態を把握することにより、工程管理を行うホスト装置3は、オフライン装置6毎の管理パーソナルコンピュータ2の表示画面に仕掛りの生産ワーク(ロット)搬送/処理指示を的確に表示指示することができる。また、シグナルタワー61の見えない位置にいる作業者に対しても、オフライン装置6毎の管理パーソナルコンピュータ2の表示画面への表示によって処理終了を確実に知らせることができる。これと同時に、作業に必要な信号が発生した場合に、工程管理を行うホスト装置3が優先順位を判断し、オフライン装置6毎の管理パーソナルコンピュータ2の表示画面への表示指示によって作業の優先順位を管理することができる。さらに、処理開始時刻から処理終了時刻を予測できるため、作業者へ先行(予定)作業指示が出せるなどの機能を組み込むことにより、作業者の作業効率を高めること(省人化)が可能となる。さらに、ホスト装置3は、オフライン装置6の装置稼働状況データの自動集計が可能となって、従来手集計されていた稼働率管理がリアルタイムでかつ正確に行えるようになって、ラインバランスなどの工程改善が可能となる。   Further, the host device 3 that performs process management by grasping the operating / non-operating state of the apparatus in real time from the signal tower signal including the apparatus state information (operating / non-operating state information) of the off-line apparatus 6 allows the off-line apparatus 6 to manage the process. An in-process production work (lot) conveyance / processing instruction can be accurately displayed on the display screen of each management personal computer 2. Further, it is possible to reliably notify the operator who is in a position where the signal tower 61 is not visible, by displaying on the display screen of the management personal computer 2 for each offline device 6. At the same time, when a signal necessary for the work is generated, the host device 3 that performs the process management determines the priority, and the work priority is determined by a display instruction on the display screen of the management personal computer 2 for each offline device 6. Can be managed. Furthermore, since the process end time can be predicted from the process start time, it is possible to improve the work efficiency of the worker (labor saving) by incorporating a function such as giving a prior (planned) work instruction to the worker. . Further, the host device 3 can automatically collect the device operation status data of the offline device 6, and the operation rate management which has been manually accumulated can be performed in real time and accurately, so that the process such as line balance can be performed. Improvement is possible.

以上のように、本発明の好ましい実施形態を用いて本発明を例示してきたが、本発明は、この実施形態に限定して解釈されるべきものではない。本発明は、特許請求の範囲によってのみその範囲が解釈されるべきであることが理解される。当業者は、本発明の具体的な好ましい実施形態の記載から、本発明の記載および技術常識に基づいて等価な範囲を実施することができることが理解される。本明細書において引用した特許、特許出願および文献は、その内容自体が具体的に本明細書に記載されているのと同様にその内容が本明細書に対する参考として援用されるべきであることが理解される。   As mentioned above, although this invention has been illustrated using preferable embodiment of this invention, this invention should not be limited and limited to this embodiment. It is understood that the scope of the present invention should be construed only by the claims. It is understood that those skilled in the art can implement an equivalent range based on the description of the present invention and the common general technical knowledge from the description of specific preferred embodiments of the present invention. Patents, patent applications, and documents cited herein should be incorporated by reference in their entirety, as if the contents themselves were specifically described herein. Understood.

本発明は、例えばLSI製造工場の化合物半導体工場などへの再開発やマニュアル工場などにおいて、少なくともオフライン装置を含む一または複数の処理装置を用いて、発光ダイオード(LED)や半導体レーザ素子などの半導体発光素子などの半導体素子を製造する際の生産を管理する生産管理システムおよびこれを用いた生産管理方法、この生産管理方法をコンピュータに実行させるための処理手順が記述された制御プログラム、この制御プログラムが格納されたコンピュータ読み取り可能な可読記憶媒体の分野において、作業者IDを含む作業者情報に基づいて作業者/時間を検証するため、マニュアル搬送/オフライン装置がある生産ラインで、作業者情報をオンライン管理して、作業者が異なることによる作業ロスおよび作業ミスの防止を低投資で行い、作業者情報を用いて省人化に向けたナビゲーション機能を低投資で行うことにより、オフライン装置がある生産ラインであっても疑似的なオンライン管理を効率よく実現することができる。   The present invention relates to a semiconductor such as a light emitting diode (LED) or a semiconductor laser element using one or a plurality of processing apparatuses including at least an off-line apparatus in a redevelopment to a compound semiconductor factory of an LSI manufacturing factory or a manual factory. PRODUCTION MANAGEMENT SYSTEM MANUFACTURING PRODUCTION MANUFACTURING WHICH MANUFACTURING SEMICONDUCTOR ELEMENTS, LIGHT EMITTING ELEMENTS, PRODUCTION MANAGEMENT METHOD USING THE SAME, CONTROL PROGRAM DESCRIBING PROCESSING PROCEDURE FOR CAUSING COMPUTER TO EXECUTE THE PRODUCTION MANAGEMENT METHOD, AND CONTROL PROGRAM In the field of computer-readable readable storage media in which the operator information is stored, in order to verify the worker / time based on the worker information including the worker ID, the worker information is collected on the production line with the manual transport / offline device. Manage online, work loss and work due to different workers By implementing low-investment prevention and using the worker information to reduce the labor-saving navigation function, it is possible to efficiently implement pseudo online management even for production lines with offline equipment. be able to.

1 生産管理システム
2 管理パーソナルコンピュータ
21,31 CPU(中央演算処理装置)
22 入力装置
23 表示部
24 ROM
25 RAM
32 データベース
211 データ入力手段
212 フロー照合手段
213 照合結果表示制御手段
214 作業者情報/検証情報転送手段
215 レシピ番号発行手段
216 処理終了通知手段
217 処理履歴転送手段
218 次工程内容表示制御手段
3 ホスト装置
311 作業者情報/検証情報登録手段
312 作業者行動履歴情報取得手段
313 作業指示手段
314 作業評価値更新手段
315 レシピ登録手段
316 処理開始指示手段
317 処理履歴書込指示手段
318 処理履歴登録手段
319 次工程内容表示指示手段
4 カードリーダ
5 データカード付与装置
51 ストッカ管理パーソナルコンピュータ
52 データカードプリンタ
53 データカード
54 ソースストッカ
6 オフライン装置
61 シグナルタワー
62 信号線
63 デコーダ装置
7 ナビゲーションディスプレイ
1 Production Management System 2 Management Personal Computer 21, 31 CPU (Central Processing Unit)
22 Input device 23 Display unit 24 ROM
25 RAM
32 Database 211 Data input means 212 Flow collation means 213 Collation result display control means 214 Worker information / verification information transfer means 215 Recipe number issuance means 216 Process end notification means 217 Process history transfer means 218 Next process content display control means 3 Host device 311 Worker information / verification information registration means 312 Worker action history information acquisition means 313 Work instruction means 314 Work evaluation value update means 315 Recipe registration means 316 Process start instruction means 317 Process history write instruction means 318 Process history registration means 319 Next Process contents display instruction means 4 Card reader 5 Data card giving device 51 Stocker management personal computer 52 Data card printer 53 Data card 54 Source stocker 6 Offline device 61 Signal tower 62 Signal line 6 Decoder device 7 navigation display

Claims (7)

オフライン装置を含む複数の処理装置および入退室用ゲートのそれぞれに固有のIDが付された各管理パーソナルコンピュータと、該各管理パーソナルコンピュータにそれぞれ接続され、複数の作業者に各々固有の作業者IDを含む作業者情報を付した作業者カードの内容を読み取り可能とするカードリーダと、該各管理パーソナルコンピュータと情報交換して工程を管理するホスト装置とを備え、
該各管理パーソナルコンピュータは、該カードリーダからの該作業者IDを含む作業者情報に基づいて作業者/時間を検証するフロー照合手段と、該各管理パーソナルコンピュータは該ホスト装置に該作業者IDを含む作業者情報および該作業者IDを含む検証情報をアップロードする作業者情報/検証情報転送手段とを有し、
該ホスト装置は、アップロードした該作業者IDを含む作業者情報および検証結果を含む検証情報を登録する作業者情報/検証情報登録手段と、工程内の所定場所に設置したゲートの作業者別のゲート通過情報を収集して作業者行動履歴情報を取得する作業者行動履歴情報取得手段と、該作業者行動履歴情報を用いて、工程内の作業者の動線上の所定場所に設置されたナビゲーションディスプレイに該作業者毎の行き先を表示する作業指示手段を有し、
複数の生産ワークに、各々固有のIDと処理情報を付したデータカードを付与し、該各管理パーソナルコンピュータは、該データカードから該カードリーダを介して収集された生産ワーク情報に基づいて、該生産ワークの作業指示情報を作業者に付与する生産管理システム。
Each management personal computer with a unique ID assigned to each of the plurality of processing devices including the offline device and the entrance / exit gate, and each worker personal computer connected to each management personal computer and unique to each of the plurality of workers A card reader capable of reading the contents of a worker card with worker information including a host device for exchanging information with the respective management personal computers and managing the process,
Each management personal computer has a flow collating unit for verifying a worker / time based on worker information including the worker ID from the card reader, and each management personal computer sends the worker ID to the host device. And worker information / verification information transfer means for uploading verification information including the worker ID and the worker ID,
The host device includes worker information / verification information registration means for registering worker information including the uploaded worker ID and verification information including a verification result, and gate-specific workers installed at predetermined locations in the process. Worker action history information acquisition means for collecting gate action information and obtaining worker action history information, and navigation installed at a predetermined location on the flow line of the worker in the process using the worker action history information A work instruction means for displaying a destination for each worker on the display ;
A data card with a unique ID and processing information is assigned to a plurality of production works, and each of the management personal computers is based on the production work information collected from the data card via the card reader. A production management system that gives workers work instruction information.
請求項1に記載の生産管理システムにおいて、
前記各管理パーソナルコンピュータにそれぞれ、生産ワークの製造フローと処理装置の情報、流動する生産ワークの進度情報を保有させ、
前記フロー照合手段は、作業者が合っているかどうかおよび時間が合っているかどうかの判断とは別に、処理すべき生産ワークが処理すべき適切な処理装置に仕掛けられたかどうかをも判断し、
該各管理パーソナルコンピュータは、処理が終わった生産ワークに対して、次工程の処理装置を該管理パーソナルコンピュータの表示画面上に表示して当該生産ワークの搬送先を表示指示する次工程内容表示制御手段を有する生産管理システム。
The production management system according to claim 1,
Each management personal computer has production work production flow and processing device information, and production work progress information flowing,
The flow matching means also determines whether the production work to be processed has been put on an appropriate processing device to be processed separately from the determination of whether the worker is correct and whether the time is correct,
Each management personal computer displays a processing device for the next process on the display screen of the management personal computer for the production work that has been processed, and displays the next process content display control for instructing display of the transport destination of the production work Production management system having means.
請求項に記載の生産管理システムにおいて、
前記作業指示手段は、工程内の作業者個人を特定できる固有端末装置を作業者毎に携帯させ、前記ホスト装置から個々の固有端末装置に作業指示を行う生産管理システム。
The production management system according to claim 1 ,
The work instruction means is a production management system in which a unique terminal device capable of identifying an individual worker in a process is carried by each worker, and a work instruction is given from the host device to each unique terminal device.
請求項1に記載の生産管理システムにおいて、
前記ホスト装置は、作業エリアの増減、作業種別の変更、作業スキルの向上、作業量の増減、検証結果の良否および遅れ時間の大小に基づいて作業評価値を集計して順次更新する作業評価値更新手段を有する生産管理システム。
The production management system according to claim 1,
The host device aggregates work evaluation values based on increase / decrease of work area, change of work type, improvement of work skills, increase / decrease of work amount, pass / fail of verification result and delay time, and sequentially update work evaluation values A production management system having an updating means.
請求項1〜のいずれかに記載の生産管理システムを用いた生産管理方法であって、
該各管理パーソナルコンピュータにおいて、フロー照合手段が、該カードリーダからの該作業者IDを含む作業者情報に基づいて作業者/時間を検証するフロー照合工程と、作業者情報/検証情報転送手段が、該各管理パーソナルコンピュータは該ホスト装置に該作業者IDを含む作業者情報および該作業者IDを含む検証情報をアップロードする作業者情報/検証情報転送工程とを有し、
該ホスト装置において、作業者情報/検証情報登録手段が、アップロードした該作業者IDを含む作業者情報および検証結果を含む検証情報を登録する作業者情報/検証情報登録工程を有する生産管理方法。
A production management method using the production management system according to any of claims 1-4,
In each of the management personal computers, the flow verification unit includes a flow verification step of verifying the worker / time based on worker information including the worker ID from the card reader, and worker information / verification information transfer unit. Each management personal computer has worker information / verification information transfer step for uploading worker information including the worker ID and verification information including the worker ID to the host device,
A production management method comprising: a worker information / verification information registration step in which worker information / verification information registration means registers worker information including the uploaded worker ID and verification information including a verification result in the host device.
請求項に記載の生産管理方法をコンピュータに実行させるための処理手順が記述された制御プログラム。 A control program in which a processing procedure for causing a computer to execute the production management method according to claim 5 is described. 請求項に記載の制御プログラムが格納されたコンピュータ読み取り可能な可読記憶媒体。
A computer readable storage medium storing the control program according to claim 6 .
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