JP5451856B2 - Swirling premixed low pollution combustion equipment - Google Patents

Swirling premixed low pollution combustion equipment Download PDF

Info

Publication number
JP5451856B2
JP5451856B2 JP2012239853A JP2012239853A JP5451856B2 JP 5451856 B2 JP5451856 B2 JP 5451856B2 JP 2012239853 A JP2012239853 A JP 2012239853A JP 2012239853 A JP2012239853 A JP 2012239853A JP 5451856 B2 JP5451856 B2 JP 5451856B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
combustion
gas
waste gas
premixed
wall
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2012239853A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2013195054A (en
Inventor
ジョン チョル キム
ジョン グク チョン
ソン ウク リ
スン ホ キム
ウォン ギ キム
ワン ギ ロ
Original Assignee
グローバル スタンダード テクノロジー カンパニー リミテッド
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by グローバル スタンダード テクノロジー カンパニー リミテッド filed Critical グローバル スタンダード テクノロジー カンパニー リミテッド
Publication of JP2013195054A publication Critical patent/JP2013195054A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5451856B2 publication Critical patent/JP5451856B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
    • F23G5/00—Incineration of waste; Incinerator constructions; Details, accessories or control therefor
    • F23G5/32—Incineration of waste; Incinerator constructions; Details, accessories or control therefor the waste being subjected to a whirling movement, e.g. cyclonic incinerators
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
    • F23G7/00—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals
    • F23G7/06—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23C—METHODS OR APPARATUS FOR COMBUSTION USING FLUID FUEL OR SOLID FUEL SUSPENDED IN  A CARRIER GAS OR AIR 
    • F23C5/00—Disposition of burners with respect to the combustion chamber or to one another; Mounting of burners in combustion apparatus
    • F23C5/08—Disposition of burners
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23D—BURNERS
    • F23D14/00—Burners for combustion of a gas, e.g. of a gas stored under pressure as a liquid
    • F23D14/02—Premix gas burners, i.e. in which gaseous fuel is mixed with combustion air upstream of the combustion zone
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23D—BURNERS
    • F23D14/00—Burners for combustion of a gas, e.g. of a gas stored under pressure as a liquid
    • F23D14/02—Premix gas burners, i.e. in which gaseous fuel is mixed with combustion air upstream of the combustion zone
    • F23D14/04—Premix gas burners, i.e. in which gaseous fuel is mixed with combustion air upstream of the combustion zone induction type, e.g. Bunsen burner
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23D—BURNERS
    • F23D14/00—Burners for combustion of a gas, e.g. of a gas stored under pressure as a liquid
    • F23D14/46—Details, e.g. noise reduction means
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23D—BURNERS
    • F23D14/00—Burners for combustion of a gas, e.g. of a gas stored under pressure as a liquid
    • F23D14/46—Details, e.g. noise reduction means
    • F23D14/48—Nozzles
    • F23D14/58—Nozzles characterised by the shape or arrangement of the outlet or outlets from the nozzle, e.g. of annular configuration
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
    • F23G7/00—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals
    • F23G7/06—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases
    • F23G7/061—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases with supplementary heating
    • F23G7/065—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases with supplementary heating using gaseous or liquid fuel

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Incineration Of Waste (AREA)
  • Gasification And Melting Of Waste (AREA)
  • Gas Burners (AREA)

Description

本発明は、廃ガス浄化処理装置に関するもので、特に廃ガスを燃焼させて処理する廃ガス燃焼装置に関するものである。   The present invention relates to a waste gas purification treatment apparatus, and more particularly to a waste gas combustion apparatus that burns and processes waste gas.

半導体及びＬＣＤなどの製造工程または化学工程などで発生する廃ガスは有毒性、爆発性及び腐食性が強いため、そのまま大気に排出されると、環境汚染を誘発するようになる。従って、こういう廃ガスは有害成分の含量を許容濃度以下に下げる浄化処理過程を必ず経る。   Waste gas generated in the manufacturing process or chemical process of semiconductors and LCDs is highly toxic, explosive and corrosive. Therefore, if it is discharged into the atmosphere as it is, it will cause environmental pollution. Therefore, such waste gas always undergoes a purification process that lowers the content of harmful components to an allowable concentration or less.

半導体製造工程などで発生する廃ガスを処理する方法としては、主に水素ラジカル（ｈｙｄｒｏｇｅｎ ｒａｄｉｃａｌ）などを含有した発火性ガスを高温の燃焼室で分解、反応または燃焼させるバーニング（ｂｕｒｎｉｎｇ）、主に水溶性ガスを水槽に貯蔵された水を通過させる間に水に溶解して処理するウェッティング（ｗｅｔｔｉｎｇ）、発火性でないまたは水溶性でない有害性ガスが吸着剤を通過する間に吸着剤に物理的または化学的な吸着によって浄化される吸着方法がある。   As a method for treating the waste gas generated in the semiconductor manufacturing process, etc., burning is mainly performed by decomposing, reacting or burning an ignitable gas containing hydrogen radical in a high-temperature combustion chamber. Wetting, in which water-soluble gas is dissolved and processed in water while passing water stored in the water tank, physical to adsorbent while harmful gas that is not ignitable or not water-soluble passes through the adsorbent There are adsorption methods that are purified by chemical or chemical adsorption.

バーニング方法には廃ガスを燃焼させる燃焼装置が使われる。しかしながら、従来の燃焼装置では半導体製造工程で発生した廃ガスと、ドライ真空ポンプ（ｄｒｙ ｖａｃｕｕｍ ｐｕｍｐ）などで使われるＮ２ガスが燃焼装置へ導入される際に高温で酸化され、窒素酸化物が急激に多く発生されるという問題がある。 In the burning method, a combustion apparatus for burning waste gas is used. However, in the conventional combustion apparatus, waste gas generated in the semiconductor manufacturing process and N 2 gas used in a dry vacuum pump are oxidized at a high temperature when introduced into the combustion apparatus, and nitrogen oxides are generated. There is a problem that many of them are generated rapidly.

特開２００７−１６２９５９号公報JP 2007-162959 A

本発明の目的は上記した従来の問題を解決するためのもので、高効率、低公害（Ｌｏｗ ＮＯｘ，Ｌｏｗ ＣＯ）廃ガス燃焼装置を提供することである。 An object of the present invention is to solve the above-described conventional problems, and to provide a high efficiency, low pollution (Low NO x , Low CO) waste gas combustion apparatus.

上記の目的を達成するために、本発明の一側面によると、
化学工程、半導体及びＬＣＤなどの製造工程などで排出される廃ガスを処理する廃ガス燃焼装置として、希薄燃料ガスが予混合された予混合燃焼ガス及び助燃ガスが供給されてフレーム（ｆｌａｍｅ）が形成される空間である１次燃焼区域を備えた燃焼用ガス供給部と、点火装置を有しており、上記１次燃焼区域で形成されたフレームが拡散される空間である２次燃焼区域が形成された点火部とを備えることを特徴とする先回流予混合低公害燃焼装置が提供される。 In order to achieve the above object, according to one aspect of the present invention,
As a waste gas combustion apparatus that processes waste gas discharged in the manufacturing process of chemical processes, semiconductors, LCDs, etc., a premixed combustion gas preliminarily mixed with a lean fuel gas and an auxiliary combustion gas are supplied and a frame is provided. A combustion gas supply unit having a primary combustion zone which is a space to be formed and an ignition device, and a secondary combustion zone which is a space in which a frame formed in the primary combustion zone is diffused There is provided a pre-flow premixed low-pollution combustion apparatus characterized by comprising an ignition part formed.

上記燃焼用ガス供給部は、内部に上記１次燃焼区域が形成され、上記１次燃焼区域へ上記予混合燃料ガスを注入する予混合燃料ガスノズルと上記助燃ガスを注入する助燃ガスノズルとを備えるガスノズル部材をさらに備えてもよい。   The combustion gas supply unit includes a premixed fuel gas nozzle for injecting the premixed fuel gas into the primary combustion zone and an auxiliary combustion gas nozzle for injecting the auxiliary combustion gas. A member may be further provided.

上記予混合燃料ガスノズルは、上記予混合燃料ガスが上記１次燃焼区域で回転するように半径方向に対して片方に傾いて配置された複数の予混合燃料ガスノズルによって構成され、上記助燃ガスノズルは、上記助燃ガスが上記１次燃焼区域で回転するように半径方向に対して片方に傾いて配置された複数の助燃ガスノズルによって構成されてもよい。   The premixed fuel gas nozzle is composed of a plurality of premixed fuel gas nozzles arranged to be inclined in one direction with respect to a radial direction so that the premixed fuel gas rotates in the primary combustion zone. The auxiliary combustion gas may be constituted by a plurality of auxiliary combustion gas nozzles arranged to be inclined in one direction with respect to the radial direction so that the auxiliary combustion gas rotates in the primary combustion zone.

上記燃焼装置は上記１次燃焼区域の中へ少なくとも一部が挿入されて廃ガスを供給する案内管を備える廃ガス供給部をさらに備え、上記案内管には分離された複数の廃ガス案内通路が形成されてもよい。   The combustion apparatus further includes a waste gas supply unit including a guide pipe that is at least partially inserted into the primary combustion zone and supplies waste gas, and the guide pipe includes a plurality of separated waste gas guide passages. May be formed.

上記燃焼装置は上記廃ガス案内通路に固着されたパウダーを除去するための副産物処理部をさらに備えてもよい。   The combustion apparatus may further include a by-product processing unit for removing powder fixed to the waste gas guide passage.

上記燃焼装置は上記２次燃焼区域と隣接した３次燃焼区域をさらに備えて、上記３次燃焼区域には外部から空気が導入されてもよい。   The combustion apparatus may further include a tertiary combustion zone adjacent to the secondary combustion zone, and air may be introduced from the outside into the tertiary combustion zone.

本発明によると、前に記載した本発明の目的をすべて達成することができる。具体的には、燃料希薄状態で助燃ガスと燃料予混合させて高効率、低公害燃焼装置が提供される。   According to the present invention, all the objects of the present invention described above can be achieved. Specifically, a high-efficiency, low-pollution combustion apparatus is provided by premixing fuel with auxiliary combustion gas in a lean fuel state.

本発明の一実施例による廃ガス燃焼装置の斜視図である。1 is a perspective view of a waste gas combustion apparatus according to an embodiment of the present invention. 図１に図示された廃ガス燃焼装置の側面図である。FIG. 2 is a side view of the waste gas combustion apparatus illustrated in FIG. 1. 図１に図示された廃ガス燃焼装置の側面図として、部分的に内部が見えるように一側を切断して図示したものである。FIG. 1 is a side view of the waste gas combustion apparatus shown in FIG. 1 with one side cut so that the inside can be partially seen. 図１に図示された廃ガス燃焼装置の縦断面図である。FIG. 2 is a longitudinal sectional view of the waste gas combustion apparatus illustrated in FIG. 1. 図４でＡ部分を拡大して図示した断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating an enlarged portion A in FIG. 4. 図５に図示されたガスノズル部材の側面図である。FIG. 6 is a side view of the gas nozzle member illustrated in FIG. 5. 図１に図示された燃料ガス供給構造を説明する平面図である。It is a top view explaining the fuel gas supply structure illustrated in FIG. 図１に図示された廃ガス燃焼装置の廃ガス流入構造を説明する平面図である。It is a top view explaining the waste gas inflow structure of the waste gas combustion apparatus illustrated in FIG.

以下、図面を参照して本発明の一実施例を詳しく説明する。
図１は本発明の一実施例による廃ガス燃焼装置の斜視図であり、図２は図１に図示された廃ガス燃焼装置の側面図であり、図３は図１に図示された廃ガス燃焼装置の側面図として、部分的に内部が見えるように一側を切断して図示したものであり、図４は図１に図示された廃ガス燃焼装置の縦断面図である。図１ないし図４を参照すると、廃ガス燃焼装置（１００）は、廃ガス供給部（１１０）と、副産物処理部（１２０）と、燃焼用ガス供給部（１３０）と、点火部（１４０）と、ボディー（１５０）を備える。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
1 is a perspective view of a waste gas combustion apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side view of the waste gas combustion apparatus shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a waste gas shown in FIG. FIG. 4 is a longitudinal sectional view of the waste gas combustion apparatus shown in FIG. 1 as a side view of the combustion apparatus. 1 to 4, a waste gas combustion apparatus (100) includes a waste gas supply unit (110), a by-product processing unit (120), a combustion gas supply unit (130), and an ignition unit (140). And a body (150).

廃ガス供給部（１１０）は、案内管（１１１）と、第１ないし第４注入管（１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ、１１２ｄ）を備える。廃ガス供給部（１１０）は、廃ガス燃焼装置（１００）内に形成された燃焼領域に、処理対象である、半導体製造工程とか化学工程などで発生した廃ガスを供給する。   The waste gas supply unit (110) includes a guide pipe (111) and first to fourth injection pipes (112a, 112b, 112c, 112d). A waste gas supply unit (110) supplies waste gas generated in a semiconductor manufacturing process or a chemical process, which is a processing target, to a combustion region formed in the waste gas combustion apparatus (100).

案内管（１１１）は、上下方向に伸長された円筒形状であり、図８を一緒に参照すると、内部には上下に延長され、両端が開放され、お互いに分離された第１ないし第４廃ガス案内通路（１１１ａ、１１１ｂ、１１１ｃ、１１１ｄ）を備える。各廃ガス案内通路（１１１ａ、１１１ｂ、１１１ｃ、１１１ｄ）は、流入される廃ガス種類別に個別的に形成されていて、廃ガス反応問題が解消される。   The guide pipe (111) has a cylindrical shape extending in the vertical direction. Referring to FIG. 8 together, the guide pipe (111) extends in the vertical direction, is open at both ends, and is separated from each other. Gas guide passages (111a, 111b, 111c, 111d) are provided. Each waste gas guide passage (111a, 111b, 111c, 111d) is individually formed for each type of waste gas to be introduced, and the waste gas reaction problem is solved.

第１ないし第４注入管（１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ、１１２ｄ）は、案内管（１１１）の側面に半径方向の外の方に突出された形態で円柱方向に沿ってぐるりと囲んで配置される。第１注入管（１１２ａ）は第１廃ガス案内通路（１１１ａ）と連結され、第２注入管（１１２ｂ）は第２廃ガス案内通路（１１１ｂ）と連結され、第３注入管（１１２ｃ）は第３廃ガス案内通路（１１１ｃ）と連結され、第４注入管（１１２ｄ）は第４廃ガス案内通路（１１１ｄ）と連結される。各注入管（１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ、１１２ｄ）を通じて廃ガスが各廃ガス案内通路（１１１ａ、１１１ｂ、１１１ｃ、１１１ｄ）内へ流入される。   The first to fourth injection pipes (112a, 112b, 112c, 112d) are arranged so as to be surrounded by the side of the guide pipe (111) so as to protrude outward in the radial direction along the cylindrical direction. . The first injection pipe (112a) is connected to the first waste gas guide passage (111a), the second injection pipe (112b) is connected to the second waste gas guide passage (111b), and the third injection pipe (112c) is connected to the first injection pipe (112c). The third waste gas guide passage (111c) is connected, and the fourth injection pipe (112d) is connected to the fourth waste gas guide passage (111d). Waste gas flows into each waste gas guide passage (111a, 111b, 111c, 111d) through each injection pipe (112a, 112b, 112c, 112d).

本実施例では、廃ガス供給部（１１０）が４個の個別的な廃ガス案内通路（１１１ａ、１１１ｂ、１１１ｃ、１１１ｄ）と、これに対応する４個の注入管（１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ、１１２ｄ）を備えると説明したが、これとは異なり、処理対象である廃ガスの種類に応じて３個以下または５個以上の個別的な廃ガス案内通路及びこれに対応する注入管が使用されてもよい。その上、統合された一つの廃ガス案内通路が使用されるのも可能である。   In this embodiment, the waste gas supply unit (110) includes four individual waste gas guide passages (111a, 111b, 111c, 111d) and four corresponding injection pipes (112a, 112b, 112c, 112d) is provided, but unlike this, three or less or five or more individual waste gas guide passages and corresponding injection pipes are used depending on the type of waste gas to be treated. May be. Moreover, it is possible to use a single integrated waste gas guide passage.

副産物処理部（１２０）は、第１ないし第４シリンダー（１２１ａ、１２１ｂ、１２１ｃ、１２１ｄ）と、各シリンダー（１２１ａ、１２１ｂ、１２１ｃ、１２１ｄ）に対応して用意されたピストンロッド（ｐｉｓｔｏｎ ｒｏｄ）（１２２ａ、１２２ｄ、図面では２個だけ図示される）を備える。副産物処理部（１２０）は燃焼過程で廃ガス供給部（１１０）の廃ガス案内通路（１１１ａ、１１１ｂ、１１１ｃ、１１１ｄ）の内壁に固着されるパウダー（粉塵の粉）を除去する。   The by-product processing unit (120) includes first to fourth cylinders (121a, 121b, 121c, 121d) and piston rods (piston rods) prepared for the respective cylinders (121a, 121b, 121c, 121d) ( 122a, 122d, only two are shown in the drawing). The by-product processing unit (120) removes powder (dust powder) adhering to the inner wall of the waste gas guide passage (111a, 111b, 111c, 111d) of the waste gas supply unit (110) during the combustion process.

第１ないし第４シリンダー（１２１ａ、１２１ｂ、１２１ｃ、１２１ｄ）は廃ガス供給部（１１０）の案内管（１１１）の上段（１１１１）に結合される。第１シリンダー（１２１ａ）は第１廃ガス案内通路（１１１ａ）と対応するように位置してあり、第２シリンダー（１２１ｂ）は第２廃ガス案内通路（１１１ｂ）と対応するように位置して、第３シリンダー（１２１ｃ）は第３廃ガス案内通路（１１１ｃ）と対応するように位置して、第４シリンダー（１２１ｄ）は第４廃ガス案内通路（１１１ｄ）と対応するように位置する。各シリンダー（１２１ａ、１２１ｂ、１２１ｃ、１２１ｄ）に対応して用意されたピストンロッド（１２２ａ、１２２ｄ）は対応する各廃ガス案内通路（１１１ａ、１１１ｂ、１１１ｃ、１１１ｄ）内で各々移動（直線及び／または回転運動）する。各ピストンロッド（１２２ａ、１２２ｄ）の端には廃ガス案内通路（１１１ａ、１１１ｂ、１１１ｃ、１１１ｄ）の内壁に固着されたパウダーを掻き出して除去できる除去部材（１２３ａ、１２３ｄ）が結合されてある。   The first to fourth cylinders (121a, 121b, 121c, 121d) are coupled to the upper stage (1111) of the guide pipe (111) of the waste gas supply unit (110). The first cylinder (121a) is positioned to correspond to the first waste gas guide passage (111a), and the second cylinder (121b) is positioned to correspond to the second waste gas guide passage (111b). The third cylinder 121c is positioned so as to correspond to the third waste gas guide passage 111c, and the fourth cylinder 121d is positioned so as to correspond to the fourth waste gas guide passage 111d. Piston rods (122a, 122d) prepared corresponding to the respective cylinders (121a, 121b, 121c, 121d) are respectively moved (straight and / or straight) in the corresponding waste gas guide passages (111a, 111b, 111c, 111d). Or rotational movement). The end of each piston rod (122a, 122d) is coupled with a removal member (123a, 123d) that can scrape and remove the powder fixed to the inner wall of the waste gas guide passage (111a, 111b, 111c, 111d).

本実施例では、ピストンロッドが移動しながら廃ガス案内通路内壁に固着されたパウダーを除去する副産物処理部（１２０）について説明したが、これとは異なり、各廃ガス案内通路へ加熱された窒素（Ｎ２）などをパージング（ｐｕｒｇｉｎｇ）して固着されたパウダーを除去することもできる。 In the present embodiment, the by-product processing unit (120) that removes the powder adhered to the inner wall of the waste gas guide passage while the piston rod moves is described. However, unlike this, the nitrogen heated to each waste gas guide passage is explained. The fixed powder can be removed by purging (N 2 ) or the like.

燃焼用ガス供給部（１３０）は、ケース（１３１）と、ガスノズル部材（１３２）と、予混合燃料ガス注入部（１３６）と、助燃ガス注入部（１３７）を備える。燃焼用ガス供給部（１３０）は廃ガスを燃焼させるために必要な燃料ガス及び助燃ガスを供給する。   The combustion gas supply unit (130) includes a case (131), a gas nozzle member (132), a premixed fuel gas injection unit (136), and an auxiliary combustion gas injection unit (137). The combustion gas supply unit (130) supplies fuel gas and auxiliary combustion gas necessary for burning the waste gas.

ケース（１３１）は、中空の円筒形状で、点火部（１４０）の上部に位置する。ケース（１３１）は上部壁（１３１ａ）と、外側壁（１３１ｂ）と、内側壁（１３１ｃ）を備える。上部壁（１３１ａ）の中心部にはガスノズル部材（１３２）が通過する貫通孔（１３１ａ１）が形成される。外側壁（１３１ｂ）は上部壁（１３１ａ）から下に延長されて下の端が点火部（１４０）の上段に結合される。内側壁（１３１ｃ）は上部壁（１３１ａ）から下に延長されて下の端が点火部（１４０）の上段に結合される。内側壁（１３１ｃ）は外側壁（１３１ｂ）の内側に位置する。外側壁（１３１ｂ）と内側壁（１３１ｃ）の間には独立された空間（１３１１）が用意される。この空間（１３１１）は冷却水循環空間として機能する。   The case (131) has a hollow cylindrical shape and is located at the upper part of the ignition part (140). The case (131) includes an upper wall (131a), an outer wall (131b), and an inner wall (131c). A through hole (131a1) through which the gas nozzle member (132) passes is formed at the center of the upper wall (131a). The outer wall (131b) extends downward from the upper wall (131a), and the lower end is coupled to the upper stage of the ignition unit (140). The inner wall (131c) extends downward from the upper wall (131a), and the lower end is coupled to the upper stage of the ignition unit (140). The inner wall (131c) is located inside the outer wall (131b). An independent space (1311) is prepared between the outer wall (131b) and the inner wall (131c). This space (1311) functions as a cooling water circulation space.

ガスノズル部材（１３２）は上下に延長された円筒形状であり、内部には中心線に沿って上下方向に延長されて貫通する内部空間（１３１３）が用意される。この内部空間（１３１３）はフレーム（火炎）が形成される空間である１次燃焼区域として機能する。ガスノズル部材（１３２）の下部は内側壁（１３１ｃ）の内部空間に受容され、ガスノズル部材（１３２）の上部は上部壁（１３１ａ）の貫通孔（１３１ａ１）を通じて上部壁（１３１ａ）上に突出される。ガスノズル部材（１３２）の下端は点火部（１４０）の上端と接する。ガスノズル部材（１３２）の外壁には、環状の形状で半径方向の外方へ突出された分離フランジ（１３３）が用意される。分離フランジ（１３３）には分離フランジ（１３３）に沿って形成された環状の溝（１３３ａ）が用意される。環状の溝（１３３ａ）には密封リング（１３３ｂ）が挟まれる。密封リング（１３３ｂ）が内側壁（１３１ｃ）と接して、内側壁（１３１ｃ）とガスノズル部材（１３２）の外壁の間に形成された空間（１３１２）は、上部の第１ガス空間（１３１２ａ）と下部の第２ガス空間（１３１２ｂ）に分離される。ガスノズル部材（１３２）の外壁には、第１ガス空間（１３１２ａ）とガスノズル部材（１３２）の内部空間（１３１３）を連通させる複数の予混合燃料ガスノズル（１３４）と、第２ガス空間（１３１２ｂ）とガスノズル部材（１３２）の内部空間（１３１３）を連通させる複数の助燃ガスノズル（１３５）が用意される。複数の予混合燃料ガスノズル（１３４）を通じて予混合燃料ガスがガスノズル部材（１３２）の内部空間（１３１３）に供給される。複数の予混合燃料ガスノズル（１３４）は半径の方向に対し、片方に傾いて配置される。従って、複数の予混合燃料ガスノズル（１３４）を通じてガスノズル部材（１３２）の内部空間（１３１３）へ供給される予混合燃料が回転供給されることで、混合が円滑になってＴｈｅｒｍａｌ ＮＯｘ及びＣＯの発生量を低減させる。複数の助燃ガスノズル（１３５）は半径の方向に対し、片方に傾いて配置される。従って、複数の助燃ガスノズル（１３５）を通じてガスノズル部材（１３２）の内部空間（１３１３）へ供給される助燃ガスは回転供給されて、適正な拡散燃焼させて均一な温度帯域を維持させる。ガスノズル部材（１３２）の内部空間（１３１３）には廃ガス供給部（１１０）の案内管（１１１）の下部が挿入されて受容される。案内管（１１１）の下端（１１１２）は助燃ガスノズル（１３５）より下に位置する。 The gas nozzle member (132) has a cylindrical shape extending vertically, and an internal space (1313) extending in the vertical direction along the center line and penetrating therethrough is prepared. This internal space (1313) functions as a primary combustion zone that is a space in which a frame (flame) is formed. The lower part of the gas nozzle member (132) is received in the inner space of the inner wall (131c), and the upper part of the gas nozzle member (132) protrudes on the upper wall (131a) through the through hole (131a1) of the upper wall (131a). . The lower end of the gas nozzle member (132) is in contact with the upper end of the ignition unit (140). On the outer wall of the gas nozzle member (132), a separation flange (133) protruding in the radial direction outward in an annular shape is prepared. An annular groove (133a) formed along the separation flange (133) is prepared in the separation flange (133). A sealing ring (133b) is sandwiched between the annular grooves (133a). The space (1312) formed between the inner wall (131c) and the outer wall of the gas nozzle member (132) is in contact with the inner wall (131c) of the sealing ring (133b), and the upper first gas space (1312a). It isolate | separates into the lower 2nd gas space (1312b). The outer wall of the gas nozzle member (132) has a plurality of premixed fuel gas nozzles (134) communicating the first gas space (1312a) and the internal space (1313) of the gas nozzle member (132), and a second gas space (1312b). And a plurality of auxiliary combustion gas nozzles (135) for communicating the internal space (1313) of the gas nozzle member (132). The premixed fuel gas is supplied to the internal space (1313) of the gas nozzle member (132) through the plurality of premixed fuel gas nozzles (134). The plurality of premixed fuel gas nozzles (134) are arranged to be inclined to one side with respect to the radial direction. Accordingly, the premixed fuel supplied to the internal space (1313) of the gas nozzle member (132) is rotated and supplied through the plurality of premixed fuel gas nozzles (134), thereby facilitating the mixing and the thermal NO x and CO. Reduce the amount of generation. The plurality of auxiliary combustion gas nozzles (135) are arranged to be inclined to one side with respect to the radial direction. Accordingly, the auxiliary combustion gas supplied to the internal space (1313) of the gas nozzle member (132) through the plurality of auxiliary combustion gas nozzles (135) is rotated and supplied to perform appropriate diffusion combustion to maintain a uniform temperature band. The lower part of the guide pipe (111) of the waste gas supply unit (110) is inserted and received in the internal space (1313) of the gas nozzle member (132). The lower end (1112) of the guide tube (111) is positioned below the auxiliary combustion gas nozzle (135).

予混合燃料ガス注入部（１３６）はケース（１３１）の外側壁（１３１ｂ）と内側壁（１３１ｃ）を通過して第１ガス空間（１３１２ａ）と連結される。燃料ガス注入部（１３６）は可燃ガスと助燃ガスを混合して燃料の希薄な状態を作った後、予混合された燃料ガスを第１ガス空間（１３１２ａ）へ注入する。燃料ガスとしては液化天然ガス、液化石油ガス、水素ガスなどが使われる。   The premixed fuel gas injection part (136) passes through the outer wall (131b) and the inner wall (131c) of the case (131) and is connected to the first gas space (1312a). The fuel gas injection unit (136) mixes the combustible gas and the auxiliary combustion gas to create a lean fuel state, and then injects the premixed fuel gas into the first gas space (1312a). As the fuel gas, liquefied natural gas, liquefied petroleum gas, hydrogen gas and the like are used.

助燃ガス注入部（１３７）はケース（１３１）の外側壁（１３１ｂ）と内側壁（１３１ｃ）を通過して第２ガス空間（１３１２ｂ）と連結される。助燃ガス注入部（１３７）は酸素ガスのような助燃ガスを第２ガス空間（１３１２ｂ）へ注入する。   The auxiliary combustion gas injection part (137) passes through the outer wall (131b) and the inner wall (131c) of the case (131) and is connected to the second gas space (1312b). The auxiliary combustion gas injection part (137) injects auxiliary combustion gas such as oxygen gas into the second gas space (1312b).

点火部（１４０）はケース（１４１）と、点火装置（１４２）と、表示窓（１４３）と、第１、第２燃焼感知センサー（１４４ａ、１４４ｂ）を備える。   The ignition unit (140) includes a case (141), an ignition device (142), a display window (143), and first and second combustion detection sensors (144a, 144b).

ケース（１４１）は概ね中空の円筒形状で、ボディー（１５０）の上部に位置する。ケース（１４１）は、上部壁（１４１ａ）と、外側壁（１４１ｂ）と、内側壁（１４１ｃ）と、フレームガイド壁（１４１ｄ）と、上部壁（１４１ａ）と対向してあり、中心部に貫通孔（１４１ｅｌ）が形成された底板（１４１ｅ）を備える。上部壁（１４１ａ）の中心部にはガスノズル部材（１３２）の内部空間（１３１３）と通じる貫通孔（１４１ａｌ）が形成される。外側壁（１４１ｂ）は上部壁（１４１ａ）より下の方向に延長されて下部端が底板（１４１ｅ）に結合される。内側壁（１４１ｃ）は上部壁（１４１ａ）より下に延長されて下部端が底板（１４１ｅ）に結合される。内側壁（１４１ｃ）は外側壁（１４１ｂ）の内側に位置する。外側壁（１４１ｂ）と内側壁（１４１ｃ）の間には独立された空間（１４１１ｂ）が用意される。フレームガイド壁（１４１ｄ）と内側壁（１４１ｃ）の間には空間（１４１１ｃ）が形成される。フレームガイド壁（１４１ｄ）の内部には、ガスノズル部材（１３２）の内部空間（１３１３）、ボディー（１５０）の内部、及びフレームガイド壁（１４１ｄ）と内側壁（１４１ｃ）の間の空間（１４１１ｃ）と繋がる空間（１４１１ｄ）が形成される。この空間（１４１１ｄ）はフレームが拡散される空間である２次燃焼区域を形成する。フレームガイド壁（１４１ｄ）は、１次燃焼区域（１３１３）で発生されるフレームが渦巻きを形成しすぎることで、廃ガスとの接触が低下されることを防止しようと、フレームが適切に拡散されて廃ガスと円滑に接触されるようにして、廃ガスの高処理効率を誘導する。   The case (141) has a generally hollow cylindrical shape and is located at the top of the body (150). The case (141) is opposed to the upper wall (141a), the outer wall (141b), the inner wall (141c), the frame guide wall (141d), and the upper wall (141a), and penetrates through the center portion. A bottom plate (141e) having a hole (141el) is provided. A through hole (141al) communicating with the internal space (1313) of the gas nozzle member (132) is formed at the center of the upper wall (141a). The outer wall (141b) extends downward from the upper wall (141a), and the lower end is coupled to the bottom plate (141e). The inner wall (141c) extends below the upper wall (141a), and the lower end is coupled to the bottom plate (141e). The inner wall (141c) is located inside the outer wall (141b). An independent space (1411b) is prepared between the outer wall (141b) and the inner wall (141c). A space (1411c) is formed between the frame guide wall (141d) and the inner wall (141c). Inside the frame guide wall (141d), there are an internal space (1313) of the gas nozzle member (132), an inside of the body (150), and a space (1411c) between the frame guide wall (141d) and the inner wall (141c). A space (1411d) connected to is formed. This space (1411d) forms a secondary combustion zone which is a space where the frame is diffused. The frame guide wall (141d) is properly diffused in an attempt to prevent the flame generated in the primary combustion zone (1313) from forming too much swirl and thereby reducing contact with waste gas. In order to ensure smooth contact with the waste gas, high processing efficiency of the waste gas is induced.

点火装置（１４２）は、ケース（１４１）の外側壁（１４１ｂ）、内側壁（１４１ｃ）、及びフレームガイド壁（１４１ｄ）を通過してフレームガイド壁（１４１ｄ）内部の空間と繋がる。点火装置（１４２）はフレームガイド壁（１４１ｄ）内部の空間へ点火源を供給する。点火装置（１４２）は点火プラグを備え、バーナー部分を乾燥された状態に維持するための乾燥圧縮空気（ＣＤＡ：Ｃｏｍｐｒｅｓｓｅｄ Ｄｒｙ Ａｉｒ）を供給する。バーナー部分に水分が生成されるとパウダー固着が活発に行われる。   The ignition device (142) passes through the outer wall (141b), the inner wall (141c), and the frame guide wall (141d) of the case (141) and is connected to the space inside the frame guide wall (141d). The ignition device (142) supplies an ignition source to the space inside the frame guide wall (141d). The ignition device (142) includes a spark plug and supplies dry compressed air (CDA) to keep the burner portion dry. When moisture is generated in the burner portion, powder fixation is actively performed.

表示窓（１４３）は、ケース（１４１）の外側壁（１４１ｂ）、内側壁（１４１ｃ）、及びフレームガイド壁（１４１ｄ）を通過してフレームガイド壁（１４１ｄ）内部の空間と繋がる。表示窓（１４３）を通じて、点火される現象と燃焼される現象を肉眼で観察できるようになる。表示窓（１４３）は高温の影響を受けるかもしれないのでパージングの機能を有する。   The display window (143) passes through the outer wall (141b), the inner wall (141c), and the frame guide wall (141d) of the case (141) and is connected to the space inside the frame guide wall (141d). Through the display window (143), the phenomenon of ignition and the phenomenon of combustion can be observed with the naked eye. Since the display window (143) may be affected by high temperature, it has a purging function.

第１、第２燃焼感知センサー（１４４ａ、１４４ｂ）は、ケース（１４１）の外側壁（１４１ｂ）、内側壁（１４１ｃ）、及びフレームガイド壁（１４１ｄ）を通過してフレームガイド壁（１４１ｄ）内部の空間と繋がる。第１、第２燃焼感知センサー（１４４ａ、１４４ｂ）は１次燃焼区域（１３１３ａ）と２次燃焼区域（１３１３ｂ）で発生するフレームを感知する。   The first and second combustion detection sensors (144a, 144b) pass through the outer wall (141b), the inner wall (141c), and the frame guide wall (141d) of the case (141) to the inside of the frame guide wall (141d). Connected with the space. The first and second combustion detection sensors 144a and 144b detect frames generated in the primary combustion zone 1313a and the secondary combustion zone 1313b.

底板（１４１ｅ）の内部には貫通孔（１４１ｅ１）を囲みながら形成された冷却水循環用の空間が用意される。   A space for circulating the cooling water formed while surrounding the through hole (141e1) is prepared inside the bottom plate (141e).

ボディー（１５０）は、外部ケース部材（１５１）と、内壁部材（１５２）と、複数の空気流入部（１５３ａ，１５３ｂ）を備える。   The body (150) includes an outer case member (151), an inner wall member (152), and a plurality of air inflow portions (153a, 153b).

ケース部材（１５１）は、概ね中空の円筒形状で、上部壁（１５１ａ）と、底板（１５１ｂ）と、側壁（１５１ｃ）を備える。上部壁（１５１ａ）は点火部（１４０）の底板（１４１ｅ）の下面に結合される。   The case member (151) has a generally hollow cylindrical shape and includes an upper wall (151a), a bottom plate (151b), and a side wall (151c). The upper wall (151a) is coupled to the lower surface of the bottom plate (141e) of the ignition unit (140).

上部壁（１５１ａ）の中心部には貫通孔（１５１ａ１）が用意される。貫通孔（１５１ａ１）は点火部（１４０）の底板（１４１ｅ）の貫通孔（１４１ｅ１）より大きく形成される。底板（１５１ｂ）は上部壁（１５１ａ）に対向してあり、中心部には貫通孔（１５１１ｂ）が用意される。側壁（１５１ｃ）は上部壁（１５１ａ）と底板（１５１ｂ）の間に延長される。   A through hole (151a1) is prepared at the center of the upper wall (151a). The through hole (151a1) is formed larger than the through hole (141e1) of the bottom plate (141e) of the ignition unit (140). The bottom plate (151b) faces the upper wall (151a), and a through hole (1511b) is prepared at the center. The side wall (151c) extends between the top wall (151a) and the bottom plate (151b).

内壁部材（１５２）は両段が開放された中空の円筒形状で、ケース部材（１５１）の内部に結合される。内壁部材（１５２）の開放された上段は上部壁（１５１ａ）の貫通孔（１５１ａ１）と繋がり、内壁部材（１５２）の開放された下段は底板（１５１ｂ）の貫通孔（１５１１ｂ）と繋がる。内壁部材（１５２）の壁には内壁部材（１５２）の内外部を連通させる多数の通孔（１５２１）を備える。内壁部材（１５２）内部の空間は３次燃焼区域（１５２２）を形成する。   The inner wall member (152) has a hollow cylindrical shape with both steps open, and is coupled to the inside of the case member (151). The open upper stage of the inner wall member (152) is connected to the through hole (151a1) of the upper wall (151a), and the lower stage of the inner wall member (152) is connected to the through hole (1511b) of the bottom plate (151b). The wall of the inner wall member (152) is provided with a large number of through holes (1521) for communicating the inside and outside of the inner wall member (152). The space inside the inner wall member (152) forms a tertiary combustion zone (1522).

複数の空気流入部（１５３ａ、１５３ｂ）はケース部材（１５１）に設置されて外部の空気をケース部材（１５１）内部へ流入させる。空気流入部（１５３ａ、１５３ｂ）を通じて流入された空気は３次燃焼区域（１５２２）へ供給されて３次燃焼区域（１５２２）内で発生される熱を均一に分布させてＴｈｅｒｍａｌ ＮＯｘの発生を低減させる。 The plurality of air inflow portions (153a, 153b) are installed in the case member (151) to allow outside air to flow into the case member (151). The air that has flowed in through the air inlets (153a, 153b) is supplied to the tertiary combustion zone (1522), and the heat generated in the tertiary combustion zone (1522) is uniformly distributed to generate Thermal NO x . Reduce.

図示されてはいないが、循環水などを内壁部材（１５２）の壁面に沿って回流して流れ落ちるようにすることで、廃ガスの燃焼時に生成されるパウダー固着を防止することもできる。   Although not shown, it is possible to prevent adhesion of powder generated during combustion of waste gas by circulating circulating water or the like along the wall surface of the inner wall member (152).

以下、図１ないし図８を参照して、上記実施例の作用を説明する。
化学工程、半導体及びＬＣＤなどの製造工程などで排出される廃ガスとドライ真空ポンプなどで使われるＮ２が廃ガス供給部（１１０）の案内管（１１１）に形成された廃ガス案内通路（１１１ａ、１１１ｂ、１１１ｃ、１１１ｄ）を通じて各廃ガスに沿って個別的に１次燃焼区域であるガスノズル部材（１３２）の内部空間（１３１３）へ供給される。この場合に、燃料と酸化剤の反応によってフレームを形成する空間である１次燃焼区域（１３１３）へは燃料が回転して供給されて混合が円滑になり、希薄燃料が予混合され、Ｔｈｅｒｍａｌ ＮＯｘ及びＣＯの発生量が低減される。また、１次燃焼区域で未反応の燃料を完全燃焼させる区域である２次燃焼区域（１４１１ｄ）では、適正な拡散燃焼をさせて均一な温度帯域を維持させてＴｈｅｒｍａｌ ＮＯｘの発生が低減される。その後、３次燃焼区域（１５２２）で廃ガスに対して３次燃焼が行われ、この時、複数の空気流入部（１５３ａ、１５３ｂ）を通じて流入される空気によって熱が均一に分布されてＴｈｅｒｍａｌ ＮＯｘ及びＣＯの発生が低減される。燃焼により処理された廃ガスは底板（１５１ｂ）に形成された貫通孔（１５１１ｂ）を通じて外部へ排出されることができる。 The operation of the above embodiment will be described below with reference to FIGS.
A waste gas guide passage (in which a waste gas discharged in a chemical process, a manufacturing process of a semiconductor and an LCD, etc. and N 2 used in a dry vacuum pump, etc. is formed in a guide pipe (111) of a waste gas supply unit (110) ( 111a, 111b, 111c, 111d) and individually supplied to the internal space (1313) of the gas nozzle member (132) which is a primary combustion zone along each waste gas. In this case, the fuel is rotated and supplied to the primary combustion zone (1313), which is a space that forms a frame by the reaction between the fuel and the oxidant, so that the mixing becomes smooth, the lean fuel is premixed, and Thermal NO The amount of x and CO generated is reduced. Further, in the secondary combustion zone (1411d), which is a zone where the unreacted fuel is completely burned in the primary combustion zone, the generation of Thermal NO x is reduced by maintaining a uniform temperature zone by performing appropriate diffusion combustion. The Thereafter, tertiary combustion is performed on the waste gas in the tertiary combustion zone (1522). At this time, heat is uniformly distributed by the air flowing in through the plurality of air inflow portions (153a, 153b), and Thermal NO Generation of x and CO is reduced. Waste gas treated by combustion can be discharged to the outside through a through hole (1511b) formed in the bottom plate (151b).

以上、実施例を引いて見た発明を説明したが、本発明はこれに制限されるものではない。上記実施例は本発明の趣旨及び範囲を外さないで修正されたり変更されたりすることができ、当業者は、このような修正と変更も本発明に属することがわかる。   While the present invention has been described with reference to the embodiments, the present invention is not limited to this. The above embodiments can be modified or changed without departing from the spirit and scope of the present invention, and those skilled in the art will recognize that such modifications and changes also belong to the present invention.

以上より、本発明による旋回流予混合低公害燃焼装置によれば、廃ガスを燃焼させて処理することができ、廃ガスを処理する装置として有用である。   From the above, according to the swirling flow premixed low pollution combustion apparatus according to the present invention, waste gas can be burned and processed, which is useful as an apparatus for processing waste gas.

１００：廃ガス燃焼装置
１１０：廃ガス供給部
１２０：副産物処理部
１３０：燃焼用ガス供給部
１３２：ガスノズル部材
１４０：点火部
１５０：ボディー
１３１３：１次燃焼区域
１４１１：２次燃焼区域
１５２２：３次燃焼区域 DESCRIPTION OF SYMBOLS 100: Waste gas combustion apparatus 110: Waste gas supply part 120: By-product process part 130: Gas supply part for combustion 132: Gas nozzle member 140: Ignition part 150: Body 1313: Primary combustion area 1411: Secondary combustion area 1522: 3 Next combustion zone

Claims (4)

化学工程、半導体及びＬＣＤなどの製造工程で排出される廃ガスを処理する廃ガス燃焼装置であって、
希薄燃料ガスが予混合された予混合燃料ガス及び助燃ガスが供給されてフレームが形成される空間である１次燃焼区域が用意された燃焼用ガス供給部と、
点火装置を有しており、上記１次燃焼区域で形成されたフレームが拡散される空間である２次燃焼区域が形成された点火部と、
上記１次燃焼区域の中へ少なくとも一部が挿入されて廃ガスを供給する案内管を備える廃ガス供給部と、
副産物処理部と、を備え、
上記案内管には分離された複数の廃ガス案内通路が形成され、
上記副産物処理部は、上記廃ガス案内通路に固着されたパウダーを除去することを特徴とする旋回流予混合低公害燃焼装置。 Chemical processes, a semiconductor and a waste gas combustion apparatus for processing a waste gas discharged in about manufacturing processes, such as LCD,
A combustion gas supply unit provided with a primary combustion zone that is a space in which a premixed fuel gas and a supplementary combustion gas premixed with a lean fuel gas are supplied to form a frame;
An ignition unit having an ignition device and having a secondary combustion zone, which is a space in which a frame formed in the primary combustion zone is diffused;
A waste gas supply unit comprising a guide pipe that is at least partially inserted into the primary combustion zone to supply waste gas;
A by-product processing unit ,
A plurality of separated waste gas guide passages are formed in the guide pipe,
The by-product processing section, the swirling flow premixed low-emission combustion apparatus characterized that you remove the powder that is fixed to the exhaust gas guide passage. 請求項１に記載の旋回流予混合低公害燃焼装置において、
上記燃焼用ガス供給部は、内部に上記１次燃焼区域が形成され、上記１次燃焼区域へ、上記予混合燃料ガスを注入する予混合燃料ガスノズルと上記助燃ガスを注入する助燃ガスノズルとを備えるガスノズル部材をさらに含むことを特徴とする旋回流予混合低公害燃焼装置。 The swirl flow premixed low pollution combustion apparatus according to claim 1,
The combustion gas supply unit has the primary combustion zone formed therein, and includes a premixed fuel gas nozzle for injecting the premixed fuel gas into the primary combustion zone and an auxiliary combustion gas nozzle for injecting the auxiliary combustion gas. A swirl flow premixing low pollution combustion apparatus further comprising a gas nozzle member. 請求項２に記載の旋回流予混合低公害燃焼装置において、
上記予混合燃料ガスノズルは、上記予混合燃料ガスが上記１次燃焼区域で回転するように半径方向に対して片側へ傾いて配置された複数の予混合燃料ガスノズルによって構成され、
上記助燃ガスノズルは、上記助燃ガスが上記１次燃焼区域で回転するように半径方向に対して片側へ傾いて配置された複数の助燃ガスノズルによって構成される、ことを特徴とする旋回流予混合低公害燃焼装置。 The swirl flow premixed low pollution combustion apparatus according to claim 2,
The premixed fuel gas nozzle is constituted by a plurality of premixed fuel gas nozzles arranged to be inclined to one side with respect to the radial direction so that the premixed fuel gas rotates in the primary combustion zone,
The auxiliary combustion gas nozzle is composed of a plurality of auxiliary combustion gas nozzles arranged to be inclined to one side with respect to the radial direction so that the auxiliary combustion gas rotates in the primary combustion zone. Pollution combustion equipment. 請求項１に記載の旋回流予混合低公害燃焼装置において、
上記２次燃焼区域と隣接した３次燃焼区域をさらに備え、
上記３次燃焼区域には外部より空気が流入されることを特徴とする旋回流予混合低公害燃焼装置。 The swirl flow premixed low pollution combustion apparatus according to claim 1,
A tertiary combustion zone adjacent to the secondary combustion zone;
A swirling premixed low-pollution combustion apparatus characterized in that air flows into the tertiary combustion zone from the outside.
JP2012239853A 2012-03-16 2012-10-31 Swirling premixed low pollution combustion equipment Active JP5451856B2 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120026861A KR101406065B1 (en) 2012-03-16 2012-03-16 Pre-swirl pre-mix low pollution buner
KR10-2012-0026861 2012-03-16

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013195054A JP2013195054A (en) 2013-09-30
JP5451856B2 true JP5451856B2 (en) 2014-03-26

Family

ID=49156484

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012239853A Active JP5451856B2 (en) 2012-03-16 2012-10-31 Swirling premixed low pollution combustion equipment

Country Status (3)

Country Link
US (1) US20130239857A1 (en)
JP (1) JP5451856B2 (en)
KR (1) KR101406065B1 (en)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5437734B2 (en) * 2009-08-07 2014-03-12 株式会社荏原製作所 Combustion exhaust gas treatment equipment
GB2516267B (en) * 2013-07-17 2016-08-17 Edwards Ltd Head assembly
KR101483004B1 (en) * 2014-01-24 2015-01-14 박용근 Waste gas combustor
CN105509049B (en) * 2016-01-13 2017-10-13 哈尔滨工业大学 A kind of high speed blowing combustion device for adapting to pluralities of fuel
CN105698198A (en) * 2016-03-15 2016-06-22 烟台宝钢钢管有限责任公司 Waste gas treatment device and treatment method of coal gas generator
WO2019009811A2 (en) * 2017-07-07 2019-01-10 鑑鋒國際股份有限公司 Device and system for controlling decomposition oxidation of gaseous pollutants
KR102117255B1 (en) * 2019-05-16 2020-06-02 주식회사 글로벌스탠다드테크놀로지 Burner for Incineration of Waste Gas
KR102514468B1 (en) 2021-06-16 2023-03-29 박종민 Powder removing apparatus for gas processing facilities using screw cylinder

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4099488A (en) * 1975-06-09 1978-07-11 Hunter Investment Company Diesel fueled engine coolant heater
JPS54162863A (en) * 1978-06-13 1979-12-24 Akoo Kk Reignition dust collector in incinerator
JPS6025636A (en) * 1983-07-19 1985-02-08 Agency Of Ind Science & Technol Cleaning tool
US4801437A (en) * 1985-12-04 1989-01-31 Japan Oxygen Co., Ltd. Process for treating combustible exhaust gases containing silane and the like
US5687572A (en) * 1992-11-02 1997-11-18 Alliedsignal Inc. Thin wall combustor with backside impingement cooling
JPH07310914A (en) * 1994-05-16 1995-11-28 Yoshida Seisakusho:Kk Incinerator
JP4176132B2 (en) * 1997-11-21 2008-11-05 株式会社荏原製作所 Combustor for exhaust gas treatment
JP4066107B2 (en) * 1997-11-21 2008-03-26 株式会社荏原製作所 Combustor for exhaust gas treatment
US6969250B1 (en) * 1998-12-01 2005-11-29 Ebara Corporation Exhaust gas treating device
JP4158301B2 (en) * 1999-03-24 2008-10-01 株式会社デンソー Catalytic combustion device with vaporization function
US7028478B2 (en) * 2003-12-16 2006-04-18 Advanced Combustion Energy Systems, Inc. Method and apparatus for the production of energy
DE102004020507A1 (en) * 2004-04-26 2005-11-24 J. Eberspächer GmbH & Co. KG Evaporator arrangement for generating a hydrocarbon vapor / mixed material mixture, in particular for a reformer arrangement of a fuel cell system
US7770646B2 (en) * 2006-10-09 2010-08-10 World Energy Systems, Inc. System, method and apparatus for hydrogen-oxygen burner in downhole steam generator
US20110183274A1 (en) * 2008-08-26 2011-07-28 Michael Bahn Producing ageing gas for exhaust gas after-treatment systems
US8307657B2 (en) * 2009-03-10 2012-11-13 General Electric Company Combustor liner cooling system
US8875544B2 (en) * 2011-10-07 2014-11-04 Johns Manville Burner apparatus, submerged combustion melters including the burner, and methods of use

Also Published As

Publication number Publication date
KR101406065B1 (en) 2014-07-01
KR20130104911A (en) 2013-09-25
JP2013195054A (en) 2013-09-30
US20130239857A1 (en) 2013-09-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5451856B2 (en) Swirling premixed low pollution combustion equipment
JP5620461B2 (en) Low pollution combustion method using CO, NOx individual control system
JP5509483B2 (en) Combustion destruction of harmful substances
KR101253698B1 (en) Burning apparatus for purifying noxious gas
US10465905B2 (en) Energy saving combustion device for burning refractory hazardous gas and method for operating the same
KR101733611B1 (en) Ultra-low NOx burner through internal recirculation of combustion gas and multi-fuel operation
KR200385461Y1 (en) Apparatus for gas burner nozzle in waste gas abatement equipment of semiconductor
JP5547307B2 (en) Scrubber burner
KR101428722B1 (en) Gas Scrubber
JP2007093180A (en) Starting method of micro-combustor
WO2019171067A1 (en) Abatement by combustion
KR102427056B1 (en) Burner for Scrubber
KR101285868B1 (en) Exhaust gas combustion device
KR101323720B1 (en) Rotary flame burner for waste gas
TW202117233A (en) A burner for scrubbers
KR20060080997A (en) Apparatus for gas burner nozzle in waste gas abatement equipment of semiconductor
KR101200977B1 (en) Apparatus for burning noxious gas
KR101438589B1 (en) Variable combustion chamber of the scrubber
JPH11118128A (en) Waste gas processing combustor
KR200308776Y1 (en) Dual nozzle type over fire air port
JPH0921516A (en) Waste gas pretreatment apparatus from semiconductor fabrication process
KR200337058Y1 (en) Semiconductor waste gas processing device with flame path
KR20170042983A (en) Combustor having function of rich burn, lean burn and MILD burn
KR101483004B1 (en) Waste gas combustor
KR100650937B1 (en) Burner assembly of a device for purifying exhausted gas

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20131018

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20131114

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20131203

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20131226

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5451856

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250