JP5433846B2 - レーザ干渉測長装置及びレーザ干渉測長方法 - Google Patents
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Description
先ず、図1を参照して、本発明の実施形態に係るレーザ干渉測長装置の構成を説明する。図1は、本発明の実施形態に係るレーザ干渉測長装置の構成概略図である。本実施形態に係るレーザ干渉測長装置は、所謂、マイケルマンソン型に構成されている。図1に示すように、本実施形態に係るレーザ干渉測長装置は、レーザ光生成部10、干渉計測部20、移動鏡(測定対象物)30、及びサンプリング部40を備える。
次に、図1を参照して、移動鏡30の変位ΔD2の算出方法について説明する。変位ΔD2は、移動鏡30が所定時間で移動した距離を意味する。変位ΔD2は、偏光ビームスプリッタ22から移動鏡30までの光路長が初期位置「D2o」から現在位置「D2n」へと変化した間の差分を意味する。
次に、図4を参照して、本実施形態に係るレーザ干渉測長装置のサンプリング処理について説明する。図4は、本実施形態に係るレーザ干渉測長装置のサンプリング処理を示すフローチャートである。
次に、図5〜図12を参照して、本実施形態に係るレーザ干渉測長装置の効果について説明する。
以上、レーザ干渉測長装置の一実施形態を説明してきたが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において種々の変更、追加、置換等が可能である。例えば、本発明において、レーザ光L1の発振周波数の制御は、ヨウ素による飽和吸収線によるものに限定されるものではない。また、タイミング信号Sg8の位相の設定方法についても、上記方式に限定されるものではない。
Claims (3)
- レーザ光の干渉に基づき測長を行うレーザ干渉測長装置であって、
第1周波数の変調信号にて変調されたレーザ光を生成するレーザ光生成部と、
当該レーザ光生成部からの前記レーザ光を測定対象物に照射して測長情報を含んだ計測光を得ると共に当該計測光を受光部で受光して測長情報を含んだ電気信号を生成する干渉計測部と、
前記第1周波数の変調信号に基づいて生成された第2周波数のタイミング信号に同期するように前記電気信号をサンプリングするサンプリング部とを備え、
前記第2周波数は、前記第1周波数の2倍であり、
前記サンプリング部は、測定結果に含まれる前記変調信号の周波数成分との位相差が0°又は180°となるように、前記タイミング信号の位相を設定する
ことを特徴とするレーザ干渉測長装置。 - 前記レーザ光生成部は、ヨウ素の所定の飽和吸収線に合わせるように前記レーザ光の中心波長を調整する
ことを特徴とする請求項1記載のレーザ干渉測長装置。 - レーザ光の干渉に基づき測長を行うレーザ干渉測長方法であって、
第1周波数の変調信号にて変調されたレーザ光を生成する工程と、
生成された前記レーザ光を測定対象物に照射して測長情報を含んだ計測光を得ると共に当該計測光を受光部で受光して測長情報を含んだ電気信号を生成する工程と、
前記第1周波数の変調信号に基づいて生成された第2周波数のタイミング信号に同期するように前記電気信号をサンプリングする工程とを備え、
前記第2周波数は、前記第1周波数の2倍であり、
前記サンプリング工程において、測定結果に含まれる前記変調信号の周波数成分との位相差が0°又は180°となるように、前記タイミング信号の位相を設定する
ことを特徴とするレーザ干渉測長方法。
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