JP5357580B2 - Grooving tool and method of grooving thin film solar cell using the same - Google Patents
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Description
本発明は、カルコパイライト化合物系集積型薄膜太陽電池を製造する際の溝加工ツールに関する。
ここで、カルコパイライト化合物とは、CIGS(Cu(In,Ga)Se2)の他に、CIGSS(Cu(In,Ga)(Se,S)2)、CIS(CuInS2)等が含まれる。
The present invention relates to a groove processing tool for manufacturing a chalcopyrite compound integrated thin film solar cell.
Here, the chalcopyrite compound includes CIGS (Cu (In, Ga) (Se, S) 2 ), CIS (CuInS 2 ) and the like in addition to CIGS (Cu (In, Ga) Se 2 ).
カルコパイライト化合物半導体を光吸収層として用いる薄膜太陽電池においては、基板上に複数のユニットセルを直列接続した集積型構造が一般的である。 In a thin film solar cell using a chalcopyrite compound semiconductor as a light absorption layer, an integrated structure in which a plurality of unit cells are connected in series on a substrate is common.
従来のカルコパイライト化合物系集積型薄膜太陽電池の製造方法について説明する。図6は、CIGS薄膜太陽電池の製造工程を示す模式図である。まず、図6(a)に示すように、ソーダライムガラス(SLG)等からなる絶縁基板1上に、プラス側の下部電極となるMo電極層2をスパッタリング法によって形成した後、光吸収層形成前の薄膜太陽電池基板に対してスクライブ加工により下部電極分離用の溝Sを形成する。
A method for producing a conventional chalcopyrite compound integrated thin film solar cell will be described. FIG. 6 is a schematic diagram showing a manufacturing process of a CIGS thin film solar cell. First, as shown in FIG. 6A, a
その後、図6(b)に示すように、Mo電極層2上に、化合物半導体(CIGS)薄膜からなる光吸収層3を蒸着法、スパッタリング法等によって形成し、その上に、ヘテロ接合のためのZnS薄膜等からなるバッファ層4をCBD法(ケミカルバスデポジション法)により形成し、その上に、ZnO薄膜からなる絶縁層5を形成する。そして、透明電極層形成前の薄膜太陽電池に対して、下部電極分離用の溝Sから横方向に所定距離はなれた位置に、スクライブ加工によりMo電極層2にまで到達する電極間コンタクト用の溝M1を形成する。
Thereafter, as shown in FIG. 6B, a
続いて、図6(c)に示すように、絶縁層5の上からZnO:Al薄膜からなる上部電極としての透明電極層6を形成し、光電変換を利用した発電に必要な各機能層を備えた太陽電池基板とし、スクライブ加工により下部のMo電極層2にまで到達する電極分離用の溝M2を形成する。
Subsequently, as shown in FIG. 6C, a transparent electrode layer 6 as an upper electrode made of a ZnO: Al thin film is formed on the
上述した集積型薄膜太陽電池を製造する工程において、電極分離用の溝M1及びM2をスクライブにより溝加工する技術として、レーザスクライブ法とメカニカルスクライブ法が用いられてきた。 In the process of manufacturing the integrated thin film solar cell described above, a laser scribing method and a mechanical scribing method have been used as a technique for groove-growing the electrode separating grooves M1 and M2 by scribing.
レーザスクライブ法は、例えば特許文献1で開示されているように、アークランプ等の連続放電ランプによってNd:YAG結晶を励起して発信したレーザ光を照射することにより電極分離用の溝を形成する。この方法は、光吸収層形成後の薄膜太陽電池基板に対して溝を形成する場合、スクライブ時にレーザ光の熱によって光吸収層3の光電変換特性が劣化するおそれがあった。
In the laser scribing method, as disclosed in, for example,
メカニカルスクライブ法は、例えば特許文献2及び3で開示されているように、先端が先細り状となった金属針(ニードル)等の溝加工ツールの刃先を、所定の圧力をかけて基板に押しつけながら移動させることによって、電極分離用の溝を加工する技術である。現在ではこのメカニカルスクライブ法が多く行われている。
For example, as disclosed in
従来のメカニカルスクライブ法で使用される溝加工ツールは、特許文献2および特許文献3で開示されているものを含め、ボディの先端部に一つの刃先を設けた形状で構成されている。このような形状の溝加工ツールをスクライブ装置のホルダに取り付けて固定し、溝加工ツールを薄膜太陽電池に押しつけながら、スクライブ予定ラインに沿って相対的に移動させることで、溝加工を行うようにしている。
しかしながら単一の刃先で形成された溝加工ツールでは、使用によって刃先が摩耗したり、刃こぼれしたりした場合には、その都度ホルダから取り外して研磨、若しくは、新品と交換する必要があって着脱が面倒であった。
Grooving tools used in conventional mechanical scribing methods, including those disclosed in
However, with a grooving tool formed with a single cutting edge, if the cutting edge wears or spills due to use, it must be removed from the holder and polished or replaced with a new one each time. Was troublesome.
そこで、本発明は第一に、刃先が摩耗したとき、溝加工ツール自体を交換することなく、新しい刃先に簡単に据え替えることができる太陽電池の溝加工ツールを提供することを目的とする。 Therefore, a first object of the present invention is to provide a solar cell grooving tool that can be easily replaced with a new cutting edge without replacing the grooving tool itself when the cutting edge is worn.
また、特許文献2及び特許文献3に開示されているようなメカニカルスクライブ法では、溝加工ツールの刃先の形状を先細りの針状にしてあるが、厳密には、薄膜太陽電池に圧接される部分は接触面積を広くするために平らとなるように先端が水平にカットされている。すなわち、図7に示すように、先端部分が先細りのテーパ面を有する円錐台形状にしてある。
Further, in the mechanical scribing method disclosed in
先端部分が円錐台形状の溝加工ツールを用いてスクライブすることにより、基板との接触面積が大きくなるので比較的安定して溝加工を行うことができる。しかしながら、加工する溝深さが少し深くなると、スクライブ時に円錐台形状の側面のテーパ面と基板との接触面積が大きくなり、摩擦抵抗によって薄膜が不規則に大きく剥がれてしまい、不必要な部分まで除去してしまうことがあり、太陽電池の特性および歩留まりが低下するおそれがあった。
そこで、本発明は第二に、加工する溝深さが少し深くなる場合でも、刃先と基板との接触面積が大きくならないようにして、摩擦抵抗による不規則な剥がれが発生しにくい溝加工ツールを提供することを目的とする。
By scribing using a frusto-conical groove processing tool, the tip portion has a large contact area with the substrate, so that the groove processing can be performed relatively stably. However, if the groove depth to be processed becomes a little deeper, the contact area between the tapered surface of the frustoconical side and the substrate increases during scribing, and the thin film is irregularly peeled off due to frictional resistance. In some cases, the solar cell characteristics and yield may be reduced.
Therefore, the present invention secondly provides a grooving tool that does not easily cause irregular peeling due to frictional resistance so that the contact area between the cutting edge and the substrate does not increase even when the groove depth to be processed becomes slightly deeper. The purpose is to provide.
さらに、刃先が摩耗したときに、溝加工ツールをホルダから取り外して研磨補修し、再度利用することができるなら経済的であるが、先端部分が円錐台形状であると、研磨することにより刃先の径が変化してしまうことになる。太陽電池基板では、スクライブラインの線幅を一定に維持して製品としての設計上予定された品質(光電変換効率等)の実現および品質の均一性(再現性)をよくすることが重要であり、そのためには、薄膜の剥離度合を一定にする必要がある。 In addition, when the cutting edge is worn, it is economical if the grooving tool can be removed from the holder, polished and repaired, and reused. The diameter will change. For solar cell substrates, it is important to maintain the scribe line width constant to achieve the product quality (photoelectric conversion efficiency, etc.) planned for the product and improve the quality uniformity (reproducibility). For this purpose, it is necessary to make the degree of peeling of the thin film constant.
そこで、本発明は第三に、既に磨耗した刃先についても、研磨によりスクライブラインの線幅を一定に維持して再度利用することができるようにした薄膜太陽電池用の溝加工ツールを提供することを目的とする。 Accordingly, the present invention thirdly provides a grooving tool for a thin-film solar cell that can be reused by maintaining the line width of the scribe line by polishing even for a cutting edge that has already been worn. With the goal.
上記課題を解決するためになされた本発明の集積型薄膜太陽電池用の溝加工ツールは、円盤状ボディの外周部に、歯車状に連続した多数の凹部、凸部が円周方向に沿って等間隔で形成され、この凸部の接線方向に向いた少なくともいずれか一方の角部が刃先として形成されている構成とした。
また、上記課題を解決するためになされた本発明にかかる集積型薄膜太陽電池の溝加工方法は、集積型薄膜太陽電池基板のスクライブ予定ラインに沿って、溝加工ツールの刃先で押圧しながら、太陽電池基板若しくは溝加工ツールを相対的に移動させて太陽電池の上にスクライブラインを形成する集積型薄膜太陽電池の溝加工方法であって、溝加工ツールは、スクライブ装置のホルダに回転ならびに固定可能に取り付けた円盤状ボディの外周部に、歯車状に連続した多数の凹部、凸部が円周方向に沿って等間隔で形成され、この凸部の接線方向に向いた少なくともいずれか一方の角部が刃先として形成され、刃先を前記移動方向に向けて配置し、一回の移動で複数の刃先により異なる深さの溝加工を同時に行うようにしている。
本発明によれば、予め円盤状ボディの直径並びにその周面に形成される凸部の突出高さや数が、加工すべき溝の深さに対応して設定されることにより、溝加工を行う際に、溝の浅い部分から深い部分にかけて、異なる2〜3個の刃先で順次薄膜が削られるようにする。これにより、複数の刃先で少しずつ溝加工を行うようにして、摩擦抵抗が大きくならないようにする。
The groove processing tool for an integrated thin film solar cell of the present invention, which has been made to solve the above-mentioned problems, has a large number of concave and convex portions that are continuous in a gear shape on the outer peripheral portion of the disk-shaped body along the circumferential direction. It was formed at equal intervals, and at least one of the corners facing the tangential direction of the convex portion was formed as a cutting edge.
Moreover, the groove processing method of the integrated thin film solar cell according to the present invention made to solve the above problems, while pressing with the cutting edge of the groove processing tool along the scribe line of the integrated thin film solar cell substrate, A groove processing method for an integrated thin film solar cell in which a scribe line is formed on a solar cell by relatively moving a solar cell substrate or a groove processing tool, and the groove processing tool is rotated and fixed to a holder of a scribing device. A large number of recesses and projections that are continuous in a gear shape are formed at equal intervals along the circumferential direction on the outer peripheral portion of the disc-shaped body that can be attached, and at least one of them facing the tangential direction of the projection. A corner portion is formed as a cutting edge, the cutting edge is arranged in the moving direction, and grooving with different depths is simultaneously performed by a plurality of cutting edges by one movement.
According to the present invention, the diameter of the disk-shaped body and the protruding height and number of protrusions formed on the peripheral surface thereof are set in advance corresponding to the depth of the groove to be processed, thereby performing the groove processing. At this time, the thin film is sequentially cut with two to three different cutting edges from the shallow part to the deep part of the groove. Thereby, groove processing is performed little by little with a plurality of cutting edges so that the frictional resistance does not increase.
本発明の集積型薄膜太陽電池製造方法にあっては、溝加工を行う際に、歯車状に連続した凸部の角部が刃先として形成されている形状の溝加工ツールを使用し、刃先を移動方向に向けて配置して、複数の刃先で同時に溝加工を行うようにしたので、溝部は複数の刃先で徐々に削られることになる。すなわち、溝部に接触して作用する複数の刃先のうち、進行方向前方側にある上段の刃先から順次下段側にある刃先によって徐々に削られ、これにより溝加工時の摩擦抵抗を軽減して不規則な薄膜の剥離の発生をなくし、直線状できれいなスクライブラインを形成することができる。また、刃先が摩耗または刃こぼれしたときは、次の新しい刃先が溝加工部位になるように、円盤状のボディを所定角度だけ回転させるだけでよく、これにより、溝加工ツールを交換することなく簡単に新しい刃先にセットすることができて交換作業の煩雑さを解消することができる。 In the integrated thin-film solar cell manufacturing method of the present invention, when performing grooving, a grooving tool having a shape in which the corners of convex portions that are continuous in a gear shape are formed as cutting edges is used. Since the grooves are arranged in the moving direction and the grooving is simultaneously performed with the plurality of cutting edges, the groove is gradually cut with the plurality of cutting edges. That is, among a plurality of cutting edges acting in contact with the groove, the upper cutting edge on the front side in the advancing direction is gradually scraped by the cutting edge on the lower stage sequentially, thereby reducing the frictional resistance at the time of grooving. The occurrence of regular thin film peeling is eliminated, and a straight and clean scribe line can be formed. In addition, when the cutting edge is worn or spilled, it is only necessary to rotate the disk-shaped body by a predetermined angle so that the next new cutting edge becomes the grooving part, without changing the grooving tool. It can be easily set on a new cutting edge, and the complexity of the replacement work can be eliminated.
(その他の課題を解決するための手段及び効果)
溝加工ツールの凸部の左右側面を互いに平行な一対の面に形成するのが好ましい。
この場合は、刃先が摩耗したときに、凸部の頂面を研磨しても刃の左右幅の寸法に変化が生じることがないので、研磨後であってもスクライブされる溝幅を研磨前と同じに維持することができ、これにより、全ての刃先が摩耗した際に研磨補修して再度利用することができる。
(Means and effects for solving other problems)
It is preferable to form the left and right side surfaces of the convex portion of the grooving tool on a pair of parallel surfaces.
In this case, when the edge of the blade is worn, there is no change in the horizontal width of the blade even if the top surface of the convex portion is polished. Thus, when all the cutting edges are worn, they can be repaired by polishing and reused.
また、溝加工ツールが、超硬合金又はダイヤモンドで形成されている構成とするのが好ましい。
これにより、ツールの寿命が長く、変形も少ないことから、長期間にわたって精度良くスクライブ加工することができる。
Moreover, it is preferable that the grooving tool is made of cemented carbide or diamond.
As a result, the tool has a long life and little deformation, so that it can be accurately scribed for a long period of time.
以下において、本発明の詳細を、その実施の形態を示す図面に基づいて詳細に説明する。最初に、本発明の溝加工ツールを取り付けるスクライブ装置の全体構成について説明する。
図1は本発明にかかる溝加工ツールを用いた集積型薄膜太陽電池用スクライブ装置の実施形態を示す斜視図である。スクライブ装置は、略水平方向(Y方向)に移動可能で、かつ、水平面内で90度及び角度θ回転可能なテーブル18を備えており、テーブル18は実質的に太陽電池基板Wの保持手段を形成する。
Hereinafter, details of the present invention will be described in detail with reference to the drawings illustrating embodiments thereof. Initially, the whole structure of the scribe device which attaches the grooving tool of this invention is demonstrated.
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of an integrated thin film solar cell scribing apparatus using a groove processing tool according to the present invention. The scribing device includes a table 18 that is movable in a substantially horizontal direction (Y direction) and that can rotate 90 degrees and an angle θ in a horizontal plane. The table 18 substantially serves as a means for holding the solar cell substrate W. Form.
テーブル18を挟んで設けてある両側の支持柱20,20と、X方向に延びるガイドバー21とで構成されるブリッジ19は、テーブル18上を跨ぐように設けてある。ホルダ支持体23は、ガイドバー21に形成したガイド22に沿って移動可能に取り付けられ、モータ24の回転によりX方向に移動する。
A
ホルダ支持体23には、スクライブヘッド7が設けられており、スクライブヘッド7の
下部には、テーブル18上に載置される太陽電池基板Wの薄膜表面をスクライブ加工する溝加工ツール8を保持するホルダ9が設けられている。ホルダ9は取り付け角度を調整することができるようにしてあり、この取り付け角度を調整することで、溝加工ツール8と太陽電池基板Wとの角度を調整できるようにしてある。
A scribe head 7 is provided on the
また、X方向及びY方向に移動することが可能な台座12,13にカメラ10、11が夫々設けられている。台座12、13は支持台13上でX方向に延設されたガイド15に沿って移動する。カメラ10、11は、手動操作で上下動することができ、撮像の焦点を調整することができる。カメラ10、11で撮影された画像はモニタ16、17に表示される。
テーブル18上に載置された太陽電池基板Wには、各工程により、前工程で形成され、表面から観察できるスクライブライン等が存在する。そのため、各工程において太陽電池基板Wをスクライブする場合、前工程で形成されたスクライブライン等をスクライブ位置を特定するためのマークとして利用する。例えば、スクライブされた下部電極層(Mo電極層)2の上に光吸収層3、バッファ層4及び絶縁層5が形成された太陽電池基板Wに上下電極コンタクト用の溝を形成する場合、下部電極層2に形成されたスクライブラインを溝形成位置特定のためのマークとして利用する。すなわち、カメラ10、11により下部電極層2に形成されたスクライブラインを撮像することにより、太陽電池基板Wの位置を調整する。具体的には、テーブル18に支持された太陽電池基板W表面から観察できる下部電極層2に形成されたスクライブラインを、カメラ10、11により撮像して下部電極層2に形成されたスクライブラインの位置を特定する。特定された下部電極層に形成されたスクライブラインの位置に基づいて、上下電極コンタクト用の溝を形成すべき位置(スクライブ位置)を割り出し、太陽電池基板Wの位置を調整することによりスクライブ位置を調整する。
The solar cell substrate W placed on the table 18 has a scribe line or the like that is formed in the previous process and can be observed from the surface by each process. Therefore, when scribing the solar cell substrate W in each process, the scribe line formed in the previous process is used as a mark for specifying the scribe position. For example, when forming grooves for upper and lower electrode contacts on the solar cell substrate W in which the
そして、テーブル18をY方向に所定ピッチで移動するごとに、スクライブヘッド7を下降させて溝形成ツール8の刃先を太陽電池基板Wの表面に押しつけた状態でX方向に移動させ、太陽電池基板Wの表面をX方向に沿ってスクライブ加工する。太陽電池基板Wの表面をY方向に沿ってスクライブ加工する場合は、テーブル18を90度回転させて、上記と同様の動作を行う。
Each time the table 18 is moved at a predetermined pitch in the Y direction, the scribe head 7 is lowered and moved in the X direction with the cutting edge of the
次に、本発明に係る溝加工ツールについて説明する。
図2ならびに図3は、本発明の一例である溝加工ツール8を示す。図2は側面図であり、図3は正面図である。この溝形成ツール8は、超硬合金又はダイヤモンド(焼結ダイヤモンド(PCD)等)等の硬質材料で造られた円盤状のボディ81の外周部に、歯車状に連続した多数の凹部82、凸部83が円周方向に沿って等間隔で形成される。この凸部83の接線方向に向いたいずれか一方の角部が刃先84として形成されている。また円盤状ボディ81の中心にはスクライブ装置のホルダ9への取り付け孔85が設けられおり、この取り付け孔85を介して図1で示したホルダ9に回転ならび固定可能に取り付けられる。
Next, the grooving tool according to the present invention will be described.
2 and 3 show a
上記溝形成ツール8をホルダ9に取り付けるに際して、刃先84が図4に示すように、太陽電池基板Wに対して進行方向側に向けて配置し、複数の刃先で、本実施例では三個の刃先で同時に溝加工を行うようにしている。そのために、予め円盤状ボディ81の直径やその周面に形成される凹部82、凸部83の寸法並びにその数が、加工すべき溝の深さや幅に対応して設定される。
具体的には、例えばボディ81の直径が1〜20mm、厚みL1が20μm〜1mm、凸部83の高さHが5〜500μm程度にしてある。
When attaching the
Specifically, for example, the diameter of the body 81 is 1 to 20 mm, the thickness L1 is 20 μm to 1 mm, and the height H of the
上記構成において、溝加工を行う際に図4に示すように基板Wの薄膜は複数の刃先84で徐々に削られることになる。すなわち、基板Wに接触して作用する複数の刃先のうち、進行方向前方側にある上段の刃先から順次下段側にある刃先によって徐々に削られ、これにより溝加工時の摩擦抵抗が著しく軽減されて不規則な薄膜の剥離の発生をなくすることができ、直線状できれいなスクライブラインを形成することができる。
In the above configuration, the thin film of the substrate W is gradually scraped by the plurality of cutting
また、刃先が摩耗または刃こぼれしたときは、次の新しい刃先が溝加工部位になるように、円盤状のボディ81を所定角度αだけ回転させて固定する。本実施例の場合、3個の刃先で削るようにしてあるので、新しい刃先に位置替えする場合の前記所定角度αは刃先3個分の角度となる。 Further, when the cutting edge is worn or spilled, the disk-shaped body 81 is rotated and fixed by a predetermined angle α so that the next new cutting edge becomes a groove machining portion. In this embodiment, since the cutting is performed with three cutting edges, the predetermined angle α when the position is changed to a new cutting edge is an angle corresponding to three cutting edges.
本発明によれば、複数の刃先84で同時に溝加工を行うようにしたので、薄膜は複数の刃先84…で徐々に削られることになる。溝部に接触して作用する複数の刃先のうち、進行方向前方側にある上段の刃先から順次下段側にある刃先によって徐々に削られる。これにより溝加工時の摩擦抵抗を軽減して不規則な薄膜の剥離の発生をなくし、直線状できれいなスクライブラインを形成することができる。また、使用した刃先が摩耗または刃こぼれしたときは、次の新しい刃先が溝加工部位になるように、円盤状のボディ81を所定角度だけ回転させるだけでよく、これにより、溝加工ツールを交換することなく簡単に新しい刃先にセットすることができて交換作業の煩雑さを解消することができる。
According to the present invention, since the grooving is simultaneously performed by the plurality of cutting
図5は、本発明にかかる溝加工ツールの別の実施例を示すものであって、凸部83の左右側面83a、83bが互いに平行な一対の面となるように形成されている。
この実施例では、刃先が摩耗したときに、凸部83の頂面を研磨しても刃の左右幅の寸法L3に変化が生じることがないので、研磨後であってもスクライブされる溝幅を研磨前と同じに維持することができ、これにより、全ての刃先が摩耗した際に研磨補修して再度利用することができる。
FIG. 5 shows another embodiment of the grooving tool according to the present invention, in which the left and right side surfaces 83a and 83b of the
In this embodiment, when the edge of the blade is worn, there is no change in the left and right width dimension L3 even if the top surface of the
上記の実施例では、スクライブヘッド7をX方向に移動させることでスクライブ加工を実行したが、スクライブヘッド7と、太陽電池基板Wとが相対的に移動できれば足りることから、太陽電池基板Wが固定された状態でスクライブヘッド7をX方向およびY方向に移動させてもよいし、スクライブヘッド7を移動させることなく、太陽電池基板WのみをX方向及びY方向に移動させてもよい。 In the above embodiment, the scribing process is executed by moving the scribe head 7 in the X direction. However, since it is sufficient that the scribe head 7 and the solar cell substrate W can move relative to each other, the solar cell substrate W is fixed. The scribing head 7 may be moved in the X direction and the Y direction in the state where it is applied, or only the solar cell substrate W may be moved in the X direction and the Y direction without moving the scribing head 7.
以上、本発明の代表的な実施例について説明したが、本発明は必ずしも上記の実施例構造のみに特定されるものではない。例えば、溝加工ツール8のホルダ9への取付手段は、溝加工ツール8を所定角度αごとに順次回転でき、かつ設定位置で確実に固定できるものであればどのような手段であってもよい。また、上記実施例では、凸部83の一方の角部を刃先84としたが、左右両方の角部を刃先として形成するようにしてもよい。その他本発明では、その目的を達成し、請求の範囲を逸脱しない範囲内で適宜修正、変更することが可能である。
As mentioned above, although the typical Example of this invention was described, this invention is not necessarily limited only to said Example structure. For example, the means for attaching the
本発明は、カルコパイライト化合物系半導体膜を用いた集積型薄膜太陽電池の製造方法、及び、これに用いることのできる溝加工ツールに適用することができる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be applied to a method for manufacturing an integrated thin film solar cell using a chalcopyrite compound semiconductor film, and a groove processing tool that can be used therefor.
W 太陽電池基板
7 スクライブヘッド
8 溝加工ツール
81 ボディ
82 凹部
83 凸部
84 刃先
83a、83b 凸部の左右側面
9 ホルダ
W Solar cell substrate 7
Claims (4)
前記溝加工ツールは、スクライブ装置のホルダに回転ならびに固定可能に取り付けた円盤状ボディの外周部に、歯車状に連続した多数の凹部、凸部が円周方向に沿って等間隔で形成され、この凸部の接線方向に向いた少なくともいずれか一方の角部が刃先として形成され、前記刃先を前記移動方向に向けて配置し、一回の移動で複数の刃先により異なる深さの溝加工を同時に行うことを特徴とする集積型薄膜太陽電池の溝加工方法。
A scribe line is formed on the solar cell by relatively moving the solar cell substrate or the groove processing tool while pressing with the cutting edge of the groove processing tool along the scribe line of the integrated thin film solar cell substrate. A groove processing method for an integrated thin film solar cell,
The groove processing tool is formed on the outer peripheral portion of a disc-shaped body that is rotatably and fixedly attached to a holder of a scribe device, and a large number of concave portions and convex portions that are continuous in a gear shape are formed at equal intervals along the circumferential direction. At least one of the corners facing the tangential direction of the convex portion is formed as a cutting edge, the cutting edge is arranged in the moving direction, and grooving with different depths is performed by a plurality of cutting edges in one movement. A groove processing method for an integrated thin film solar cell, which is performed simultaneously.
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